JP2019207426A - レンズアセンブリ用ｕｖ保護被膜 - Google Patents

Abstract

【課題】レンズ素子をレンズホルダに固定する接着剤が紫外光で劣化するのを抑制する。【解決手段】レンズ１３０は、レンズホルダ１１０の内部に形成されたレンズ支持部１１８に接着剤１４０で固定される。汚染物を洗い流すパージガスが、逃げチャネル（隙間）１２２を通って流過する。レンズ１３０の、レンズ支持部１１８により保持される側の面には、吸光体を含む層が形成される。吸光体は、約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下までの波長を有する光を吸収または反射して接着剤１４０に入射しないように配置される。【選択図】図２

Description

関連出願の説明

本出願は２０１３年９月６日に出願された米国特許出願第１４／０２０１０２号の米国特許法第１２０条の下の優先権の恩典を主張する。本明細書は上記特許出願の明細書の内容に依存し、上記特許出願の明細書の内容はその全体が本明細書に参照として含められる。

本明細書は全般にレンズ用保護被膜、及び光学系にレンズを接着するための方法に関する。

レンズ系は、リソグラフィ及び半導体検査装置を含む、様々なエンドユーザ用途に用いられる。これらの用途においては、光源からの光が、動作を実施するためにレンズ系に導き入れられる。しかし、いくつかの用途においては、レンズ素子に導き入れられるＵＶ光が、レンズ素子をレンズホルダに結合するために配置される接着剤を劣化させ得る。接着剤の劣化はレンズ素子の位置ずれを生じさせ得る。

したがって、光学系のためのＵＶ保護被膜が望まれているであろう。

一実施形態にしたがえば、レンズ、約２５０ｎｍ以上から約４００ｎｍ以下までの波長を有する光を透過させない吸光体、レンズホルダ及び、レンズをレンズホルダに接着するように配置された、接着剤を有する光学アセンブリが説明される。吸光体は約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下までの波長を有する光が接着剤に入射しないように配置される。

別の実施形態において、レンズ、約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下までの波長を有する光を透過させない吸光体及び吸光体上に配置された保護層を有する光学アセンブリが説明される。

また別の実施形態において、光学アセンブリにおいて接着剤の劣化を軽減する方法であって、
レンズに、約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下までの波長を有する光を透過させない吸光体を施す工程、及び
吸光体及び接着剤を、約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下までの波長を有する光が接着剤に入射しないように、配置する工程、
を有してなる方法が説明される。

さらなる特徴及び利点は以下の詳細な説明に述べられ、ある程度は、当業者にはその説明から容易に明らかであろうし、あるいは、以下の詳細な説明及び特許請求の範囲を、また添付図面も、含む本明細書に説明されるように実施形態を実施することによって認められるであろう。

上述の全般的説明及び以下の詳細な説明がいずれも様々な実施形態を説明し、特許請求される主題の本質及び特質を理解するための概要または枠組みの提供が目的とされていることは当然である。添付図面は様々な実施形態のさらに深い理解を提供するために含められ、本明細書に組み入れられて本明細書の一部をなす。図面は本明細書に説明される様々な実施形態を示し、記述とともに、特許請求される主題の原理及び動作の説明に役立つ。

図面に示される実施形態は説明のためのものであり、本質的に例示であって、特許請求の範囲によって定められる主題を限定することは目的とされていない。以下の図示される実施形態の詳細な説明は、同様の構造が同様の参照数字で示される、以下の図面とともに読まれたときに、理解され得る。

図１は、本明細書に図示されるかまたは説明される１つ以上の実施形態にしたがう、レンズがレンズホルダに結合されている光学系の正面破断図を簡略に示す。 図２は、本明細書に図示されるかまたは説明される１つ以上の実施形態にしたがう、レンズがレンズホルダに結合されているレンズアセンブリの上面図を簡略に示す。 図３は、本明細書に図示されるかまたは説明される１つ以上の実施形態にしたがう、レンズがレンズホルダに結合されているレンズアセンブリの、図２の線Ａ−Ａに沿って見られる、正面断面図を簡略に示す。 図４は、本明細書に図示されるかまたは説明される１つ以上の実施形態にしたがう、レンズがレンズホルダに結合されているレンズアセンブリの、図３の囲みＪにおいて見られる、詳細な正面断面図を簡略に示す。 図５は、本明細書に図示されるかまたは説明される１つ以上の実施形態にしたがう、レンズがレンズホルダに結合されているレンズアセンブリの上面図を簡略に示す。 図６は、本明細書に図示されるかまたは説明される１つ以上の実施形態にしたがう、レンズがレンズホルダに結合されているレンズアセンブリの、図５の線Ｂ−Ｂに沿って見られる、正面断面図を簡略に示す。 図７は、本明細書に図示されるかまたは説明される１つ以上の実施形態にしたがう、レンズをレンズホルダに接着するための積層構造を簡略に示す。 図８は、本明細書に図示されるかまたは説明される１つ以上の実施形態にしたがう、反射防止層及び保護層を含む、レンズをレンズホルダに接着するための積層構造を簡略に示す。 図９は、本明細書に図示されるかまたは説明される１つ以上の実施形態にしたがう、複数の反射防止層及び複数の吸光体を含む、レンズをレンズホルダに接着するための積層構造を簡略に示す。 図１０は実施形態にしたがうレンズアセンブリの透過率及び反射率を示すグラフである。

レンズ及びレンズホルダを有するレンズアセンブリ並びにレンズアセンブリにレンズを接着するための方法の実施形態をここで詳細に参照する。レンズアセンブリを組み込んでいる光学系の実施形態はレンズ及びレンズホルダを有することができる。レンズは接着剤によってレンズホルダに安定固定され得る。接着剤はレンズがレンズホルダに接触するように配置される位置において多くの形態で配置することができる。実施形態において、レンズ及びレンズホルダを有するレンズアセンブリは、レンズに光を供給する光源を含む光学系に組み込むことができる。光源は接着剤が光源にさらされたときに接着剤を劣化させることができる波長を有し得る。したがって、実施形態において、レンズアセンブリは劣化させる光への接着剤の曝露を防止するように配置された吸光体を含む。

図１を参照すれば、光学系９０が、明解さのためにいくつかのコンポーネントが切り取られて、簡略に示されている。図示される実施形態において、光学系９０は、光源９２、少なくとも１つのビーム整形素子９４、レンズアセンブリ１００及びパーツキャリア９６を備える。レンズアセンブリ１００はレンズホルダ１１０及びレンズ１３０を含む。光源９２によって供給される光は、パーツキャリア９６上に支持されている工作物８０に向けて光を透過及び屈折させる、レンズアセンブリ１００のレンズ１３０を通して導かれる。光学系９０は工作物８０に製造工程、例えば、工作物８０の検査または、例えばリソグラフィプロセスにおける、工作物８０の改変、を実施するために用いることができる。

図２を次に参照すれば、レンズアセンブリ１００の一実施形態が示されている。この実施形態において、レンズアセンブリ１００はレンズホルダ１１０及びレンズ１３０を含む。図３に断面で示される、レンズホルダ１１０は結合部１１２及びレンズ支持部１１８を有する。結合部１１２は、レンズホルダ１１０を光学系内に及び／または光学系内の別のレンズホルダに結合するための安定固定位置を提供する、複数の取付け素子１１４を有する。図２に示される実施形態においては、貫通孔が結合部１１２を通過する。結合部１１２はクロッキング素子１１６、例えばキー及び／またはキー溝、も有することができる。クロッキング素子１１６は、光学系９０のコンポーネントのアライメントが維持され得るように、光学系９０の隣接コンポーネント間の方位基準を与えることができる。

図示される実施形態において、レンズ支持部１１８は結合部１１２から径方向に内向きに広がる。レンズ支持部１１８は、図４に示されるように、平坦部１２４及び輪郭形成部１２６を有することができる。この実施形態において、輪郭形成部１２６は平坦部１２４から径方向に内側の位置にある。輪郭形成部１２６は、レンズ１３０が接着剤１４０によってレンズ支持位置１１８に結合される位置において、レンズ１３０の全体形状に一致するように整形することができる。

図４を参照すれば、レンズ１３０のアタッチメント部１３４が接着剤１４０によってレンズ支持部１１８に結合されている。いくつかの実施形態において、接着剤１４０はレンズ１３０の円周に沿って配列された複数の位置に配置される。接着剤１４０の領域は、レンズアセンブリ１００が接着剤１４０の領域の間の円周位置においては一般に接着剤１４０が無いように、接着剤１４０の領域の間の中間円周位置において相互に隔てることができる。

接着剤１４０に適する材料には、接着セメント及び接着剤を含む、市販の材料があり、それらの例は米国特許第７２３２５９５号明細書及び第７２５６２２１号明細書に論じられている。これらの明細書はそれぞれの全体が本明細書に参照として含められる。レンズアセンブリ１００を組み立てるときに、接着剤１４０はレンズホルダ１１０のレンズ支持部１１８に沿って所望の位置に配置することができる。レンズ１３０は、クロッキング素子１１６を含む、レンズホルダ１１０の基準フィーチャに対する所定の位置に挿入して保持することができる。レンズ１３０は、接着剤１４０が乾くかまたは硬化する機会を得てレンズホルダ１１０の基準フィーチャに対するレンズ１３０の位置を維持するまで、所定の位置に保持することができる。これらの接着剤は一般に弾性率及び熱膨張係数の安全動作要件を満たし、本明細書に説明される光学系９０での使用によく適している。

しかし、接着剤１４０として用いられる材料は特定の波長をもつ光源で照射されると劣化し易いことがあり得る。劣化は、光源が短波長、例えば深紫外波長及び極紫外波長に相当する波長で光を放射する場合に、特に深刻になり得る。短波長においては、光源からのエネルギーが接着剤１４０の材料を破壊する傾向がある。劣化は接着剤１４０からのガス放出をおこさせることができ、放出ガスは光学系９０の汚染を生じさせ得る。接着剤１４０の劣化は接着剤１４０の引張強度及び／または弾性にも悪影響を与えることができ、これらは接着剤１４０の、レンズホルダ１１０の基準フィーチャに対するレンズの位置を維持できる能力を低下させ得る。レンズ１３０とレンズホルダ１１０の基準フィーチャの間の位置ずれは、光学系９０の性能特性を低下させ得る。

図２及び３に示される実施形態において、レンズ支持部１１８は、レンズ支持部１１８の円周方向に沿って配列された、複数の支持パッド１２０を有する。複数の支持パッド１２０はそれぞれ、レンズ１３０の光軸１３２に対応する方向で指示パッド１２０から隔てられた、逃げチャネル１２２によって相互に隔てられる。支持パッド１２０及び逃げチャネル１２２は、レンズ１３０が結合される、レンズ支持部１１８に沿って断続する取付け面を提供する。この実施形態において、接着剤１４０はレンズ１３０に接触する支持パッド１２０に沿って配置される。接着剤１４０は一般に、レンズ１３０が逃げチャネル１２０の近傍の位置においてレンズホルダ１１０から隔てられるように、チャネル１２２の近傍には配置されない。レンズ１３０とレンズホルダ１１０の逃げチャネル１２２の間の間隔は流体が流過することができる隙間を提供する。光学系９０のいくつかの実施形態において、いかなる汚染物も洗い流すため、パージガスがレンズアセンブリ１００に送り込まれて逃げチャネル１２２とレンズ１３０の間につくられた隙間を流過することができる。

図２及び３の実施形態は、３つの支持パッド１２０、したがって３つの逃げチャネル１２２及び３つの接着剤１４０の領域を組み入れているレンズホルダ１１０を示しているが、レンズホルダ１１０が、光学系９０の設計及び要件による規定にしたがって、いかなる数の支持パッド１２０、逃げチャネル１２２及び接着剤１４０の領域も有し得ることは理解されるはずである。

図５及び６を次に参照すれば、レンズホルダ２１０及びレンズ１３０を組み込んでいる、別の実施形態のレンズアセンブリ２００が示されている。この実施形態において、レンズホルダ２１０は結合部１１２及びレンズ支持部１１８を有する。結合部１１２は、レンズホルダ２１０を光学系内に結合するための安定固定位置を提供する複数の、この実施形態では結合部１１２を通過する貫通孔である、取付け素子１１２を有する。結合部１１２はクロッキング素子１１６、例えばキー及び／またはキー溝、も有することができる。クロッキング素子１１６は、光学系９０のコンポーネントの径方向アライメントが維持され得るように、光学系９０の隣接コンポーネント間の方位基準を与えることができる。

この実施形態において、レンズ支持部１１８はその円周１３６に沿う形状を、レンズ支持部１１８が円周方向で中断されないように、連続とすることができる。レンズ１３０は、レンズ１３０の円周１３６に近接する位置に配列された、離散領域に配置された接着剤１４０によってレンズ支持部１１８に結合される。接着剤１４０は一般に、接着剤１４０が隣接する領域の間の位置には存在しないように、離散領域内だけに配置することができる。

接着剤１４０はレンズホルダ１１０のレンズ支持部１１８とレンズ１３０の間の離散領域に配置されるから、また接着剤１４０は厚さを有し得るから、レンズ１３０はレンズ支持部１１８の上方に接着剤１４０によって配置され得る。これらの実施形態では、接着剤１４０の離散領域の間の位置において、レンズ支持部１１８とレンズ１３０の間の空間は流体が流過することができる隙間を提供することができる。光学系９０のいくつかの実施形態において、いかなる汚染物も洗い流すため、パージガスをレンズアセンブリ１００に送り込んで、接着剤１４０の離散領域から隔てられた位置においてレンズ支持部１１８とレンズ１３０の間につくられた隙間を流過させることができる。

図２〜６を参照して上で論じた実施形態には離散領域に配置され得る接着剤が挙げられているが、別の実施形態において、接着剤はレンズをレンズホルダに接着するに適するいかなる形態でもレンズに施され得る。例えば、いくつかの実施形態において、レンズの円周に沿って接着剤を連続的に施すことができる。

図７に示される実施形態を次に参照すれば、レンズアセンブリはレンズ１３０と接着剤１４０の間に配置された吸光体１９０を含む積層構造９００を有することができる。吸光体１９０は、接着剤１４０を劣化させることができ、よってレンズ１３０の位置をレンズホルダ３１０に対してずらすことができる、光源９１０から放射される波長の光を吸収及び／または反射するように構成される。実施形態において、吸光体１９０は、例えば図７に示されるように、光源９１０と接着剤１４０の間に配置され、よって吸収及び／または反射される波長範囲内の光の接着剤１４０への入射を防止することができる。図７は積層構造９００の横方向を示すが、縦方向のような、積層構造の他の方向も本開示の範囲内にある。

吸光体１９０は広いスペクトルのＵＶ光を吸収するいかなる材料も含むことができる。実施形態において、吸光体１９０は化学線波長及び優勢な硬化波長のいずれをも吸収する材料を含む。いくつかの実施形態において、吸光体１９０は波長が、約２２０ｎｍ以上から約４８０ｎｍ以下までのような、約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下までの光を吸収する。別の実施形態において、吸光体１９０は波長が、約２４０ｎｍ以上から約４４０ｎｍ以下までのような、約２３０ｎｍ以上から約４６０ｎｍ以下までの光を吸収する。また別の実施形態において、吸光体１９０は波長が、約２６０ｎｍ以上から約３７５ｎｍ以下までのような、約２５０ｎｍ以上から約４００ｎｍ以下までの光を吸収する。さらに別の実施形態において、吸光体１９０は波長が約２６５ｎｍ以上から約３６５ｎｍ以下までの光を吸収する。

吸光体１９０をなす材料は、上述したように、ＵＶ光の少なくとも一部を吸収及び／または反射することができる。いくつかの実施形態において、吸光体１９０をなす材料はＵＶ光を吸収及び／または反射することができる１つ以上の金属とすることができる。別の実施形態において、吸光体１９０をなす材料は１つ以上の遷移金属とすることができる。また別の実施形態において、吸光体１９０をなす材料は、クロム、チタン、亜鉛、ニッケル、マンガン、鉄、ニオブ、銀、金、ハフニウム、アルミニウム、タンタル及びこれらの混合物から選ぶことができる。金属は実質的純金属としてあるいは、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物またはこれらの混合物として、存在することができる。吸光体として用いられ得る様々な材料は、以前は得られなかった異なる構成の積層構造を可能にする。例えば、いくつかの実施形態において、レンズ１３０の光源に面していない側の表面に吸光体が施され得るように、吸光体材料を選ぶことができる。しかし、別の実施形態においては、レンズ１３０の光源に面している側の表面に吸光体が施され得るように、吸光体材料を選ぶことができる。

図７は積層構造９００のほぼ同じ厚さを有する層を示すが、実施形態において、積層構造９００のそれぞれの層は適するいかなる厚さも有することができる。吸光体１９０は、化学線波長における光の透過率が約５％以下に、または約４％以下にさえ、なるような厚さを有することができる。いくつかの実施形態において、吸光体の厚さは化学線波長における光の透過率が約３％以下に、または約２％以下にさえ、なるような厚さである。さらに、吸光体は接着剤を硬化させるであろう波長の光を透過させない。したがって、実施形態において、硬化波長において光を透過させるように吸光体の厚さを調節する必要はない。したがって、吸光体の厚さが硬化波長において光を透過させるようには調節されていないであろうから、従来は望ましくなかった光アセンブリの構成をいくつかの実施形態において用いることができる。

いくつかの実施形態において、積層構造９００はレンズ装置に他の特性を与えるように構成することができる。実施形態において、積層構造９００は、吸光体１９０、接着剤１４０及び／またはレンズホルダ３１０からの反射光の、光学装置の動作を不十分にさせ得る、光学装置の様々なコンポーネント内への散乱を減じるように構成することができる。光をほとんどまたは全く反射しない吸光体１９０を選ぶことによって反射防止特性を与えることができる。しかし、いくつかの実施形態において、積層構造９００に層を追加することで反射防止特性を与えることができる。いくつかの実施形態において、一層の別の層への接着を促進するため及び／または積層構造９００のある層を保護するため、積層構造９００に層を追加することができる。

図８に示される実施形態を次に参照すれば、積層構造９００は、レンズ１３０、吸光体１９０、接着剤１４０及びレンズホルダ３１０に加えて、層を有することができる。いくつかの実施形態において、積層構造９００は接着促進剤／反射防止層１１００及び保護層１２００の内の１つ以上を有することができる。接着促進剤／反射防止層１１００はレンズ１３０と吸光体１９０の間に配置することができる。接着促進剤／反射防止層１１００は、吸光体１９０のレンズ１３０への接着を促進し、中間反射防止層としてもはたらく、材料を含むことができる。接着促進剤／反射防止層１１００をなす材料はレンズ１３０の吸光体１３０への接着を促進し、及び／または積層構造９００に反射防止特性を与える、いずれかの材料とすることができる。いくつかの実施形態において、接着促進剤／反射防止層１１００は、金属酸化物、金属炭化物、金属窒化物またはこれらの混合物からなることができる。いくつかの実施形態において、接着促進剤／反射防止層１１００は、クロム、チタン、亜鉛、ニッケル、マンガン、鉄、ニオブ、銀、金、ハフニウム、アルミニウム、タンタルの酸化物及びこれらの混合物からなることができる。いくつかの実施形態において、接着促進剤／反射防止層１１００は吸光体１９０を含む金属の酸化物からなることができる。例えば、吸光体１９０がクロムからなっていれば、接着促進剤／反射防止層１１００は、酸化クロム(III)のような、酸化クロムからなることができる。しかし、別の実施形態において、接着促進剤／反射防止層１１００は、吸光体１９０の金属とは異なる金属を含む金属酸化物からなることができる。いくつかの実施形態において、接着促進剤／反射防止層１１００を有する積層構造は、約１８％以下、または約１６％以下でさえあるような、約２０％以下の反射率を有することができる。

積層構造９００は保護層１２００も有することができる。実施形態において、保護層は吸光体１９０と接着剤１４０の間に施される。保護層１２００は処理中の吸光体１９０の損傷を防止する。例えば、吸光体１９０にかき傷が付けば、光源からの光は吸光体１９０のかき傷を通過して接着剤に１４０に入ることができ、接着剤１０を劣化させて、レンズ１３０のアライメントをずらすことができる。保護層１２００を設けることにより、吸光体１９０が、かき傷によるように、損傷を受ける可能性が小さくなる。保護層１２００は吸光体１９０に保護を与えることができ、吸光体１９０及び接着剤１４０に適合もする、いずれかの材料からなることができる。いくつかの実施形態において、保護層１２００は、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物またはこれらの混合物からなることができる。いくつかの実施形態において、保護層１２００は、クロム、チタン、亜鉛、ニッケル、マンガン、鉄、ニオブ、銀、金、ハフニウム、アルミニウム、タンタルの酸化物及びこれらの混合物からなることができる。いくつかの実施形態において、保護層１２００は吸光体１９０を含む金属酸化物からなることができる。例えば、吸光体１９０がクロムからなっていれば、保護層１２００は、酸化クロム(III)のような、酸化クロムからなることができる。しかし、別の実施形態において、保護層１２００は、吸光体１９０の金属とは異なる金属を含む金属酸化物からなることができる。

図９を次に参照すれば、積層構造９００は複数の吸光体１９０及び複数の接着促進剤／反射防止層１１００を有することができる。吸光体１９０及び接着促進剤／反射防止層１１００の数は光学装置の物理的制約によって制限される。実施形態において、それぞれの吸光体１９０には、レンズ１３０に最も近い側の上に接着促進剤／反射防止層１１００が配置されている。いくつかの実施形態において、２つの吸光体１９０及び２つの接着促進剤／反射防止層１１００があり、あるいは３つの吸光体１９０及び３つの接着促進剤／反射防止層１１００さえもあり得る。別の実施形態において、４つの吸光体１９０及び４つの接着促進剤／反射防止層１１００があり、あるいは５つの吸光体１９０及び５つの接着促進剤／反射防止層１１００さえもあり得る。

図７〜９はレンズの一方の側の上に配された積層構造の構成層の全てを示すが、いくつかの実施形態において、接着剤はレンズの積層構造の他の構成層とは逆の側の上に、積層構造の他の構成層が接着剤へのＵＶ光の入射を防止する限り、配置することができる。例えば、実施形態において、吸光体（及び、必要に応じて、接着促進剤／反射防止層及び保護層）はレンズの光源に対する光入射側の上に配置することができる。接着剤は、逆側の、レンズの反光入射側の上に配置することができ、それでも、接着剤が適切に構成されていれば、吸光体が接着剤へのＵＶ光入射を防止することができる。

積層構造は適するいずれかの方法によってレンズに施すことができる。例えば、いくつかの実施形態において、積層構造は、真空蒸着、スパッタリング、スプレイコーティング、インクジェット印刷、等によって施すことができる。積層構造が、例えば、真空蒸着またはスパッタリングによって施される実施形態においては、施工中にレンズの光学面を保護するためにマスクを用いることができる。マスクは、レンズの光学面にかき傷を付けないかまたは他の損傷を与えず、同時に被着方法からの保護を与えるために、レンズの周縁だけに接触し、レンズの光学面には直接に接触しないように構成される。マスクは、レンズホルダに接着されることが予定されている、レンズのあらかじめ定められた領域は覆わない。マスクが置かれると、レンズのあらかじめ定められた領域に積層構造が施される。

光学装置において接着剤を保護するための方法も開示される。実施形態において、方法は、少なくとも本明細書に説明されるような吸光体をレンズに施す工程を含む。吸光体は、レンズが光学装置に装着されたときに、ＵＶ光が接着剤に入射することがないように吸光体が接着剤を遮蔽するための位置に配されるように、配置される。吸光体は、接着剤を劣化させ得る、光源からのＵＶ光を透過させない。方法の実施形態は、レンズと吸光体の間に配置される、本明細書に説明されるような接着促進剤／反射防止層をレンズに施す工程をさらに含むことができる。いくつかの方法実施形態は、光学装置内への装着中のような、ハンドリング中にレンズを保護するための本明細書に説明されるような保護層を、レンズの逆側の、吸光体の表面に施す工程を含むことができる。積層構造のそれぞれの層は、真空蒸着、スピンオンコーティング、ゾル−ゲル被着、インクジェット被着、化学的気相成長、物理的気相成長及び電子ビーム蒸着のような、適するいずれかの被着方法によって施すことができる。いくつかの実施形態において、積層構造のそれぞれの層を同じ被着方法によって施すことができる。しかし、別の実施形態において、積層構造の１つ以上の層を他の（１つ以上の）層と異なる方法によって施すことができる。いくつかの実施形態は吸光体または保護層の内の一方を、レンズをレンズホルダに接着するように構成された接着剤と接触させる工程を含む。

実施形態は以下の実施例によってさらに明確になるであろう。

実施例１
レンズホルダにレンズが、レンズの一方の面上に配された３０〜６０ｎｍ厚Ｃｒ_２Ｏ_３接着促進剤／反射防止層、接着促進剤／反射防止層上に配された１００〜３００ｎｍ厚Ｃｒ吸光体層、吸光体層上に配された１００〜２００ｎｍ厚Ｃｒ_２Ｏ_３保護層及び、保護層と積層構造及びレンズを保持するレンズホルダの間の、レンズホルダに対する接着剤を有する、積層構造によって接着されている光学アセンブリを作製した。上記層のそれぞれは電子ビーム蒸着法を用いて施した。積層構造を光で照射し、２５０ｎｍから４００ｎｍの波長を有するＵＶ光の透過率及び反射率を測定した。図１０に示されるように、２５０ｎｍから４００ｎｍの波長を有するＵＶ光の積層構造を通る透過率は（ｘ軸に沿う）０％であった。１９０ｎｍから５００ｎｍの波長を有するＵＶ光の（ＡＲ付）積層構造による反射率は１５％より小さかった。

実施例２
積層構造がＣｒ_２Ｏ_３接着促進剤／反射防止層を有しておらず、保護層厚が６０〜１００ｎｍであることを除いて、実施例１と同様の態様で実施例を作製した。この実施例のそれぞれの層は電子ビーム蒸着法を用いて施した。積層構造を光で照射し、２５０ｎｍから４００ｎｍの波長を有するＵＶ光の透過率及び反射率を測定した。図１０に示されるように、２５０ｎｍから４００ｎｍの波長を有するＵＶ光の積層構造を通る透過率は（ｘ軸に沿う）０％であった。１９０ｎｍから５００ｎｍの波長を有するＵＶ光の（ＡＲ無）積層構造による反射率は１５％と４０％の間であった。

本開示にしたがうレンズアセンブリ及びレンズアセンブリを含む光学系がレンズホルダ及びレンズを有することが今では了解されるはずである。レンズはレンズの円周に近接する位置において断続する接着剤によってレンズホルダに結合される。光学系内の光は、レンズの円周に沿って評定される複数の低強度領域から隔てられた複数の高強度領域を有する、光照射領域において与えられる。レンズアセンブリは、接着剤が光照射領域の高強度領域から隔てられるように、配置される。

用語「実質的に」は本明細書において、いかなる量的比較、値、測定値またはその他の表現に帰因され得る、不確定性の本質的な大きさを表すために用いられ得ることに注意されたい。この用語は本明細書において、量的表現が言明された基準から当該主題の基本機能に変化を生じさせずに変わり得る大きさを表すためにも用いられる。

本明細書において特定の実施形態を示し、説明したが、特許請求される主題の精神及び範囲を逸脱することなく様々なその他の変更及び改変がなされ得ることは当然である。さらに、特許請求される様々な態様を本明細書において説明したが、そのような態様が組み合わせて用いられる必要はない。したがって、添付される特許請求の範囲は、特許請求される主題の範囲内にある、全てのそのような変更及び改変を包含するとされる。

８０ 工作物
９０ 光学系
９２，９１０ 光源
９４ ビーム整形素子
９６ パーツキャリア
１００，２００ レンズアセンブリ
１１０，２１０，３１０ レンズホルダ
１１２ 結合部
１１４ 取付け素子
１１６ クロッキング素子
１１８ レンズ支持部
１２０ 支持パッド
１２２ 逃げチャネル
１２４ 平坦部
１２６ 輪郭形成部
１３０ レンズ
１３２ 光軸
１３４ アタッチメント部
１３６ 円周
１４０ 接着剤
１９０ 吸光体
９００ 積層構造
９１０ 光源
１１００ 接着促進剤／反射防止層
１２００ 保護層

Claims (8)

1. レンズアセンブリ（１００、２００）において、
   レンズ（１３０）、
   約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下までの波長を有する光を透過させない吸光体（１９０）、
   レンズホルダ（３１０）、及び
   前記レンズ（１３０）を前記レンズホルダ（３１０）に接着するように配置された接着剤（１４０）、
   を有し、
   前記吸光体（１９０）が、約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下までの波長を有する光が前記接着剤（１４０）に入射しないように、配置され、
   前記接着剤が硬化波長を有し、前記吸光体が前記硬化波長を透過させないことを特徴とするレンズアセンブリ（１００、２００）。
2. 前記レンズ（１３０）と前記吸光体（１９０）の間に配置された接着促進剤／反射防止層（１１００）をさらに有することを特徴とする請求項１に記載のレンズアセンブリ（１００、２００）。
3. 前記接着促進剤／反射防止層（１１００）が、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物及びこれらの混合物、からなる群から選ばれる材料を含むことを特徴とする請求項２に記載のレンズアセンブリ（１００、２００）。
4. 前記接着促進剤／反射防止層（１１００）が、クロム、チタン、亜鉛、ニッケル、マンガン、鉄、ニオブ、銀、金、ハフニウム、アルミニウム及びタンタルの内の１つ以上を含む、金属、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物及びこれらの混合物、からなる群から選ばれる材料を含むことを特徴とする請求項３に記載のレンズアセンブリ（１００、２００）。
5. 前記接着促進剤／反射防止層（１１００）が約１９０ｎｍ以上から約５００ｎｍ以下までの波長を有する光に対して約２０％以下の反射率を有することを特徴とする請求項２から４のいずれか１項に記載のレンズアセンブリ（１００、２００）。
6. 前記吸光体（１９０）の、前記接着促進剤／反射防止層（１１００）とは逆側の、表面上に配置された保護層（１２００）をさらに有し、前記保護層（１２００）が、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物及びこれらの混合物からなる群から選ばれる材料を含むことを特徴とする請求項２から５のいずれか１項に記載のレンズアセンブリ（１００、２００）。
7. 前記吸光体（１９０）が１つ以上の、金属、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物及びこれらの混合物、を含むことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のレンズアセンブリ（１００、２００）。
8. 前記吸光体（１９０）が１つ以上の、クロム、チタン、亜鉛、ニッケル、マンガン、鉄、ニオブ、銀、金、ハフニウム、アルミニウム及びタンタルの内の１つ以上を含む、金属、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物及びこれらの混合物、を含むことを特徴とする請求項７に記載のレンズアセンブリ（１００、２００）。

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