JP5949395B2 - Ito粉末の製造方法 - Google Patents
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Description
また本発明の第3の観点は、第1又は第2の観点の方法により製造されたITO粉末を溶媒に分散させて分散液を製造する方法である。
更に本発明の第4の観点は、第3の観点の分散液からITO膜を製造する方法である。
〔表面改質処理したITO粉末の製法〕
In金属濃度が24質量%の塩化インジウム(InCl3)水溶液に、濃度55質量%の四塩化錫(SnCl4)水溶液と二塩化錫(SnCl22H2O)粉末とを混合した錫含有水溶液を添加し、攪拌して原料液を調製した。このとき、錫含有水溶液はSn4+:Sn2+の錫イオン比で表1に示す割合で四塩化錫と二塩化錫を混合して調製した。また原料液は錫含有水溶液を錫(Sn):インジウム(In)の質量比を表1に示すように混合した。
この表面改質処理したITO粉末20gを、蒸留水(0.020g)、トリエチレングリコール−ジ−2−エチルヘキサノエート[3G](23.8g)、無水エタノール(2.1g)、リン酸ポリエステル(1.0g)、2−エチルヘキサン酸(2.0g)、2,4−ペンタンジオン(0.5g)の混合液に入れて分散させた。調製した分散液を無水エタノールで固形分であるITO粉末の含有量が10質量%になるまで希釈した。この希釈した分散液をスピンコーティングにより石英ガラス板に塗布して成膜し、厚さ0.2μmのITO膜を得た。
実施例1と同じ塩化インジウムと四塩化錫と二塩化錫を用いて、表1に示す錫イオン比で、四塩化錫と二塩化錫を混合して錫含有水溶液を調製し、かつ表1に示す質量比で、この錫含有水溶液と原料液とを混合した。上記錫イオン比と上記質量比を変えた以外は、実施例1と同様にして、表面改質したITO粉末を得た。
In金属濃度が24質量%の塩化インジウム(InCl3)水溶液に、濃度55質量%の四塩化錫(SnCl4)水溶液を添加混合し、InCl3−SnCl4混合溶液を調製した。このとき、混合溶液は錫(Sn):インジウム(In)の質量比が表1に示すように混合した。以下、実施例1と同様にして、表面改質したITO粉末を得た。
In金属濃度が24質量%の塩化インジウム(InCl3)水溶液に、二塩化錫(SnCl22H2O)粉末を添加混合し、InCl3−SnCl2混合溶液を調製した。このとき、混合溶液は錫(Sn):インジウム(In)の質量比が表1に示すように混合した。以下、実施例1と同様にして、表面改質したITO粉末を得た。
〔ITO粉末の格子歪〕
BrukerAXS社製、X線回折装置D8 Advanceを用いて、この装置に付属する試料ホルダーに実施例1〜5及び比較例1、2で得られた各ITO粉末を充填して2θ/θ=15〜90degの範囲でX線を照射し、得られた回折線からRietveld解析ソフトであるTOPAS(BrukerAXS社製)を使用し、プロファイル関数としてFPを用いたPawley法にて解析し、ローレンツ関数成分の半値幅から結晶子サイズと格子歪を算出した。測定は、CuKaを管球として用い、40kV、40mAとし、特定X線(波長1.54Å)でステップ間隔を0.05degとして行った。その結果を表1に示す。
実施例1〜5及び比較例1、2で得られた各ITO粉末の体積抵抗率を図1に示す測定装置(三菱化学アナリティック製 MCP-PD51)を用いて測定した。その結果を表1に示す。具体的には、各ITO粉末の体積抵抗率の測定は、図1に示す、内径φが25mmのシリンダー1にITO粉末2.00gを充填し、4.9MPa(50kgf/cm2)の圧力を加えて、実施例1〜5及び比較例1、2で得られたITO粉末の抵抗率をそれぞれ測定した。圧力は図示しない圧力センサにより、抵抗率は直流4端子法で測定した。図1において、2はITO粉末の圧粉体である。
表1から明らかなように、4価錫化合物のみの比較例1及び2価錫化合物のみの比較例2では、ITO粉末の格子歪がそれぞれ0.075%、0.155%であり、この場合には体積抵抗率が0.239Ωcm、0.201Ωcmであったのに対して、Sn4+:Sn2+の錫イオン比が90:10〜10:90の範囲にある実施例1〜5では、ITO粉末の格子歪が0.2〜0.8%の範囲にあり、この場合には体積抵抗率は0.20Ωcm以下の範囲にあった。これにより格子歪が0.2〜0.8%の範囲のITO粉末は体積抵抗率が低いことが立証された。
Claims (4)
- 3価インジウム化合物と錫化合物の混合水溶液にアルカリ水溶液を混合して、インジウムと錫の共沈水酸化物を生成する工程と、前記沈殿物を純水又はイオン交換水で洗浄する工程と、前記沈殿物の上澄み液を捨ててインジウム錫水酸化物粒子が分散したスラリーを調製する工程と、前記スラリーを乾燥する工程と、前記乾燥したインジウム水錫酸化物を焼成してインジウム錫酸化物を得る工程とを含むITO粉末を製造する方法において、
前記洗浄工程で、上澄み液の抵抗率が少なくとも5000Ω・cmになるまで洗浄し、
前記焼成工程で、前記乾燥したインジウム水錫酸化物を大気中250〜800℃の範囲で0.5〜6時間焼成し、
前記錫化合物が4価錫化合物と2価錫化合物の混合物であって、Sn4+:Sn2+の錫イオン比が90:10〜80:20の範囲にあることを特徴とするITO粉末の製造方法。 - 前記4価錫化合物がSnCl4水溶液であり、前記2価錫化合物がSnCl2・2H2O粉末である請求項1記載の製造方法。
- 請求項1又は2記載の方法により製造されたITO粉末を溶媒に分散させて分散液を製造する方法。
- 請求項3記載の分散液からITO膜を製造する方法。
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