JP5948084B2 - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
12 引出電極
13 引出電圧
14 コンデンサレンズ
15 絞り
17 対物レンズ
18 加速円筒
20 ガイド
21 上走査偏向器
22 下走査偏向器
23 試料
24 ホルダー
25 上イメージシフト
26 下イメージシフト
27 反射板
28(a) 上検出器
28(b) 下検出器
31 2次電子制限板
32 2次電子アライナI
33(a) 2次電子アライナII(U)
33(b) 2次電子アライナII(L)
34 エネルギーフィルタ
Claims (9)
- 電子源と、当該電子源から放出される電子ビームの走査位置を偏向する偏向器と、当該偏向器を制御する制御装置を備えた走査電子顕微鏡において、
前記電子ビームの試料への照射によって得られる電子を検出する第1の検出器と、当該第1の検出器と前記偏向器との間に配置され、前記電子ビームの通過開口を有する開口部形成部材と、前記試料から放出された電子を偏向する上側偏向器と下側偏向器を有する二次信号偏向器を備え、前記制御装置は、前記偏向器の偏向条件に応じて、前記試料から放出される電子が、前記電子ビームの光軸に向かって方向付けられるように、前記下側偏向器を制御し、当該下側偏向器によって偏向された前記試料から放出された電子を、前記電子ビームの通過開口に向かって偏向するように前記上側偏向器を制御することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記開口部形成部材は、電子の衝突によって電子を発生する変換電極であって、当該変換電極にて発生する電子を検出する第2の検出器を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記開口部形成部材は、電子を検出する第2の検出器であることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記偏向器は、前記電子ビームの走査位置を偏向するイメージシフト偏向器であって、前記制御装置は前記電子ビームの走査位置に応じて、前記二次信号偏向器を制御することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記偏向器の制御量と前記二次信号偏向器の動作条件を関連付けて記憶するメモリを備えていることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記二次信号偏向器はウィーンフィルタであることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 電子源と、当該電子源から放出される電子ビームの走査位置を偏向する偏向器と、当該偏向器を制御する制御装置を備えた走査電子顕微鏡において、
前記電子ビームの試料への照射によって得られる電子を検出する第1の検出器と、当該第1の検出器と前記偏向器との間に配置され、前記電子ビームの通過開口を有する開口部形成部材を含む、或いは当該開口部形成部材から放出された電子を検出する第2の検出器と、前記試料から放出された電子を偏向する二次信号偏向器と、前記第1の検出器と第2の検出器の出力を、特定パターンのコントラストが等しくなるような処理を行い、当該特定パターンのコントラストを消去するように、前記第1の検出器と第2の検出器の出力を合成する演算器を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 電子源と、当該電子源から放出される電子ビームの走査位置を偏向する偏向器と、当該偏向器を制御する制御装置を備えた走査電子顕微鏡において、
前記電子ビームの試料への照射によって得られる電子を検出する第1の検出器と、当該第1の検出器と前記偏向器との間に配置され、前記電子ビームの通過開口を有する開口形成部材と、当該開口部形成部材より電子源側に配置されるエネルギーフィルタと、前記試料から放出された電子を偏向する第1の二次信号偏向器と、前記エネルギーフィルタへの電子の入射角度を調整する第2の二次信号偏向器を備え、前記制御装置は、前記偏向器の偏向条件に応じて、前記試料から放出される電子を前記電子ビームの通過開口に向かって偏向するように、前記第1の二次信号偏向器を制御することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 電子源と、当該電子源から放出される電子ビームの走査位置を偏向する偏向器と、当該偏向器を制御する制御装置を備えた走査電子顕微鏡において、
前記電子ビームの試料への照射によって得られる電子を検出する第1の検出器と、当該第1の検出器より相対的に前記電子ビーム光軸を中心として広い範囲に放出される電子、或いは当該電子によってもたらされる電子を検出する第2の検出器と、当該第1の検出器と第2の検出器の出力を合成する演算部を備え、当該演算部は、前記第1の検出器と第2の検出器の出力に基づいて得られる信号の特定部位のコントラストを相殺するように前記出力の合成を実施することを特徴とする走査電子顕微鏡。
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