CN110661107A - 基于pe棱镜耦合的可调光栅超材料太赫兹吸波器及方法 - Google Patents
基于pe棱镜耦合的可调光栅超材料太赫兹吸波器及方法 Download PDFInfo
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Abstract
本发明提出基于PE棱镜耦合的可调光栅超材料太赫兹吸波器,所述吸波器包括等离子共振件和棱镜侧面置于等离子共振件的共振区上的棱镜件;所述棱镜件位于吸波器的太赫兹波输入端处,使太赫兹波经棱镜件折射后入射至共振区;向共振区入射的太赫兹波在棱镜侧面处形成倏逝波;当入射太赫兹波与共振区的人工表面等离子体动量匹配时,所述等离子共振件共振区被倏逝波激发共振,产生人工表面等离子极化波使入射的太赫兹波被吸收;本发明结构简单、操作方便且性能可靠。
Description
技术领域
本发明涉及电磁波技术领域,尤其是基于PE棱镜耦合的可调光栅超材料太赫兹吸波器及方法。
背景技术
太赫兹(Terahertz, THz)波通常是指频率为0.1-10THz的电磁波,位于微波和红外之间,也被称为T射线,是一种新的、有很多独特优点的辐射源。在基础研究、工业应用、生物学、医学以及军事等领域有着重要的应用前景。太赫兹超材料因其具有独特的控制电磁波的能力,在业界引起了极大的研究兴趣,尤其在基于超材料的完美吸波器。基于超材料的完美吸波器已经成为实现太赫兹器件的一个重要组成部分,包括:高分辨率太赫兹探测、成像、传感等。
通过设计不同的太赫兹超材料表面周期性图案和对其图案尺寸进行调制,各种具有独特的吸收特性的太赫兹超材料已被广泛设计和研究,包括:窄带、宽带或多带吸收特性、对太赫兹辐射入射角和极化的不敏感性吸收特性等。然而,目前的大多数的设计主要集中在吸波器的强度调制而不是吸收频率调制。虽然,通过复杂的几何图案的设计,具有各种各样的吸收特性的基于超材料的完美吸波器不断被设计出来,但大部分吸波器都很难同时进行吸波强度和吸收频率的调制,并吸波效率也很难达到100%,即完美吸收,这极大地限制了他们的实际应用。因此,设计一种基于结构简单的超材料,能够实现太赫兹波吸波特性的动态调制的太赫兹完美吸收器具有重要的现实意义和工程应用价值。
发明内容
本发明提出基于PE棱镜耦合的可调光栅超材料太赫兹吸波器及方法,结构简单、操作方便且性能可靠。
本发明采用以下技术方案。
基于PE棱镜耦合的可调光栅超材料太赫兹吸波器,所述吸波器包括等离子共振件和棱镜侧面置于等离子共振件的共振区上的棱镜件(2);所述棱镜件位于吸波器的太赫兹波输入端处,使太赫兹波经棱镜件折射后入射至共振区;向共振区入射的太赫兹波在棱镜侧面处形成倏逝波;当入射太赫兹波与共振区的人工表面等离子体动量匹配时,所述等离子共振件共振区被倏逝波激发共振,产生人工表面等离子极化波使入射的太赫兹波被吸收。
所述等离子共振件的共振区自上而下包括空气层(3)、光栅填充层(5)、光栅凹槽阵列(6);所述空气层与棱镜件的棱镜侧面相接;所述等离子共振件下端支撑于光栅托架(7)上。
所述棱镜件包括具有三个侧面的三棱柱棱镜;所述三棱柱棱镜的第一侧面与光栅填充层相邻,第二侧面朝向吸波器的太赫兹波输入端;三棱柱棱镜的第一侧面与光栅填充层之间设有空气层;输入吸波器的太赫兹波先后经第二侧面、第一侧面折射后入射至共振区。
三棱柱棱镜的第二侧面朝向吸波器的太赫兹波输入端,第三侧面朝向吸波器的太赫兹波输出端;未被共振区吸收的太赫兹波被共振区反射,再经三棱柱棱镜的第一侧面、第三侧面折射后从第三侧面射出;所述三棱柱棱镜以PE材料成型。
所述等离子共振件或棱镜件与电控线性移动平台(8)相接以调节所述空气层的厚度;所述电控线性移动平台通过调节空气层厚度来对人工表面等离子极化波进行调制,以针对指定频率的太赫兹波进行吸收。
所述吸波器的太赫兹波输入端与太赫兹脉冲发射器(1)相邻;所述吸波器的太赫兹波输出端与太赫兹脉冲接收器(4)相邻;太赫兹脉冲接收器对从棱镜第三侧面出射的太赫兹波进行探测,并把探测结果生成时域太赫兹信号上传至信号后处理系统(9);所述信号后处理系统把接收的时域太赫兹信号变换为频域太赫兹信号,同时根据太赫兹脉冲接收器的太赫兹波输出值来计算吸波器对太赫兹波的吸收率。
所述信号后处理系统与电控线性移动平台相连,所述信号后处理系统可根据吸波器对太赫兹波的吸收率来对空气层厚度进行调节。
所述等离子共振件可通过改变所述的光栅凹槽阵列的光栅深度和光栅填充层的光栅填充物,对吸波器的太赫兹波吸收频率和吸收宽度进行调节。
所述光栅凹槽阵列是结合深硅刻蚀和磁控溅射技术加工而成的,其制备方法依次包括以下步骤;
步骤A1、首先利用深硅刻蚀技术在平整的硅基底(62)上加工出多个相互平行的一维线性梯形凹槽,形成一维凹槽阵列,从而形成光栅结构;
步骤A2、利用磁控溅射技术在光栅结构的基底上覆以金质薄层(61);形成光栅凹槽阵列。
一种吸波器的调试方法,以上所述的吸波器,其调试方法包括以下步骤;
步骤B1、所述太赫兹脉冲发射器向三棱柱棱镜的第二侧面发射指定频率的太赫兹波;并把发射数据传送至信号后处理系统;
步骤B2、所述太赫兹脉冲接收器对从棱镜第三侧面出射的太赫兹波进行探测,并把探测结果生成时域太赫兹信号上传至信号后处理系统(9);所述信号后处理系统把接收的时域太赫兹信号变换为频域太赫兹信号,同时根据太赫兹脉冲接收器的太赫兹波输出值来计算吸波器对太赫兹波的吸收率;
步骤B3、所述信号后处理系统控制电控线性移动平台,根据计算出的当前吸波器对太赫兹波的吸收率来对空气层厚度进行调节,使吸波器对该频率太赫兹波的吸收率达到最优。
所述等离子共振件为光栅超材料芯片。
与现有技术相比,本发明所述方案具有以下有益效果:
1、该基于PE棱镜耦合的可调光栅超材料太赫兹完美吸波器及方法,创新性地利用一维线性阵列的光栅超材料芯片作为人工表面等离子体激发的载体,相比于现有的其他超材料,它的结构 简单、易于加工。
2、只需对该光栅超材料芯片的光栅深度进行调制,即可以改变其支持的色散关系曲线,从而改变人工表面等离子体模式,实现吸波频率的有效调制。
3、本发明所述吸波器为Otto型的吸波器;吸波器结构中空气间隙的可调性,使得其在太赫兹波吸收特性的调制的方面具有很好的灵活性,可利用吸波器结构的这一特性,实现太赫兹波的完美吸收;该吸波器结构简单,操作方便,可靠性强。
4、通过改变光栅超材料芯片的填充物,使得介电环境发生变化,利用人工表面等离子体极化波对介电环境的改变非常敏感这一特性,可以进一步实现对吸收频率和频宽进行调制。
5、与大多数传统的基于太赫兹超材料的吸波器相比,本发明利用棱镜耦合的方式实现光栅超材料对特定频率太赫兹波的吸收的方法,具有更高的吸收效率和吸收频率调制范围。实验结果表明,在室温下,三种不同光栅深度(30,60,90微米)的光栅光栅芯片分别达到了99.99%, 99.52%, 99.97%,仅仅通过调节光栅深度就可以在0.625-1.499 THz宽的频率范围内获得接近完全的吸收。当在光栅超材料芯片的凹槽内填充满水时,吸收光谱发生飘移和展宽。该新型的太赫兹完美吸波器在研究吸波特性动态可调的太赫兹完美吸波器方面具有潜在的工程应用价值。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明进一步详细的说明:
附图1是本发明的示意图;
附图2是本发明的等离子共振件的示意图;
附图3为不同空气层厚度下的实验吸收谱;
附图4为不同光栅深度(凹槽深度)下实验吸收谱;
附图5为光栅填充层采用不同光栅填充物时的实验吸收谱;
图中:1-太赫兹脉冲发射器;2-棱镜件;3-空气层;4-太赫兹脉冲接收器;5-光栅填充层;6-光栅凹槽阵列;7-光栅托架;8-电控线性移动平台;9-信号后处理系统;61-金质薄层;62-硅基底;100-共振区;101-三棱柱棱镜的第一侧面;102-三棱柱棱镜的第二侧面;103-三棱柱棱镜的第三侧面。
具体实施方式
如图1-5所示,基于PE棱镜耦合的可调光栅超材料太赫兹吸波器,所述吸波器包括等离子共振件和棱镜侧面置于等离子共振件的共振区100上的棱镜件2;所述棱镜件位于吸波器的太赫兹波输入端处,使太赫兹波经棱镜件折射后入射至共振区;向共振区入射的太赫兹波在棱镜侧面处形成倏逝波;当入射太赫兹波与共振区的人工表面等离子体动量匹配时,所述等离子共振件共振区被倏逝波激发共振,产生人工表面等离子极化波使入射的太赫兹波被吸收。
所述等离子共振件的共振区自上而下包括空气层3、光栅填充层5、光栅凹槽阵列6;所述空气层与棱镜件的棱镜侧面相接;所述等离子共振件下端支撑于光栅托架7上。
所述棱镜件包括具有三个侧面的三棱柱棱镜;所述三棱柱棱镜的第一侧面101与光栅填充层相邻,第二侧面102朝向吸波器的太赫兹波输入端;三棱柱棱镜的第一侧面与光栅填充层之间设有空气层;输入吸波器的太赫兹波先后经第二侧面、第一侧面折射后入射至共振区。
三棱柱棱镜的第二侧面朝向吸波器的太赫兹波输入端,第三侧面103朝向吸波器的太赫兹波输出端;未被共振区吸收的太赫兹波被共振区反射,再经三棱柱棱镜的第一侧面、第三侧面折射后从第三侧面射出;所述三棱柱棱镜以PE材料成型。
所述等离子共振件或棱镜件与电控线性移动平台8相接以调节所述空气层的厚度;所述电控线性移动平台通过调节空气层厚度来对人工表面等离子极化波进行调制,以针对指定频率的太赫兹波进行吸收。
所述吸波器的太赫兹波输入端与太赫兹脉冲发射器1相邻;所述吸波器的太赫兹波输出端与太赫兹脉冲接收器4相邻;太赫兹脉冲接收器对从棱镜第三侧面出射的太赫兹波进行探测,并把探测结果生成时域太赫兹信号上传至信号后处理系统9;所述信号后处理系统把接收的时域太赫兹信号变换为频域太赫兹信号,同时根据太赫兹脉冲接收器的太赫兹波输出值来计算吸波器对太赫兹波的吸收率。
所述信号后处理系统与电控线性移动平台相连,所述信号后处理系统可根据吸波器对太赫兹波的吸收率来对空气层厚度进行调节。
所述等离子共振件可通过改变所述的光栅凹槽阵列的光栅深度和光栅填充层的光栅填充物,对吸波器的太赫兹波吸收频率和吸收宽度进行调节。
所述光栅凹槽阵列是结合深硅刻蚀和磁控溅射技术加工而成的,其制备方法依次包括以下步骤;
步骤A1、首先利用深硅刻蚀技术在平整的硅基底62上加工出多个相互平行的一维线性梯形凹槽,形成一维凹槽阵列,从而形成光栅结构;
步骤A2、利用磁控溅射技术在光栅结构的基底上覆以金质薄层61;形成光栅凹槽阵列。
一种吸波器的调试方法,以上所述的吸波器,其调试方法包括以下步骤;
步骤B1、所述太赫兹脉冲发射器向三棱柱棱镜的第二侧面发射指定频率的太赫兹波;并把发射数据传送至信号后处理系统;
步骤B2、所述太赫兹脉冲接收器对从棱镜第三侧面出射的太赫兹波进行探测,并把探测结果生成时域太赫兹信号上传至信号后处理系统9;所述信号后处理系统把接收的时域太赫兹信号变换为频域太赫兹信号,同时根据太赫兹脉冲接收器的太赫兹波输出值来计算吸波器对太赫兹波的吸收率;
步骤B3、所述信号后处理系统控制电控线性移动平台,根据计算出的当前吸波器对太赫兹波的吸收率来对空气层厚度进行调节,使吸波器对该频率太赫兹波的吸收率达到最优。
所述等离子共振件为光栅超材料芯片。
实施例1:
如图1所示,光栅超材料芯片(光栅凹槽阵列)6平行放置于三棱柱形PE棱镜(棱镜件)2底下,形成Otto型的基于人工表面等离子共振的完美吸波器结构。
三棱柱形PE棱镜2,由低折射率(1.54)的太赫兹透明材料聚乙烯加工而成,提供较小的动量匹配。
该吸波器工作时,太赫兹脉冲发射器1,产生宽频的太赫兹波,从三棱柱形PE棱镜2的一面平行入射,在三棱柱形PE棱镜2底面发生全反射形成倏逝波,满足入射太赫兹波与人工表面等离子体动量匹配时,引起共振,相应频率的太赫兹波耦合形成沿着光栅超材料芯片6和空气间隙3界面传播的人工表面等离子极化波,利用电控线性移动平台8对空气间隙3实现精确调节,从而对产生的人工表面等离子极化波进行调制,最终实现特定频率的太赫兹波的完美吸收。
另外通过改变光栅超材料芯片6的光栅深度和光栅填充物5,进一步实现太赫兹波吸收频率和吸收宽度的调节。
太赫兹脉冲接收器4对从三棱柱形PE棱镜2的另一面射出的太赫兹波进行探测,并将探测得到的时域太赫兹信号传输到信号后处理系统9,利用快速傅里叶变换将探测得到的时域太赫兹信号变换为频域太赫兹信号并显示,同时计算太赫兹波的吸收率,方便观察太赫兹波的吸收情况。
实施例2:
如图2所示,光栅超材料芯片,包括:镀金薄层61,硅基底62两部分。由一维线性梯形凹槽阵列构成光栅结构,p, h, wt, wb分别表示光栅单元的周期、深度、上槽宽、下槽宽。光栅超材料芯片6是结合深硅刻蚀和磁控溅射技术加工而成,首先利用深硅刻蚀技术在平整的硅基底62上加工形成一维凹槽阵列,从而形成光栅结构,而后利用磁控溅射技术在光栅基底上镀上一层薄的金,形成镀金薄层61,最终形成光栅超材料芯片6。
实施例3:
如图3所示,点划线、实线、虚线,分别表示光栅超材料芯片的光栅深度为90微米,空气间隙gap从150微米变化到230微米时的太赫兹实验吸收谱。从图中我们可以看出,通过控制空气间隙的厚度可以同时实现对太赫兹吸收谱吸收频率和吸收强度的动态调制,并实现对太赫兹波几乎完美的吸收。
实施例4:
如图4所示,虚线、点划线、实线,分别表示光栅深度为30,60,90微米的三种光栅深度的光栅超材料芯片在几乎完美吸收下的太赫兹实验吸收谱,吸收率分别达到了99.99%,99.52%, 99.97%,同时实验表明仅仅通过调节光栅深度就可以在0.625-1.499 THz宽的频率范围内获得接近完全的吸收。
实施例5:
如图5所示,实线、虚线,分别表示光栅填充层的光栅填充物为水和空气的太赫兹实验吸收谱。
从图中我们可以明显看出,水的填充,使得光栅超材料凹槽内部的有效折射率增加,同时损耗也大大增加,因此吸收光谱发生飘移和展宽。这也进一步说明了,在光栅超材料凹槽内部填充不同的物质,也可以实现吸收特性的调制。
Claims (10)
1.基于PE棱镜耦合的可调光栅超材料太赫兹吸波器,其特征在于:所述吸波器包括等离子共振件和棱镜侧面置于等离子共振件的共振区上的棱镜件(2);所述棱镜件位于吸波器的太赫兹波输入端处,使太赫兹波经棱镜件折射后入射至共振区;向共振区入射的太赫兹波在棱镜侧面处形成倏逝波;当入射太赫兹波与共振区的人工表面等离子体动量匹配时,所述等离子共振件共振区被倏逝波激发共振,产生人工表面等离子极化波使入射的太赫兹波被吸收。
2.根据权利要求1所述的基于PE棱镜耦合的可调光栅超材料太赫兹吸波器,其特征在于:所述等离子共振件的共振区自上而下包括空气层(3)、光栅填充层(5)、光栅凹槽阵列(6);所述空气层与棱镜件的棱镜侧面相接;所述等离子共振件下端支撑于光栅托架(7)上。
3.根据权利要求2所述的基于PE棱镜耦合的可调光栅超材料太赫兹吸波器,其特征在于:所述棱镜件包括具有三个侧面的三棱柱棱镜;所述三棱柱棱镜的第一侧面与光栅填充层相邻,第二侧面朝向吸波器的太赫兹波输入端;三棱柱棱镜的第一侧面与光栅填充层之间设有空气层;输入吸波器的太赫兹波先后经第二侧面、第一侧面折射后入射至共振区。
4.根据权利要求3所述的基于PE棱镜耦合的可调光栅超材料太赫兹吸波器,其特征在于:三棱柱棱镜的第二侧面朝向吸波器的太赫兹波输入端,第三侧面朝向吸波器的太赫兹波输出端;未被共振区吸收的太赫兹波被共振区反射,再经三棱柱棱镜的第一侧面、第三侧面折射后从第三侧面射出;所述三棱柱棱镜以PE材料成型。
5.根据权利要求4所述的基于PE棱镜耦合的可调光栅超材料太赫兹吸波器,其特征在于:所述等离子共振件或棱镜件与电控线性移动平台(8)相接以调节所述空气层的厚度;所述电控线性移动平台通过调节空气层厚度来对人工表面等离子极化波进行调制,以针对指定频率的太赫兹波进行吸收。
6.根据权利要求5所述的基于PE棱镜耦合的可调光栅超材料太赫兹吸波器,其特征在于:所述吸波器的太赫兹波输入端与太赫兹脉冲发射器(1)相邻;所述吸波器的太赫兹波输出端与太赫兹脉冲接收器(4)相邻;太赫兹脉冲接收器对从棱镜第三侧面出射的太赫兹波进行探测,并把探测结果生成时域太赫兹信号上传至信号后处理系统(9);所述信号后处理系统把接收的时域太赫兹信号变换为频域太赫兹信号,同时根据太赫兹脉冲接收器的太赫兹波输出值来计算吸波器对太赫兹波的吸收率。
7.根据权利要求6所述的基于PE棱镜耦合的可调光栅超材料太赫兹吸波器,其特征在于:所述信号后处理系统与电控线性移动平台相连,所述信号后处理系统可根据吸波器对太赫兹波的吸收率来对空气层厚度进行调节。
8.根据权利要求5所述的基于PE棱镜耦合的可调光栅超材料太赫兹吸波器,其特征在于:所述等离子共振件可通过改变所述的光栅凹槽阵列的光栅深度和光栅填充层的光栅填充物,对吸波器的太赫兹波吸收频率和吸收宽度进行调节。
9.根据权利要求5所述的基于PE棱镜耦合的可调光栅超材料太赫兹吸波器,其特征在于:所述光栅凹槽阵列是结合深硅刻蚀和磁控溅射技术加工而成的,其制备方法依次包括以下步骤;
步骤A1、首先利用深硅刻蚀技术在平整的硅基底(62)上加工出多个相互平行的一维线性梯形凹槽,形成一维凹槽阵列,从而形成光栅结构;
步骤A2、利用磁控溅射技术在光栅结构的基底上覆以金质薄层(61);形成光栅凹槽阵列。
10.一种吸波器的调试方法,其特征在于:根据权利要求7所述的吸波器,其调试方法包括以下步骤;
步骤B1、所述太赫兹脉冲发射器向三棱柱棱镜的第二侧面发射指定频率的太赫兹波;并把发射数据传送至信号后处理系统;
步骤B2、所述太赫兹脉冲接收器对从棱镜第三侧面出射的太赫兹波进行探测,并把探测结果生成时域太赫兹信号上传至信号后处理系统(9);所述信号后处理系统把接收的时域太赫兹信号变换为频域太赫兹信号,同时根据太赫兹脉冲接收器的太赫兹波输出值来计算吸波器对太赫兹波的吸收率;
步骤B3、所述信号后处理系统控制电控线性移动平台,根据计算出的当前吸波器对太赫兹波的吸收率来对空气层厚度进行调节,使吸波器对该频率太赫兹波的吸收率达到最优。
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