JP5929203B2 - レンズ一体型基板及び光センサ - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施の形態に係るレンズ一体型基板を例示する断面図である。図1を参照するに、レンズ一体型基板10は、基板20と、反射防止膜28及び29とを有する。レンズ一体型基板10は、8〜12μmの波長領域の赤外線を検出対象としているため、基板20の材料としては、例えば、8〜12μmの波長領域の赤外線に対して透明であるシリコン(Si)を用いることができる。但し、8〜12μmの波長領域の赤外線に対して透明であれば、シリコン(Si)以外の材料を用いても構わない。このような材料としては、例えば、ゲルマニウム(Ge)等を挙げることができる。
第2の実施の形態では、第1の実施の形態とは形状の異なるレンズ一体型基板の例を示す。なお、第2の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する。
第3の実施の形態では、第1の実施の形態とは形状の異なるレンズ一体型基板の他の例を示す。なお、第3の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する。
第4の実施の形態では、第3の実施の形態とは形状の異なるレンズ一体型基板の例を示す。なお、第4の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する。
20 基板
20a 基板の光線入射側の面
20b 基板の光線出射側の面
20b1 第1の領域
20b2 第2の領域(接合面)
21 凸部
22、23、24 凹部
28、29 反射防止膜
30 赤外線センサ
40 赤外線検出部
41 素子基板
41x 空洞部
42 支持部
43 赤外線検出素子
50 接合材
100 シリコン基板
200、220 ポジ型レジスト
200A、220A レジストパターン
210、230 グレースケールマスク
Claims (3)
- 基板の光線入射側の面に形成された凸部と、
前記基板の光線出射側の面に形成された凹部と、
前記光線入射側の面において、少なくとも前記凸部の表面を含む領域に成膜された第1の反射防止膜と、を有し、
前記光線出射側の面において、前記凹部の表面の少なくとも一部を含む第1の領域には第2の反射防止膜が成膜されており、前記第1の領域を除く第2の領域には前記基板を構成する材料が露出しており、
前記第2の領域の少なくとも一部は、他の部材と接合される接合面となり、
前記光線出射側の面には、前記光線入射側の面側に窪んだ段差部が形成されており、
前記凹部は、前記段差部よりも更に前記光線入射側に形成されており、
前記段差部は、前記光線出射側の面から前記光線入射側の面に向かって末広がりとなる逆テーパ形状であるレンズ一体型基板。 - 前記凹部は、前記凸部に入射した光線が到達する領域よりも広い領域に形成されている請求項1記載のレンズ一体型基板。
- 素子基板、及び前記素子基板の一方の面に設置された光検出素子、を有する光検出部と、
請求項1又は2記載のレンズ一体型基板とを有し、
前記レンズ一体型基板の前記接合面は、前記光検出素子を封止するように、前記素子基板の一方の面と接合されている光センサ。
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