JP4854684B2 - ヘッドサスペンションの修正方法及び製造方法、ヘッドサスペンション、並びに薄板の加工方法 - Google Patents

Description

本発明は、ハードディスクドライブの磁気ヘッドスライダ（以下、「磁気ヘッド」という。）を支持するヘッドサスペンションの荷重及び姿勢角を修正するためのヘッドサスペンションの修正方法に係り、特に、複数回の修正を要する場合であっても、その修正作業を高精度で行うことが可能なヘッドサスペンションの修正方法及び製造方法、ヘッドサスペンション、並びに薄板の加工方法に関する。

近年、ハードディスクドライブの記録密度が飛躍的に向上し、これに伴い、磁気ヘッドを支持するためのヘッドサスペンションに対する精度要求が相当に厳しくなってきている。磁気ヘッドは、所定の圧力によりディスク上に押し当てられ、かつ、ディスクの回転時に所定間隔をもって空力的に浮上するため、ヘッドサスペンションの荷重及び微小なロール角、ピッチ角が浮上姿勢に大きな影響を及ぼす。このため、製造工程段階で個々のヘッドサスペンション毎に、荷重、及びロール角、ピッチ角（以下、「姿勢角」と総称する場合がある。）の修正を行なうようにしている。

ところで、従来の荷重及び姿勢角の修正は、ロードビームやフレキシャ先端のアウトリガーを把持し、曲げ・ねじり等の変位を与えることで機械的に行っていた。この場合、アウトリガーを機械的に把持することから、製品形状に合わせた治具の準備と、治具移動及び把持等を含む加工に長時間を要し、修正作業に係る工数の増大を招来していた。

かかる課題を解決するために、レーザ光をヘッドサスペンションに照射することで、当該照射部位に熱変形を生じさせることを通じて、荷重及び姿勢角の修正を行う技術が提案されている（例えば特許文献１参照）。また、本願出願人は、ヘッドサスペンションの荷重曲げ部及び姿勢角調整部にレーザ照射領域を設定し、同レーザ照射領域に所定の長さ及び形状のレーザ光を照射することで、荷重曲げ部及び姿勢角調整部をレーザの照射態様に従い湾曲させることを通じて、ヘッドサスペンションの荷重曲げ部及び姿勢角調整部の曲げ修正を精度よく行う技術を提案している（特許文献２参照）。

ところで、最近のヘッドサスペンションの製造に係る要求精度のさらなる向上に伴い、ヘッドサスペンション製造時におけるばらつき低減が強く求められている。そこでは、例えば次述のケースにおいて、荷重及び姿勢角の修正を複数回にわたり行う必要が生じてくる。すなわち、既に修正（通常は第一回目の修正を意味するが、第二回目以上の修正を含む。以下、同様とする。）を行ったにもかかわらず、許容公差範囲内に収束していないヘッドサスペンションを再修正する場合、又は、既に修正を行ってあるヘッドサスペンションに磁気ヘッドを実装してヘッドジンバルアセンブリ（以下、「ＨＧＡ」と省略する場合がある。）を構成した後、同ヘッドサスペンションを再修正する場合、又は、ＨＧＡを構成した後の検査工程において、磁気ヘッドの特性不良等を検出した場合に、ヘッドサスペンション上の磁気ヘッドを良品に交換してＨＧＡを再生する（例えば特許文献３参照）場合（かかるＨＧＡ再生前ないし後に、ヘッドサスペンションを再修正する必要が生じる。）、などがそれである。

しかし、本発明者の研究によると、例えば、第一回目の修正後に第二回目の修正を行うなど、複数回にわたる修正を行うに際して、同一の対象部位で同一の照射履歴をなぞるようにレーザ光照射を行った場合には、その修正作業を高精度で行うことが難しくなることが判明した。すなわち、第一回目の修正に係るレーザ光照射を行った後に、同一の対象部位で同一の照射履歴をなぞるように再照射しても、荷重及び姿勢角はほとんど変化しないのである。これは、レーザ光照射による荷重及び姿勢角制御では、照射面側と非照射面（裏面）側との熱応力差に由来する曲げ加工を基本原理としているからであると考えられる。このため、既にレーザ光照射に係る入熱を受けている部位では、再度のレーザ光照射に係る入熱に対する内部応力の変化量が少なくなる結果として、本来の曲げ量よりも実際の曲げ量が少なくなってしまい、これが繰り返し修正作業に係る誤差を生む主因となっていたのである。

そこで、ヘッドサスペンション等の薄板に対して複数回にわたる修正を繰り返し行った場合であっても、その修正作業を高精度で行うことが可能な新規技術の開発が、一部関係者の間で強く要請されていた。
特開２０００−３３９８９４号公報 特開２００４−８２１６１号公報 特開２００２−９３０９２号公報

解決しようとする問題点は、複数回にわたる修正を繰り返し行った場合であって、例えば第一回目の修正と第二回目の修正を行うに際して、同一の照射履歴をなぞるようにレーザ光照射を行った場合には、その修正作業を高精度で行うことが困難であった点である。

読み取り書き込み用のヘッドを実装する前、又は実装した後のヘッドサスペンションにおける修正対象部位にレーザ光を照射することで曲げ修正を行うヘッドサスペンションの修正方法であって、前記曲げ修正に係るレーザ光の照射は、所定長で所定方向に複数のスポット照射を直線的に行い、前記修正対象部位に複数の連続した照射痕からなる照射履歴を形成させ、前記複数のスポット照射は、隣接する照射痕の間隔設定により、各照射履歴での曲げ修正の誤差を生じさせる前記照射痕の高照射エネルギー密度によって形成された部分相互の重複を抑制し、前記直線的なレーザ光の照射を複数回にわたり行うに際し、後の直線的な照射の方向を既修正に係る直線的な照射の方向と交差させることで、前記既修正に係る照射及び後の照射による照射履歴を相互に交差させ、前記照射履歴の交差による重なり部分を、前記照射履歴の交差角度の増加と前記重なり部分に係る占有面積の減少との相関関係に基づいて高精度の曲げ修正が可能な占有面積とする、ことを最も主要な特徴とする。

本発明に係るヘッドサスペンションの修正方法は、読み取り書き込み用のヘッドを実装する前、又は実装した後のヘッドサスペンションにおける修正対象部位にレーザ光を照射することで曲げ修正を行うヘッドサスペンションの修正方法であって、前記曲げ修正に係るレーザ光の照射は、所定長で所定方向に複数のスポット照射を直線的に行い、前記修正対象部位に複数の連続した照射痕からなる照射履歴を形成させ、前記複数のスポット照射は、隣接する照射痕の間隔設定により、各照射履歴での曲げ修正の誤差を生じさせる前記照射痕の高照射エネルギー密度によって形成された部分相互の重複を抑制し、前記直線的なレーザ光の照射を複数回にわたり行うに際し、後の直線的な照射の方向を既修正に係る直線的な照射の方向と交差させることで、前記既修正に係る照射及び後の照射による照射履歴を相互に交差させ、前記照射履歴の交差による重なり部分を、前記照射履歴の交差角度の増加と前記重なり部分に係る占有面積の減少との相関関係に基づいて高精度の曲げ修正が可能な占有面積とする。
すなわち、本発明に係るヘッドサスペンションの修正方法では、複数回の曲げ修正に係るレーザ光の照射を行うに際しては、後の直線的な照射の方向を、既修正に係る直線的な照射の方向と交差させ、換言すれば、後の直線的な照射の方向が、既修正に係る直線的な照射の方向との間で所定の角度をなすようにしたので、複数回の曲げ修正に係るレーザ光照射履歴の重なり部分に係る占有面積を可及的に抑制することができる。
従って、複数回にわたる修正を繰り返し行う際に、修正作業に係る誤差を生む主因となる、両照射履歴の重なり部分に係る占有面積を可及的に抑制して高精度の曲げ修正が可能な占有面積とする結果として、複数回にわたる修正を繰り返し行った場合であっても、その修正作業を高精度で行うことができる。

複数回にわたる修正を繰り返し行った場合であっても、その修正作業を高精度で行うことが可能な薄板の加工方法を提供するといった目的を、直線的なレーザ光の照射を複数回にわたり行うに際し、後の直線的な照射の方向を、既修正に係る直線的な照射の方向と交差させることで実現した。

以下、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの修正方法及び製造方法、ヘッドサスペンション、並びに薄板の加工方法について、図面を参照しつつ詳細に説明する。

初めに、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの修正方法及び製造方法を実施する際に用いられるヘッドサスペンション修正装置について説明する。

［ヘッドサスペンション修正装置］
図１は、ヘッドサスペンション修正装置の全体構成図、図２は、図１に示したヘッドサスペンション修正装置の機能部に係る構成を示す機能ブロック図、図３は、ヘッドサスペンションを修正装置に固定した状態を示す説明図である。

図１に示すように、ヘッドサスペンションにおける所要の対象部位に対する曲げ修正を行う際に用いられるヘッドサスペンション修正装置１００は、荷重測定装置１と、姿勢角測定装置２と、レーザマーカ３と、ヘッドサスペンション２００を搬送するためのワーク搬送装置４と、主制御装置５と、レーザマーカ本体６と、を備えて構成されている。

搬送装置４は、搬送ステージ７上にヘッドサスペンション２００を仮固定した状態で移動させ、荷重測定装置１、姿勢角測定装置２、レーザマーカ３の下方にそれぞれ位置決め可能に構成されている。搬送ステージ７は、サーボモータ８、ボールねじ９、及び直動案内部１０により移動制御される。なお、前記仮固定の方法は、例えばヘッドサスペンション２００を搬送ステージ７上に冶具１１（図３中点線で示す）により挟んで固定する。これ以外の仮固定手段としては、吸引装置、ボルト止め、マグネット等の各種手段を挙げることができる。搬送ステージ７や仮固定手段（１１）には、これらを駆動制御するための駆動制御部（図示省略）が設けられており、各駆動制御部は主制御装置５に接続されて、主制御装置５により各部の動作制御が行われるように構成されている。

荷重測定装置１は、ヘッドサスペンション２００の特定部位を所定量押圧するプローブ１２と、プローブ１２に設けたロードセル１３と、から構成される。プローブ１２の上下移動は、直動案内部を備えたサーボモータ１４（またはステッピングモータ）及びボールねじ１５の組合せ、或いは油圧シリンダ（不図示）を用いた上下移動用アクチュエータにより行う。プローブ１２の先端１２ａは略球形状となっており、ヘッドサスペンション２００の磁気ヘッド搭載部（具体例は後述する）に押し当てられる。このときの押し込み量は一定であり、そのときのロードセル１３の出力電圧信号が主制御装置５に送られる。主制御装置５は、前記出力電圧信号に基づいてヘッドサスペンション２００の荷重を演算する。

姿勢角測定装置２は、例えばヘッドサスペンション２００の磁気ヘッド搭載部に対してレーザ光を照射するレーザ光源１６と、前記磁気ヘッド搭載部で反射したレーザ光を受けるＣＣＤ１７及び信号増幅器（ＡＭＰ）１８を有する受光部１９と、から構成される。ＣＣＤ１７の受光信号は主制御装置５に送信され、主制御装置５では、前記レーザ光の反射光の位置に基づいてヘッドサスペンション２００の曲り姿勢角を演算する。なお、荷重測定装置１と姿勢角測定装置２とは、レーザマーカ３の修正工程の上流側に位置している。また、レーザ光源１６の種類としては、例えば、半導体レーザ、ＹＡＧレーザ、炭酸ガスレーザなどのなかから適宜のものを用いることができる。なお、これらのレーザ照射条件は、ワークの材質等に応じて適切とされる条件が異なってくる。従って、本発明実施例に係る修正方法を実施するにあたっては、ワークの材質等に応じた適切なレーザ照射条件を適宜設定すればよい。

一般的なレーザマーカは、ワークに対してレーザ光を照射し、吸収熱によりワーク表面を蒸発、改質、或いは変色させることで、当該レーザ照射部位とレーザ照射していない部位とを異なる見え方に加工する機能を有している。本発明では、上述した如く一般的なレーザマーカ３を本発明の修正方法に係る実施装置として適用することで、ヘッドサスペンション修正装置を構成している。従って、レーザ照射によるヘッドサスペンション修正を施すにあたっては、レーザマーカに備えられているアプリケーションをそのまま使用することができる。すなわち、レーザ照射によってヘッドサスペンション２００に描くマーク（「キャラクタ」と呼ぶ場合がある。）としては、本来的にレーザマーカに予め備えられている、文字、図形、若しくは記号、又はこれらの組み合わせに係るマークのうち、適宜のマークを採用すればよい。

レーザマーカ３は、レーザマーカヘッド２０と、光ファイバ等の導光路２１を介して接続されるレーザマーカ本体６と、からなる。レーザマーカ３本体内で発振出力されたレーザ光は、導光路２１内を伝送し、レーザマーカヘッド２０経由でヘッドサスペンション２００に向けて照射される。レーザマーカヘッド２０は、ＸＹ方向のガルバノスキャナミラー２２によりレーザビームを偏向させ、集光レンズ２３でエネルギー密度分布が適切に調整されたレーザ光をヘッドサスペンション２００に向けて照射する。レーザマーカ本体６には、レーザ発振部２４及び発振制御部２５が内蔵されている。レーザ発振部２４は、発振媒体（例えばＹＡＧ等）をフラッシュランプ、ＬＤ（レーザダイオード）等により励起させてレーザ光を発振出射させるものである。また、発振制御部２５は、レーザ発振とミラー駆動を同期させ、狙った特定部位にレーザ光を照射するようにレーザマーカヘッド２０を制御する機能を有している。具体的には、例えば、シングルモードレーザを用いた場合にはレーザスポット径を小さくできるので、後述するように配線間の狭い部分であっても狙った部位に確実に照射することができる。また、ガルバノヘッドからのレーザ光を長焦点距離レンズで集光し、深い焦点深度が得られるように調整すれば、レーザマーカヘッド２０とヘッドサスペンション２００間の距離が多少変化したとしても、レーザ光照射部位におけるエネルギー密度の変化を可及的に抑制することができる。従って、通常では、レーザマーカヘッド２０とヘッドサスペンション２００間の距離が変化した場合には、精密な焦点距離制御を行うことが必要であるのに対し、本例ではかかる精密な焦点距離制御が不要となる。

主制御装置５は、ヘッドサスペンション２００に係る荷重設定値を記憶する荷重設定値記憶部５１と、荷重測定装置１の出力信号及び前記設定した荷重設定値に基づいて荷重調整量を演算する荷重調整量演算部５２と、各荷重に対応付けて、荷重キャラクタ（照射されるキャラクタのバリエーション）の組合せに係るデータを記憶する荷重データベース５３と、荷重調整量演算部５２で演算された荷重調整量及び荷重データベース５３の記憶内容に基づいて、複数の荷重キャラクタの組合せに係るデータのうち、適正荷重に修正するために相応しい荷重キャラクタの組合せに係るデータを選択する荷重キャラクタ組合せ選択部５４と、を備えて構成されている。

また、主制御装置５は、ヘッドサスペンション２００に係る姿勢角設定値を記憶する姿勢角設定値記憶部５５と、姿勢角測定装置２の出力信号及び前記設定した姿勢角設定値に基づいて姿勢角調整量を演算する姿勢角調整量演算部５６と、各姿勢角に対応付けて、姿勢角キャラクタ（照射されるキャラクタのバリエーション）の組合せに係るデータを記憶する姿勢角データベース５７と、姿勢角調整量演算部５６で演算された姿勢角調整量及び姿勢角データベース５７の記憶内容に基づいて、複数の姿勢角キャラクタの組合せに係るデータのうち、適正姿勢角に修正するために相応しい姿勢角キャラクタの組合せに係るデータを選択する姿勢角キャラクタ組合せ選択部５８と、を有する。

さらに、主制御装置５は、荷重キャラクタ組合せ選択部５４で選択された荷重キャラクタ並びに姿勢角キャラクタ組合せ選択部５８で選択された姿勢角キャラクタを加算するとともに、加算されたキャラクタコードを次述するレーザマーカ３宛に送出する加算部５９を有する。以上のように構成された主制御装置５は、上述した各種機能を、ＣＰＵやメモリ等のハードウエア及び所定のソフトウエアによって実現するように構成されている。

一方、レーザマーカ３の一部を構成する発振制御部２５は、キャラクタ設定コードを格納するキャラクタ設定コード記憶部６１と、キャラクタ設定コード記憶部６１に記憶されているキャラクタ設定コードを参照して、加算部５９から送出されてきたキャラクタコードをデコードし、キャラクタを照射形状（「照射形状」とは、レーザ光のスポット照射を行うに際し、各照射痕毎のバリエーション（例えば、照射痕が文字か、図形か、記号か、などを含む。）を意味する。以下、同じ。）の情報に変換するキャラクタ変換部６２と、キャラクタ変換部６２で変換された照射形状の情報に基づいて、実際にレーザ照射する位置及び形状に係る情報に変換するとともに、変換された位置及び形状に係る情報をレーザマーカヘッド２０宛に送出するレーザ照射位置変換部６３と、を有している。こうした各種機能部を有する発振制御部２５は、上述した各種機能を、ＣＰＵやメモリ等のハードウエア及び所定のソフトウエアによって実現するように構成されている。

次に、上述したヘッドサスペンション修正装置により修正が行われるヘッドサスペンションについて説明する。

［曲げ修正の対象となるヘッドサスペンション］
図４は、曲げ修正の対象となるヘッドサスペンションの一例を示す斜視図、図５は、ヘッドサスペンションの荷重曲げ部におけるレーザ照射領域を示す説明図、図６は、ヘッドサスペンションの姿勢角調整部におけるレーザ照射領域を示す説明図、図７は、レーザ照射形状をキャラクタ登録する場合の、キャラクタの一例を示す説明図である。

図４に示すように、ヘッドサスペンション２００は、ベースプレート２０１に、荷重曲げ部２０２を介してロードビーム２０３を設けて構成されており、ロードビーム２０３の先端にはフレキシャ２０４がスポット溶接されている。ロードビーム２０３は、精密な薄板ばねから構成されて、後述する磁気ヘッド２０９に負荷荷重を与える機能を有している。ロードビーム２０３の材料としては、例えばＳＵＳ３０４あるいはＳＵＳ３０５などのオーステナイト系ステンレス鋼からなる金属板（板厚が例えば数１０μｍ程度から１００μｍ程度）が好適に用いられる。フレキシャ２０４は、図６に示すように、ジンバルばね部２０５、アウトリガー２０６、ヘッドサスペンションアーム取付部２０７、及び磁気ヘッド搭載部２０８から構成されている。磁気ヘッド搭載部２０８には、ロードビーム先端に形成されたディンプル２０８ａが接している。ディンプル２０８ａは、ヘッドを搭載した際、その略中央に位置する。

ヘッドサスペンションアーム取付部２０７は、ロードビーム２０３に取り付けられる。フレキシャ２０４は、ステンレス板を所定形状にエッチング或いは打ち抜きプレス加工することで形成される。浮上のための磁気ヘッド２０９は磁気ヘッド搭載部２０８に設けられ、磁気ヘッド２０９端部には磁気ヘッド素子２１０が設けられる（図中点線で示す）。なお、ベースプレート２０１とロードビーム２０３とは、一体成形ではなく別部材をスポット溶接によって接合する構成であっても良い。このとき、ロードビーム２０３と荷重曲げ部２０２が一体となり、荷重曲げ部２０２の一部又は全体をパーシャルエッチングなどによって板厚を薄くした構造とすることができる。或いは、別体である荷重曲げ部２０２をロードビーム２０３にヒンジ状に固定した構造とし、この荷重曲げ部２０２をベースプレート２０１にスポット溶接によって固定するように構成しても良い。

荷重曲げ部２０２は、磁気ヘッド搭載部２０８において適正な荷重が得られるように予めプレス等でピッチ方向（図４参照）に曲げ成形されている。ヘッドサスペンション２００の曲げ成形は、上述したように機械的に行われるため、磁気ヘッド搭載部２０８に適正荷重が加わるように当該荷重を修正する必要がある。また、磁気ヘッド搭載部２０８がハードディスクドライブのディスクに対して適正な角度（姿勢角）で相対するように当該角度を修正する必要がある。

図５及び図６に示すように、荷重曲げ部２０２は、ベースプレート２０１とロードビーム２０３との間を、例えば一対の脚部を介して架け渡すように位置している。なお、荷重曲げ部２０２は、必要に応じて薄肉に形成することができる。この荷重曲げ部２０２には、曲げ修正に係るレーザ照射領域（本発明の「対象部位」に相当する。以下、同じ。）２１１が設定されている。ここで、本発明実施例でいう「レーザ照射領域」とは、レーザ光を照射するのに適切な範囲をいう（以下、同じ）。詳しくは後述するが、演算により求められたレーザ光の照射長さや形状に従って、レーザ照射領域２１１の範囲内でレーザ光照射が行われることになる。荷重曲げ部２０２のレーザ照射領域２１１では、例えば、４種類の長さにわたりレーザ照射を行うことが想定されており、この場合、修正の程度（荷重調整量）に応じて適当な長さが選択されることになる。このレーザ照射領域２１１の左右対称な修正は、ヘッドサスペンション２００をピッチ方向に湾曲させることになる。

また、図６に示すように、姿勢角調整部２１２におけるレーザ照射領域（対象部位）２１３，２１４は、アウトリガー２０６のベース板２０４ａ部分から延出した直線部２０６ａに設定される一方、直線部２０６ａからジンバルばね部２０５に至る曲り部２０６ｂにそれぞれ設定されている。

ここで、曲げ修正に係る効果を概略的に説明すると、図６に示すように、磁気ヘッド搭載部の中央位置（一般にはディンプル２０８ａの位置）を中心としてＸＹ軸をとった場合、アウトリガー部の範囲II及び範囲IIIに係るレーザ照射領域へのレーザ照射によりロール角（図４参照）がマイナス修正され、範囲Ｉ及び範囲IVに係るレーザ照射領域へのレーザ照射によりロール角がプラス修正される。また、ジンバルばね部２０５の中心を境界とした領域Ｖ（第一領域）に係るレーザ照射領域へのレーザ照射によりピッチ角（図４参照）がプラス修正され、領域VI（第二領域）に係るレーザ照射領域へのレーザ照射によりピッチ角がマイナス修正される。従って、これらを組合せることにより、ロール角及びピッチ角を狙った値に修正することができる。

なお、図４乃至図６に示したヘッドサスペンション２００は一例であり、これ以外の形状を呈するヘッドサスペンションであっても、荷重及び姿勢角を支配する部位（荷重及び姿勢角の変動に影響を与える部位）に対して上記レーザ照射領域を適宜設けることができることは言うまでもない。また、そのレーザ照射領域の形状等についても、そのヘッドサスペンションの形状や材質等の諸条件を勘案して決定される。従って、全てのヘッドサスペンションに対して一義的にその形状等を決定することはできない。レーザ照射領域（対象部位）は、経験的に或いはコンピュータによるシミュレーションによりその形状や位置等を設定することができる。

図６に示すように、レーザ照射領域（対象部位）２１３，２１４は、アウトリガー２０６と磁気ヘッド搭載部２０８との間に位置する配線領域２１５ａに重ならないように設定される。配線領域２１５ａには、例えばパターニングされた銅と絶縁層を含む配線部（例えばフレキシブル基板等）が配置され、実際にはアウトリガー２０６から離れて浮いた状態になっている。この配線領域２１５ａにレーザ光を照射すると、配線に対する熱負荷が過大になる等に起因して、断線や配線不良が生じる恐れがある。また、フレキシブル基板が焼ける恐れもある。そこで、同図に示すように、配線領域２１５ａを避けてレーザ照射領域（対象部位）２１３，２１４を設定することで、配線領域２１５ａ上にレーザ光が照射されることがないようにしている。このため、レーザ光に起因した断線等の不具合の発生を未然に抑止することができる。

本発明に係るヘッドサスペンションの修正方法は、ヘッドサスペンション２００における曲げ修正に係る対象部位にレーザ光を照射することでその熱変形を利用し、荷重及び姿勢角の修正を行おうとするものである。このため、レーザ光照射に従う熱変形量を、レーザ照射領域２１１，２１３，２１４ごとに予め取得することでデータベース化しておく必要がある。具体的には、例えば図５及び図６に示すように、レーザ照射領域２１１，２１３，２１４に所定の形状及び長さの照射履歴をもってレーザ光照射を行うと、かかるレーザ光照射により荷重曲げ部２０２、姿勢角調整部２１２の変位が変わるので、この関係を実験的或いはシミュレーションにより取得してデータベース化しておく必要がある。このような関係データベースの具体例は、図２に示した主制御装置５内に構築されている。すなわち、荷重調整量または姿勢角調整量に基いて曲げ修正を行う際のレーザ光の照射形状をキャラクタとして登録することを通じて、関係データベースが構築されている。

次に、レーザマーカ３に登録されているレーザ照射形状（キャラクタ）の一例について、図７を参照して説明する。符号Ｃ１のキャラクタは、レーザマーカ３の通常の使用時に用いる場合のレーザ光照射形状（アルファベット）を示す。符号Ｃ２〜符号Ｃ１１は、所定の修正を行うときのキャラクタを示す。例えば符号Ｃ２のキャラクタは、所定大きさの枠（レーザ照射範囲）内にて下方中央よりの位置にレーザ光を照射するためのものである。符号Ｃ３のキャラクタは、枠内上方中央よりの位置にレーザ光を照射するためのものである。符号Ｃ４〜符号Ｃ１１のキャラクタについても、所定位置にレーザ光を照射するためのものである。

また、符号Ｃ１２〜符号Ｃ１５は、キャラクタの組合せを示したものである。例えば符号Ｃ１２は、キャラクタ１とキャラクタ４とを組合せたものである。キャラクタＣ１２は、この組合せにより所定の荷重調整量または姿勢角調整量の修正を可能とする。符号Ｃ１３〜符号Ｃ１５も同様に所定のキャラクタを組合せたものであり、この組合せにより所定の荷重または姿勢角の修正を可能とする。実際には、要求される荷重調整量または姿勢角調整量の範囲の全てをカバーするような複数種類のキャラクタの組合せが用意され、荷重データベースまたは姿勢角データベースに記憶される。なお、キャラクタの組合せにより修正を行うのは、上記のように各キャラクタを用いてロール角（またはピッチ角）の修正を行うにしても、ほとんど不可避的にピッチ角（またはロール角）に影響を与えるため、ロール角またはピッチ角を独立させて修正を行うことができないことに由来する。従って、実際に曲げ修正を行う場合は、複数のキャラクタを適宜組合せることで、曲げ修正量に応じた適切な組み合わせに係るキャラクタを生成することが好ましい。

前記キャラクタ組合せは、荷重データベース５３及び姿勢角データベース５７にコード化されて格納されており、荷重調整及び姿勢角調整のためキャラクタ組合せ選択部５４，５８により選択され、加算部５９において加算されたキャラクタコードは、上記キャラクタ変換部６２にて前記キャラクタ設定コードを参照して位置データに変換され、更にレーザ照射位置変換部６３にてレーザ光を照射するための照射位置データに変換される。

［本発明に係るヘッドサスペンションの修正方法、並びに薄板の加工方法］
次に、本発明に係るヘッドサスペンション（薄板）の修正方法について、図８乃至図１３を参照して具体的に説明する。

図８は、第１実施例に係るヘッドサスペンションの修正方法を時系列的に示す説明図、図９は、第２実施例に係るヘッドサスペンションの修正方法を時系列的に示す説明図、図１０は、第３実施例に係るヘッドサスペンションの修正方法を時系列的に示す説明図、図１１乃び図１２は、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの修正方法で得られる照射履歴オーバーラップ面積の説明に供する図、図１３は、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの修正方法で得られる修正精度に係る向上効果の説明に供する図である。

ヘッドサスペンション２００等の薄板における曲げ修正に係る対象部位（例えば、レーザ照射領域２１１，２１３，２１４などの所要の部位）にレーザ光を照射することを通じて荷重及び姿勢角の修正を行う場合に、前述した通り、複数回にわたる修正を繰り返し行う旨の要請を生じる場合がある。

しかし、例えば、第一回目の修正後に第二回目の修正を行うなど、複数回にわたる修正を行うに際して、各回の修正において同一の対象部位で同一の照射履歴をなぞるようにレーザ光照射を行った場合には、その修正作業を高精度で行うことが難しい。これは、既にレーザ光照射に係る入熱を受けている部位では、再度のレーザ光照射に係る入熱に対する内部応力の変化量が少なくなる結果として、本来の曲げ量よりも実際の曲げ量が少なくなってしまう。そして、これが繰り返し修正作業に係る誤差を生む主因となっていたのである。

なお、ヘッドサスペンション２００は極微細な製品であるため、複数回にわたる修正を行うに際して、各修正回毎にレーザ照射に係る対象部位を異ならせることが難しい場合がある。そして、かかる場合には、同一の対象部位に対して、繰り返しの修正を行うことが必要になるといった極微細製品に係る製造上の実情もある。

そこで、こうした実情を踏まえて、複数回にわたる修正を繰り返し行った場合であっても、その修正作業を高精度で行うことを目的として、本発明に係るヘッドサスペンション２００の修正方法は、読み取り書き込み用のヘッドを実装する前、又は実装した後のヘッドサスペンション２００における修正対象部位にレーザ光を照射することで曲げ修正を行うヘッドサスペンションの修正方法であって、前記曲げ修正に係るレーザ光照射を、所定長で直線的に行い、前記直線的なレーザ光の照射を複数回にわたり行うに際し、後の直線的な照射の方向を、既修正に係る直線的な照射の方向と交差させ、換言すれば、後の直線的な照射の方向が、既修正に係る直線的な照射の方向との間で所定の角度（例えば、３０度〜１５０度の範囲から選択される角度）をなすように構成した。

また、本発明の第１実施例に係るヘッドサスペンションの修正方法は、図８に示すように、第一回目の曲げ修正に係るレーザ光照射では、所定方向（具体的には、対象部位３０１の長手方向に沿う方向であり、図８中の「実線矢印」で示す方向をいう。以下、同じ。）に直線的かつ間欠的に複数のスポット照射を行うことで、対象部位３０１の表面に、複数の連続した照射痕からなる照射履歴３０３を形成させ（図８（１）参照）、第二回目の曲げ修正に係るレーザ光照射では、当該第二回目の修正に係る照射履歴３０５の方向が、前記第一回目の曲げ修正に係る所定方向との関係で所定角度（具体的には、例えば「−３０度」である。なお、「−３０度」とは、第一回目の曲げ修正に係る所定方向を基準として、反時計回りに３０度だけ傾いた方向をいう。）をなすように、該第二回目の修正に係る照射履歴３０５を形成させ（図８（２）参照）、第三回目の曲げ修正に係るレーザ光照射では、当該第三回目の修正に係る照射履歴３０７の方向が、前記第一回目の曲げ修正に係る所定方向を中心として、前記第二回目の修正に係る照射履歴３０５の方向との関係で略対称をなすように、該第三回目の修正に係る照射履歴３０７を形成させた（図８（３）参照）、ことを要旨としている。なお、これら三つの照射履歴３０３、３０５、３０７は、これらの交差点が同一点上に重ならないように、相互にその位置関係をずらすようにしている。これは、三つの照射履歴３０３、３０５、３０７に係る交差点が同一点上に重なった場合には、かかる交差点にレーザ照射の入熱に係る応力が集中することで、曲げ修正に係る誤差を増幅させることになるので、こうした誤差増幅要因を未然に排除する趣旨である。

さらに、本発明の第２実施例に係るヘッドサスペンションの修正方法は、図９に示すように、第一回目の曲げ修正に係るレーザ光照射では、所定方向（第１実施例に係る「所定方向」と同じ。）に直線的かつ間欠的に複数のスポット照射を行うことで、前記対象部位３０１の表面に、複数の連続した照射痕からなる照射履歴３１３を形成させ（図９（１）参照）、第二回目の曲げ修正に係るレーザ光照射では、当該第二回目の修正に係る照射履歴３１５の方向が、前記第一回目の曲げ修正に係る所定方向との関係で所定角度（具体的には、例えば「−３０度」である。）をなすように、該第二回目の修正に係る照射履歴３１５を形成させ（図９（２）参照）、第三回目の曲げ修正に係るレーザ光照射では、当該第三回目の修正に係る照射履歴３１７の方向が、前記第二回目の修正に係る照射履歴３１５の方向との関係で前記所定角度（具体的には、例えば「−３０度」である。）をなすように、該第三回目の修正に係る照射履歴３１７を形成させた（図９（３）参照）、ことを要旨としている。なお、これら三つの照射履歴３１３、３１５、３１７は、これらの交差点が同一点上に重ならないように、相互にその位置関係をずらすようにしている。これは、三つの照射履歴３１３、３１５、３１７に係る交差点が同一点上に重なった場合には、かかる交差点にレーザ照射の入熱に係る応力が集中することで、曲げ修正に係る誤差を増幅させることになるので、こうした誤差増幅要因を未然に排除する趣旨である。

しかも、本発明の第３実施例に係るヘッドサスペンションの修正方法は、図１０に示すように、第一回目の曲げ修正に係るレーザ光照射では、所定方向（第１実施例に係る「所定方向」と同じ。）に直線的かつ間欠的に複数のスポット照射を行うことで、前記対象部位３０１の表面に、複数の連続した照射痕からなる照射履歴３２３を形成させ（図１０（１）参照）、第二回目の曲げ修正に係るレーザ光照射では、当該第二回目の修正に係る照射履歴３２５の方向が、前記第一回目の曲げ修正に係る所定方向との関係で略直角をなすように、該第二回目の修正に係る照射履歴３２５を形成させた（図１０（２）参照）、ことを要旨としている。

そして、本発明実施例を包括的に含む薄板の加工方法は、梁状の薄板にレーザ光を照射することで曲げ加工を行う薄板の加工方法であって、前記レーザ光の照射を、所定長で直線的に行い、前記直線的なレーザ光の照射を複数回にわたり行うに際し、後の直線的な照射の方向を、既加工に係る直線的な照射の方向と交差させた、ことを要旨としている。

なお、本発明において「照射履歴を形成」とは、ヘッドサスペンション等の薄板にレーザ光を直線的に照射することで、その照射部位に対してレーザ光を照射したことの履歴を形成することを意味する。また、「レーザ光を照射したことの履歴を形成する」とは、レーザ光を照射した旨の痕跡を外観から確認できる場合を含むことは当然として、その痕跡を外観からは確認出来ない場合であっても、当該照射部位に入熱に係る応力履歴が形成されている場合をも含む概念である。従って、レーザ光の照射が既になされた部位については、その痕跡が外観に現れているか否かにかかわらず、レーザ光を照射したことの履歴が形成されたものとみなすようにしている。

また、本発明でいう「照射痕」とは、曲げ修正を行う目的でレーザ光照射を行った痕跡である修正痕と同義である。従って、修正痕とは、その痕跡を外観から確認できる場合を含むことは当然として、その痕跡を外観からは確認出来ない場合であっても、当該レーザ光照射部位に入熱に係る照射履歴（修正履歴）が形成されている場合をも含む概念である。

ここで、上述した第１乃至第３実施例における照射履歴３３３は、具体的には、例えば図１１（１）に示すように、直線的かつ間欠的に複数のスポット照射を行うことで対象部位に形成された、中心軸３３５に沿って複数の連続した照射痕３３７ａ〜３３７ｇ（本例では７つ）からなる。各照射痕３３７ａ〜３３７ｇのそれぞれは、相互に隣接する照射痕との間で重なり合うようになっており、隣接する各照射痕３３７ａ〜３３７ｇの間には、重複部分３３９ａ〜３３７ｆがそれぞれ形成されている。また、隣接する各照射痕３３７ａ〜３３７ｇの間隔は均一とされている。ここで、上述したように、隣接する各照射痕３３７ａ〜３３７ｇの間には、重複部分３３９ａ〜３３７ｆがそれぞれ形成されているにもかかわらず、本発明実施例に係るレーザ照射条件では、その重複部分３３９ａ〜３３７ｆに由来する曲げ修正に係る誤差はほとんど生じていない。これは、本発明実施例に係るレーザ照射条件では、あるひとつの照射痕に着目した場合、その照射エネルギー密度は、その照射痕の中心部分において高い反面、その外周部分（上述した重複部分に相当する部分）では低いことに基づいている。従って、本発明実施例に係るレーザ照射条件とは異なる、その照射痕の外周部分であっても、ある程度の高い照射エネルギー密度を呈するようなレーザ照射条件を採用した場合には、隣接する各照射痕の間に、重複部分が形成されないことを考慮して、各照射痕間の間隔を定めることが望ましい。すなわち、照射履歴の構成は上述した例に限定されることなく、例えば、隣接する各照射痕３３７ａ〜３３７ｇの間隔を比較的大きく空けることによって、隣接する各照射痕３３７ａ〜３３７ｇの間に、重複部分３３９ａ〜３３７ｆを形成しないように構成してもよい。また、隣接する各照射痕３３７ａ〜３３７ｇの間隔を不均一に構成してもよい。

次に、複数回目の曲げ修正に係るレーザ光照射を行うに際し、今回の修正に係る照射履歴３４１の方向と、既修正に係る照射履歴３４３の方向との間でなす角度を変えていったときの、両照射履歴３４１，３４３間における重なり部分に係る占有面積の変化について、図１１（２）乃至図１１（４）、並びに図１２を参照して説明する。

図１１（２）に示す例では、今回の修正に係る照射履歴３４１の方向と、既修正に係る照射履歴３４３の方向との間でなす交差角度は１０度に設定され、図１１（３）に示す例では、前記交差角度は２０度に設定され、図１１（３）に示す例では、前記交差角度は３０度に設定されている。これらを俯瞰して眺めてみると、前記交差角度が３０度の例では、前記交差角度が１０度及び２０度の各例と比較して、両照射履歴３４１，３４３間における重なり部分に係る占有面積の方が、明らかに小さいことがわかる。

このことは、両照射履歴３４１，３４３間における交差角度を変えていったときの、重なり部分に係る占有面積（オーバーラップ面積）の推移を表す、例えば図１２に示す図表からも明確に認識することができる。特に、両照射履歴３４１，３４３間における交差角度が３０度となる辺りを境界として、交差角度の増加と、重なり部分に係る占有面積（オーバーラップ面積）の減少との相関関係が、なだらかに推移するようになることがみてとれる。従って、前記交差角度は、３０度〜１５０度の範囲から選択された角度とされることが好ましい。

［本発明実施例に係る修正精度向上効果の確認試験］
次に、本発明実施例に係る修正精度向上効果を確認するための試験を行った。その結果を図１３に示す。
（試験条件）
図１３において、比較例１では、アウトリガー２０６におけるレーザ照射領域２１３（図６参照）に対して、第１回目の（長手方向に沿う）レーザ照射による曲げ修正を、同試験に用いたレーザ照射装置のレーザパワーを２５％に設定して行ったときの、照射前後の姿勢角修正量に係る実測値（以下、「修正量」と省略する。）を、比較例２では、第１回目のレーザ照射部位と同一の部位に対する第２回目のレーザ照射による曲げ修正を、第１回目のレーザ照射部位と同一の照射履歴をなぞるようにして、レーザパワーを２５％に設定して行ったときの第２回目の修正量に係る実測値を、比較例３では、比較例２と同様の条件で、レーザパワーを３０％に設定してレーザ照射を行ったときの第２回目の修正量に係る実測値を、比較例４では、比較例２と同様の条件で、レーザパワーを３５％に設定してレーザ照射を行ったときの第２回目の修正量に係る実測値を、比較例５では、比較例２と同様の条件で、レーザパワーを４０％に設定してレーザ照射を行ったときの第２回目の修正量に係る実測値を、比較例６では、比較例２と同様の条件で、レーザパワーを４５％に設定してレーザ照射を行ったときの第２回目の修正量に係る実測値を、比較例７では、比較例２と同様の条件で、レーザパワーを５０％に設定してレーザ照射を行ったときの第２回目の修正量に係る実測値を、それぞれ測定した。

また、実施例では、前述した第１回目のレーザ照射部位と同一の部位に対する第２回目のレーザ照射による曲げ修正を、先に述べた第３実施例に従って、相互の照射履歴が略直角となるようにするとともに、レーザパワーを２５％に設定して行ったときの、第２回目の修正量に係る実測値を測定した。
（測定結果の考察）
図１３に示すとおり、比較例１に係る第一回目の姿勢角修正量に比べて、比較例２〜７に係る第二回目の姿勢角修正量は、いずれも小さいことが判る。比較例２〜７において、修正量の増大を狙ってレーザパワーを徐々に上昇させてゆくと、修正量はパワーの増大に従って増大してゆくが、ばらつきも大きくなる。従って、従来手法では精度良い修正を行うことが難しかった。

これに対し、本発明の実施例に係る修正方法では、修正量とそのばらつきの両者について、第一回目と第二回目との間でほぼ同等であり、高精度の修正を実現できていることがわかる。

［実施例の効果］
以上説明したように、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの修正方法によれば、複数回の曲げ修正に係るレーザ光照射を行うに際しては、後の直線的な照射の方向を、既修正に係る直線的な照射の方向と交差させ、換言すれば、後の直線的な照射の方向が、既修正に係る直線的な照射の方向との間で所定の角度をなすようにしたので、複数回の曲げ修正に係るレーザ光照射履歴の重なり部分に係る占有面積を可及的に抑制することができる。従って、複数回にわたる修正を繰り返し行う際に、修正作業に係る誤差を生む主因となる、両照射履歴の重なり部分に係る占有面積を可及的に抑制することが可能となる結果として、複数回にわたる修正を繰り返し行った場合であっても、その修正作業（具体的には、ヘッドサスペンションの荷重及び姿勢角の修正作業）を高精度で行うことができる。

また、本発明の第１又は第２実施例に係るヘッドサスペンションの修正方法によれば、複数回目の曲げ修正に係るレーザ光照射を行うに際し、第一回目から第三回目に係る曲げ修正を行う必要が生じた場合において、各回の修正に係る照射履歴の方向についての指針を示したので、従って、複数回にわたる修正を繰り返し行った場合であっても、その修正作業を高精度で行うことができるのに加えて、その修正作業を円滑に行うことができる。

さらに、本発明の第３実施例に係るヘッドサスペンションの修正方法によれば、複数回目の曲げ修正に係るレーザ光照射を行うに際し、第一回目の曲げ修正後に行う、第二回目の曲げ修正に係るレーザ光照射では、当該第二回目の修正に係る照射履歴の方向が、第一回目の曲げ修正に係る所定方向との関係で略直角をなすように、該第二回目の修正に係る照射履歴を形成させたので、従って、複数回にわたる修正を繰り返し行う際に、修正作業に係る誤差を生む主因となる、両照射履歴の重なり部分に係る占有面積をきわめて小さくすることが可能となる結果として、複数回にわたる修正を繰り返し行った場合であっても、その修正作業をより一層高精度で行うことができる。

しかも、第１乃至第３実施例に係るヘッドサスペンションの修正方法によって曲げ修正を行う工程を経てヘッドサスペンションを製造するヘッドサスペンションの製造方法によれば、姿勢角に係る精度が高品質に保たれたヘッドサスペンション製品を得ることができる。

しかも、こうした製造方法により製造されたヘッドサスペンションによれば、磁気ヘッドにおける姿勢制御の適正化を実現することができるようになる。

そして、本発明実施例を包括的に含む薄板の加工方法によれば、直線的なレーザ光の照射を複数回にわたり行うに際し、後の直線的な照射の方向を、既加工に係る直線的な照射の方向と交差させ、換言すれば、後の直線的な照射の方向が、既加工に係る直線的な照射の方向との間で所定の角度をなすようにしたので、複数回の曲げ加工に係るレーザ光照射履歴の重なり部分に係る占有面積を可及的に抑制することができる。従って、複数回にわたる加工を繰り返し行う際に、加工作業に係る誤差を生む主因となる、両照射履歴の重なり部分に係る占有面積を可及的に抑制することが可能となる結果として、複数回にわたる加工を繰り返し行った場合であっても、その薄板の加工作業を高精度で行うことができる。

［その他］
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは技術思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うヘッドサスペンションの修正方法及び製造方法、ヘッドサスペンション、並びに薄板の加工方法もまた、本発明における技術的範囲の射程に包含されるものである。

すなわち、本発明実施例において、レーザ光照射装置として、市場に流通しているレーザマーカ３を流用する例をあげて説明したが、本発明はこの例に限定されることなく、例えば、本発明実施例で開示した修正方法を実現することが可能である限りにおいて、いかなるレーザ光照射装置をも採用することができる。

また、本発明実施例で開示したヘッドサスペンション修正装置では、荷重調整及び姿勢角調整を同時に行う例をあげて説明したが、これら一方のみを実施してもよい。その場合のキャラクタの組合せは、取得した荷重調整量又は姿勢角調整量に基づいて適宜選定すればよい。

さらに、実際のレーザ照射による修正においては、レーザパワーを変化させることを通じて、姿勢角修正量を調整することが行われているが、かかる調整を、本発明と組み合わせて実施してもよい。

最後に、本発明は、既に修正を行ってあるヘッドサスペンションに磁気ヘッドを実装してＨＧＡを構成した後、同ヘッドサスペンションを再修正する場合、又は、ＨＧＡを構成した後の検査工程において、磁気ヘッドの特性不良等を検出した場合に、ヘッドサスペンション上の磁気ヘッドを良品に交換してＨＧＡを再生する場合にも、ＨＧＡ（ヘッドジンバルアセンブリ）をヘッドサスペンションと読み替えることによって、信号の読み取り書き込み用の磁気ヘッド等を実装してなるヘッドサスペンションに対しても、そのまま適用することができる。

ヘッドサスペンション修正装置の全体構成図である。 図１に示したヘッドサスペンション修正装置の機能部に係る構成を示す機能ブロック図である。 ヘッドサスペンションを修正装置に固定した状態を示す説明図である。 曲げ修正の対象となるヘッドサスペンションの一例を示す斜視図である。 ヘッドサスペンションの荷重曲げ部におけるレーザ照射領域を示す説明図である。 ヘッドサスペンションの姿勢角調整部におけるレーザ照射領域を示す説明図である。 レーザ照射形状をキャラクタ登録する場合の、キャラクタの一例を示す説明図である。 第１実施例に係るヘッドサスペンションの修正方法を時系列的に示す説明図である。 第２実施例に係るヘッドサスペンションの修正方法を時系列的に示す説明図である。 第３実施例に係るヘッドサスペンションの修正方法を時系列的に示す説明図である。 本発明実施例に係るヘッドサスペンションの修正方法で得られる照射履歴オーバーラップ面積の説明に供する図である。 本発明実施例に係るヘッドサスペンションの修正方法で得られる照射履歴オーバーラップ面積の説明に供する図である。 本発明実施例に係るヘッドサスペンションの修正方法で得られる修正精度に係る向上効果の説明に供する図である。

符号の説明

２００ ヘッドサスペンション
２０１ ベースプレート
２０２ 荷重曲げ部
２０３ ロードビーム
２０４ フレキシャ
２１１，２１３，２１４ レーザ照射領域（対象部位）
３０１ 対象部位
３０３，３０５，３０７ 第１実施例に係る照射履歴
３１３，３１５，３１７ 第２実施例に係る照射履歴
３２３，３２５ 第３実施例に係る照射履歴

Claims (10)

1. 読み取り書き込み用のヘッドを実装する前、又は実装した後のヘッドサスペンションにおける修正対象部位にレーザ光を照射することで曲げ修正を行うヘッドサスペンションの修正方法であって、
   前記曲げ修正に係るレーザ光の照射は、所定長で所定方向に複数のスポット照射を直線的に行い、前記修正対象部位に複数の連続した照射痕からなる照射履歴を形成させ、
   前記複数のスポット照射は、隣接する照射痕の間隔設定により、各照射履歴での曲げ修正の誤差を生じさせる前記照射痕の高照射エネルギー密度によって形成された部分相互の重複を抑制し、
   前記直線的なレーザ光の照射を複数回にわたり行うに際し、後の直線的な照射の方向を既修正に係る直線的な照射の方向と交差させることで、前記既修正に係る照射及び後の照射による照射履歴を相互に交差させ、
   前記照射履歴の交差による重なり部分を、前記照射履歴の交差角度の増加と前記重なり部分に係る占有面積の減少との相関関係に基づいて高精度の曲げ修正が可能な占有面積とする、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの修正方法。
2. 請求項１記載のヘッドサスペンションの修正方法であって、
   前記交差に係る角度は、３０度〜１５０度の範囲から選択された角度とされる、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの修正方法。
3. 請求項１記載のヘッドサスペンションの修正方法であって、
   第一回目の曲げ修正に係るレーザ光照射では、所定方向に直線的かつ間欠的に複数のスポット照射を行うことで、前記対象部位に、複数の連続した照射痕からなる照射履歴を形成させ、
   第二回目の曲げ修正に係るレーザ光照射では、当該第二回目の修正に係る照射履歴の方向が、前記第一回目の曲げ修正に係る所定方向との関係で所定角度をなすように、該第二回目の修正に係る照射履歴を形成させ、
   第三回目の曲げ修正に係るレーザ光照射では、当該第三回目の修正に係る照射履歴の方向が、前記第一回目の曲げ修正に係る所定方向を中心として、前記第二回目の修正に係る照射履歴の方向との関係で略対称をなすように、該第三回目の修正に係る照射履歴を形成させた、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの修正方法。
4. 請求項１記載のヘッドサスペンションの修正方法であって、
   第一回目の曲げ修正に係るレーザ光照射では、所定方向に直線的かつ間欠的に複数のスポット照射を行うことで、前記対象部位に、複数の連続した照射痕からなる照射履歴を形成させ、
   第二回目の曲げ修正に係るレーザ光照射では、当該第二回目の修正に係る照射履歴の方向が、前記第一回目の曲げ修正に係る所定方向との関係で所定角度をなすように、該第二回目の修正に係る照射履歴を形成させ、
   第三回目の曲げ修正に係るレーザ光照射では、当該第三回目の修正に係る照射履歴の方向が、前記第二回目の修正に係る照射履歴の方向との関係で前記所定角度をなすように、該第三回目の修正に係る照射履歴を形成させた、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの修正方法。
5. 請求項３又は４記載のヘッドサスペンションの修正方法であって、
   前記所定角度は、３０度〜１５０度の範囲から選択された角度とされる、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの修正方法。
6. 請求項１記載のヘッドサスペンションの修正方法であって、
   第一回目の曲げ修正に係るレーザ光照射では、所定方向に直線的かつ間欠的に複数のスポット照射を行うことで、前記対象部位に、複数の連続した照射痕からなる照射履歴を形成させ、
   第二回目の曲げ修正に係るレーザ光照射では、当該第二回目の修正に係る照射履歴の方向が、前記第一回目の曲げ修正に係る所定方向との関係で略直角をなすように、該第二回目の修正に係る照射履歴を形成させた、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの修正方法。
7. 請求項３〜６のうちいずれか一項に記載のヘッドサスペンションの修正方法であって、
   前記第一回目の曲げ修正に係る所定方向は、前記対象部位における長手方向とされる、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの修正方法。
8. 請求項１〜７のうちいずれか一項に記載のヘッドサスペンションの修正方法によって曲げ修正を行う工程を経てヘッドサスペンションを製造することを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
9. 請求項８記載のヘッドサスペンションの製造方法によって製造されることを特徴とするヘッドサスペンション。
10. 梁状の薄板にレーザ光を照射することで曲げ加工を行う薄板の加工方法であって、
    前記レーザ光の照射は、所定長で所定方向に複数のスポット照射を直線的に行い、複数の連続した照射痕からなる照射履歴を形成させ、
    前記複数のスポット照射は、隣接する照射痕の間隔設定により、各照射履歴での曲げ加工の誤差を生じさせる前記照射痕の高照射エネルギー密度によって形成された部分相互の重複を抑制し、
    前記直線的なレーザ光の照射を複数回にわたり行うに際し、後の直線的な照射の方向を、既加工に係る直線的な照射の方向と交差させることで、前記既修正に係る照射及び後の照射による照射履歴を相互に交差させ、
    前記照射履歴の交差による重なり部分を、前記照射履歴の交差角度の増加と前記重なり部分に係る占有面積の減少との相関関係に基づいて高精度の曲げ加工が可能な占有面積とする、
    ことを特徴とする薄板の加工方法。