JP5957294B2 - プリズム部材、テラヘルツ波分光計測装置、及びテラヘルツ波分光計測方法 - Google Patents
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Description
rp:P偏光に対する振幅反射係数
Rp:P偏光に対する反射率
θa:界面への光の入射角
θb:界面からの光の出射角
na:光が入射する側の媒質の屈折率
nb:光が出射する側の媒質の屈折率
Claims (12)
- テラヘルツ波を用いた被測定物の透過型分光計測に用いられるプリズム部材であって、
ポンプ光の入射によってテラヘルツ波を発生させるテラヘルツ波発生素子が配置された入射面と、
前記被測定物が配置される配置部と、
前記配置部内の前記被測定物を透過した前記テラヘルツ波とプローブ光との相関を検出するテラヘルツ波検出素子が配置された出射面と、
前記入射面から入射した前記テラヘルツ波を前記配置部に向けて平行光化又は集光する第1光学面と、
前記配置部を通った前記テラヘルツ波を前記出射面に向けて集光する第2光学面と、を有し、
前記配置部は、前記被測定物が不溶性を示す液体を充填可能な凹部をなし、
前記凹部は、前記第1光学面からの前記テラヘルツ波を前記被測定物に向けて屈折させる第1屈折面と、前記被測定物を通った前記テラヘルツ波を前記第2光学面に向けて屈折させる第2屈折面とを含んでいることを特徴とするプリズム部材。 - 前記被測定物は固体であり、前記配置部は、前記被測定物を支持する支持部を有していることを特徴とする請求項1記載のプリズム部材。
- 前記被測定物は液体であり、前記配置部は、前記被測定物を入れたセルを支持する支持部を有していることを特徴とする請求項1記載のプリズム部材。
- テラヘルツ波を用いた被測定物の透過型分光計測を行うテラヘルツ波分光計測装置であって、
レーザ光を出射する光源と、
前記光源から出射されたレーザ光をポンプ光とプローブ光とに分岐する分岐部と、
前記被測定物の配置部を有するプリズム部材と、を備え、
前記プリズム部材は、
前記ポンプ光の入射によってテラヘルツ波を発生させるテラヘルツ波発生素子が配置された入射面と、
前記配置部内の前記被測定物を透過した前記テラヘルツ波と前記プローブ光との相関を検出するテラヘルツ波検出素子が配置された出射面と、
前記入射面から入射した前記テラヘルツ波を前記配置部に向けて平行光化又は集光する第1光学面と、
前記配置部を通った前記テラヘルツ波を前記出射面に向けて集光する第2光学面と、を有し、
前記配置部は、前記被測定物が不溶性を示す液体を充填可能な凹部をなし、
前記凹部は、前記第1光学面からの前記テラヘルツ波を前記被測定物に向けて屈折させる第1屈折面と、前記被測定物を通った前記テラヘルツ波を前記第2光学面に向けて屈折させる第2屈折面とを含んでいることを特徴とするテラヘルツ波分光計測装置。 - 前記被測定物は固体であり、前記配置部は、前記被測定物を支持する支持部を有していることを特徴とする請求項4記載のテラヘルツ波分光計測装置。
- 前記被測定物は液体であり、前記配置部は、前記被測定物を入れたセルを支持する支持部を有していることを特徴とする請求項4記載のテラヘルツ波分光計測装置。
- テラヘルツ波を用いた被測定物の透過型分光計測を行うテラヘルツ波分光計測方法であって、
前記被測定物の配置部を有するプリズム部材に、ポンプ光の入射によってテラヘルツ波を発生させるテラヘルツ波発生素子が配置された入射面と、前記配置部内の前記被測定物を透過した前記テラヘルツ波とプローブ光との相関を検出するテラヘルツ波検出素子が配置された出射面と、前記入射面から入射した前記テラヘルツ波を前記配置部に向けて平行光化又は集光する第1光学面と、前記配置部を通った前記テラヘルツ波を前記出射面に向けて集光する第2光学面と、を設け、
前記第1光学面からの前記テラヘルツ波を前記被測定物に向けて屈折させる第1屈折面と、前記被測定物を通った前記テラヘルツ波を前記第2光学面に向けて屈折させる第2屈折面とを含む凹部によって前記配置部を構成し、
当該凹部に前記被測定物が不溶性を示す液体を充填した状態で前記被測定物を配置し、前記被測定物を透過した前記テラヘルツ波に基づいて前記被測定物に関する光学定数を計測することを特徴とするテラヘルツ波分光計測方法。 - 前記被測定物が固体である場合に、前記配置部に前記被測定物を支持する支持部を設けることを特徴とする請求項7記載のテラヘルツ波分光計測方法。
- 前記被測定物が液体である場合に、前記配置部に前記被測定物を入れたセルを支持する支持部を設けることを特徴とする請求項7記載のテラヘルツ波分光計測方法。
- 前記液体として、前記テラヘルツ波に対する吸収性を有しない液体を用いることを特徴とする請求項7〜9のいずれか一項記載のテラヘルツ波分光計測方法。
- 前記液体として、フッ素系不活性液体を用いることを特徴とする請求項7〜10のいずれか一項記載のテラヘルツ波分光計測方法。
- 前記液体として、シリコーンオイルを用いることを特徴とする請求項7〜10のいずれか一項記載のテラヘルツ波分光計測方法。
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