JPH02252179A - 磁気ヘッドの浮上量調整装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、磁気ディスク装置用磁気ヘッドの製造時に用
いられる磁気ヘッドの浮」二景調整装置に係り、特に、
磁気へラドスライダの浮上量の調整を高能率で高精度に
行なうことのできる磁気ヘッドの浮上量調整装置に関す
る。

［従来の技術］ 通常、磁気ディスク装置用の磁気ヘッドは、高速回転し
ている磁気ディスク上に微小間隔を保ちながら浮上し、
磁気ディスクの情報をリード／ライトしている。近来、
この磁気ヘッドの浮上量は、磁気ディスク装置の高記録
密度化に伴なって、益々狭小化して来ており、ディスク
とヘッドの衝突を回避するために、ヘッドスライダの浮
上量を安定化することは重要な技術課題となっている。

ヘッドスライダ浮上量の変動要因は、大別して、製造上
のばらつきによる浮上量ばらつきと、装置の稼動時の動
的浮上量変動の２つに分けられる。

製造ばらつきによる浮上量ばらつきは、磁気へラドスラ
イダや、ヘッド支持ばね等の各部品の精度と組立て精度
に起因しており、従来は、これらの精度向上により浮上
量ばらつきの低減を行なうのが主な方法であった。

また、関連する技術として、特開昭６１−１７７６９２
号公報により、製造ばらつきによる浮上量バランスをカ
メラ等で検査し、アンバランス量（傾き）に対応してヘ
ッドを支持するジンバルの角度を調整することにより浮
上量バランスを調整する装置が提案され、特開昭６１−
１４．８６８１号公報により、浮動ヘッドに加わる荷重
誤差を補正するため、荷重量を検出してその検出結果に
基き圧電バイモルフ等のヘッド上下動機構部を制御する
装置が提案され、特公昭６０−３２９０８号公報により
、ヘッドスライダの傾きを光学的に観測して、その傾き
が目標値より大きいとき、ヘッドを支持するジンバルに
塑性変形を与えることにより、この傾きを補正する装置
が提案され、特開昭６２１８６８５号公報および特開昭
６２−１８６８６号公報により、ジンバルばね支持され
るヘッドの現在の荷重値と、予め設定した目標荷重値と
、前記ジンバルばねの押し込みによる荷重量の変化率特
性とから、目標荷重値までに必要な押し込み量を算出し
、この算出結果に基いてジンバルばねに加える外力の大
きさを算出することＬＺよって、荷重調整を行なってそ
の自動化を図るようにしたヘッドの荷重調整装置が提案
されている。

［発明が解決しようとする課題］ 上記従来技術による磁気ヘッドの浮上量調整装置では、
ヘッドスライダ浮上量の狭小化に伴ない、製造ばらつき
によるヘッドスライダ浮」１景ばらつきを小さくするこ
とが要求されているが、部品精度の向上および組立て精
度の向上は、生産性やゴス１〜等を考慮すると限度があ
り、このままでは、浮上量の検査時に、要求される仕様
の条件を満足しない不良品が多発するという問題があっ
た。

また、上記特開昭６１−１７７６９２号公報、特公昭６
０’−３２９０８号公報、または特開昭６１−１４８６
８１号公報では、ヘッドの傾きや荷重量を補正するよう
に制御するため、ヘッドの支持ばねを押し込んだり、塑
性変形を与えたり、上下動を与えたりすることが示され
ているが、前２者はヘッドの製造時に傾き誤差を観測し
て、その補正をいちいち手動で行なうものであり、後者
は、リード／ライト時に浮上量を一定にするように制御
するものであって、いずれも、ヘッドの製造時にその浮
」二景を測定してそのばらつきをなくすように荷重調整
を行なうまでの作業を自動化し、浮上量のばらつきのな
いヘッドを効率よく高精度で得ることについて、考慮さ
れていない。

また、上記特開昭６２−１８６８５号公報や特開昭６２
−１８６８６号公報では、ヘット製造時における荷重調
整の自動化について一応示唆されているものの、ヘッド
支持ばねの押し込みを行なった場合に生じる支持ばねの
戻り現象（スプリングバック）についてなにも考慮され
ておらず、そのため、荷重調整を、高精度で自動化して
行なうことができず、また、荷重が経年変化して長寿命
のものが得られないという問題があった。

従って、本発明の目的は、上記の各従来技術の問題点を
克服し、ヘッドの製造の際にそのスライダ浮上量のばら
つきを測定して高能率高精度でそのばらつきを自動的に
除去するように荷重調整を行なうと共に、ヘッド支持ば
ねの戻り作用による浮上量の経年変化の生じない、長寿
命の磁気ヘットの得られる磁気ヘッドの浮上量調整装置
を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため、本発明の磁気ヘッドの浮上量
調整装置は、ヘッドの浮上量の測定手段と、前記測定し
た浮上量と目標値との偏差を算出する手段と、前記偏差
に対応する荷重調整量を算出する手段と、前記荷重１ｌ
ｓＩ整量に対応するヘット支持ばねの押し込み量を算出
する手段と、算出した押し込み量の押し込みを行なう手
段（荷重調整手段）と、押し込み後に前記ヘッド支持ば
ねに熱処理を行なう手段とを備えたことを特徴とする。

［作用］ 上記構成に基づく作用を説明する。

まず、ヘッド（ヘッドスライダ）の浮上量が測定され、
この測定値と目標値（目標浮上量）との偏差が算出され
る。次に、この偏差が０になるような、支持ばねの対応
する荷重調整量（支持ばねのスライダ押し付は荷重値の
調整量）が算出される。なお、ヘッドスライダ浮上量と
スライダ押し付は荷重値の間には一定の関係があること
が従来より知られており、予めヘッドスライダ浮上量と
支持ばねのスライダ押し付は荷重値との関係を求めてお
くことで、調整量は容易に算出される。更に、このよう
にして算出された調整旦分に対応する支持ばねの押し込
み量が算出され、この押し込み世相当分の押し込みを行
なってスライダ押し付は荷重を調整することにより、ヘ
ッドスライダ浮上量を目標の値とすることができ、浮」
二景のばらつきを低減することができる。また、荷重調
整後にばね部の熱処理を行なうことにより、内部応力歪
みを除去して、浮上量の経年変化をなくすことができる
。

し実施例］ 以下に、本発明の一実施例を第１図ないし第５図により
説明する。

第１図は、本発明の実施例による磁気ヘッドの浮上量調
整装置の概略を示す構成図で、１はへラドスライダ、２
はヘッド支持ばね、３はガラスディスク、４は光源、５
は受光カメラ、６は浮上量算出部、７は押し込み量算出
部、８は荷重調整部、９は押し込みバーである。

第２図は第１図の装置によって、浮上量測定値から調整
量を算出する流れ図である。

第１図および第２図により、本実施例の動作を説明する
。まず、ガラスディスク３を図示しない駆動装置により
回転して、該ガラスディスク３上にヘッドスライダ１を
浮上させ、そのときのへラドスライダの浮上量りを、光
源４、受光カメラ５、浮上量算出部６を含む光学的測定
手段によって測定する（２１）。測定結果（浮上量ｈ）
は押し込み量算出部７に送られ、ここで、この浮上量り
と予め設定した目標浮上量り。（第２図の２２）との偏
差Δｈが算出される（２３）。この算出（２３）は例え
ば計算機によって行なえばよい。押し込み量算出部７は
、更に、メモリ２４，２６、荷重調整量算出手段（２５
）、および、押し込み量算出手段（２７）を含んでいる
。メモリ２４は計算機のメモリで、ヘッド浮上量りとス
ライダ押し付は荷重Ｗとの関係から、予め、第５図に示
すような浮上量変化Δｈとスライダ押し付は荷重変化Δ
Ｗの関係を機種毎に求めて、このΔＷ／Δｈの関係ΔＷ
＝ｆ（Δｈ）を該メモリ２４に記憶させておく。こうし
て、先にステップ２３で求めた偏差Δｂだけ調整するの
に必要なヘッド押し付は荷重の調整量ΔＷが算出される
（２５）。そこで、ΔＷだけの荷重調整（２８）を行な
うことにより、浮上量を目標の値とすることができる。

ここで、確認のため、荷重調整後の浮上量を再度測定し
ておけば、製品の信頼性は確実なものとなる。

第３図は、スライダ押し付は荷重調整方法の一例を示し
、ヘッドスライダ１の支持ばねロードアーム部（ばね部
）２に、押し込みバー９により外力を加えることによっ
て、該ばね部２を塑性変形させて荷重を変化させるよう
にしたものである。

このため、ある荷重変化量ΔＷを得るための支持ばねロ
ードアーム部２に与える押し込み量Δｄの関係Δｄ＝ｇ
　（ΔＷ）を予め求めておき、この関係をメモリ２６に
格納しておく。これにより、浮上量調整量Δｈは、支持
ばねロードアーム部２の押し込み量Δｄによって決定で
きる（２７）。なお、支持ばね２は、押し込みバー９を
解放すると幾分戻り（スプリングバック）があるので（
支持ばね２の塑性変形量は押し込みバー９による押し込
み量Δｄよりもやや小さいので）、上記の関係式にはこ
のこと（スプリングバック量）も計算に入っている。

第４図は、スライダ押し付は荷重調整方法の他の例を示
す。１０はレーザー発振器で、レーザー光をロードアー
ム部（支持ばね）２の角度をつけたばね部分に照射し加
熱すると、その応力により非可逆的に変形する。この場
合も、レーザー光の強度、およびレーザー光をあてる位
置と荷重変化量ΔＷの関係を予でめ求めておけば、浮上
量調整量Δｈをレーザー光の強度およびレーザー光をあ
てる位置により決定できる。

なお、ステップ２３で、算出した偏差ΔＷが許可値以下
のときは、合格として終了しく２９）、不合格のときに
次のステップ２５に進む。

本実施例の特徴として、以上の、浮上量測定２１から浮
上量調整２８までの操作は、何等人手を介することなく
、計算機制御の下に連続して自動的に行なうことができ
る。

上記第３図の実施例において、荷重調整量が大きい場合
は、ばね部の塑性変形時の残留応力が経時的に解放され
、それにつれて荷重が徐々に変化して行き浮上量が変化
するので、荷重調整後にばね部のアニールを行なうよう
にすると良い。すなわち、ばねのスプリングバック量を
補正後、ばね部に（再変形しないようにしながら）熱処
理を行なうことにより、残留応力を取り除いて荷重の経
時変化を防止できる。

また、磁気ヘッドの浮］二景調整方法の別の例として、
まず、押し付は荷重Ｗを記憶し、浮上量りを測定して浮
上を目標浮上に対し合格させるための荷重調整量ΔＷを
算出し、初期荷重と調整量の和が一定の範囲に入ってい
るもののみを調整の対象とし、範囲外のものは調整を行
なうことなく不合格とすることもできる。つまり、目標
浮上量に対し合格させるために要する荷重調整量のあま
りにも大きなものは、調整による歪が大きくて高品質長
寿命のものが期待できないので、そのようなものは最初
から不合格とする趣旨である。

Ｃ発明の効果］ 以上詳しく説明したように、本発明の磁気ヘッドの浮上
量調整装置によれば、部品の精度や組立て精度を高くし
なくても、製造上のばらつきによる浮上量ばらつきを低
減することができ、これによりヘッド浮上量の安定化が
達成され、磁気ディスク装置の高記録密度化・高信頼性
化が可能となる。

また、ヘッドの浮上量の測定から、目標値との偏差の算
出、偏差に対する荷重調整量の算出、荷重調整量に対応
する支持ばね押し込み量の算出、および、押し込み動作
までの一連の作業がすべて自動的に行なわれるので、作
業能率を向上することができる。

更に、押し込み後にヘッド支持ばねのばね部に熱処理を
施すことにより、使用時の浮上量の経時変化を防止し、
長寿命化が可能となる等、優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の概略を示す構成図、第２図
はへラドスライダ浮上量測定値から調整量を算出する流
れ図、第３図はへラドスライダ押し付は荷重調整方法の
一例を説明するための図、第４図はへラドスライダ押し
付は荷重調整方法の他の例を説明するための図、第５図
は浮上量変化Δｈとスライダ押し付は荷重変化ΔＷの関
係図である。 １・・・・・・ヘッドスライダ、２・・・ヘッド支持ば
ね、３・・・・・ガラスディスク、４・・・光源、５・
・・・・・受光カメラ、６・・・・・・浮上量算出部、
７・・・・・・押し込み量算出部、８・・・・・・荷重
調整部、９・・・・・押し込みバー１０・・・・・レー
ザー発振器。 第 第 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、ヘッドの浮上量の測定手段と、前記測定した浮上量
   と目標値との偏差を算出する手段と、前記偏差に対応す
   る荷重調整量を算出する手段と、前記荷重調整量に対応
   するヘッド支持ばねの押し込み量を算出する手段と、算
   出した押し込み量の押し込みを行なう手段と、押し込み
   後に前記ヘッド支持ばねに熱処理を行なう手段とを備え
   たことを特徴とする磁気ヘッドの浮上量調整装置。