JP5877942B2 - 全反射分光計測装置 - Google Patents
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Description
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[他の変形例]
Claims (7)
- レーザ光を出射する光源と、
前記光源から出射されたレーザ光をポンプ光とプローブ光とに分岐する分岐部と、
前記分岐部で分岐した前記ポンプ光の入射によってテラヘルツ波を発生させるテラヘルツ波発生素子と、
前記テラヘルツ波の入射面及び出射面を有し、前記入射面から入射した前記テラヘルツ波を内部で伝播させると共に反射面で全反射させて前記出射面から出射させる内部全反射プリズムと、
前記内部全反射プリズムの前記出射面から出射した前記テラヘルツ波と、前記分岐部で分岐した前記プローブ光とが入射し、前記テラヘルツ波と前記プローブ光との間の相関を検出するテラヘルツ波検出素子と、を備え、
前記内部全反射プリズムの前記反射面に配置された被測定物の光学定数に関する情報を、前記テラヘルツ波の全反射の際に生じる当該テラヘルツ波のエバネッセント成分により取得する全反射分光計測装置であって、
前記内部全反射プリズムにおいて、
前記入射面には前記テラヘルツ波発生素子が一体に設けられ、
前記出射面には前記テラヘルツ波検出素子が一体に設けられ、
前記入射面と前記反射面との間には、前記テラヘルツ波発生素子で発生した前記テラヘルツ波を前記反射面に向けて平行光化又は集光する光学面が設けられ、
前記入射面に対して前記反射面が鈍角となっており、
前記テラヘルツ波発生素子は、前記ポンプ光の入射軸に対して非同軸で前記テラヘルツ波を発生させるアンテナ素子であり、
前記テラヘルツ波検出素子は、前記プローブ光の入射軸に対して非同軸で前記テラヘルツ波を検出するアンテナ素子であり、
前記テラヘルツ波発生素子に入射する前記ポンプ光と、前記テラヘルツ波検出素子に入射する前記プローブ光とは、同軸かつ互いに反対向きに前記内部全反射プリズムに導光されることを特徴とする全反射分光計測装置。 - 前記反射面と前記出射面との間には、前記反射面で全反射した前記テラヘルツ波を前記テラヘルツ波検出素子に向けて集光する光学面が更に設けられ、
前記出射面に対して前記反射面が鈍角となっていることを特徴とする請求項1記載の全反射分光計測装置。 - 前記テラヘルツ波発生素子に入射する前記ポンプ光の角度を調整する第1の調整ミラーと、
前記テラヘルツ波検出素子に入射する前記プローブ光の角度を調整する第2の調整ミラーとを更に備えたことを特徴とする請求項1又は2記載の全反射分光計測装置。 - 前記入射面において、前記テラヘルツ波発生素子を位置決めする段差部が形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の全反射分光計測装置。
- 前記出射面において、前記テラヘルツ波検出素子を位置決めする段差部が形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の全反射分光計測装置。
- レーザ光を出射する光源と、
前記光源から出射されたレーザ光をポンプ光とプローブ光とに分岐する分岐部と、
前記分岐部で分岐した前記ポンプ光の入射によってテラヘルツ波を発生させるテラヘルツ波発生素子と、
前記テラヘルツ波の入射面及び出射面を有し、前記入射面から入射した前記テラヘルツ波を内部で伝播させると共に第1反射面で全反射させて前記出射面から出射させる内部全反射プリズムと、
前記内部全反射プリズムの前記出射面から出射した前記テラヘルツ波と、前記分岐部で分岐した前記プローブ光とが入射し、前記テラヘルツ波と前記プローブ光との間の相関を検出するテラヘルツ波検出素子と、を備え、
前記内部全反射プリズムの前記第1反射面に配置された被測定物の光学定数に関する情報を、前記テラヘルツ波の全反射の際に生じる当該テラヘルツ波のエバネッセント成分により取得する全反射分光計測装置であって、
前記内部全反射プリズムにおいて、
前記入射面には前記テラヘルツ波発生素子が一体に設けられ、
前記出射面には前記テラヘルツ波検出素子が一体に設けられ、
前記入射面と前記第1反射面との間には、前記テラヘルツ波発生素子で発生した前記テラヘルツ波を平行光化又は集光する光学面と、前記光学面によって平行光化又は集光した前記テラヘルツ波を前記第1反射面に向けて反射させる第2反射面とが設けられ、
前記入射面に対して前記第2反射面が鈍角となっていることを特徴とする全反射分光計測装置。 - 前記第1反射面と前記出射面との間には、前記第1反射面で全反射した前記テラヘルツ波を前記出射面側に反射させる第3反射面と、前記第3反射面で反射した前記テラヘルツ波を前記テラヘルツ波検出素子に向けて集光する光学面とが更に設けられ、
前記出射面に対して前記第3反射面が鈍角となっていることを特徴とする請求項6記載の全反射分光計測装置。
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