JPH10208422A - ヘッドユニットの検査方法および検査装置 - Google Patents
ヘッドユニットの検査方法および検査装置Info
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- JPH10208422A JPH10208422A JP9012379A JP1237997A JPH10208422A JP H10208422 A JPH10208422 A JP H10208422A JP 9012379 A JP9012379 A JP 9012379A JP 1237997 A JP1237997 A JP 1237997A JP H10208422 A JPH10208422 A JP H10208422A
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
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- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
- G11B5/6011—Control of flying height
Landscapes
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ハードディスク用のヘッドユニットの板ばね
の変形によるスライダの傾きを高精度に検査し、またス
ライダの傾きを確実に矯正するのは困難であった。 【解決手段】 ヘッドユニットＨの板ばね１の固定部１
ａを支持体１２で支持し、腕部１ｄを押圧ピン２２ａで
押してスライダ４に装置に実装したときのＺハイトと同
じ変位を与える。この状態でスライダ４の傾きを測定
し、さらに工具３０で腕部１ｄを捻り、ロール方向の変
形を矯正する。装置に実装されたのと同じ状態で板ばね
１が矯正されるので、正確な矯正動作が行なわれる。
の変形によるスライダの傾きを高精度に検査し、またス
ライダの傾きを確実に矯正するのは困難であった。 【解決手段】 ヘッドユニットＨの板ばね１の固定部１
ａを支持体１２で支持し、腕部１ｄを押圧ピン２２ａで
押してスライダ４に装置に実装したときのＺハイトと同
じ変位を与える。この状態でスライダ４の傾きを測定
し、さらに工具３０で腕部１ｄを捻り、ロール方向の変
形を矯正する。装置に実装されたのと同じ状態で板ばね
１が矯正されるので、正確な矯正動作が行なわれる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ハードディスク用
などのヘッドユニットでのスライダの取付け姿勢を検査
でき、さらには検査後に姿勢の修正を可能としたヘッド
ユニットの検査方法および検査装置に関する。
などのヘッドユニットでのスライダの取付け姿勢を検査
でき、さらには検査後に姿勢の修正を可能としたヘッド
ユニットの検査方法および検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図７は、ハードディスクなどの磁気記録
媒体に磁気信号を記録し、且つ磁気記録媒体に記録され
た磁気信号を読み取るためのヘッドユニットＨの構造を
斜視図で示している。符号１は板ばね（ジンバル）であ
る。板ばね（ジンバル）１の基端部は、ハードディスク
装置などの磁気記録再生装置に固定される固定部（マウ
ント部）１ａとなっており、この固定部１ａには、補強
板２が固定されている。板ばね１の前記固定部１ａの先
は、中央に切欠き窓１ｂが形成された弾性変形部１ｃで
あり、この板ばね１は、主にこの弾性変形部１ｃが撓む
ようになっている。弾性変形部１ｃよりも先部は、腕部
（ロードビーム部）１ｄである。腕部（ロードビーム
部）１ｄでは、板ばね材料の両側部が折り曲げられてフ
ランジ１ｆ，１ｆが形成され、このフランジ１ｆ，１ｆ
が形成されていることにより、腕部１ｄは弾性変形しに
くくなっている。
媒体に磁気信号を記録し、且つ磁気記録媒体に記録され
た磁気信号を読み取るためのヘッドユニットＨの構造を
斜視図で示している。符号１は板ばね（ジンバル）であ
る。板ばね（ジンバル）１の基端部は、ハードディスク
装置などの磁気記録再生装置に固定される固定部（マウ
ント部）１ａとなっており、この固定部１ａには、補強
板２が固定されている。板ばね１の前記固定部１ａの先
は、中央に切欠き窓１ｂが形成された弾性変形部１ｃで
あり、この板ばね１は、主にこの弾性変形部１ｃが撓む
ようになっている。弾性変形部１ｃよりも先部は、腕部
（ロードビーム部）１ｄである。腕部（ロードビーム
部）１ｄでは、板ばね材料の両側部が折り曲げられてフ
ランジ１ｆ，１ｆが形成され、このフランジ１ｆ，１ｆ
が形成されていることにより、腕部１ｄは弾性変形しに
くくなっている。
【０００３】板ばね１の前記腕部１ｄの先端はスライダ
の支持部であり、この部分には薄い板ばねで形成された
フレキシャ３を介してスライダ４が支持されている。フ
レキシャ３は、腕部１ｄの先端に接着される接着片と、
スライダ４が接着固定される支持片とを有し、接着片と
支持片との間で弾性変形可能とされている。スライダ４
は、セラミック材料などで形成されているものであり、
図示下側の面が、ハードディスクなどの磁気記録媒体と
の対向面（ＡＢＳ面）４ａで、図示上側の面が、フレキ
シャ３の前記支持片に接着される支持面４ｂである。ま
た前記対向面４ａには、磁気記録媒体との間での空気流
（エアーベアリング）を調整して浮上距離を設定する溝
４ｃが形成されている。そして、スライダ４のトレーリ
ング側の端面には磁気記録部と磁気読取り部を形成する
薄膜素子５が設けられている。
の支持部であり、この部分には薄い板ばねで形成された
フレキシャ３を介してスライダ４が支持されている。フ
レキシャ３は、腕部１ｄの先端に接着される接着片と、
スライダ４が接着固定される支持片とを有し、接着片と
支持片との間で弾性変形可能とされている。スライダ４
は、セラミック材料などで形成されているものであり、
図示下側の面が、ハードディスクなどの磁気記録媒体と
の対向面（ＡＢＳ面）４ａで、図示上側の面が、フレキ
シャ３の前記支持片に接着される支持面４ｂである。ま
た前記対向面４ａには、磁気記録媒体との間での空気流
（エアーベアリング）を調整して浮上距離を設定する溝
４ｃが形成されている。そして、スライダ４のトレーリ
ング側の端面には磁気記録部と磁気読取り部を形成する
薄膜素子５が設けられている。
【０００４】前記薄膜素子５から延びるリード線６は、
板ばね１の上面に沿って後端部の方向へ延びる。またリ
ード線６には必要に応じて保護用のチューブ７が外装さ
れている。ハードディスク装置などの磁気記録再生装置
では、図８に示すように、前記板ばね１の基端の固定部
１ａが装置本体内のアーム部４２の取付面４２ａに固定
され、スライダ４の対向面４ａが磁気記録媒体（ハード
ディスク）に対面する。スライダ４が磁気記録媒体の表
面に対向した状態での磁気記録媒体と固定部１ａとの高
さがＺハイトである。Ｚハイトが与えられた実装状態で
は板ばね１の弾性変形部１ｃは撓みを生じ、この撓みに
よりスライダ４の対向面４ａが磁気記録媒体に弾圧され
る。
板ばね１の上面に沿って後端部の方向へ延びる。またリ
ード線６には必要に応じて保護用のチューブ７が外装さ
れている。ハードディスク装置などの磁気記録再生装置
では、図８に示すように、前記板ばね１の基端の固定部
１ａが装置本体内のアーム部４２の取付面４２ａに固定
され、スライダ４の対向面４ａが磁気記録媒体（ハード
ディスク）に対面する。スライダ４が磁気記録媒体の表
面に対向した状態での磁気記録媒体と固定部１ａとの高
さがＺハイトである。Ｚハイトが与えられた実装状態で
は板ばね１の弾性変形部１ｃは撓みを生じ、この撓みに
よりスライダ４の対向面４ａが磁気記録媒体に弾圧され
る。
【０００５】磁気記録媒体が停止しているときには、ス
ライダ４の対向面４ａが磁気記録媒体の表面にほぼ全面
的に接触しており、磁気記録媒体（ハードディスク）が
始動すると、スライダ４の対向面４ａが磁気記録媒体の
表面の空気流により持ち上げられ、スライダ４は磁気記
録媒体の表面に対して浮上しまたは軽く接触した状態と
なる。このときの磁気記録媒体の移動方向は、Ｘ（−）
方向であり、スライダ４のＸ（＋）側がリーディング側
でＸ（−）側がトレーリング側となる。このヘッドユニ
ットＨでは、磁気記録媒体（ハードディスク）がＸ
（−）方向へ走行しているときのスライダ４の姿勢を適
正に設定することが必要であり、このスライダ４の姿勢
は、薄膜素子５の磁気記録部および磁気読み取り部と、
磁気記録媒体とのスペーシングなどに影響を与える。最
近では、ハードディスクなどの磁気記録媒体の記録密度
が高くなっており、移動しているときの磁気記録媒体の
表面とスライダ４との距離は非常に短くなってきてい
る。このように磁気記録媒体に対してスライダ４が低浮
上距離で移動し、または軽く接触して移動するもので
は、磁気記録媒体の移動時でのスライダ４の姿勢が不安
定になりやすい。したがって、スライダ４の弾性支持状
態を安定させて、磁気記録媒体の移動中にスライダ４の
姿勢を安定させることが、高密度記録でのスペーシング
の適正化などにおいて重要となる。
ライダ４の対向面４ａが磁気記録媒体の表面にほぼ全面
的に接触しており、磁気記録媒体（ハードディスク）が
始動すると、スライダ４の対向面４ａが磁気記録媒体の
表面の空気流により持ち上げられ、スライダ４は磁気記
録媒体の表面に対して浮上しまたは軽く接触した状態と
なる。このときの磁気記録媒体の移動方向は、Ｘ（−）
方向であり、スライダ４のＸ（＋）側がリーディング側
でＸ（−）側がトレーリング側となる。このヘッドユニ
ットＨでは、磁気記録媒体（ハードディスク）がＸ
（−）方向へ走行しているときのスライダ４の姿勢を適
正に設定することが必要であり、このスライダ４の姿勢
は、薄膜素子５の磁気記録部および磁気読み取り部と、
磁気記録媒体とのスペーシングなどに影響を与える。最
近では、ハードディスクなどの磁気記録媒体の記録密度
が高くなっており、移動しているときの磁気記録媒体の
表面とスライダ４との距離は非常に短くなってきてい
る。このように磁気記録媒体に対してスライダ４が低浮
上距離で移動し、または軽く接触して移動するもので
は、磁気記録媒体の移動時でのスライダ４の姿勢が不安
定になりやすい。したがって、スライダ４の弾性支持状
態を安定させて、磁気記録媒体の移動中にスライダ４の
姿勢を安定させることが、高密度記録でのスペーシング
の適正化などにおいて重要となる。
【０００６】スライダ４の姿勢の傾きとしては、Ｙ軸回
り（ピッチ方向）の傾きと、Ｘ軸回り（ロール方向）の
傾きとがある。ピッチ方向は、板ばね１の腕部１ｄの延
びる方向に一致しているため、磁気記録媒体がＸ（−）
方向へ走行しているときのスライダ４のピッチ方向への
傾きの変動は、板ばね１により比較的容易に抑制でき
る。これに対し、スライダ４のロール方向の姿勢は不安
定であるため、ヘッドユニットＨを製造する過程におい
て、ヘッドユニットＨの単体の段階で、スライダ４にロ
ール方向の不要な傾きが生じないように予め調整してお
くことが必要である。
り（ピッチ方向）の傾きと、Ｘ軸回り（ロール方向）の
傾きとがある。ピッチ方向は、板ばね１の腕部１ｄの延
びる方向に一致しているため、磁気記録媒体がＸ（−）
方向へ走行しているときのスライダ４のピッチ方向への
傾きの変動は、板ばね１により比較的容易に抑制でき
る。これに対し、スライダ４のロール方向の姿勢は不安
定であるため、ヘッドユニットＨを製造する過程におい
て、ヘッドユニットＨの単体の段階で、スライダ４にロ
ール方向の不要な傾きが生じないように予め調整してお
くことが必要である。
【０００７】従来のヘッドユニットＨにおけるスライダ
４の姿勢の調整作業は、例えば図９に示すように板ばね
（ジンバル）１の腕部（ロードビーム部）１ｄの下面
（Ｚ（−）側の面）を測定治具４０の基準面４０ａに当
接させて固定し、この状態でオートコリメータなどの測
定器を用いて、スライダ４の対向面４ａの傾きを測定す
る。この測定の際に、スライダ４の対向面４がロール方
向（Ｘ軸回り）に傾きを生じていた場合には、腕部１ｄ
を前記測定治具４０の基準面４０ａに当接させた状態
で、腕部１ｄの先部を工具３０で保持し、工具３０をＸ
軸回りに捻り、スライダ４の対向面４ａの傾斜角度の調
整を行なっていた。
４の姿勢の調整作業は、例えば図９に示すように板ばね
（ジンバル）１の腕部（ロードビーム部）１ｄの下面
（Ｚ（−）側の面）を測定治具４０の基準面４０ａに当
接させて固定し、この状態でオートコリメータなどの測
定器を用いて、スライダ４の対向面４ａの傾きを測定す
る。この測定の際に、スライダ４の対向面４がロール方
向（Ｘ軸回り）に傾きを生じていた場合には、腕部１ｄ
を前記測定治具４０の基準面４０ａに当接させた状態
で、腕部１ｄの先部を工具３０で保持し、工具３０をＸ
軸回りに捻り、スライダ４の対向面４ａの傾斜角度の調
整を行なっていた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来の調
整作業で調整したヘッドユニットＨを実際に磁気記録再
生装置に実装し、磁気記録媒体（ハードディスク）を走
行させ、そのときのスライダ４の姿勢を観察すると、そ
のロール方向（Ｘ軸回り）の傾きが、矯正作業により完
全に調整しきれていないものが多く現れる。その理由と
しては以下の点が挙げられる。
整作業で調整したヘッドユニットＨを実際に磁気記録再
生装置に実装し、磁気記録媒体（ハードディスク）を走
行させ、そのときのスライダ４の姿勢を観察すると、そ
のロール方向（Ｘ軸回り）の傾きが、矯正作業により完
全に調整しきれていないものが多く現れる。その理由と
しては以下の点が挙げられる。
【０００９】（１）ヘッドユニットＨが自由な状態（静
姿勢）での板ばね１の初期捻じれは、固定部１ａと弾性
変形部１ｃとの間の捻じれ、弾性変形部１ｃでの捻じ
れ、弾性変形部１ｃと腕部１ｄとの間での捻じれ、腕部
１ｄの捻じれ、とがあり、さらに、腕部１ｄの先部に対
するフレキシャ３の接着による捻じれ、フレキシャ３の
捻じれ、さらにはフレキシャ３に対するスライダ４の接
着による捻じれ、がある。したがって、板ばね１の固定
部１ａを磁気記録再生装置のアーム部４２に固定したと
きに、このアーム部の固定基準面（取付面４２ａ）から
スライダ４までには、前記の全ての静的な捻り変形が累
積することになる。したがって、図８に示す従来例のよ
うに、板ばね１の腕部１ｄを支持し、この腕部１ｄを基
準としてスライダ４の傾きを測定する方法では、固定部
１ａと弾性変形部１ｃとの間の捻じれ、弾性変形部１ｃ
での捻じれ、弾性変形部１ｃと腕部１ｄとの間での捻じ
れ、のそれぞれの静的な捻じれに起因するスライダ４の
姿勢の狂いを加味することができない。また、腕部１ｄ
を基準とするスライダ４のロール方向の静的な捻り変形
を工具３０で矯正しても、板ばね１の固定部１ａを基準
としたスライダ４の捻り変形、すなわち板ばね１の全体
としての静的な捻り変形を矯正することはできない。
姿勢）での板ばね１の初期捻じれは、固定部１ａと弾性
変形部１ｃとの間の捻じれ、弾性変形部１ｃでの捻じ
れ、弾性変形部１ｃと腕部１ｄとの間での捻じれ、腕部
１ｄの捻じれ、とがあり、さらに、腕部１ｄの先部に対
するフレキシャ３の接着による捻じれ、フレキシャ３の
捻じれ、さらにはフレキシャ３に対するスライダ４の接
着による捻じれ、がある。したがって、板ばね１の固定
部１ａを磁気記録再生装置のアーム部４２に固定したと
きに、このアーム部の固定基準面（取付面４２ａ）から
スライダ４までには、前記の全ての静的な捻り変形が累
積することになる。したがって、図８に示す従来例のよ
うに、板ばね１の腕部１ｄを支持し、この腕部１ｄを基
準としてスライダ４の傾きを測定する方法では、固定部
１ａと弾性変形部１ｃとの間の捻じれ、弾性変形部１ｃ
での捻じれ、弾性変形部１ｃと腕部１ｄとの間での捻じ
れ、のそれぞれの静的な捻じれに起因するスライダ４の
姿勢の狂いを加味することができない。また、腕部１ｄ
を基準とするスライダ４のロール方向の静的な捻り変形
を工具３０で矯正しても、板ばね１の固定部１ａを基準
としたスライダ４の捻り変形、すなわち板ばね１の全体
としての静的な捻り変形を矯正することはできない。
【００１０】（２）図９に示すように、ヘッドユニット
Ｈが磁気記録再生装置に実装されて、磁気記録媒体に対
してＺハイトが与えられると板ばね４がＺ方向へ撓み、
スライダ４に磁気記録媒体方向の弾圧力が与えられる。
前記従来のように、板ばね１に変形を与えていない自由
状態（静姿勢）において、板ばね１の各部の捻じれを測
定する検査方法では、実際の磁気記録再生装置において
Ｚハイトが与えられた状態での、スライダ４の支持構造
全体の捻り変形を知ることはできない。またヘッドユニ
ットＨを静姿勢の状態で支持し、スライダ４のロール方
向の捻りを矯正する作業を行なったとしても、磁気記録
再生装置に実装されてＺハイトが与えられた状態でのス
ライダ４の姿勢を適正に設定できるとは限らない。
Ｈが磁気記録再生装置に実装されて、磁気記録媒体に対
してＺハイトが与えられると板ばね４がＺ方向へ撓み、
スライダ４に磁気記録媒体方向の弾圧力が与えられる。
前記従来のように、板ばね１に変形を与えていない自由
状態（静姿勢）において、板ばね１の各部の捻じれを測
定する検査方法では、実際の磁気記録再生装置において
Ｚハイトが与えられた状態での、スライダ４の支持構造
全体の捻り変形を知ることはできない。またヘッドユニ
ットＨを静姿勢の状態で支持し、スライダ４のロール方
向の捻りを矯正する作業を行なったとしても、磁気記録
再生装置に実装されてＺハイトが与えられた状態でのス
ライダ４の姿勢を適正に設定できるとは限らない。
【００１１】（３）ヘッドユニットＨが磁気記録再生装
置に実装され、スライダ４が走行する磁気記録媒体に対
向した状態での前記スライダ４の姿勢に影響を与える要
因としては、Ｚハイトが与えられた状態のスライダ４に
対する板ばね１の弾圧力、スライダ４を支持する支持構
造全体の固有振動数、スライダ４の対向面４ａと磁気記
録媒体との間の空気流、スライダ４の支持支点となるピ
ボットとスライダ４との相対位置（腕部１ｄに対するス
ライダ４の相対位置）などがある。しかし、静姿勢での
板ばね１の捻り変形、およびＺハイトが与えられた状態
での、板ばね１の捻り変形は、磁気記録再生装置に対向
するスライダ４のロール方向の姿勢の狂いに大きな影響
を与える。したがって、従来の検査方法のように、静姿
勢での板ばね１全体の捻り変形を加味せず、またＺハイ
トが与えられた状態でのスライダ４の傾斜姿勢を加味し
ていない測定および矯正工程では、スライダ４の姿勢を
安定させることが難しい。
置に実装され、スライダ４が走行する磁気記録媒体に対
向した状態での前記スライダ４の姿勢に影響を与える要
因としては、Ｚハイトが与えられた状態のスライダ４に
対する板ばね１の弾圧力、スライダ４を支持する支持構
造全体の固有振動数、スライダ４の対向面４ａと磁気記
録媒体との間の空気流、スライダ４の支持支点となるピ
ボットとスライダ４との相対位置（腕部１ｄに対するス
ライダ４の相対位置）などがある。しかし、静姿勢での
板ばね１の捻り変形、およびＺハイトが与えられた状態
での、板ばね１の捻り変形は、磁気記録再生装置に対向
するスライダ４のロール方向の姿勢の狂いに大きな影響
を与える。したがって、従来の検査方法のように、静姿
勢での板ばね１全体の捻り変形を加味せず、またＺハイ
トが与えられた状態でのスライダ４の傾斜姿勢を加味し
ていない測定および矯正工程では、スライダ４の姿勢を
安定させることが難しい。
【００１２】本発明は、上記従来の課題を解決するもの
であり、板ばね全体の捻り変形によるスライダの傾きを
測定でき、また実際に磁気記録再生装置に実装されたと
きに近い状態でのスライダの傾きを測定できるようにし
たヘッドユニットの検査方法を提供することを目的とし
ている。
であり、板ばね全体の捻り変形によるスライダの傾きを
測定でき、また実際に磁気記録再生装置に実装されたと
きに近い状態でのスライダの傾きを測定できるようにし
たヘッドユニットの検査方法を提供することを目的とし
ている。
【００１３】また本発明は、板ばね全体の捻じれ変形、
およびスライダが磁気記録媒体に対向した実装状態での
板ばねの変形を矯正できるようにしたヘッドユニットの
検査方法を提供することを目的としている。
およびスライダが磁気記録媒体に対向した実装状態での
板ばねの変形を矯正できるようにしたヘッドユニットの
検査方法を提供することを目的としている。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明は、磁気記録部と
磁気読取り部の少なくとも一方を有して記録媒体に対向
するスライダと、このスライダを支持し且つ装置に固定
される固定部を有する板ばねとを備え、前記スライダが
記録媒体に対向する使用状態で前記板ばねが所定量の撓
みを生じて前記スライダに対し記録媒体方向への所定の
弾圧力が与えられるヘッドユニットを検査する検査方法
において、前記板ばねの固定部を固定し、スライダが記
録媒体に対向する使用状態に相当する撓み量を前記板ば
ねに与え、板ばねに前記撓みが与えられた状態で前記ス
ライダの記録媒体との対向面の傾き量を測定することを
特徴とするものである。
磁気読取り部の少なくとも一方を有して記録媒体に対向
するスライダと、このスライダを支持し且つ装置に固定
される固定部を有する板ばねとを備え、前記スライダが
記録媒体に対向する使用状態で前記板ばねが所定量の撓
みを生じて前記スライダに対し記録媒体方向への所定の
弾圧力が与えられるヘッドユニットを検査する検査方法
において、前記板ばねの固定部を固定し、スライダが記
録媒体に対向する使用状態に相当する撓み量を前記板ば
ねに与え、板ばねに前記撓みが与えられた状態で前記ス
ライダの記録媒体との対向面の傾き量を測定することを
特徴とするものである。
【００１５】上記板ばねは、装置に固定される固定部
と、その先部の弾性変形部と、その先部にあって弾性変
形が抑制された腕部と、この腕部の先端部でのスライダ
の固定部とを有するものであり、前記腕部が押圧されて
前記弾性変形部に撓みが与えられるものである。
と、その先部の弾性変形部と、その先部にあって弾性変
形が抑制された腕部と、この腕部の先端部でのスライダ
の固定部とを有するものであり、前記腕部が押圧されて
前記弾性変形部に撓みが与えられるものである。
【００１６】前記において、スライダの記録媒体との対
向面の傾き量を測定した後に、前記腕部を厚さ方向に隙
間を介して拘束し、この拘束した部分よりも先にて腕部
に修正力を与えて、前記スライダの傾きを矯正すること
が可能である。
向面の傾き量を測定した後に、前記腕部を厚さ方向に隙
間を介して拘束し、この拘束した部分よりも先にて腕部
に修正力を与えて、前記スライダの傾きを矯正すること
が可能である。
【００１７】この場合に、腕部を隙間を介して拘束する
ときの前記隙間の寸法は、腕部に修正力を与えたときに
前記弾性変形部に塑性変形を生じさせない大きさである
ことが好ましい。
ときの前記隙間の寸法は、腕部に修正力を与えたときに
前記弾性変形部に塑性変形を生じさせない大きさである
ことが好ましい。
【００１８】また本発明は、磁気記録部と磁気読取り部
の少なくとも一方を有して記録媒体に対向するスライダ
と、このスライダを支持し且つ装置に固定される板ばね
とを備え、前記スライダが記録媒体に対向する使用状態
で前記板ばねが所定量の撓みを生じて前記スライダに対
し記録媒体方向への所定の弾圧力が与えられるヘッドユ
ニットを検査する検査装置において、前記板ばねの固定
部を固定する支持体と、スライダが記録媒体に対向する
使用状態に相当する撓み量を前記板ばねに与える押圧部
材と、前記押圧部材で板ばねが押圧された状態での前記
スライダの記録媒体との対向面の傾き量を測定する傾き
測定手段と、が設けられていることを特徴とするもので
ある。
の少なくとも一方を有して記録媒体に対向するスライダ
と、このスライダを支持し且つ装置に固定される板ばね
とを備え、前記スライダが記録媒体に対向する使用状態
で前記板ばねが所定量の撓みを生じて前記スライダに対
し記録媒体方向への所定の弾圧力が与えられるヘッドユ
ニットを検査する検査装置において、前記板ばねの固定
部を固定する支持体と、スライダが記録媒体に対向する
使用状態に相当する撓み量を前記板ばねに与える押圧部
材と、前記押圧部材で板ばねが押圧された状態での前記
スライダの記録媒体との対向面の傾き量を測定する傾き
測定手段と、が設けられていることを特徴とするもので
ある。
【００１９】前記板ばねは、装置に固定される基端部
と、その先部の弾性変形部と、その先部にあって弾性変
形が抑制された腕部と、この腕部の先端部でのスライダ
の固定部とを有するものであり、前記押圧部材は前記腕
部を押圧できる位置に設けられているものとなる。
と、その先部の弾性変形部と、その先部にあって弾性変
形が抑制された腕部と、この腕部の先端部でのスライダ
の固定部とを有するものであり、前記押圧部材は前記腕
部を押圧できる位置に設けられているものとなる。
【００２０】前記において、前記押圧部材で腕部が押圧
されて板ばねの弾性変形部に所定の撓み量が与えられた
状態で、前記腕部を厚さ方向に隙間を介して拘束する拘
束部材が設けられ、前記拘束部材によって腕部がその先
に矯正可能な部分を残して拘束されるものとすることが
可能である。
されて板ばねの弾性変形部に所定の撓み量が与えられた
状態で、前記腕部を厚さ方向に隙間を介して拘束する拘
束部材が設けられ、前記拘束部材によって腕部がその先
に矯正可能な部分を残して拘束されるものとすることが
可能である。
【００２１】この場合に、拘束部材と腕部との隙間の寸
法は、拘束部材よりも先の腕部に修正力が与えられたと
きに前記弾性変形部に塑性変形を生じさせない大きさで
あることが好ましい。
法は、拘束部材よりも先の腕部に修正力が与えられたと
きに前記弾性変形部に塑性変形を生じさせない大きさで
あることが好ましい。
【００２２】本発明のヘッドユニットは、ハードディス
ク装置などの磁気記録再生装置に実装されるものであ
る。または光磁気記録方式のディスク装置において、光
磁気ディスクに記録磁界を与えるために使用される。ス
ライダには、磁気記録部、または磁気読取り部、あるい
は磁気記録部と磁気読取り部の双方が搭載される。これ
らは、薄膜素子により形成され、または磁気コアとコイ
ルを用いたバルクタイプである。
ク装置などの磁気記録再生装置に実装されるものであ
る。または光磁気記録方式のディスク装置において、光
磁気ディスクに記録磁界を与えるために使用される。ス
ライダには、磁気記録部、または磁気読取り部、あるい
は磁気記録部と磁気読取り部の双方が搭載される。これ
らは、薄膜素子により形成され、または磁気コアとコイ
ルを用いたバルクタイプである。
【００２３】板ばねは平板状のジンバルであってもよい
が、本発明は図７に示すように、固定部１ａ、弾性変形
部１ｃ、腕部１ｄを有し、この腕部１ｄの先部がスライ
ダ４の支持部となっているものに適している。
が、本発明は図７に示すように、固定部１ａ、弾性変形
部１ｃ、腕部１ｄを有し、この腕部１ｄの先部がスライ
ダ４の支持部となっているものに適している。
【００２４】また、スライダの記録媒体との対向面の傾
き量を測定する傾き測定手段としては、例えばオートコ
リメータが使用される。このオートコリメータは、スラ
イダの記録媒体との対向面に所定形状の検知光のスポッ
トを照射し、スライダに形成されたスポットの像を検出
するものである。スライダの対向面のスポットの像を光
学的に検出することにより、スライダがどの方向へどの
程度傾いているのかを測定できる。あるいは、接触式の
傾き測定手段であってもよい。
き量を測定する傾き測定手段としては、例えばオートコ
リメータが使用される。このオートコリメータは、スラ
イダの記録媒体との対向面に所定形状の検知光のスポッ
トを照射し、スライダに形成されたスポットの像を検出
するものである。スライダの対向面のスポットの像を光
学的に検出することにより、スライダがどの方向へどの
程度傾いているのかを測定できる。あるいは、接触式の
傾き測定手段であってもよい。
【００２５】本発明では、板ばね（ジンバル）の固定部
を固定して、スライダの傾き量を測定しているために、
板ばねの固定部からスライダの支持部に至る全ての捻り
変形を加味した測定ができ、またこの状態で板ばねを矯
正しているために、板ばねを固定し且つスライダの傾き
を矯正したときに、その矯正後のスライダの姿勢を最適
な状態に設定できる。
を固定して、スライダの傾き量を測定しているために、
板ばねの固定部からスライダの支持部に至る全ての捻り
変形を加味した測定ができ、またこの状態で板ばねを矯
正しているために、板ばねを固定し且つスライダの傾き
を矯正したときに、その矯正後のスライダの姿勢を最適
な状態に設定できる。
【００２６】また、ヘッドユニットが磁気記録再生装置
に実装されたてＺハイトが与えられたときとほぼ同じ状
態の撓みを板ばねに与え、この状態で、スライダの傾き
を測定し、さらに板ばねの捻りなどの変形を矯正してい
るため、実際に装置に実装されたときのスライダの傾き
を確実に矯正できるようになる。
に実装されたてＺハイトが与えられたときとほぼ同じ状
態の撓みを板ばねに与え、この状態で、スライダの傾き
を測定し、さらに板ばねの捻りなどの変形を矯正してい
るため、実際に装置に実装されたときのスライダの傾き
を確実に矯正できるようになる。
【００２７】
【発明の実施の形態】図１は本発明のヘッドユニットの
検査装置（検査・矯正装置）を示す正面図、図２はその
左側面図、図３は図１の一部拡大図、図４は図３の平面
図、図５は図３の左側面図である。図に示す検査装置で
は、図７に示すヘッドユニットＨのスライダ４の姿勢の
傾き測定が可能であり、且つ傾き矯正が可能で、この傾
き矯正後のスライダ４の姿勢を検査できる。
検査装置（検査・矯正装置）を示す正面図、図２はその
左側面図、図３は図１の一部拡大図、図４は図３の平面
図、図５は図３の左側面図である。図に示す検査装置で
は、図７に示すヘッドユニットＨのスライダ４の姿勢の
傾き測定が可能であり、且つ傾き矯正が可能で、この傾
き矯正後のスライダ４の姿勢を検査できる。
【００２８】図７に示すヘッドユニットＨは、金属の板
ばね材料で形成された板ばね（ジンバル）１が、磁気記
録媒体（ハードディスク）の記録トラックの接線方向
（Ｘ方向）に延びるものであり、Ｘ（＋）側がリーディ
ング側で、Ｘ（−）側がトレーリング側である。板ばね
１の基端部には、ハードディスク装置などの磁気記録再
生装置に固定される固定部（マウント部）１ａとなって
おり、この固定部１ａには、補強板２が固定されてい
る。板ばね１の前記固定部１ａの先は、中央に切欠き窓
１ｂが形成された弾性変形部１ｃであり、この板ばね１
は、主にこの弾性変形部１ｃが撓むようになっている。
弾性変形部１ｃよりも先部は、腕部（ロードビーム部）
１ｄである。腕部（ロードビーム部）１ｄでは、板ばね
材料の両側部が折り曲げられてフランジ１ｆ，１ｆが形
成され、このフランジ１ｆ，１ｆが形成されていること
により、腕部１ｄは弾性変形が抑制されている。
ばね材料で形成された板ばね（ジンバル）１が、磁気記
録媒体（ハードディスク）の記録トラックの接線方向
（Ｘ方向）に延びるものであり、Ｘ（＋）側がリーディ
ング側で、Ｘ（−）側がトレーリング側である。板ばね
１の基端部には、ハードディスク装置などの磁気記録再
生装置に固定される固定部（マウント部）１ａとなって
おり、この固定部１ａには、補強板２が固定されてい
る。板ばね１の前記固定部１ａの先は、中央に切欠き窓
１ｂが形成された弾性変形部１ｃであり、この板ばね１
は、主にこの弾性変形部１ｃが撓むようになっている。
弾性変形部１ｃよりも先部は、腕部（ロードビーム部）
１ｄである。腕部（ロードビーム部）１ｄでは、板ばね
材料の両側部が折り曲げられてフランジ１ｆ，１ｆが形
成され、このフランジ１ｆ，１ｆが形成されていること
により、腕部１ｄは弾性変形が抑制されている。
【００２９】前記腕部１ｄの先端はスライダの支持部で
あり、この部分には薄い板ばねで形成されたフレキシャ
３を介してスライダ４が支持されている。フレキシャ３
は、腕部１ｄの先端に接着される接着片と、スライダ４
が接着固定される支持片とを有し、接着片と支持片との
間で弾性変形可能とされているものである。腕部１ｄの
先端部にはＺ（−）方向に突出する突状のピボットが形
成され、スライダ４はこのピボットを支点として傾斜で
きるようになっている。スライダ４は、セラミック材料
などで形成されているものであり、図示下側の面が、ハ
ードディスクなどの磁気記録媒体との対向面（ＡＢＳ
面）４ａで、図示上側の面が、フレキシャ３の前記支持
片に接着される支持面４ｂである。また前記対向面４ａ
には、磁気記録媒体との間での空気流（エアーベアリン
グ）を調整して浮上距離を設定する溝４ｃが形成されて
いる。そして、スライダ４のトレーリング側の端面には
磁気記録部と磁気読取り部を形成する薄膜素子５が設け
られている。
あり、この部分には薄い板ばねで形成されたフレキシャ
３を介してスライダ４が支持されている。フレキシャ３
は、腕部１ｄの先端に接着される接着片と、スライダ４
が接着固定される支持片とを有し、接着片と支持片との
間で弾性変形可能とされているものである。腕部１ｄの
先端部にはＺ（−）方向に突出する突状のピボットが形
成され、スライダ４はこのピボットを支点として傾斜で
きるようになっている。スライダ４は、セラミック材料
などで形成されているものであり、図示下側の面が、ハ
ードディスクなどの磁気記録媒体との対向面（ＡＢＳ
面）４ａで、図示上側の面が、フレキシャ３の前記支持
片に接着される支持面４ｂである。また前記対向面４ａ
には、磁気記録媒体との間での空気流（エアーベアリン
グ）を調整して浮上距離を設定する溝４ｃが形成されて
いる。そして、スライダ４のトレーリング側の端面には
磁気記録部と磁気読取り部を形成する薄膜素子５が設け
られている。
【００３０】前記薄膜素子５から延びるリード線６は、
板ばね１の上面に沿って後端部の方向へ延びる。またリ
ード線６には必要に応じて保護用のチューブ７が外装さ
れている。ハードディスク装置などの磁気記録再生装置
では、前記板ばね１の基端部の固定部１ａが装置本体内
のアーム部に固定され、スライダ４の対向面４ａが磁気
記録媒体（ハードディスク）に対面する。スライダ４が
磁気記録媒体の表面に対向した実装状態で図８に示すＺ
ハイトが与えられ、板ばね１の弾性変形部１ｂは撓みを
生じる。
板ばね１の上面に沿って後端部の方向へ延びる。またリ
ード線６には必要に応じて保護用のチューブ７が外装さ
れている。ハードディスク装置などの磁気記録再生装置
では、前記板ばね１の基端部の固定部１ａが装置本体内
のアーム部に固定され、スライダ４の対向面４ａが磁気
記録媒体（ハードディスク）に対面する。スライダ４が
磁気記録媒体の表面に対向した実装状態で図８に示すＺ
ハイトが与えられ、板ばね１の弾性変形部１ｂは撓みを
生じる。
【００３１】磁気記録媒体が停止しているときには、ス
ライダ４の対向面４ａが磁気記録媒体の表面にほぼ全面
的に接触しており、磁気記録媒体（ハードディスク）が
始動すると、スライダ４の対向面４ａが磁気記録媒体の
表面の空気流により持ち上げられ、スライダ４は磁気記
録媒体の表面に対して浮上しまたは軽く接触した状態と
なる。この姿勢で、薄膜素子５により、磁気記録媒体に
磁気信号が記録され、または磁気記録媒体に記録されて
いる磁気信号が読み取られる。ヘッドユニットの検査装
置（検査・矯正装置）では、図１の図示左側部分に前記
ヘッドユニットＨが支持される。
ライダ４の対向面４ａが磁気記録媒体の表面にほぼ全面
的に接触しており、磁気記録媒体（ハードディスク）が
始動すると、スライダ４の対向面４ａが磁気記録媒体の
表面の空気流により持ち上げられ、スライダ４は磁気記
録媒体の表面に対して浮上しまたは軽く接触した状態と
なる。この姿勢で、薄膜素子５により、磁気記録媒体に
磁気信号が記録され、または磁気記録媒体に記録されて
いる磁気信号が読み取られる。ヘッドユニットの検査装
置（検査・矯正装置）では、図１の図示左側部分に前記
ヘッドユニットＨが支持される。
【００３２】検査装置の全体構造を説明すると、ベース
１０の図示左側に支持基台１１が設けられ、ヘッドユニ
ットＨの固定部１ａが固定される支持体１２が前記支持
基台１１に設置される。支持基台１１の上部には、前記
ヘッドユニットＨの板ばね１の腕部１ｄに押圧力を与
え、且つ腕部１ｄを矯正のために拘束する押圧・拘束部
２０が設けられている。また、ベース１０上には、ヘッ
ドユニットＨのスライダ４の傾きを測定する測定手段と
してのオートコリメータ１４が設けられ、このオートコ
リメータ１４は支持台１３に支持されて固定されてい
る。
１０の図示左側に支持基台１１が設けられ、ヘッドユニ
ットＨの固定部１ａが固定される支持体１２が前記支持
基台１１に設置される。支持基台１１の上部には、前記
ヘッドユニットＨの板ばね１の腕部１ｄに押圧力を与
え、且つ腕部１ｄを矯正のために拘束する押圧・拘束部
２０が設けられている。また、ベース１０上には、ヘッ
ドユニットＨのスライダ４の傾きを測定する測定手段と
してのオートコリメータ１４が設けられ、このオートコ
リメータ１４は支持台１３に支持されて固定されてい
る。
【００３３】図１以下の各図では、図７に示すＸ−Ｙ−
Ｚ座標に相当するように各座標方向を示している。図１
と図２に示す前記オートコリメータ１４は、Ｚ（＋）方
向へ検知光を照射して、ヘッドユニットＨのスライダ４
の対向面４ａに検知光のスポット像を形成する。このス
ポット像は例えば十字形状である。オートコリメータ１
４では、前記対向面４ａに形成されたスポット像の形状
の歪みを観察することにより対向面４ａの傾きを検査で
きるようになっている。
Ｚ座標に相当するように各座標方向を示している。図１
と図２に示す前記オートコリメータ１４は、Ｚ（＋）方
向へ検知光を照射して、ヘッドユニットＨのスライダ４
の対向面４ａに検知光のスポット像を形成する。このス
ポット像は例えば十字形状である。オートコリメータ１
４では、前記対向面４ａに形成されたスポット像の形状
の歪みを観察することにより対向面４ａの傾きを検査で
きるようになっている。
【００３４】図３ないし図５は、前記押圧・拘束部２０
の構造を拡大して示している。図１に示すように、ヘッ
ドユニットＨが固定される前記支持体１２は、支持基台
１１に着脱自在であり、且つ支持体１２は支持基台１１
に対して位置決めされて固定される。支持体１２の上部
先端は、ヘッドユニットＨの固定面１２ａであり、ヘッ
ドユニットＨの板ばね１の基端の固定部１ａがこの固定
面１２ａに密着し且つ位置決めされて固定される。すな
わち、測定すべきヘッドユニットＨは、支持体１２の前
記固定面１２ａに位置決めされて固定され、その後に支
持体１２が支持基台１１に対して位置決めされて固定さ
れる。
の構造を拡大して示している。図１に示すように、ヘッ
ドユニットＨが固定される前記支持体１２は、支持基台
１１に着脱自在であり、且つ支持体１２は支持基台１１
に対して位置決めされて固定される。支持体１２の上部
先端は、ヘッドユニットＨの固定面１２ａであり、ヘッ
ドユニットＨの板ばね１の基端の固定部１ａがこの固定
面１２ａに密着し且つ位置決めされて固定される。すな
わち、測定すべきヘッドユニットＨは、支持体１２の前
記固定面１２ａに位置決めされて固定され、その後に支
持体１２が支持基台１１に対して位置決めされて固定さ
れる。
【００３５】図３に示すように、押圧・拘束部２０の支
持ベース２１の上部には、押圧軸２２がＺ軸方向へ進退
自在に保持されており、この押圧軸２２の先端には、押
圧部材となる押圧ピン２２ａが一体に形成されている。
押圧ピン２２ａは先端が球面形状であり、ヘッドユニッ
トＨの板ばね１の腕部１ｄに対し一点で当接し腕部１ｄ
をＺ（＋）方向へ押圧するものである。腕部１ｄに対す
る押圧ピン２２ａによる押圧点Ｐは、図５に示すよう
に、ヘッドユニットＨの中心線Ｏ上に位置している。前
記中心線Ｏは、スライダ４の幅方向の中心、および板ば
ね１の幅方向の中心線を通過している仮想線である。前
記支持ベース２１上には押圧力設定部２３が位置してい
る。押圧力設定部２３は、押圧軸２２をＸ（＋）方向へ
弾性的に押圧する押圧体２４と、押圧体支持部２５とか
ら構成されている。
持ベース２１の上部には、押圧軸２２がＺ軸方向へ進退
自在に保持されており、この押圧軸２２の先端には、押
圧部材となる押圧ピン２２ａが一体に形成されている。
押圧ピン２２ａは先端が球面形状であり、ヘッドユニッ
トＨの板ばね１の腕部１ｄに対し一点で当接し腕部１ｄ
をＺ（＋）方向へ押圧するものである。腕部１ｄに対す
る押圧ピン２２ａによる押圧点Ｐは、図５に示すよう
に、ヘッドユニットＨの中心線Ｏ上に位置している。前
記中心線Ｏは、スライダ４の幅方向の中心、および板ば
ね１の幅方向の中心線を通過している仮想線である。前
記支持ベース２１上には押圧力設定部２３が位置してい
る。押圧力設定部２３は、押圧軸２２をＸ（＋）方向へ
弾性的に押圧する押圧体２４と、押圧体支持部２５とか
ら構成されている。
【００３６】図４に示され、また図６に拡大して示され
るように、前記支持ベース２１の腕部１ｄに対向する面
は拘束部２１ａとなっている。またヘッドユニットＨの
腕部１ｄを挟んで前記拘束部２１ａに対向する部分に、
拘束軸２７が設けられている。この拘束軸２７はＹ方向
へ延びるものであり、腕部１ｄに対向する部分が拘束部
２７ａとなっている。腕部１ｄがこの拘束部２７ａに当
たるとき、その接触部分はＹ方向に延びる直線状であ
る。図５では腕部１ｄに当たる部分となる直線状の拘束
部２７ａをＬ（２７ａ）で示している。前記拘束軸２７
は図４においてＹ（＋）方向へ抜き取り自在であり、支
持体１２が支持基台１１に固定され、板ばね１の腕部１
ｄが前記拘束部２１ａの前方に設置された後に、前記拘
束軸２７がＹ（−）方向へ装着され、板ばね１の腕部１
ｄは、拘束部２１ａと拘束部２７ａの間に位置する。
るように、前記支持ベース２１の腕部１ｄに対向する面
は拘束部２１ａとなっている。またヘッドユニットＨの
腕部１ｄを挟んで前記拘束部２１ａに対向する部分に、
拘束軸２７が設けられている。この拘束軸２７はＹ方向
へ延びるものであり、腕部１ｄに対向する部分が拘束部
２７ａとなっている。腕部１ｄがこの拘束部２７ａに当
たるとき、その接触部分はＹ方向に延びる直線状であ
る。図５では腕部１ｄに当たる部分となる直線状の拘束
部２７ａをＬ（２７ａ）で示している。前記拘束軸２７
は図４においてＹ（＋）方向へ抜き取り自在であり、支
持体１２が支持基台１１に固定され、板ばね１の腕部１
ｄが前記拘束部２１ａの前方に設置された後に、前記拘
束軸２７がＹ（−）方向へ装着され、板ばね１の腕部１
ｄは、拘束部２１ａと拘束部２７ａの間に位置する。
【００３７】次に、上記ヘッドユニットの検査装置（検
査・矯正装置）を用いたヘッドユニットの検査方法およ
び矯正方法について説明する。支持体１２を支持基台１
１から外した状態で、被検査物である図７に示すヘッド
ユニットＨの板ばね１の基端の固定部１ａを、支持体１
２の固定面１２ａに位置決めして固定する。次に、この
支持体１２を支持基台１１に固定する。このとき、支持
体１２に固定されているヘッドユニットＨの板ばね１の
腕部１ｄは、支持ベース２１の上部の拘束部２１ａに対
面する。次に、拘束軸２７をＹ（−）方向へ装着する
と、腕部１ｄは、拘束部２１ａと拘束部２７ａの間に位
置する。
査・矯正装置）を用いたヘッドユニットの検査方法およ
び矯正方法について説明する。支持体１２を支持基台１
１から外した状態で、被検査物である図７に示すヘッド
ユニットＨの板ばね１の基端の固定部１ａを、支持体１
２の固定面１２ａに位置決めして固定する。次に、この
支持体１２を支持基台１１に固定する。このとき、支持
体１２に固定されているヘッドユニットＨの板ばね１の
腕部１ｄは、支持ベース２１の上部の拘束部２１ａに対
面する。次に、拘束軸２７をＹ（−）方向へ装着する
と、腕部１ｄは、拘束部２１ａと拘束部２７ａの間に位
置する。
【００３８】支持体１２を支持基台１１に固定した時点
では、板ばね１のＺ（−）方向への弾圧力により、腕部
１ｄが前記拘束部２１ａに圧接しようとする。しかし、
押圧体２４により押圧軸２２がＺ（＋）方向へ弾圧され
るため、押圧ピン２２ａが押圧点Ｐにて腕部１ｄをＺ
（＋）方向へ押し、板ばね１は押圧ピン２２ａで押され
て撓む状態となる。このとき押圧軸２２のＺ（＋）方向
への押圧力を調節し、図６に示すように、腕部１ｄが拘
束部２１ａからわずかな距離Ｂ１だけ離れ、且つ腕部１
ｄのフランジ１ｆの先端が拘束部２７ａから距離Ｂ２だ
け離れるようにする。
では、板ばね１のＺ（−）方向への弾圧力により、腕部
１ｄが前記拘束部２１ａに圧接しようとする。しかし、
押圧体２４により押圧軸２２がＺ（＋）方向へ弾圧され
るため、押圧ピン２２ａが押圧点Ｐにて腕部１ｄをＺ
（＋）方向へ押し、板ばね１は押圧ピン２２ａで押され
て撓む状態となる。このとき押圧軸２２のＺ（＋）方向
への押圧力を調節し、図６に示すように、腕部１ｄが拘
束部２１ａからわずかな距離Ｂ１だけ離れ、且つ腕部１
ｄのフランジ１ｆの先端が拘束部２７ａから距離Ｂ２だ
け離れるようにする。
【００３９】押圧ピン２２ａで腕部１ｄを押圧すると、
板ばね１の主に弾性変形部１ｃが撓むことになるが、拘
束部２１ａと拘束部２７ａとの間で腕部１ｄがいずれの
拘束部にも接触しない状態となったときの、前記弾性変
形部１ｃの撓み量は、このヘッドユニットＨが磁気記録
再生装置に実装され、スライダ４が磁気記録媒体（ハー
ドディスク）の表面に対向し、Ｚハイトが与えられたの
と同じかまたはほぼ同じ撓み量となるように設定され
る。この状態で、測定手段であるオートコリメータ１４
からスライダ４の対向面４ａに検知光のスポット像が形
成され、このスポット像を観察することにより、スライ
ダ４がいずれの方向へ傾きを生じているか検査できる。
ヘッドユニットＨは、板ばね１の基端の固定部１ａが固
定され、腕部１ｄが押圧ピン２２ａで押圧されて実装時
のＺハイトに相当する変位量が与えられているため、ス
ライダ４の対向面４ａの傾きは、磁気記録再生装置に実
装された状態での磁気記録媒体の表面に対する傾きにほ
ぼ相当する。
板ばね１の主に弾性変形部１ｃが撓むことになるが、拘
束部２１ａと拘束部２７ａとの間で腕部１ｄがいずれの
拘束部にも接触しない状態となったときの、前記弾性変
形部１ｃの撓み量は、このヘッドユニットＨが磁気記録
再生装置に実装され、スライダ４が磁気記録媒体（ハー
ドディスク）の表面に対向し、Ｚハイトが与えられたの
と同じかまたはほぼ同じ撓み量となるように設定され
る。この状態で、測定手段であるオートコリメータ１４
からスライダ４の対向面４ａに検知光のスポット像が形
成され、このスポット像を観察することにより、スライ
ダ４がいずれの方向へ傾きを生じているか検査できる。
ヘッドユニットＨは、板ばね１の基端の固定部１ａが固
定され、腕部１ｄが押圧ピン２２ａで押圧されて実装時
のＺハイトに相当する変位量が与えられているため、ス
ライダ４の対向面４ａの傾きは、磁気記録再生装置に実
装された状態での磁気記録媒体の表面に対する傾きにほ
ぼ相当する。
【００４０】スライダ４の対向面４ａの傾きを測定した
時点で、スライダ４のロール方向（Ｘ軸回り）の傾き量
が許容値以上であった場合には、矯正作業を行なう。こ
の矯正作業では、図３および図５に示すように、拘束部
２１ａ，２７ａよりも先方に突出している腕部１ｄの先
端部分を工具３０で挟む。この工具３０は例えばピンセ
ットなどである。この工具３０で腕部１ｄの先部を挟ん
で捻ると、腕部１ｄは拘束部２１ａと拘束部２７ａとで
拘束されてその先部に捻り力が与えられる。この捻り動
作により腕部１ｄの部分が捻り変形する。この矯正作業
を行ないながら、オートコリメータ１４によりスライダ
４の対向面４ａの傾き状態を観察し、対向面４ａの傾き
が許容値以内となったときに矯正動作を完了する。
時点で、スライダ４のロール方向（Ｘ軸回り）の傾き量
が許容値以上であった場合には、矯正作業を行なう。こ
の矯正作業では、図３および図５に示すように、拘束部
２１ａ，２７ａよりも先方に突出している腕部１ｄの先
端部分を工具３０で挟む。この工具３０は例えばピンセ
ットなどである。この工具３０で腕部１ｄの先部を挟ん
で捻ると、腕部１ｄは拘束部２１ａと拘束部２７ａとで
拘束されてその先部に捻り力が与えられる。この捻り動
作により腕部１ｄの部分が捻り変形する。この矯正作業
を行ないながら、オートコリメータ１４によりスライダ
４の対向面４ａの傾き状態を観察し、対向面４ａの傾き
が許容値以内となったときに矯正動作を完了する。
【００４１】この検査方法および矯正方法では、板ばね
１の腕部１ｄが中心線Ｏ上にて、押圧ピン２２ａの先端
の一点（押圧点Ｐ）で押されて、Ｚハイトが与えられと
きと同等の撓みが設定される。そのため、オートコリメ
ータ１４でスライダ４の傾きを測定するときの、スライ
ダ４の状態は、実際の磁気記録媒体（ハードディスク）
に対向したときとほぼ同じ条件となる。また拘束部２１
ａ全体で腕部１ｄを押圧して弾性変形部１ｃに撓みを与
えるのではなく、腕部１ｄに対して一点（押圧点Ｐ）の
みで押圧力を与えて弾性変形部１ｃに撓みを与えている
ため、図８に示すＺハイトと同じ条件を設定しやすくな
る。また工具３０で腕部１ｄの先部に対して捻り矯正力
を与えるときには、微小距離Ｂ１とＢ２を介して両側に
対向する拘束部２１ａと２７ａとで腕部１ｄが拘束され
る。このとき前記距離Ｂ１とＢ２を適正に設定しておく
ことにより、腕部１ｄに与えられる捻り矯正力が弾性変
形部１ｃに影響を与えるのを防止でき、よって弾性変形
部１ｃに塑性変形が生じるのを防止できる。逆に、前記
距離Ｂ１とＢ２は、腕部１ｄに捻り変形を与えたとき
に、弾性変形部１ｃに捻り方向へ塑性変形が生じない範
囲とすることが好ましい。
１の腕部１ｄが中心線Ｏ上にて、押圧ピン２２ａの先端
の一点（押圧点Ｐ）で押されて、Ｚハイトが与えられと
きと同等の撓みが設定される。そのため、オートコリメ
ータ１４でスライダ４の傾きを測定するときの、スライ
ダ４の状態は、実際の磁気記録媒体（ハードディスク）
に対向したときとほぼ同じ条件となる。また拘束部２１
ａ全体で腕部１ｄを押圧して弾性変形部１ｃに撓みを与
えるのではなく、腕部１ｄに対して一点（押圧点Ｐ）の
みで押圧力を与えて弾性変形部１ｃに撓みを与えている
ため、図８に示すＺハイトと同じ条件を設定しやすくな
る。また工具３０で腕部１ｄの先部に対して捻り矯正力
を与えるときには、微小距離Ｂ１とＢ２を介して両側に
対向する拘束部２１ａと２７ａとで腕部１ｄが拘束され
る。このとき前記距離Ｂ１とＢ２を適正に設定しておく
ことにより、腕部１ｄに与えられる捻り矯正力が弾性変
形部１ｃに影響を与えるのを防止でき、よって弾性変形
部１ｃに塑性変形が生じるのを防止できる。逆に、前記
距離Ｂ１とＢ２は、腕部１ｄに捻り変形を与えたとき
に、弾性変形部１ｃに捻り方向へ塑性変形が生じない範
囲とすることが好ましい。
【００４２】工具３０により腕部１ｄを捻り矯正すると
きに、腕部１ｄは、拘束部２１ａと拘束部２７ａとで拘
束されるが、拘束部２７ａは断面が円形の拘束軸２７の
周面の一部であるため、捻り矯正力が与えられる際に腕
部１ｄは、拘束部２７ａの外周面でＹ方向へ延びる直線
Ｌ（２７ａ）にて拘束されることになる。よって、捻り
動作の際に、直線Ｌ（２７ａ）にて支えられる腕部１ｄ
は主にロール方向（Ｘ軸回り）に矯正されるようにな
り、腕部１ｄにピッチ方向（Ｙ軸回り）の変形が生じに
くくなる。この点をさらに詳しく説明すると、仮に拘束
軸２７が断面矩形状のものであり、拘束部２７ａが広い
面積で腕部１ｄを拘束するものであると、工具３０で腕
部１ｄに捻りを与えたときに、腕部１ｄが拘束部２７ａ
に対し、図５にて符号Ｌａで示す対角線にて接触するこ
とになる。この場合、腕部１ｄにはロール方向への曲げ
力のみならずピッチ方向への曲げ力が作用し、腕部１ｄ
にピッチ方向への不要な曲げが発生してしまう。
きに、腕部１ｄは、拘束部２１ａと拘束部２７ａとで拘
束されるが、拘束部２７ａは断面が円形の拘束軸２７の
周面の一部であるため、捻り矯正力が与えられる際に腕
部１ｄは、拘束部２７ａの外周面でＹ方向へ延びる直線
Ｌ（２７ａ）にて拘束されることになる。よって、捻り
動作の際に、直線Ｌ（２７ａ）にて支えられる腕部１ｄ
は主にロール方向（Ｘ軸回り）に矯正されるようにな
り、腕部１ｄにピッチ方向（Ｙ軸回り）の変形が生じに
くくなる。この点をさらに詳しく説明すると、仮に拘束
軸２７が断面矩形状のものであり、拘束部２７ａが広い
面積で腕部１ｄを拘束するものであると、工具３０で腕
部１ｄに捻りを与えたときに、腕部１ｄが拘束部２７ａ
に対し、図５にて符号Ｌａで示す対角線にて接触するこ
とになる。この場合、腕部１ｄにはロール方向への曲げ
力のみならずピッチ方向への曲げ力が作用し、腕部１ｄ
にピッチ方向への不要な曲げが発生してしまう。
【００４３】これに対し、丸棒状の拘束軸２７を用いる
と、矯正動作の際に、腕部１ｄが直線Ｌ（２７ａ）にて
拘束部２７ａに当たるため、腕部１ｄにピッチ方向への
不要な変形が発生することがない。以上の矯正方法で
は、ヘッドユニットＨが磁気記録再生装置に実装され
て、スライダ４が磁気記録媒体（ハードディスク）の表
面に対面したのとほぼ同じ条件でのスライダ４のロール
方向への傾きを矯正できる。
と、矯正動作の際に、腕部１ｄが直線Ｌ（２７ａ）にて
拘束部２７ａに当たるため、腕部１ｄにピッチ方向への
不要な変形が発生することがない。以上の矯正方法で
は、ヘッドユニットＨが磁気記録再生装置に実装され
て、スライダ４が磁気記録媒体（ハードディスク）の表
面に対面したのとほぼ同じ条件でのスライダ４のロール
方向への傾きを矯正できる。
【００４４】図１０は、本発明の上記検査方法と従来の
検査方法とによる検査精度の相違を示している。図１０
（Ａ）は従来の検査方法、すなわちヘッドユニットＨの
板ばね１の腕部１ｄを検査治具に位置決めして固定し、
板ばね１にＺハイト方向の撓みを与えない状態でスライ
ダ４の対向面４ａの傾きを測定した場合を示している。
図８（Ａ）の横軸は前記方法で検査した時点での、スラ
イダ４の対向面４ａのロール方向への傾き角を示し、縦
軸は検査後のヘッドユニットを磁気記録再生装置に実装
し、スライダ４を磁気記録媒体に対向させ、且つ磁気記
録媒体を走行させてスライダ４の対向面４ａに空気流に
よる浮上力が与えられたときの、前記スライダ４の対向
面４ａのロール方向への傾き角を示している。
検査方法とによる検査精度の相違を示している。図１０
（Ａ）は従来の検査方法、すなわちヘッドユニットＨの
板ばね１の腕部１ｄを検査治具に位置決めして固定し、
板ばね１にＺハイト方向の撓みを与えない状態でスライ
ダ４の対向面４ａの傾きを測定した場合を示している。
図８（Ａ）の横軸は前記方法で検査した時点での、スラ
イダ４の対向面４ａのロール方向への傾き角を示し、縦
軸は検査後のヘッドユニットを磁気記録再生装置に実装
し、スライダ４を磁気記録媒体に対向させ、且つ磁気記
録媒体を走行させてスライダ４の対向面４ａに空気流に
よる浮上力が与えられたときの、前記スライダ４の対向
面４ａのロール方向への傾き角を示している。
【００４５】図１０（Ａ）では、検査時でのスライダ４
の傾き角度とスライダ４が浮上したときの傾き角度とが
リニアな関係になるものが多いが、（ｉ）で示すよう
に、検査時と浮上時とでスライダ４のロール方向の傾き
が極端に相違するものが現れる。これは板ばね１の腕部
１ｄを固定してスライダ４の傾き角度を測定した検査結
果は、磁気記録媒体上で浮上したスライダ４のロール方
向の傾きとかならずしも一致しないことを意味してい
る。
の傾き角度とスライダ４が浮上したときの傾き角度とが
リニアな関係になるものが多いが、（ｉ）で示すよう
に、検査時と浮上時とでスライダ４のロール方向の傾き
が極端に相違するものが現れる。これは板ばね１の腕部
１ｄを固定してスライダ４の傾き角度を測定した検査結
果は、磁気記録媒体上で浮上したスライダ４のロール方
向の傾きとかならずしも一致しないことを意味してい
る。
【００４６】図１０（Ｂ）の横軸は、本発明の検査装置
を用いて、板ばね１の基端の固定部１ａを固定し、押圧
ピン２２ａで腕部１ｄを押し、弾性変形部１ｃに撓みを
与えてスライダ４に対しＺハイトが与えられたときのス
ライダ４のロール方向の傾き角度の検査結果を示してい
る。また縦軸は、実際に磁気記録再生装置に実装し、ス
ライダ４が磁気記録再生装置の表面で浮上姿勢となった
ときのスライダ４のロール方向の傾き角を示している。
図１０（Ｂ）では検査時でのスライダ４の傾き角と、浮
上時でのスライダ４の傾き角とがほぼ１対１に対応して
おり、図１０（Ａ）にて（ｉ）で示すように極端に相違
するものが現れない。このように本発明での検査方法で
の測定結果は、磁気記録再生装置に実装された状態のス
ライダ４の傾きにきわめて高い精度で対応していること
が解る。
を用いて、板ばね１の基端の固定部１ａを固定し、押圧
ピン２２ａで腕部１ｄを押し、弾性変形部１ｃに撓みを
与えてスライダ４に対しＺハイトが与えられたときのス
ライダ４のロール方向の傾き角度の検査結果を示してい
る。また縦軸は、実際に磁気記録再生装置に実装し、ス
ライダ４が磁気記録再生装置の表面で浮上姿勢となった
ときのスライダ４のロール方向の傾き角を示している。
図１０（Ｂ）では検査時でのスライダ４の傾き角と、浮
上時でのスライダ４の傾き角とがほぼ１対１に対応して
おり、図１０（Ａ）にて（ｉ）で示すように極端に相違
するものが現れない。このように本発明での検査方法で
の測定結果は、磁気記録再生装置に実装された状態のス
ライダ４の傾きにきわめて高い精度で対応していること
が解る。
【００４７】次に、板ばね１の腕部１ｄに捻り矯正力を
与える場合の、拘束部２１ａ，２７ａの位置と、図６に
示す隙間寸法Ｂ１，Ｂ２の最適値について説明する。ま
ず、図３に示す拘束軸２７や支持ベース２１などの拘束
のための部材と、スライダ４との間隔Ｌａは、ピンセッ
トなどの工具３０が入ることのできる寸法であることが
必要であり、Ｌａは３ｍｍ以上であることが好ましい。
与える場合の、拘束部２１ａ，２７ａの位置と、図６に
示す隙間寸法Ｂ１，Ｂ２の最適値について説明する。ま
ず、図３に示す拘束軸２７や支持ベース２１などの拘束
のための部材と、スライダ４との間隔Ｌａは、ピンセッ
トなどの工具３０が入ることのできる寸法であることが
必要であり、Ｌａは３ｍｍ以上であることが好ましい。
【００４８】また工具３０により腕部１ｄに捻り力を与
える際、腕部１ｄが拘束部２１ａと２７ａとで拘束され
るため、この拘束部２１ａと２７ａの位置が板ばね１の
弾性変形部１ｃに接近していると、腕部１ｄに与えられ
る捻り力で弾性変形部１ｃが塑性変形する恐れが生じ
る。よって拘束部２１ａと２７ａによる拘束箇所は弾性
変形部１ｃから十分に離れていることが好ましい。図５
に示すように、板ばね１の固定部１ａの端部に連続する
弾性変形部１ｃの長さをＬｃとし、前記端部から拘束部
２１ａ，２７ａによる拘束部までの距離をＬｂとしたと
きに、ＬｂはＬｃの２倍以上であることが好ましく、さ
らに好ましくは３倍以上である。図５に示す例ではＬｂ
がＬｃの３倍以上でほぼ３．３倍に設定されている。
える際、腕部１ｄが拘束部２１ａと２７ａとで拘束され
るため、この拘束部２１ａと２７ａの位置が板ばね１の
弾性変形部１ｃに接近していると、腕部１ｄに与えられ
る捻り力で弾性変形部１ｃが塑性変形する恐れが生じ
る。よって拘束部２１ａと２７ａによる拘束箇所は弾性
変形部１ｃから十分に離れていることが好ましい。図５
に示すように、板ばね１の固定部１ａの端部に連続する
弾性変形部１ｃの長さをＬｃとし、前記端部から拘束部
２１ａ，２７ａによる拘束部までの距離をＬｂとしたと
きに、ＬｂはＬｃの２倍以上であることが好ましく、さ
らに好ましくは３倍以上である。図５に示す例ではＬｂ
がＬｃの３倍以上でほぼ３．３倍に設定されている。
【００４９】次に、図１１は、腕部１ｄの拘束クリアラ
ンスの最適な範囲を求めた実験の結果を示している。こ
の実験では、拘束線Ｌ（２７ａ）の部分での板ばね１の
腕部１ｄの幅寸法を３ｍｍ、腕部１ｄの両側部に折り曲
げられているフランジ１ｆの高さ寸法ｈを０．１ｍｍと
し、前記ＬｂをＬｃの３倍以上（約３．３倍）とした。
この状態で、拘束部２１ａと拘束部２７ａとの間の隙間
寸法Ｂ１とＢ２（図６参照）を変化させ、拘束部分より
も先に突出する腕部にピンセットで３°の捻り力を与え
た。
ンスの最適な範囲を求めた実験の結果を示している。こ
の実験では、拘束線Ｌ（２７ａ）の部分での板ばね１の
腕部１ｄの幅寸法を３ｍｍ、腕部１ｄの両側部に折り曲
げられているフランジ１ｆの高さ寸法ｈを０．１ｍｍと
し、前記ＬｂをＬｃの３倍以上（約３．３倍）とした。
この状態で、拘束部２１ａと拘束部２７ａとの間の隙間
寸法Ｂ１とＢ２（図６参照）を変化させ、拘束部分より
も先に突出する腕部にピンセットで３°の捻り力を与え
た。
【００５０】図１１では、横軸に隙間寸法の合計（Ｂ１
＋Ｂ２）をｍｍで表し、縦軸は、磁気記録再生装置に装
填した状態で、板ばねの矯正前と矯正後でのスライダ４
に与えられる磁気記録媒体方向への弾圧力の変化率を％
で示している。隙間寸法の合計（Ｂ１＋Ｂ２）が０．１
ｍｍ以下であると、フランジ１ｆの高さ寸法ｈのバラツ
キが大きい場合に腕部１ｄと、各拘束部２１ａ、２７ａ
との間に隙間が形成されなくなり、拘束軸２７をＸ
（−）方向へ移動させて設定する際に、拘束軸２７がフ
ランジ１ｆに接触し、ジンバルを変形させてしまう。ま
たＢ１＋Ｂ２が０．２ｍｍを越えると、スライダ４に与
えられる弾圧力の変化率に変動が発生し、Ｂ１＋Ｂ２が
０．２５ｍｍを越えるとその変動率はさらに大きくな
る。
＋Ｂ２）をｍｍで表し、縦軸は、磁気記録再生装置に装
填した状態で、板ばねの矯正前と矯正後でのスライダ４
に与えられる磁気記録媒体方向への弾圧力の変化率を％
で示している。隙間寸法の合計（Ｂ１＋Ｂ２）が０．１
ｍｍ以下であると、フランジ１ｆの高さ寸法ｈのバラツ
キが大きい場合に腕部１ｄと、各拘束部２１ａ、２７ａ
との間に隙間が形成されなくなり、拘束軸２７をＸ
（−）方向へ移動させて設定する際に、拘束軸２７がフ
ランジ１ｆに接触し、ジンバルを変形させてしまう。ま
たＢ１＋Ｂ２が０．２ｍｍを越えると、スライダ４に与
えられる弾圧力の変化率に変動が発生し、Ｂ１＋Ｂ２が
０．２５ｍｍを越えるとその変動率はさらに大きくな
る。
【００５１】これは拘束部２１ａと２７ａとの隙間が大
きくなると、腕部１ｄに与える捻り変形力により、弾性
変形部１ｃに塑性変形が発生することを意味している。
以上から、フランジ１ｆの高さ寸法ｈが０．１ｍｍのと
き、拘束部間の隙間寸法の合計（Ｂ１＋Ｂ２）は０．１
ｍｍを越え、０．２５ｍｍ以下が好ましく、さらに好ま
しくは０．２ｍｍ以下である。
きくなると、腕部１ｄに与える捻り変形力により、弾性
変形部１ｃに塑性変形が発生することを意味している。
以上から、フランジ１ｆの高さ寸法ｈが０．１ｍｍのと
き、拘束部間の隙間寸法の合計（Ｂ１＋Ｂ２）は０．１
ｍｍを越え、０．２５ｍｍ以下が好ましく、さらに好ま
しくは０．２ｍｍ以下である。
【００５２】
【発明の効果】以上の本発明では、ヘッドユニットの板
ばねの全体の捻り変形に起因するスライダの傾きを測定
でき、さらに装置に実装された状態に対応したスライダ
の傾き測定が可能である。
ばねの全体の捻り変形に起因するスライダの傾きを測定
でき、さらに装置に実装された状態に対応したスライダ
の傾き測定が可能である。
【００５３】またこの測定方法を用いて板ばねの矯正作
業を行なう際には、板ばね全体の捻り変形の矯正と、Ｚ
ハイトが与えられた状態での板ばねの変形の矯正とが可
能になる。
業を行なう際には、板ばね全体の捻り変形の矯正と、Ｚ
ハイトが与えられた状態での板ばねの変形の矯正とが可
能になる。
【００５４】よって、高精度な検査および矯正作業が可
能になる。
能になる。
【図１】本発明のヘッドユニットの検査装置の全体構造
を示す正面図、
を示す正面図、
【図２】図１の左側面図、
【図３】図１に示す検査装置の一部を示す拡大図、
【図４】図３の平面図、
【図５】図３の左側面図、
【図６】図４の一部拡大図、
【図７】ヘッドユニットの全体構造を示す斜視図、
【図８】磁気ヘッドの実装状態を示す部分拡大図、
【図９】従来の検査方法および板ばねの矯正方法を示す
説明図、
説明図、
【図１０】スライダの傾き角の検査結果と実装状態のス
ライダの傾き角との関係を示す線図であり、（Ａ）は従
来の検査方法、（Ｂ）は本発明の検査方法の結果を示
す、
ライダの傾き角との関係を示す線図であり、（Ａ）は従
来の検査方法、（Ｂ）は本発明の検査方法の結果を示
す、
【図１１】本発明の検査方法で板ばねを矯正する際の、
板ばねの拘束クリアランスと板ばねの弾圧力の変化率と
の関係を示す線図、
板ばねの拘束クリアランスと板ばねの弾圧力の変化率と
の関係を示す線図、
Ｈ ヘッドユニット １ 板ばね １ａ 固定部 １ｃ 弾性変形部 １ｄ 腕部 ３ フレキシャ ４ スライダ ５ 薄膜素子 １０ ベース １１ 支持基台 １２ 支持体 １４ オートコリメータ ２０ 押圧・拘束部 ２１ 支持ベース ２１ａ 拘束部 ２２ 押圧軸 ２２ａ 押圧ピン ２３ 押圧力設定部 ２７ 拘束軸 ２７ａ 拘束部 ３０ 工具
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 諸江 道明 東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アルプ ス電気株式会社内
Claims (8)
- 【請求項１】 磁気記録部と磁気読取り部の少なくとも
一方を有して記録媒体に対向するスライダと、このスラ
イダを支持し且つ装置に固定される固定部を有する板ば
ねとを備え、前記スライダが記録媒体に対向する使用状
態で前記板ばねが所定量の撓みを生じて前記スライダに
対し記録媒体方向への所定の弾圧力が与えられるヘッド
ユニットを検査する検査方法において、 前記板ばねの固定部を固定し、スライダが記録媒体に対
向する使用状態に相当する撓み量を前記板ばねに与え、
板ばねに前記撓みが与えられた状態で前記スライダの記
録媒体との対向面の傾き量を測定することを特徴とする
ヘッドユニットの検査方法。 - 【請求項２】 板ばねは、装置に固定される固定部と、
その先部の弾性変形部と、その先部にあって弾性変形が
抑制された腕部と、この腕部の先端部でのスライダの支
持部とを有するものであり、前記腕部が押圧されて前記
弾性変形部に撓みが与えられる請求項１記載のヘッドユ
ニットの検査方法。 - 【請求項３】 スライダの記録媒体との対向面の傾き量
を測定した後に、前記腕部を厚さ方向に隙間を介して拘
束し、この拘束した部分よりも先にて腕部に修正力を与
えて、前記スライダの傾きを矯正する請求項２記載のヘ
ッドユニットの検査方法。 - 【請求項４】 腕部を隙間を介して拘束するときの前記
隙間の寸法は、腕部に修正力を与えたときに前記弾性変
形部に塑性変形を生じさせない大きさである請求項３記
載のヘッドユニットの検査方法。 - 【請求項５】 磁気記録部と磁気読取り部の少なくとも
一方を有して記録媒体に対向するスライダと、このスラ
イダを支持し且つ装置に固定される板ばねとを備え、前
記スライダが記録媒体に対向する使用状態で前記板ばね
が所定量の撓みを生じて前記スライダに対し記録媒体方
向への所定の弾圧力が与えられるヘッドユニットを検査
する検査装置において、 前記板ばねの固定部を固定する支持体と、スライダが記
録媒体に対向する使用状態に相当する撓み量を前記板ば
ねに与える押圧部材と、前記押圧部材で板ばねが押圧さ
れた状態での前記スライダの記録媒体との対向面の傾き
量を測定する傾き測定手段と、が設けられていることを
特徴とするヘッドユニットの検査装置。 - 【請求項６】 板ばねは、装置に固定される固定部と、
その先部の弾性変形部と、その先部にあって弾性変形が
抑制された腕部と、この腕部の先端部でのスライダの支
持部とを有するものであり、前記押圧部材は前記腕部を
押圧できる位置に設けられている請求項５記載のヘッド
ユニットの検査装置。 - 【請求項７】 前記押圧部材で腕部が押圧されて板ばね
の弾性変形部に所定の撓み量が与えられた状態で、前記
腕部を厚さ方向に隙間を介して拘束する拘束部材が設け
られ、前記拘束部材によって腕部がその先に矯正可能な
部分を残して拘束される請求項６記載のヘッドユニット
の検査装置。 - 【請求項８】 拘束部材と腕部との隙間の寸法は、拘束
部材よりも先の腕部に修正力が与えられたときに前記弾
性変形部に塑性変形を生じさせない大きさである請求項
７記載のヘッドユニットの検査装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01237997A JP3537282B2 (ja) | 1997-01-27 | 1997-01-27 | ヘッドユニットの検査方法および検査装置 |
| CN98100183A CN1192022A (zh) | 1997-01-27 | 1998-01-26 | 磁头单元的检查方法及检查装置 |
| KR1019980002386A KR100265985B1 (ko) | 1997-01-27 | 1998-01-26 | 헤드 유닛의 검사 방법 및 검사 장치 |
| US09/000,142 US5959450A (en) | 1997-01-27 | 1998-01-27 | Method of and apparatus for inspecting head unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01237997A JP3537282B2 (ja) | 1997-01-27 | 1997-01-27 | ヘッドユニットの検査方法および検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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