JP4386871B2 - 静的姿勢修正方法及び装置 - Google Patents

Description

本発明は、コンピュータ等の情報処理装置に内蔵されるハード・ディスク・ドライブ（ＨＤＤ「Hard Disk Drive」）のヘッド・サスペンション等に適用する静的姿勢修正装置に関する。

近年、ヘッド・サスペンションのヘッド部の静的姿勢角としてピッチ・ロール角の公差が縮小され、ピッチ・ロール修正工程は重要なものとなっている。

従来のピッチ・ロール修正工程では、例えばヘッド・サスペンション又はスライダを取り付けた状態のヘッド・ジンバル・アッセンブリ（以下「ヘッド・サスペンション等」と称す。）のフレキシャについてヘッド部のピッチ角、ロール角を予め測定し、このピッチ角、ロール角が目標のピッチ角、ロール角となるように選択した照射ラインにレーザー照射を順に行っている。

前記照射ラインの選択は、例えば次のようにして行われる。すなわちフレキシャのどこに、どのようにレーザー照射したら、ヘッド部でどのくらい角度が変化するのかという変化量のデータを複数のサンプルについてとる（以下「キャリブレーション」と称す。）。このキャリブレーション結果を元に、どことどこにレーザー照射を行うと目標の角度が得られるか、という照射ラインの組み合わせの全てを網羅した修正レシピ・テーブルを作成する。

そして、修正対象のヘッド・サスペンション等のフレキシャについて修正前に測定したヘッド部のピッチ角、ロール角が目標のピッチ角、ロール角となるために最少のレーザー照射回数で修正できるように照射ラインの組み合わせが修正レシピ・テーブルから修正レシピとして選択される。

前記レーザー照射は、前記選択された修正レシピに応じた修正対象のフレキシャの照射ラインに対して行われ、ヘッド部のピッチ角、ロール角が修正される。

しかし、前記最少のレーザー照射回数で修正する方法では、キャリブレーション結果のサンプル毎のばらつきが考慮されておらず、修正後のピッチ角、ロール角のばらつきが大きく、修正精度の面で問題があった。

特開２００２−７４６３０号公報

解決しようとする問題点は、修正後の静的姿勢角のばらつきが大きく、修正精度の面で問題となる点である。

本発明は、修正後の静的姿勢角のばらつきを抑制するため、修正レシピ・テーブルが、各平均の静的姿勢角変化値と各平均の静的姿勢角変化値に対するサンプル間でのばらつきとが関連するように作成され、修正レシピの選択は、目標の静的姿勢角特性を得るために複数の修正レシピ毎に決定される各修正対象個所にそれぞれ関連するばらつきが修正レシピ毎に累積された予想される合計のばらつきが小さくなるように行われることを静的姿勢角修正方法の主要な特徴とする。
また、修正レシピ・テーブル作成部は、各平均の静的姿勢角変化値と各平均の静的姿勢角変化値に対するサンプル間のばらつきとが関連するように修正レシピ・テーブルを作成し、修正レシピ選択部は、目標の静的姿勢角特性を得るために複数の修正レシピ毎に決定される各修正対象個所にそれぞれ関連するばらつきが修正レシピ毎に累積された予想される合計のばらつきが小さくなるように修正レシピを選択することを静的姿勢角修正装置の主要な特徴とする。

本発明の静的姿勢修正方法及び装置は、修正レシピ・テーブルが、各平均の静的姿勢角変化値と各平均の静的姿勢角変化値に対するサンプル間でのばらつきとが関連するように作成され、修正レシピの選択は、目標の静的姿勢角特性を得るために修正レシピで決定される各修正対象個所にそれぞれ関連するばらつきが累積された予想される合計のばらつきを小さくするように行われ、修正レシピ・テーブル作成部は、各平均の静的姿勢角変化値と各平均の静的姿勢角変化値に対するサンプル間のばらつきとが関連するように修正レシピ・テーブルを作成し、修正レシピ選択部は、目標の静的姿勢角特性を得るために複数の修正レシピ毎に決定される各修正対象個所にそれぞれ関連するばらつきが修正レシピ毎に累積された予想される合計のばらつきが小さくなるように修正レシピを選択するため、修正後の静的姿勢角のばらつきを抑制し、高い精度で静的姿勢角の修正を行わせることができる。

修正後の静的姿勢角のばらつきを抑制するという目的を、キャリブレーションでの静的姿勢角変化値のサンプル毎のばらつきを考慮することで実現した。

［静的姿勢修正装置］
図１，図２は、本発明実施例１を適用した静的姿勢修正装置に係り、図１は、静的姿勢修正装置の概念図、図２は、レーザー照射装置の概念図である。

図１のように、静的姿勢修正装置１は、ヘッド・サスペンション等３の搬送装置５に対して、静的姿勢測定部であるピッチ角、ロール角測定装置７、レーザー照射部であるレーザー照射装置９、及びコントローラ１１を備えている。

前記搬送装置５は、搬送ライン１３上を走行するサスペンション・セット治具１５を有し、サスペンション・セット治具１５にヘッド・サスペンション等３を支持して往復搬送する。

前記ピッチ角、ロール角測定装置７は、ヘッド・サスペンション等３のフレキシャ１７についてヘッド部１９のピッチ角、ロール角（静的姿勢角）を測定するものである。ピッチ角、ロール角の測定結果は、ピッチ角、ロール角測定装置７からコントローラ１１へ入力される。

前記レーザー照射装置９は、フレキシャ１７の後述する修正対象個所としての照射ラインにレーザー照射してヘッド部１９のピッチ角、ロール角を修正するものである。

前記コントローラ１１は、修正レシピ・テーブル作成部を構成し、ヘッド・サスペンション等３の複数のサンプルについてフレキシャ１７の各複数の照射ラインにレーザー照射を行って得た前記フレキシャ１７のヘッド部１９のピッチ角、ロール角変化値により予め修正レシピ・テーブルを作成し、記憶部に記憶している。この修正レシピ・テーブルの作成に際しては、キャリブレーション結果であるピッチ角、ロール角変化値のサンプル毎のばらつきを考慮している。詳細については後述する。

なお、修正レシピ・テーブルは、他の箇所で作成し、その結果をコントローラ１１に記憶させる構成にすることもできる。

前記コントローラ１１は、修正レシピ選択部を構成し、修正対象のフレキシャ１７につきヘッド部１９のピッチ角、ロール角の測定値に応じて目標のピッチ角、ロール角を得るために前記修正レシピ・テーブルから修正レシピを選択する。この場合、コントローラ１１は、目標のピッチ角、ロール角特性を得るために予想されるばらつきを小さくするように前記修正レシピを選択する。詳細については後述する。

前記コントローラ１１は、制御部を構成し、前記選択された修正レシピに応じた修正対象のフレキシャ１７の照射ラインに、レーザー照射を行わせるように前記レーザー照射装置９を制御する。

なお、修正レシピ選択部及び制御部を各別のユニットで構成することもできる。

前記レーザー照射装置９は、図２のように、サスペンション・セット治具１５に支持されたヘッド・サスペンション等３に対して上下からレーザー光を照射できるようになっている。但し、上下一方のみからレーザー光を照射できるようにすることもできる。サスペンション・セット治具１５には、規定高さセット・ピン２１が支持され、サスペンション・セット治具１５に支持されたヘッド・サスペンション等３についてヘッド部１９のレーザー照射装置９に対する高さを調整している。

そして、コントローラ１１の制御により搬送ライン１３上のサスペンション・セット治具１５がヘッド・サスペンション等３を支持しながら移動し、ピッチ角、ロール角測定装置７で位置決められる。

前記ピッチ角、ロール角測定装置７では、ヘッド部１９のピッチ角、ロール角が測定され、測定値がコントローラ１１に入力される。

前記コントローラ１１は、記憶している修正レシピ・テーブルから、ばらつきが最小となる照射ラインの組み合わせである修正レシピを選択する。

また、コントローラ１１の制御により、搬送ライン１３上のサスペンション・セット治具１５が再び移動し、ヘッド・サスペンション等３がレーザー照射装置９で位置決められる。

前記コントローラ１１は、前記選択された修正レシピに応じて修正対象のフレキシャ１７の照射ラインにレーザー照射し、ヘッド部１９のピッチ角、ロール角を修正する。

ピッチ角、ロール角修正後は、コントローラ１１により搬送ライン１３が逆に駆動され、再びピッチ角、ロール角を測定した後、修正後のヘッド・サスペンション等３がサスペンション・セット治具１５から取り出される。

［静的姿勢修正方法］
次に、本発明実施例１の静的姿勢修正方法を、最少のレーザー照射回数で修正する方法との比較において説明する。

図３は、前記ヘッド・サスペンション等３のフレキシャ１７について照射ラインを示す要部平面図である。

本実施例において、前記修正レシピ・テーブルは、フレキシャ１７の一面のみついて作成され、前記修正レシピは、フレキシャ１７の一面のみで選択される構成であるため、照射ラインとしては、フレキシャ１７の一面側（ディスク側）のみについてアウトリガー２３，２５に対称に設定している。一方のアウトリガー２３では、奇数番号のＦ１〜Ｆ１９まで、他方のアウトリガー２５では、偶数番号のＦ２〜Ｆ２０までそれぞれ１０本、計２０本の照射ラインを設定している。なお、照射ラインは、アウトリガー２３，２５以外に設定することもでき、フレキシャの反ディスク側の面のみに照射ラインを設定することもできる。

図３で示すＦ１〜Ｆ２０までの照射ラインにキャリブレーションを行った時の結果は、例えば図４のようになっている。キャリブレーションは、＃１〜＃６までの６個のサンプルで行った。図４（ａ）は、ピッチ成分のキャリブレーション結果を示す図表、（ｂ）は、ロール成分のキャリブレーション結果を示す図表である。

この図４の図表では、例えばＦ１にレーザー照射すると平均でピッチ角は０．３７４ｄｅｇ、ロール角は−０．１８４ｄｅｇ変化していることを示す。

この図４の図表を元にして、修正対象のフレキシャ１７の修正前のピッチ角、ロール角の測定値を基準に、どことどこにどの順でレーザー照射を行うと目標の角度が得られるか、という組み合わせの全てを網羅した修正レシピ・テーブルを作成する。

図５は、修正レシピ・テーブルをグラフ化したものであり、（ａ）は、ばらつきを考慮して修正する場合のイメージ図、（ｂ）は、最少のレーザー照射回数で修正する場合のイメージ図である。図５では、縦軸にピッチ角、横軸にロール角を取っている。

図５（ａ）（ｂ）の色の濃淡は、修正予想ばらつき情報を付加したものである。ピッチ角、ロール角共に異なる色合いで重ねており、最も薄い色合いの部分は、修正後の予想ばらつきが最も小さくなるエリアであり、最も濃い色合いの部分は、ピッチ角、ロール角の修正後の予想ばらつきが大きいエリアである。

まず、ばらつきを考慮しない最少のレーザー照射回数で修正する場合について説明する。

図５（ｂ）には、目標のピッチ角Ｐ＝１．５ｄｅｇ、ロール角Ｒ＝−０．１３ｄｅｇから目標のピッチ角，ロール角まで最少のレーザー照射回数で修正できるレシピを選択した場合を示している。キャリブレーションの結果から最少の照射回数で修正できるレシピが１つ選択される。この場合は、例えば、Ｆ１，Ｆ５，Ｆ１７，Ｆ１３の照射ラインの組み合わせに照射することで、目標の値に近づけることができる。キャリブレーションのデータをもとに予測すると、修正後のピッチ角は０．９３＋０．３７４＋０．２０３−０．０３１＋０．０１７＝１．４９３ｄｅｇ、ロール角は、−０．１３−０．１８４−０．０１８＋０．１４４＋０．１７９＝−０．００９ｄｅｇとなる。

この修正方法では、最少のレーザー照射回数で修正することはできるが、ばらつきが考慮されておらず、修正後のばらつきが大きく、精度的に問題がある。

それぞれの照射ライン毎の修正効果ばらつきをσ_１，σ_２，σ_３，・・・とし、累積の予測ばらつきσ_Ｔは、σ_Ｔ＝√σ_１ ^２＋σ_２ ^２＋σ_３ ^２＋・・・として求めることができ、上記最少の照射回数の場合の予測ばらつきの大きさによって、図５（ｂ）の修正前のピッチ角、ロール角に該当するブロックにばらつきの大きさによって色塗りされる。修正前の値が他の値の場合についても同様に修正レシピと予測ばらつきを求めることができ、全ての場合について行ったものが図５（ｂ）である。なお、色塗りされていない部分は、修正前の値がその領域にある場合、目標の値に修正できる修正レシピが存在しないことを示している。

これに対してばらつきを最少にできるレシピを選択した場合が図５（ａ）である。

ばらつきを考慮した図５（ａ）の修正レシピ・テーブルの場合、色の薄いばらつきの小さいエリアが、図５（ｂ）の修正レシピ・テーブルの場合に比較して大幅に拡大している。すなわち、ばらつきを考慮した修正レシピ・テーブルでは、精度良く修正できるエリアが拡大されたことになる。

図５（ａ）には、目標のピッチ角Ｐ＝１．５、ロール角Ｒ＝０とし、修正前のピッチ角０．９３ｄｅｇ，ロール角−０．１３ｄｅｇからばらつきが最も小さくなる修正レシピを選択して示している。選択した修正レシピは、例えばＦ５，Ｆ６，Ｆ７，Ｆ８，Ｆ１７の照射ラインの組み合わせである。前記同様に計算すると、修正後のピッチ角は、各修正対象個所でのサンプル間のばらつきσを合計して図４（ａ）より０．９３＋０．２０３＋０．２０５＋０．０８９＋０．０９４−０．０３１＝１．４９０ｄｅｇ、同ロール角は、図４（ｂ）より−０．１３−０．０１８−０．０１４＋０．０９４−０．０９１＋０．１４４＝−０．０１５ｄｅｇとなる。

そして、図５（ａ）の修正レシピによる修正前のピッチ角０．９３ｄｅｇ，ロール角−０．１３ｄｅｇからの修正では、修正予想ばらつき（修正誤差）は、図４（ａ）よりピッチ成分σ＝０．０２３＋０．０１９＋０．０１５＋０．０１４＋０．００４＝０．０７５ｄｅｇ，図４（ｂ）よりロール成分σ＝０．０２１＋０．０２８＋０．０１２＋０．００５＋０．０１１＝０．０７７ｄｅｇとなる。

図５（ｂ）の修正レシピ・テーブルの場合、修正前のピッチ角０．９３ｄｅｇ，ロール角−０．１３ｄｅｇから修正レシピＦ１，Ｆ５，Ｆ１７，Ｆ１３による修正では、修正予想ばらつきは、図４（ａ）よりピッチ成分σ＝０．１４７＋０．０２３＋０．００４＋０．０１２＝０．１８６ｄｅｇ，図４（ｂ）よりロール成分σ＝０．１８９＋０．０２１＋０．０１１＋０．０４０＝０．２６１ｄｅｇとなり、図５（ａ）の修正レシピ・テーブルに比較して大きなばらつきを持っている。

ずなわち、サンプル毎のばらつきを考慮した図５（ａ）の修正レシピ・テーブルを用いてばらつきを小さくするように修正レシピを選択することにより、図５（ｂ）の修正レシピ・テーブルを用いて最少のレーザー照射回数で修正する場合に比較して修正誤差をはるかに小さくでき、高い精度で修正することができる。

［制御フロー］
図６，図７は、前記静的姿勢修正装置１のコントローラ１１による制御に前記静的姿勢修正方法を適用したフローチャートを示し、図６は、キャリブレーションのフローチャート、図７は、修正のフローチャートである。
（キャリブレーション）
図６のキャリブレーションのフローチャートが実行されると、ステップＳ１において、「複数のレーザ照射ラインを決める」の処理により、修正対象箇所として例えば、図３のＦ１〜Ｆ２０の照射ラインが決定され、ステップＳ２へ移行する。

ステップＳ２では、「複数のサンプルについて、各レーザー照射ラインに照射したときのピッチ角、ロール角の変化量データを読み込む」の処理が実行される。すなわち、用意したヘッド・サスペンション等３の複数のサンプルについて、例えば図１の装置のレーザー照射装置９で各照射ラインにレーザー照射を行い、照射後のピッチ角、ロール角が、ピッチ角、ロール角測定装置７で測定され、コントローラ１１に入力されている。この入力されているピッチ角、ロール角の測定値が読み込まれ、ピッチ角、ロール角の変化量が演算されてステップＳ３へ移行する。

ステップＳ３では、「各レーザー照射ラインごとのピッチ角、ロール角の変化量の平均値およびばらつきを求める」の処理が実行される。この処理では、コントローラ１１において、前記演算されたピッチ角、ロール角の変化量から、ピッチ角、ロール角の変化量の平均値およびばらつきが演算され、ステップＳ４へ移行する。

ステップＳ４では、「照射ラインのすべての組み合わせによる予想修正量、予想ばらつきを求める」の処理が実行される。この処理では、コントローラ１１において、前記演算されたピッチ角、ロール角の変化量の平均値及びばらつきから、照射ラインＦ１〜Ｆ２０のすべての組み合わせによる予想修正量、予想ばらつきが演算され、処理が終了する。

このような処理により、例えば、図５（ａ）に示すイメージのばらつきを考慮した修正レシピ・テーブルがコントローラ１１の記憶部に記憶される。 （修正）
図７の修正のフローチャートが実行されると、ステップＳ１１において「製品のピッチ角、ロール角の測定値の読み込み」の処理が実行される。この処理では、修正対象のヘッド・サスペンション等３について前記ピッチ角、ロール角測定装置７で測定し入力されているピッチ角、ロール角の測定値が読み込まれ、ステップＳ１２へ移行する。

ステップＳ１２では、「目標の範囲内？」の処理が実行される。この処理では、ピッチ角、ロール角の測定値が予め設定されている目標値と比較され、目標値或いはその許容範囲内の値か否かが判断される。目標値或いはその許容範囲内である時は（ＹＥＳ）、修正の必要なしとして次工程に送られる。目標値或いはその許容範囲内ではない時は（ＮＯ）、ステップＳ１３へ移行する。

ステップＳ１３では、「キャリブレーションデータの中から、目標の範囲内に修正でき、かつ最もばらつきが小さくなると予想される照射ラインの組み合わせを選ぶ」の処理が実行される。この処理では、コントローラ１１において、図５（ａ）の修正レシピ・テーブルの中から、該当する照射ラインの組み合わせが修正レシピとして、例えば前記Ｆ５，Ｆ６，Ｆ７，Ｆ８，Ｆ１７のように選択され、ステップＳ１４へ移行する。

ステップＳ１４では、「レーザー修正実施」の処理が実行される。この処理では、図１においてコントローラ１１の制御によりヘッド・サスペンション等３がサスペンション・セット治具１５と共にレーザー照射装置９まで移動制御され、位置決められる。レーザー照射装置９は、前記選択された修正レシピに応じて制御され、フレキシャ１７の照射ラインＦ５，Ｆ６，Ｆ７，Ｆ８，Ｆ１７に対してレーザー照射を行ない、ステップＳ１５へ移行する。

ステップＳ１５では、「製品のピッチ角、ロール角の測定値の読み込み」の処理が実行される。この処理では、図１においてヘッド・サスペンション等３がサスペンション・セット治具１５と共にレーザー照射装置９からピッチ角、ロール角測定装置７まで移動制御されて位置決められる。ピッチ角、ロール角測定装置７では、修正後のヘッド・サスペンション等３についてピッチ角、ロール角を測定しコントローラ１１へ入力する。コントローラ１１では、入力された測定値を読み込み、ステップＳ１６へ移行する。

ステップＳ１６では、「目標の範囲内？」の処理が実行される。この処理は前記ステップＳ１２と同様であり、ピッチ角、ロール角の測定値が予め設定されている目標値と比較され、目標値或いはその許容範囲内である時は（ＹＥＳ）、ステップＳ１７へ移行し、目標値或いはその許容範囲内ではない時は（ＮＯ）、ステップＳ１８へ移行する。

ステップＳ１７では、「次工程へ」の処理が実行され、ヘッド・サスペンション等３がサスペンション・セット治具１５から取り出されて次工程へ移送される。

ステップＳ１８では、「廃却」の処理が実行され、ヘッド・サスペンション等３がサスペンション・セット治具１５から取り出されて廃却部へ移送される。

［実施例１の効果］
以上のように本発明実施例１の静的姿勢修正方法及び装置は、修正レシピ・テーブルが、キャリブレーションでのピッチ角、ロール角変化値のばらつきを考慮して作成され、修正レシピが、目標のピッチ角、ロール角特性を得るために予想されるばらつきを小さくするように選択されるため、修正後のピッチ角、ロール角のばらつきを抑制し、高い精度でピッチ角、ロール角の修正を行わせることができる。

また、コントローラ１１は、前記修正レシピ・テーブルを前記修正対象のフレキシャ１７の一面のみについて作成し、前記修正レシピをフレキシャ１７の一面のみについて選択するため、演算量の増大を抑制し、迅速な処理或いは装置の小型化を可能とする。

本実施例２では、図１等を共用して説明すると、コントローラ１１が、前記修正レシピ・テーブルを修正対象のフレキシャ１７の両面について作成し、修正レシピをフレキシャ１７の両面について選択するようにしたものである。

図８は、ヘッド・サスペンション等３のフレキシャについて照射ラインを示し、（ａ）は、ディスク側の面における要部平面図、（ｂ）は、反ディスク側の面における要部平面図である。

図８（ａ）では、フレキシャ１７のディスク側の面に図３と同一の修正対象箇所として照射ラインを設定した状態を示し、（ｂ）では、反ディスク側の面にも照射ラインを設定した状態を示している。反ディスク側の面では、ロード・ビーム２７が存在するため、照射ラインを設定するスペースが若干少なくなり、アウトリガー２５側で奇数番号のＧ１〜Ｇ１７の９本、アウトリガー２３側で偶数番号のＧ２〜Ｇ１８の９本、計１８本の照射ラインを設定している。反ディスク側の面の照射ラインは、ディスク側の面の対応する照射ラインに対し表裏同一位置の設定となっている。但し、照射ラインは、表裏同一位置でない選択も可能である。

図９は、修正レシピ・テーブルをグラフ化したものであり、（ａ）は、ばらつきを考慮したイメージ図、（ｂ）は、最少のレーザー照射回数で修正する場合のイメージ図である。図９では、縦軸にピッチ角、横軸にロール角を取っている。

本実施例でも、ばらつきを考慮した図９（ａ）の修正レシピ・テーブルの場合、色の薄いばらつきの小さいエリアが図９（ｂ）の修正レシピ・テーブルの場合に比較して大幅に拡大している。すなわち、ばらつきを考慮した修正レシピ・テーブルでは、精度良く修正できるエリアが拡大されたことになる。

図９（ａ）（ｂ）の何れの場合も、ディスク側の面の修正を（上）とし、反ディスク側の面の修正を（下）とし、修正レシピ・テーブルが修正対象のフレキシャ１７の両面について作成され、修正レシピがフレキシャ１７の両面について選択されている。

そして、図９（ｂ）の修正レシピ・テーブルの場合、選択した修正レシピは、例えばＦ１０上，Ｆ１３上，Ｆ１５上，Ｇ１５下の照射ラインの組み合わせである。修正前のピッチ角１．３２ｄｅｇ，ロール角−０．４３ｄｅｇからの修正では、修正予想ばらつきは、ピッチ成分σ＝０．０８８ｄｅｇ，ロール成分σ＝０．１９９ｄｅｇとなり、大きなばらつきを持っている。このため、修正誤差が大きくなる。

これに対し、図９（ａ）の修正レシピ・テーブルの場合、選択した修正レシピは、例えばＦ２上，Ｆ４上，Ｆ６上，Ｆ１１上，Ｆ１５上，Ｇ２下の照射ラインの組み合わせである。修正前のピッチ角１．３２ｄｅｇ，ロール角−０．４３ｄｅｇからの修正では、修正予想ばらつきは、ピッチ成分σ＝０．０２８ｄｅｇ，ロール成分σ＝０．０５２ｄｅｇとなり、修正誤差をはるかに小さくできる。

従って、本実施例でも実施例１と同様な効果を奏することができる。また、本実施例では、修正レシピ・テーブルを修正対象のフレキシャ１７の両面について作成し、修正レシピをフレキシャ１７の両面について選択するようにしたため、より精度のよい修正を行わせることができる。

静的姿勢修正装置の概念図である（実施例１）。 レーザー照射装置の概念図である（実施例１）。 ヘッド・サスペンション等のフレキシャについて照射ラインを示す要部平面図である（実施例１）。 （ａ）は、ピッチ成分のキャリブレーション結果を示す図表、（ｂ）は、ロール成分のキャリブレーション結果を示す図表である（実施例１）。 修正レシピ・テーブルをグラフ化したものであり、（ａ）は、ばらつきを考慮したイメージ図、（ｂ）は、最少のレーザー照射回数で修正する場合のイメージ図である（実施例１）。 キャリブレーションのフローチャートである（実施例１）。 修正のフローチャートである（実施例１）。 ヘッド・サスペンション等のフレキシャについて照射ラインを示し、（ａ）は、ディスク側の面における要部平面図、（ｂ）は、反ディスク側の面における要部平面図である（実施例２）。 修正レシピ・テーブルをグラフ化したものであり、（ａ）は、ばらつきを考慮したイメージ図、（ｂ）は、最少のレーザー照射回数で修正する場合のイメージ図である（実施例２）。

符号の説明

１ 静的姿勢修正装置
３ ヘッド・サスペンション等（ヘッド・サスペンション又はヘッド・ジンバル・アッセンブリ）
７ ピッチ角、ロール角測定装置（静的姿勢測定部）
９ レーザー照射装置（レーザー照射部）
１１ コントローラ（修正レシピ・テーブル作成部、修正レシピ選択部、制御部）
１７ フレキシャ
１９ ヘッド部

Claims (4)

1. ヘッド・サスペンション又はヘッド・ジンバル・アッセンブリの複数のサンプルについてフレキシャの各複数の修正対象個所にレーザー照射を行って得た前記フレキシャのヘッド部の静的姿勢角変化値により各修正対象個所での平均の静的姿勢角変化値の組み合わせとして修正レシピを複数備えた修正レシピ・テーブルを予め作成し、
   修正対象のヘッド・サスペンション又はヘッド・ジンバル・アッセンブリのフレキシャのヘッド部について静的姿勢角を測定し、
   該静的姿勢角の測定値に応じて目標の静的姿勢角を得るために前記修正レシピ・テーブルから前記修正レシピの一つを選択し、
   該選択された修正レシピに応じた前記修正対象のフレキシャの修正対象個所にレーザー照射して前記ヘッド部の静的姿勢角を修正する静的姿勢修正方法であって、
   前記修正レシピ・テーブルは、前記各平均の静的姿勢角変化値と前記各平均の静的姿勢角変化値に対するサンプル間でのばらつきとが関連するように作成され、
   前記修正レシピの選択は、目標の静的姿勢角特性を得るために前記複数の修正レシピ毎に決定される各修正対象個所にそれぞれ関連する前記ばらつきが修正レシピ毎に累積された予想される合計のばらつきが小さくなるように行われる
   ことを特徴とする静的姿勢修正方法。
2. 請求項１記載の静的姿勢修正方法であって、
   前記修正レシピ・テーブルは、前記修正対象のフレキシャの一面のみについて又は両面について作成され、
   前記修正レシピは、前記修正対象のフレキシャの一面のみについて又は両面について選択される
   ことを特徴とする静的姿勢修正方法。
3. ヘッド・サスペンション又はヘッド・ジンバル・アッセンブリの複数のサンプルについてフレキシャの各複数の修正対象個所にレーザー照射を行って得た前記フレキシャのヘッド部の静的姿勢角変化値により各修正対象個所での平均の静的姿勢角変化値の組み合わせとして修正レシピを複数備えた修正レシピ・テーブルを予め作成する修正レシピ・テーブル作成部と、
   修正対象のヘッド・サスペンション又はヘッド・ジンバル・アッセンブリのフレキシャのヘッド部について静的姿勢角を測定する静的姿勢測定部と、
   前記修正対象のフレキシャの修正対象個所にレーザー照射してヘッド部の静的姿勢角を修正するレーザー照射部と、
   前記静的姿勢角の測定値に応じて目標の静的姿勢角を得るために前記修正レシピ・テーブルから前記修正レシピの一つを選択する修正レシピ選択部と、
   前記選択された修正レシピに応じた前記修正対象のフレキシャの修正対象個所に、前記レーザー照射を行わせるように前記レーザー照射部を制御する制御部とを備え、
   前記修正レシピ・テーブル作成部は、前記各平均の静的姿勢角変化値と前記各平均の静的姿勢角変化値に対するサンプル間のばらつきとが関連するように前記修正レシピ・テーブルを作成し、
   前記修正レシピ選択部は、目標の静的姿勢角特性を得るために前記複数の修正レシピ毎に決定される各修正対象個所にそれぞれ関連する前記ばらつきが修正レシピ毎に累積された予想される合計のばらつきが小さくなるように前記修正レシピを選択する
   ことを特徴とする静的姿勢修正装置。
4. 請求項３記載の静的姿勢修正装置であって、
   前記修正レシピ・テーブル作成部は、前記修正レシピ・テーブルを前記修正対象のフレキシャの一面のみ又は両面について作成し、
   前記修正レシピ選択部は、前記修正レシピを前記修正対象のフレキシャの一面のみで選択し又は両面に渡って選択する
   ことを特徴とする静的姿勢修正装置。

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