JP2001052336A - 光情報記録媒体の欠陥検査装置及び光カードの欠陥検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、従来例の如き基準電圧を調整する
ような煩雑さを伴うことなく、種々の反射率の記録面が
存在する光カードの欠陥を効率良く検査できる光光カー
ドの欠陥栓査装置を提供する。 【解決手段】 光カード１１に光ビームを照射し、光カ
ード１１からの反射光に基づいてこの光カード１１の記
録面上の欠陥を検査する欠陥検査装置において、光カー
ド１１と光ビームとを相対的に走査するとともに走査位
置信号を出力する走査駆動手段と、前記光カード１１の
記録面からの反射光を検出する光検出器２５と、前記光
検出器２５の検出信号の変化を基に前記光カード１１の
記録面上の欠陥領域を判定し、走査駆動手段から出力さ
れる走査位置信号を基に光カードの記録面における欠陥
領域の位置を判定するＣＰＵ３７とを有するものであ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光カードのような
光情報記録媒体の欠陥を検査する欠陥検査装置及び光カ
ードの欠陥検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】まず、この種の光情報記録媒体の検査装
置の従来例を説明する。図４は、特開平５−２７３１４
１号公報に開示された光ディスク検査装置を示すもので
あり、この光ディスク検査装置において、１２０は光ピ
ックアップで、光ディスク１０１の反射面側に移動可能
に配置され、欠陥検出部１３０に接続されている。

【０００３】光ピックアップ１２０は、周知のように、
レーザダイオード１２０ａ、フォトディテクタ１２０
ｂ、ハーフミラー１２０ｃ、レンズ１２０ｄ等から構成
されている。

【０００４】レーザダイオード１２０ａは、レーザ駆動
回路１２１から入力する電流に対応した所定強度のレー
ザ光を出射し、このレーザ光はハーフミラー１２０ｃ及
びレンズ１２０ｄを透過して光ディスク１０１の反射面
に照射される。

【０００５】また、光ピックアップ１２０から出射され
るレーザ光は、フォーカスサーボ１２２によるレンズ１
２０ｄの調整によってフォーカス調整され、直径数μｍ
程度のスポット光として光ディスク１０１に照射され
る。

【０００６】さらに、光ピックアップ１２０は、トラツ
キングサーボ１２３によって、光ディスク１０１の半径
方向に所定速度で移動され、光ディスク１０１の全面に
亙って順次レーザ光を照射できるようになっている。

【０００７】これにより、光ディスク１０１からの反射
光は、レンズ１２０ｄ及びハーフミラー１２０ｃを介し
てフォトディテクタ１２０ｂに入射し、フォトディテク
タ１２０ｂによって反射光強度に比例した電圧を有する
電気信号に変換されて欠陥検出部１３０に送出される。

【０００８】欠陥検出部１３０は、ＲＦアンプ１３１、
サンプルホールド回路１３２、１３３、減算器１３４、
比較器１３５及び報知回路１３６から構成されている。

【０００９】ＲＦアンプ１３１は、フォトディテクタ１
２０ｂからの信号を入力し、この信号を所定の増幅度に
て増幅した後、サンプルホールド回路１３２，１３３に
各々送出する。サンプルホールド回路１３２は、信号の
電圧の最大値をホールドしその電圧Ｖ１を減算器１３４
に出力する。

【００１０】また、サンプルホールド回路１３３は、信
号の電圧の最小値をホールドし、その電圧Ｖ２を減算器
１３４に出力する。

【００１１】減算器１３４は、電圧Ｖ１から電圧Ｖ２を
減算した電圧Ｖ３を比較器１３５に出力する。

【００１２】比較器１３５は入力した電圧Ｖ３を予め設
定されている基準電圧Ｖｔｈと比較し、基準電圧Ｖｔｈ
よりも電圧Ｖ３の値が大きくなったときに異常信号を報
知回路１３６に出力する。

【００１３】報知回路１３６は、比較器１３５から異常
信号を入力したときに、光ディスク１０１に欠陥がある
ことを報知する。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の光ディスク検査装置の場合には、前記電圧Ｖ１
と電圧Ｖ２との差の電圧Ｖ３と基準電圧Ｖｔｈとの比較
を行う構成であるため、種々の反射率を持った記録部を
有する各種の光ディスクの欠陥を各々検査する場合に
は、その都度基準電圧Ｖｔｈの調整を行う煩雑さを伴
い、作業性が極めて悪いという問題があった。

【００１５】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、従来例の如き基準電圧を調整するような煩雑さ
を伴うことなく、種々の反射率の光情報記録面が存在す
る種々の光情報記録媒体、光カード等の欠陥を効率良く
検査できる光情報記録媒体の欠陥検査装置及び光カード
の欠陥検査装置を提供するものである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
光情報記録媒体に光ビームを照射し、光情報記録媒体か
らの反射光に基づいて光情報記録媒体の記録面上の欠陥
を検査する欠陥検査装置において、光情報記録媒体と光
ビームとを相対的に走査するとともに走査位置信号を出
力する走査駆動手段と、前記光情報記録媒体の記録面か
らの反射光を検出する検出手段と、前記検出手段の検出
信号の変化を基に前記光情報記録媒体の記録面上の欠陥
領域を判定し、走査駆動手段から出力される走査位置信
号を基に光情報記録媒体の記録面における欠陥領域の位
置を判定する欠陥判定手段とを有することを特徴とする
ものである。

【００１７】この発明によれば、走査駆動手段により光
情報記録媒体と光ビームとを相対的に走査し、記録面か
らの反射光を検出し、欠陥判定手段により検出信号の変
化を基に前記光情報記録媒体の記録面上の欠陥領域を判
定するものである。また、走査駆動手段による走査に伴
って出力される走査位置信号を基に欠陥判定手段により
記録面における欠陥領域の位置を判定するものである。
従って、従来例の如き基準電圧を調整するような煩雑さ
を伴うことなく、種々の反射率の記録面が存在する種々
の光情報記録媒体の欠陥及びその位置を効率良く検査で
きる。

【００１８】請求項２記載の発明は、光カードに光ビー
ムを照射し、光カードからの反射光に基づいて光カード
の記録面上の欠陥を検査する欠陥検査装置において、光
カードと光ビームとを相対的に走査するとともに走査位
置信号を出力する走査駆動手段と、前記光カードの記録
面からの反射光を検出する検出手段と、前記検出手段の
検出信号の変化を基に前記光カードの記録面上の欠陥領
域を判定し、前記走査駆動手段から出力される走査位置
信号を基に光カードの記録面における欠陥領域の位置を
判定する欠陥判定手段とを有することを特徴とするもの
である。

【００１９】この発明によれば、走査駆動手段により光
カードと光ビームとを相対的に走査し、記録面からの反
射光を検出し、欠陥判定手段により検出信号の変化を基
に前記光カードの記録面上の欠陥領域を判定するもので
ある。また、走査駆動手段による走査に伴って出力され
る走査位置信号を基に欠陥判定手段により記録面におけ
る欠陥領域の位置を判定するものである。従って、従来
例の如き基準電圧を調整するような煩雑さを伴うことな
く、種々の反射率の記録面が存在する種々の光カードの
欠陥及びその位置を効率良く検査できる。

【００２０】請求項３記載の発明は、光カードに光ビー
ムを照射し、光カードからの反射光に基づいて光カード
の記録面上の欠陥を検査する欠陥検査装置において、光
カードと光ビームとを相対的にこの光カード記録面に沿
う方向及びこれと交叉する方向に走査するとともに、前
記各方向の走査位置信号を出力する走査駆動手段と、前
記光カードの記録面からの反射光を検出する検出手段
と、前記検出手段の検出信号の変化を基に前記光カード
の記録面上の欠陥領域を判定し、走査駆動手段から出力
される前記各方向の走査位置信号を基に光カードの記録
面における欠陥領域の位置を判定する欠陥判定手段とを
有することを特徴とするものである。

【００２１】この発明によれば、走査駆動手段により光
カードと光ビームとをこの光カード記録面に沿う方向及
びこれと交叉する方向に走査し、前記記録面からの反射
光を検出し、欠陥判定手段により検出信号の変化を基に
前記光カードの記録面上の欠陥領域を判定するものであ
る。また、走査駆動手段による前記各方向の走査に伴っ
て出力される各走査位置信号を基に、欠陥判定手段によ
り記録面における欠陥領域の位置を判定するものであ
る。従って、従来例の如き基準電圧を調整するような煩
雑さを伴うことなく、種々の反射率の記録面が存在する
種々の光カードの欠陥及びその位置を効率良く検査でき
る。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を詳
細に説明する。

【００２３】図１は、本実施の形態に適用される光情報
記録媒体の一種である光カードの概略構成を示してい
る。図１において、１はカード本体で、このカード本体
１の表面にデータ記録部２を有している。

【００２４】このデータ記録部２は、図１に示すように
カード本体１の長手方向に沿って複数本のトラック３を
形成している。これらトラック３は、ガイドトラック４
の間に挟まれ形成されている。

【００２５】これらのトラック３に対して、データの記
録再生とフォーカスエラー信号検出を行う主ビーム５
と、この主ビーム５の前後に形成されたトラックエラー
信号生成を目的とする副ビーム６とを照射するようにな
っている。

【００２６】図１に示す例では、トラックサーボがオン
状態あることを示している。また、フォーカスエラー信
号検出は、非点収差法などの公知な方式を用い、トラッ
クエラー検出は、同じく公知の３ビーム法が用いられ
る。

【００２７】なお、図１において、７、８はＩＤ記録部
で、これらＩＤ記録部７、８にトラック番号等を予め記
録している。

【００２８】図２は、本実施の形態の光カード検査装置
の概略構成を示すものである。図２において、１２はカ
ード載置台で、このカード載置台１２上に、上述した光
カード１１を載置している。

【００２９】このカード載置台１２は、Ｙ方向走査駆動
手段を構成する一対のプーリ１３、１４の間に掛け渡さ
れたベルト１５に取り付けられ、一方のプーリ１３に連
結されたＹ方向走査駆動手段を構成するカード駆動モー
タ１６により、前記カード載置台１２を光カード１１の
トラックの方向に沿った図示矢印Ｙ方向に直線往復移動
可能にしている。

【００３０】前記カード駆動モータ１６は、カード駆動
回路１７により駆動され、また、欠陥位置検出手段とし
てのカード位置検出回路１８にパルス信号を送るように
接続している。

【００３１】カード駆動回路１７は、制御部（ＣＰＵ，
ＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｓｉｇｎａｌ Ｐｒｏｃｅｓ
ｓｏｒ））１９よりカード駆動指示信号が与えられる
と、このカード駆動回路１７がパルスモータを用いたカ
ード駆動モータ１６を駆動し、カード載置台１２を図示
Ｙ方向に往復移動させるようにしている。

【００３２】また、カード位置検出回路１８は、カード
駆動モータ１６として用いたパルスモータからのパルス
信号によりＹ方向のカード位置を検出し、カード位置信
号を制御部１９と、ゲート回路３５に入力するようにし
ている。

【００３３】尚、Ｙ方向のカード位置の検出は、カード
載置台１２にスケールを貼り付けるとともに、このスケ
ールの移動量を検知する図示しないセンサからの検出信
号によりカード位置を検出し、カード位置信号としても
よい。

【００３４】前記カード載置台１２に対峙する配置で、
光学ヘッド２０を設けている。この光学ヘッド２０は、
図２に示すように、半導体レーザ２１、コリメータレン
ズ２２、ビームスプリッタ２３、対物レンズ２４及び光
検出器２５を有している。

【００３５】そして、半導体レーザ２１からの光ビーム
を、コリメータレンズ２２、ビームスプリッタ２３、対
物レンズ２４を通して光カード１１上に集光し、この光
カード１１上からの反射光を対物レンズ２４を通してビ
ームスプリッタ２３で入射光と分離して光検出器２５に
送ってこの光検出器２５で検出し、光検出器２５で検出
した信号を、フォーカスサーボ制御回路２６、トラック
サーボ制御回路２７及びＲＦアンプ３３に各々送出する
ようにしている。

【００３６】前記フォーカスサーボ制御回路２６は、制
御部１９からフォーカスサーボ指示信号が与えられる
と、光検出器２５の出力に応じて対物レンズ２４を光軸
方向に移動し、オートフォーカシングを実行するように
している。

【００３７】また、トラックサーボ制御回路２７は、制
御部１９からトラックサーボ指示信号が与えられると、
光検出器２５の出力に応じて対物レンズ２４を光軸と垂
直な方向に駆動しオートトラッキングを実行するように
している。

【００３８】ＲＦアンプ３３の出力側は、ＡＤ（アナロ
グ−ディジタル）変換器３４に接続し、ＡＤ変換器３４
の出力側はゲート回路３５に接続し、ゲート回路３５に
は制御部１９からのトリガ信号を入力するようになって
いる。

【００３９】さらに、ゲート回路３５の出力側はメモリ
３６に接続し、メモリ３６の出力側は欠陥判定手段であ
るＣＰＵ３７に接続している。

【００４０】また、前記光学ヘッド２０の半導体レーザ
２１は、レーザ駆動回路２８を介して制御部１９に接続
している。このレーザ駆動回路２８は、光ビームの光量
を制御するとともに、制御部１９からのレーザ駆動指示
信号により半導体レーザ２１のオン／オフを制御するよ
うになっている。

【００４１】前記光学ヘッド２０は、Ｘ方向走査駆動手
段を構成するヘッド支持部２９により支持され、同じく
Ｘ方向走査駆動手段を構成するパルスモータを用いた光
学ヘッド駆動モータ３０により、光カード１１のトラッ
ク方向と直交する図２に示す矢印Ｘ方向に駆動されるよ
うになっている。図２においては、光カード１１のＹ方
向とＸ方向の位置を１つの光学ヘッド２０で検出するこ
とを図示しており、図の上方側では光学ヘッド２０によ
りＸ方向の位置を検出し、図の下側では光学ヘッド２０
によりＹ方向の位置を検出する状態となっている。

【００４２】前記光学ヘッド駆動モータ３０には、光学
ヘッド駆動回路３１及び欠陥位置検出手段としての光学
ヘッド位置検出回路３２を接続している。光学ヘッド駆
動回路３１は、制御部１９より光学ヘッド駆動指示信号
が与えられると、光学ヘッド駆動モータ３０を駆動し、
ヘッド支持部２９により支持された光学ヘッド２０を図
示Ｘ方向に直線往復移動させるようになっている。

【００４３】また、前記光学ヘッド位置検出回路３２
は、光学ヘッド駆動モータ３０として用いたパルスモー
タのパルス信号によりＸ方向の光学ヘッド位置を検出
し、光学ヘッド位置を光学ヘッド位置信号として前記制
御部１９と、ゲート回路３５とに送出し、これにより、
光学ヘッド位置信号をメモリ３６に記録するようになっ
ている。さらに、演算処理手段であるＣＰＵ３７をメモ
リ３６に接続している。

【００４４】尚、前記カード位置検出回路１８によるカ
ード位置及び光学ヘッド位置検出回路３２による光学ヘ
ッド位置を検出する際の原点位置は、各々原点センサー
を設けて設定しても良いし、機械的に定まる位置（例え
ば、光カード１１をカード載置台１２に装着する最初の
位置）としても良い。

【００４５】図３は、横軸に時間（カード位置）、縦軸
を電圧とし、欠陥記録手段として機能するメモリ３６に
記録されたＡＤ変換器３４によりＡＤ変換処理後のＲＦ
信号４１の波形を示すものであり、図３に示す区間Ａ、
区間Ｂは欠陥位置を示し、また、演算処理手段であるＣ
ＰＵ３７によって処理されたＲＦ信号の平均値を平均値
４２として横軸に平行になる状態で示している。

【００４６】次に、上述した装置よる光カード１１の欠
陥検査動作を説明する。

【００４７】前記光カード１１のＹ方向の欠陥の検査を
行う場合、光カード１１がカード載置台１２上に載置さ
れた後に、制御部１９よりカード駆動指示信号がカード
駆動回路１７に送られ、これにより、カード駆動モータ
１６の回転でカード載置台１２が光カード１１のトラッ
クに沿った図示Ｙ方向に移動され、これと同時にレーザ
駆動回路２８により、半導体レーザ２１からの光ビーム
が前記コリメータレンズ２２、ビームスプリッタ２３、
対物レンズ２４を通して光カード１１上に照射される。

【００４８】この時の光ビームは、光カード１１上をト
ラック方向に走査する。また、制御部１９は、光カード
１１の駆動に応じてトリガ信号をゲート回路３５に送
る。

【００４９】この場合、制御部１９は、カード位置検出
回路１８からのカード位置信号により図示Ｙ方向の速度
制御及び位置制御を実行する。

【００５０】また、制御部１９は、光学ヘッド２０のＸ
方向の移動に応じた光学ヘッド位置検出回路３２からの
光学ヘッド位置信号により、図示Ｘ方向の速度制御及び
位置制御を実行する。

【００５１】このようなカード駆動及び光学ヘッド駆動
を組み合わせることで、光カード１１の任意のトラック
の光ビームでの走査が可能となる。

【００５２】前記光学ヘッド２０による光カード１１の
トラック上での反射光は、対物レンズ２４を通してビー
ムスプリッタ２３により入射光と分離して光検出器２５
で検出する。この光検出器２５で検出した信号をＲＦア
ンプ３３に入力し、所定の増幅度にて増幅し、ＡＤ変換
器３４でＡＤ変換し、ゲート回路３５に送出する。

【００５３】制御部１９のトリガ信号に応じてゲート回
路３５が動作し、カード位置検出回路１８からの光カー
ド１１の図示Ｙ方向位置を示すカード位置信号と、ヘッ
ド位置検出回路３２からの光学ヘッド２０の図示Ｘ方向
位置を示す光学ヘッド位置信号とが共にメモリ３６に記
録される。さらに、ＡＤ変換処理後のＲＦ信号４１もゲ
ート回路３５の動作でメモリ３６に記録される。

【００５４】メモリ３６に保存されたＡＤ変換処理後の
ＲＦ信号４１は、ＣＰＵ３７によって演算処理され、そ
のＲＦ信号４１の平均値が求められる。

【００５５】次に、ＲＦ信号４１の振幅を確認して平均
値４２より大きく離れた区間、例えば、電圧レベルでの
平均値を１００とした場合にその７０％より小さい電圧
となる区間Ａ、区間Ｂを欠陥候補として検出し、次いで
これらの欠陥候補に対してその区間長を求める。

【００５６】ここで、欠陥候補としての条件（閾値電
圧）は、ＲＦ信号４１の電圧レベルでの平均値を１００
とした場合に、電圧レベルが７０％以上である区間Ｃの
ように平均値４２からのずれが比較的少ない場合、光カ
ード表面に付着したゴミ等によるノイズの影響の可能性
が高いことが確認されていることを考慮し、７０％より
小さい電圧に設定されている。

【００５７】また、区間Ａの様に区間長が十分に短い場
合（例えば２μｍ未満の場合）は、電気的なノイズの可
能性が高いことが確認されている。このため、区間長が
２μｍ以上の区間を有するものが欠陥の対象として設定
されている。

【００５８】従って、前記欠陥候補に対して区間長を求
めるに際して、２μｍ以上の長さを有する区間を検出す
る。

【００５９】この結果、区間Ｂの様に区間長、振幅とも
に充分に大きい場合、具体的には区間長２μｍ以上、Ｒ
Ｆ信号４１の電圧レベルでの平均値を１００とした場合
に、その７０％より小さい振幅を有する区間Ｂを真の欠
陥とし、この場合の光カード１１上の位置をメモリ３６
の別の記録エリアに記録する。

【００６０】このようにして、光カード１１のＹ方向、
Ｘ方向の双方において、各々真の欠陥が検出され、ま
た、メモリ３６の別の記録エリアに検出された光カード
１１の欠陥位置の情報が記録され、保存されることにな
り、光カード１１の真の欠陥及びその位置の検査を効率
良く実行できる。

【００６１】尚、上述した実施の形態では、光カード１
１のＹ方向の欠陥検査に関しては光学ヘッド２０を固定
して光カード１１をＹ方向に移動し、また、光カード１
１のＸ方向の欠陥検査に関しては光カード１１を固定し
て光学ヘッド２０を移動するように構成したが、光学ヘ
ッド２０を固定し、光カード１１をＸ−Ｙステージ上に
配置して、光カード１１をＸ方向、Ｙ方向に移動して光
学ヘッドにより走査するように構成することも可能であ
る。

【００６２】以上説明した本発明によれば、以下の構成
を付記することができる。

【００６３】（付記１）光カードに光ビームを照射し、
光カードからの反射光に基づいて光カードの記録面上の
欠陥を検査する欠陥検査装置において、光カードを記録
面に沿う方向であるＸ方向に駆動して、固定配置の光学
ヘッドの光ビームにより光カードの記録面を走査すると
ともに、Ｘ方向の走査位置信号を出力するＸ方向走査駆
動手段と、光学ヘッドをＹ方向に駆動して、固定配置の
光カードの記録面を光ビームにより走査するするととも
に、Ｙ方向の走査位置信号を出力するＹ方向走査駆動手
段と、前記光カードの記録面からの反射光を検出する検
出手段と、前記検出手段の検出信号の変化を基に前記光
カードの記録面上の欠陥領域を判定し、Ｘ方向、Ｙ方向
各走査駆動手段から出力される前記各走査位置信号を基
に光カードの記録面における欠陥領域の位置を判定する
欠陥判定手段とを有することを特徴とする欠陥検査装
置。

【００６４】この付記１によれば、従来例の如き基準電
圧を調整するような煩雑さを伴うことなく、Ｘ方向走査
駆動手段、Ｘ方向走査駆動手段及び欠陥判定手段の動作
さで種々の反射率の記録面が存在する種々の光カードの
欠陥及びその位置を効率良く検査できる。

【００６５】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、走査駆動
手段、検出手段及び欠陥判定手段の動作で、従来例の如
き基準電圧を調整するような煩雑さを伴うことなく、種
々の反射率の記録面が存在する種々の光情報記録媒体の
欠陥及びその位置を効率良く検査できる欠陥検査装置を
提供できる。

【００６６】請求項２記載の発明によれば、走査駆動手
段、検出手段及び欠陥判定手段の動作で、従来例の如き
基準電圧を調整するような煩雑さを伴うことなく、種々
の反射率の記録面が存在する種々の光カードの欠陥及び
その位置を効率良く検査できる欠陥検査装置を提供でき
る。

【００６７】請求項３記載の発明によれば、光カードと
光ビームとを相対的にこの光カード記録面に沿う方向及
びこれと交叉する方向に走査する走査駆動手段、検出手
段及び欠陥判定手段の動作で、従来例の如き基準電圧を
調整するような煩雑さを伴うことなく、種々の反射率の
記録面が存在する種々の光カードの欠陥及びその位置を
効率良く検査できる欠陥検査装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の光カード及びそのトラッ
クの構造を示す説明図である。

【図２】本発明の実施の形態の光カードの欠陥検査装置
の全体構成を示すブロック図である。

【図３】本発明の実施の形態の光カードの欠陥検査装置
におけるＲＦ信号を示す波形図である。

【図４】従来の光ディスクの検査装置を示すブロック図
である。

【符号の説明】

１ カード本体 ２ データ記録部 ３ トラック ４ ガイドトラック ５ 主ビーム ６ 副ビーム ７ ＩＤ部 ８ ＩＤ部 １１ 光カード １２ カード載置台 １３ プーリ １４ プーリ １５ ベルト １６ カード駆動モータ １７ カード駆動回路 １８ カード位置検出回路 １９ 制御部 ２０ 光学ヘッド ２５ 光検出器 ２６ フォーカスサーボ制御回路 ２７ トラックサーボ制御回路 ２８ レーザ駆動回路 ２９ ヘッド支持部 ３０ 光学ヘッド駆動モータ ３１ 光学ヘッド駆動回路 ３２ 光学ヘッド位置検出回路 ３３ ＲＦアンプ ３４ ＡＤ変換器 ３５ ゲート回路 ３６ メモリ ３７ ＣＰＵ ４１ ＲＦ信号 ４２ 平均値

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ１１Ｂ 7/0033 Ｇ１１Ｂ 7/0033 Ｆターム(参考） 2F065 AA01 CC00 DD06 FF44 FF67 GG06 HH04 MM03 NN02 NN20 PP11 QQ03 QQ23 QQ42 QQ47 2G051 AA71 AA73 AA90 BA10 BC06 CA01 CB01 CD04 CD07 DA06 EA02 EA08 EA11 EB01 EC03 5B072 CC02 DD02 JJ04 LL01 5D090 AA03 CC18 DD03 DD05 JJ14 JJ16

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光情報記録媒体に光ビームを照射し、光
   情報記録媒体からの反射光に基づいて光情報記録媒体の
   記録面上の欠陥を検査する欠陥検査装置において、 光情報記録媒体と光ビームとを相対的に走査するととも
   に走査位置信号を出力する走査駆動手段と、 前記光情報記録媒体の記録面からの反射光を検出する検
   出手段と、 前記検出手段の検出信号の変化を基に前記光情報記録媒
   体の記録面上の欠陥領域を判定し、前記走査駆動手段か
   ら出力される走査位置信号を基に光情報記録媒体の記録
   面における欠陥領域の位置を判定する欠陥判定手段と、 を有することを特徴とする光情報記録媒体の欠陥検査装
   置。
2. 【請求項２】 光カードに光ビームを照射し、光カード
   からの反射光に基づいて光カードの記録面上の欠陥を検
   査する欠陥検査装置において、 光カードと光ビームとを相対的に走査するとともに走査
   位置信号を出力する走査駆動手段と、 前記光カードの記録面からの反射光を検出する検出手段
   と、 前記検出手段の検出信号の変化を基に前記光カードの記
   録面上の欠陥領域を判定し、前記走査駆動手段から出力
   される走査位置信号を基に光カードの記録面における欠
   陥領域の位置を判定する欠陥判定手段と、 を有することを特徴とする光カードの欠陥検査装置。
3. 【請求項３】 光カードに光ビームを照射し、光カード
   からの反射光に基づいて光カードの記録面上の欠陥を検
   査する欠陥検査装置において、 光カードと光ビームとを相対的にこの光カード記録面に
   沿う方向及びこれと交叉する方向に走査するとともに、
   前記各方向の走査位置信号を出力する走査駆動手段と、 前記光カードの記録面からの反射光を検出する検出手段
   と、 前記検出手段の検出信号の変化を基に前記光カードの記
   録面上の欠陥領域を判定し、前記走査駆動手段から出力
   される前記各方向の走査位置信号を基に光カードの記録
   面における欠陥領域の位置を判定する欠陥判定手段と、 を有することを特徴とする光カードの欠陥検査装置。