JP5934185B2 - プラズマトーチ - Google Patents
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Description
本出願は、2010年5月5日出願の米国仮特許出願第61/331,610号の優先権および利益を主張し、その全体の開示が、この出願において全ての目的のために組み込まれる。
本願明細書は、例えば、以下の項目も提供する。
(項目1)
低流動プラズマを維持するよう構成されたトーチであり、前記トーチは、外側チューブと前記外側チューブ内の補助チューブを備え、前記外側チューブは歪みのないスロットを備え、前記補助チューブは平らなプレート電極を用いる前記トーチ内で低流動プラズマの生成を可能にするために有効な長さを備える、トーチ。
(項目2)
前記トーチの前記外側チューブは、前記外側チューブの全半径が実施的に同じであるように実質的に対称であり、前記スロットが前記外側チューブの一端に位置づけられる、項目1に記載のトーチ。
(項目3)
前記補助チューブは、従来のトーチにある補助チューブより、少なくとも25%長い、項目1に記載のトーチ。
(項目4)
前記補助チューブは、従来のトーチにある補助チューブより、約9mm長い、項目1に記載のトーチ。
(項目5)
前記歪みのないスロットの幅は、従来のトーチの歪んだスロットの幅とほぼ同じである、項目1に記載のトーチ。
(項目6)
前記補助チューブは、長さ約83mmであり、前記歪みのないスロットは、長さ約15mmである、項目1に記載のトーチ。
(項目7)
前記トーチの前記外側チューブは、少なくとも3つの歪みのないスロットを備える、項目1に記載のトーチ。
(項目8)
前記3つのスロットのそれぞれは、従来のトーチにあるスロットより約25%短い、項目7に記載のトーチ。
(項目9)
前記3つの歪みのないスロットのそれぞれは、ほぼ同じ長さである、項目7に記載のトーチ。
(項目10)
前記補助チューブは、長さ約83mmであり、前記3つの歪みのないスロットのそれぞれは、長さ約15mmである、項目7に記載のトーチ。
(項目11)
低流動プラズマを維持するよう構成されたトーチであり、前記トーチは外側チューブと前記外側チューブ内の補助チューブを備え、前記補助チューブは平らなプレート電極を用いて生成された低流動プラズマを前記トーチが維持するために有効な長さを備え、前記補助チューブの前記長さは、らせん状の負荷コイルを備える従来のトーチ内で従来のプラズマを維持するよう構成された補助チューブの長さよりも長い、トーチ。
(項目12)
前記補助チューブの前記長さは、約8リットル/分以下のプラズマガス率を用いて維持される前記低流動プラズマの形状に合うよう選択される、項目11に記載のトーチ。
(項目13)
前記外側チューブは、少なくとも1つの歪みのないスロットを備える、項目11に記載のトーチ。
(項目14)
前記補助チューブは、従来のトーチにある補助チューブの長さより約9mm長い、項目13に記載のトーチ。
(項目15)
前記歪みのないスロットは、従来のトーチにある歪んだスロットの長さより約5mm短い、項目13に記載のトーチ。
(項目16)
前記外側チューブは、少なくとも3つの歪みのないスロットを備える、項目11に記載のトーチ。
(項目17)
前記補助チューブは、従来のトーチにある補助チューブの長さより約9mm長い、項目16に記載のトーチ。
(項目18)
前記歪みのないスロットのそれぞれは、従来のトーチにある歪んだスロットの長さより少なくとも5mm短い、項目17に記載のトーチ。
(項目19)
前記補助チューブは長さ約83mmであり、前記外側チューブは、一端に長さ約15mmの歪みのないスロットを備える、項目11に記載のトーチ。
(項目20)
前記補助チューブは、従来のトーチにある補助チューブより約9mm長く、前記外側チューブは、歪みのないスロットを備え、前記外側チューブにおける前記歪みのないスロットは、従来のトーチにおける歪んだスロットより少なくとも5mm短い、項目11に記載のトーチ。
(項目21)
低流動プラズマと共に動作する低流動注入器であり、前記低流動注入器は、有効な量のサンプルを、約8リットル/分以下のプラズマガスと共に動作する前記低流動プラズマに導入するよう構成された、低流動注入器。
(項目22)
前記注入器の長さは、従来のプラズマトーチと共に動作可能な従来の注入器よりも長い、項目21に記載の低流動注入器。
(項目23)
前記低流動注入器の前記長さは、約150mmである、項目22に記載の低流動注入器。
(項目24)
前記低流動注入器は、アルミナ、石英、サファイア、チタニア、チタン、インコネル合金、または不活性物質のうち1つまたは複数を備える、項目21に記載の低流動注入器。
(項目25)
テーパエンドをさらに備える、項目21に記載の低流動注入器。
(項目26)
ストレート穴をさらに備える、項目21に記載の低流動注入器。
(項目27)
前記注入器は、毛細管として構成される、項目21に記載の低流動注入器。
(項目28)
前記注入器は、毛細管を備える、項目21に記載の低流動注入器。
(項目29)
前記注入器は、全ガス流が9リットル/分以下の場合、サンプルを前記低流動プラズマに導入するよう動作する、項目21に記載の低流動注入器。
(項目30)
前記低流動プラズマは、外側チューブと前記外側チューブ内の補助チューブを備えるトーチ内で維持され、前記外側チューブは、少なくとも1つの歪みのないスロットを備え、前記補助チューブは、長さ約83mmであり、前記歪みのないスロットは、長さ約15mmである、項目21に記載の低流動注入器。
(項目31)
低流動プラズマを維持するためのシステムであり、前記システムは、
低流動トーチを受け取るよう構成された開口部を備えるプレート電極と、
前記プレート電極の前記開口部の少なくとも一部内に位置づけられるよう形成および配置された低流動トーチを備え、
前記トーチは、歪みのないスロットを備える外側チューブと前記外側チューブ内の補助チューブを備え、前記補助チューブは、前記トーチ内で前記低流動プラズマを維持するために有効な長さを備える、システム。
(項目32)
前記補助チューブは、長さ約83mmであり、前記歪みのないスロットは、長さ約15mmである、項目31に記載のシステム。
(項目33)
前記補助チューブは、従来のトーチにある補助チューブよりも長い、項目31に記載のシステム。
(項目34)
前記歪みのないスロットは、従来のトーチにある歪んだスロットよりも短い、項目33に記載のシステム。
(項目35)
前記歪みのないスロットは、長さ約15mmであり、前記補助チューブは、長さ約83mmである、項目34に記載のシステム。
(項目36)
前記プレート電極に電気的に結合された発振器をさらに備える、項目31に記載のシステム。
(項目37)
前記低流動トーチを受け取るよう構成された開口部を備える追加のプレート電極をさらに備える、項目31に記載のシステム。
(項目38)
前記プレート電極と前記追加のプレート電極に電気的に結合された発振器をさらに備える、項目31に記載のシステム。
(項目39)
前記発振器は、独立して前記プレート電極と前記追加のプレート電極を制御するように構成されている、項目38に記載のシステム。
(項目40)
前記低流動トーチに光学的に結合された検出器をさらに備える、項目39に記載のシステム。
(項目41)
8リットル/分以下のプラズマガスを用いて低流動トーチ内で維持された低流動プラズマであり、前記低流動トーチは、歪みのないスロットを備える外側チューブと前記外側チューブ内の補助チューブを備える、低流動プラズマ。
(項目42)
前記低流動トーチの前記補助チューブは、従来のトーチの補助チューブより長い、項目41に記載の低流動プラズマ。
(項目43)
前記補助チューブは、長さ約83mmである、項目42に記載の低流動プラズマ。
(項目44)
前記歪みのないスロットは、従来のトーチの外側チューブにあるスロットよりも短い、項目41に記載の低流動プラズマ。
(項目45)
前記スロットは、長さ約15mmである、項目44に記載の低流動プラズマ。
(項目46)
前記低流動プラズマの発光領域およびプラズマ領域は圧縮される、項目41に記載の低流動プラズマ。
(項目47)
前記低流動プラズマは、前記外側チューブに3つの歪みのないスロットを備えるトーチ内に維持される、項目41に記載の低流動プラズマ。
(項目48)
前記3つの歪みのないスロットは、外側チューブの周辺に等しい間隔で配置される、項目47に記載の低流動プラズマ。
(項目49)
前記低流動プラズマは、アルゴンを用いて維持される、項目41に記載の低流動プラズマ。
(項目50)
前記低流動プラズマを維持するために使われる全ガス流は、9リットル/分未満である、項目41に記載の低流動プラズマ。
(項目51)
外側チューブにおける歪みのないスロットと前記外側チューブ内の補助チューブを備える低流動トーチ内で低流動プラズマを維持する方法であり、前記補助チューブは前記低流動トーチ内で前記低流動プラズマを維持するために有効な長さを備え、前記方法は、
前記低流動トーチに約8リットル/分以下の率でプラズマガスを導入することと、
少なくとも1つのプレート電極から前記トーチにエネルギーをもたらすことによって前記低流動トーチ内で前記低流動プラズマを維持することと
を備える、方法。
(項目52)
前記歪みのないスロットを、長さ約15mmになるよう構成することをさらに備える、項目51に記載の方法。
(項目53)
少なくとも3つの歪みのないスロットを有する前記低流動トーチを構成することをさらに備える、項目51に記載の方法。
(項目54)
従来のトーチにある補助チューブより少なくとも25%長くなるよう前記補助チューブを構成することをさらに備える、項目51に記載の方法。
(項目55)
前記低流動トーチの前記補助チューブを、長さ約83mmになるよう構成することをさらに備える、項目54に記載の方法。
(項目56)
低流動プラズマの生産を容易にする方法であり、前記方法は、低流動プラズマを維持するよう構成されたトーチを提供することを備え、前記トーチは外側チューブと前記外側チューブ内の補助チューブを備え、前記外側チューブは歪みのないスロットを備え、前記補助チューブは平らなプレート電極を用いて前記トーチ内に維持された低流動プラズマの形状に合うよう有効な長さを備える、方法。
(項目57)
低流動プラズマの生産を容易にする方法であり、前記方法は、外側チューブを備えるプラズマトーチで使用するために構成された補助チューブを提供することを備え、前記補助チューブは平らなプレート電極を用いて前記プラズマトーチ内に維持された低流動プラズマの形状に合うよう有効な長さを備える、方法。
(項目58)
低流動プラズマの生産を容易にする方法であり、前記方法は、補助チューブを備えるプラズマトーチで使用するために構成された歪みのない外側チューブを提供することを備え、前記歪みのない外側チューブは、平らなプレート電極を用いて前記プラズマトーチ内で低流動プラズマの生成を可能にするために有効な長さを有するスロットを備える、方法。
(項目59)
低流動プラズマへのサンプルの導入を容易にする方法であり、前記方法は、外側チューブと前記外側チューブ内の補助チューブを備える低流動プラズマトーチにサンプルを導入するために有効な長さを備える注入器を提供することを備え、前記外側チューブは歪みのないスロットを備え、前記補助チューブは平らなプレート電極を用いて前記トーチ内で低流動プラズマの生成を可能にするために有効な長さを備える、方法。
(項目60)
低流動プラズマの生産を容易にする方法であり、前記方法は、外側チューブと前記外側チューブ内の補助チューブを備えるトーチを提供することを備え、前記補助チューブは平らなプレート電極を用いて生成された低流動プラズマを前記トーチが維持するために有効な長さを備え、前記補助チューブの前記長さはらせん状の負荷コイルを備える従来のトーチ内で従来のプラズマを維持するよう構成された補助チューブの長さより長い、方法。
(項目61)
低流動プラズマの生産を容易にする方法であり、前記方法は、外側チューブを備えるプラズマトーチで使用するために構成された補助チューブを提供することを備え、前記補助チューブは平らなプレート電極を用いて生成された低流動プラズマを前記トーチが維持するために有効な長さを備え、前記補助チューブの前記長さはらせん状の負荷コイルを備える従来のトーチ内で従来のプラズマを維持するよう構成された補助チューブの長さより長い、方法。
(項目62)
低流動プラズマへのサンプルの導入を容易にする方法であり、前記方法は、外側チューブと前記外側チューブ内の補助チューブを備える低流動プラズマトーチにサンプルを導入するために有効な長さを備える注入器を提供することを備え、前記外側チューブは歪みのないスロットを備え、前記補助チューブは平らなプレート電極を用いて生成された低流動プラズマを前記トーチが維持するために有効な長さを備え、前記補助チューブの前記長さはらせん状の負荷コイルを備える従来のトーチ内で従来のプラズマを維持するよう構成された補助チューブの長さより長い、方法。
Claims (14)
- プラズマを維持するよう構成されたトーチであって、前記トーチは、外側チューブと前記外側チューブ内の補助チューブを備え、前記外側チューブは歪みのないスロットを備え、前記補助チューブは、平らなプレート電極を用いた前記トーチ内での前記プラズマの生成を可能にするために有効な長さを備え、前記プラズマは、流量が8リットル/分以下である、トーチ。
- 前記トーチの前記外側チューブは、前記外側チューブの全半径が実質的に同じであるように実質的に対称であり、前記スロットが前記外側チューブの一端に位置づけられる、請求項1に記載のトーチ。
- 前記補助チューブは、長さが80〜90mmである、請求項1に記載のトーチ。
- 前記歪みのないスロットの幅は、4〜6mmの範囲内である、請求項1に記載のトーチ。
- 前記補助チューブは、長さが83mmであり、前記歪みのないスロットは、長さが15mmである、請求項1に記載のトーチ。
- 前記トーチの前記外側チューブは、少なくとも3つの歪みのないスロットを備える、請求項1に記載のトーチ。
- 前記3つのスロットのそれぞれは、長さが13〜19mmである、請求項6に記載のトーチ。
- 前記3つの歪みのないスロットのそれぞれは、同じ長さである、請求項6に記載のトーチ。
- 前記補助チューブは、長さが83mmであり、前記3つの歪みのないスロットのそれぞれは、長さが15mmである、請求項6に記載のトーチ。
- プラズマを維持するよう構成されたトーチであって、前記トーチは外側チューブと前記外側チューブ内の補助チューブを備え、前記外側チューブは、歪みのないスロットを備え、前記補助チューブは平らなプレート電極を用いて生成されたプラズマを前記トーチが維持するために有効な長さを備え、前記プラズマは、流量が8リットル/分以下であり、前記補助チューブの前記長さは、80〜90mmの範囲内である、トーチ。
- 前記歪みのないスロットは、長さが13〜19mmである、請求項10に記載のトーチ。
- 前記外側チューブは、少なくとも3つの歪みのないスロットを備える、請求項10に記載のトーチ。
- 前記歪みのないスロットのそれぞれは、長さが13〜19mmである、請求項12に記載のトーチ。
- 前記補助チューブは長さが83mmであり、前記外側チューブは、一端に長さが15mmの歪みのないスロットを備える、請求項10に記載のトーチ。
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