JP7014623B2 - テラヘルツ波分光計測装置 - Google Patents
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Description
図6は、上記実施形態の第1変形例によるテラヘルツ波分光計測装置1Aを示す構成図である。上記実施形態と本変形例との相違点は、内部全反射プリズムの構成である。本変形例の内部全反射プリズム30Aは、本体部31と一体化されたプリズム部35を更に有する。プリズム部35は、本体部31のV溝31eの形状に対応する断面三角状を呈しており、V溝31eに嵌合している。プリズム部35は、本体部31と同じ材料によって構成される。プリズム部35内の中赤外光Mの光路上には、上記実施形態の減衰器34が設けられている。
図8は、上記実施形態の第2変形例によるテラヘルツ波分光計測装置1Bを示す構成図である。上記実施形態と本変形例との相違点は、内部全反射プリズムの構成である。本変形例の内部全反射プリズム30Bは、本体部31に代えて本体部31Bを有している。本体部31Bは、第1方向A1において互いに対向する側面31h及び側面31iを更に含んでいる。側面31hは、入射面31aと載置面31cとの間の光路上に位置し、側面31iは、載置面31cと出射面31bとの間の光路上に位置する。また、本体部31Bでは、内面31fが入射面31aとなっており、内面31gが出射面31bとなっている。本変形例では、入射面31aに入射するテラヘルツ波Tの光軸及び中赤外光Mの光軸は、第2方向A2に沿っており、出射面31bから出射されるテラヘルツ波Tの光軸及び中赤外光Mの光軸は、第2方向A2に沿っている。
図9は、上記実施形態の第3変形例によるテラヘルツ波分光計測装置1Cを示す構成図である。上記実施形態と本変形例との相違点は、内部全反射プリズムの構成である。本変形例の内部全反射プリズム30Cは、本体部31に代えて本体部31Cを有している。また、内部全反射プリズム30Cは、本体部31Cと一体化されたプリズム部35(図6参照)を更に有する。本体部31Cは、第1方向A1において互いに対向する側面31j及び側面31kを更に含む。側面31jは、プリズム部35の底面35cと載置面31cとの間の光路上に位置し、底面35c及び載置面31cに対して傾斜している。側面31kは、載置面31cと底面35cとの間の光路上に位置し、載置面31c及び底面35cに対して傾斜している。本変形例では、プリズム部35の底面35cの一側が入射面31aとなっており、他側が出射面31bとなっている。また、本変形例では、入射面31aに入射するテラヘルツ波Tの光軸及び中赤外光Mの光軸は、第2方向A2に沿っており、出射面31bから出射されるテラヘルツ波Tの光軸及び中赤外光Mの光軸は、第2方向A2に沿っている。
一例として、入射角θを45°、空隙部32Cの屈折率n2を1、プリズム部35の屈折率n1を、テラヘルツ波と中赤外光とで同じ3.42に設定した場合、波長4THzを有するテラヘルツ波Tのエバネッセント成分の浸み出し深さdsは、23.0μmと算出され、波長10μmを有する中赤外光Mのエバネッセント成分の浸み出し深さdsは、3.1μmと算出される。従って、この例では、距離d1は、3.1μm~23.0μmの範囲内であればよい。
図11は、上記実施形態の第4変形例によるテラヘルツ波分光計測装置1Dを示す構成図である。上記実施形態と本変形例との相違点は、本変形例の内部全反射プリズム30Dが光合波部33Lを有していない点、及び、内部全反射プリズム30Dの光分岐部32Lが、光学素子32に代えて光学素子32Dによって構成されている点である。
図12は、上記実施形態の第5変形例によるテラヘルツ波分光計測装置1Eを示す構成図である。上記実施形態と本変形例との相違点は、本変形例の内部全反射プリズム30Eが光合波部33Lを有しない点、及び、内部全反射プリズム30Eの光分岐部32Lが、光学素子32に代えて、集光レンズ32Eと、金属膜32Fと、コリメートレンズ32Gとを有している点である。
図13は、上記実施形態の第6変形例によるテラヘルツ波分光計測装置1Fを示す構成図である。上記実施形態と本変形例との相違点は、本変形例の内部全反射プリズム30Fが光合波部33Lを有していない点、及び、内部全反射プリズム30Fの光分岐部32Lが光学素子32に代えてスペーサ32Hを有している点である。
図14は、上記実施形態の第7変形例によるテラヘルツ波分光計測装置1Gを示す構成図である。上記実施形態では、入射面31aに入射するテラヘルツ波T及び中赤外光Mの光軸と、出射面31bから出射されるテラヘルツ波T及び中赤外光Mの光軸とが同軸である例を示したが、これらは同軸でなくてもよい。本変形例では、光源10から出射された中赤外光Mは、テラヘルツ波Tとは異なる方向に沿って進行する例を示す。
図15は、上記実施形態の第8変形例によるテラヘルツ波検出部50Aを示す構成図である。上記実施形態と本変形例との相違点は、テラヘルツ波検出部の構成である。本変形例のテラヘルツ波検出部50Aは、非線形光学結晶60と、カットフィルタ61と、光検出器62とによって構成されている。カットフィルタ61は、一部の波長の光を透過させることができる。カットフィルタ61は、例えば、誘電体多層膜などによるローパスフィルタ、ハイパスフィルタ、バンドパスフィルタ、又はダイクロイックミラーである。
Claims (3)
- テラヘルツ波と、前記テラヘルツ波とは異なる波長を有するプローブ光とを出射する光源と、
前記テラヘルツ波の入射面、被測定物が載置される載置面、及び前記テラヘルツ波の出射面を有し、前記入射面から入射したテラヘルツ波を前記載置面で内部全反射させて前記出射面から出射させる内部全反射プリズムと、
前記プローブ光を用いて前記出射面から出射した前記テラヘルツ波を間接的に検出するテラヘルツ波検出部と、を備え、
前記内部全反射プリズムは、前記載置面上の前記被測定物への前記プローブ光の入射を回避する回避部を有し、
前記回避部は、前記テラヘルツ波を前記載置面に導光し、前記プローブ光を前記載置面に導光しない光分岐部を有し、
前記光分岐部は、前記入射面から前記内部全反射プリズム内に入射した前記テラヘルツ波を前記載置面に向かって反射させる一方、前記入射面から前記内部全反射プリズム内に入射した前記プローブ光を前記出射面に向けて透過させる光学素子によって構成されている、テラヘルツ波分光計測装置。 - 前記入射面に入射する前記テラヘルツ波及び前記プローブ光の光軸が同軸であり、
前記出射面から出射する前記テラヘルツ波及び前記プローブ光の光軸が同軸である、請求項1に記載のテラヘルツ波分光計測装置。 - 前記プローブ光の強度を減衰させる減衰器を更に備えた、請求項1又は2に記載のテラヘルツ波分光計測装置。
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