CN105705978A - 用于透镜组件的uv保护涂层 - Google Patents

Abstract

一种透镜组件，包括：透镜；光吸收剂，该光吸收剂不透射具有从大于或等于大约250nm至小于或等于大约400nm的波长的光；透镜固持器；以及粘合剂，该粘合剂被配置成用于将该透镜粘附至该透镜固持器。该光吸收剂被定位从而使得具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光无法入射至该粘合剂。一种方法，包括：应用光吸收剂，该光吸收剂不向透镜透射具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光；以及配置该光吸收剂和该粘合剂从而使得所吸收的光无法入射至该粘合剂。

Description

用于透镜组件的UV保护涂层

本申请要求2013年9月6日提交的美国申请序列号14/020102在美国法典第35篇第120条款下的优先权的权益，其内容通过引用以其全文依赖且结合在此。

技术领域

本说明书总体上涉及透镜的保护涂层以及用于将透镜粘附至光学系统的方法。

背景技术

透镜系统被用于各种最终用户应用，包括用于光刻和半导体检查设备。在这些应用中，来自光源的光被引入到系统以便进行操作。然而，在一些应用中，引入到透镜元件的UV光可降解(degrade)被定位成将透镜元件耦合至透镜固持器的粘合剂。粘合剂的降解可导致透镜元件的未对准。

从而，用于光学系统的UV保护涂层是可期望的。

发明内容

根据一个实施例，描述了一种光学组件，包括：透镜；光吸收剂，该光吸收剂不透射具有从大于或等于大约250nm至小于或等于大约400nm的波长的光；透镜固持器；以及粘合剂，该粘合剂被配置成用于将该透镜粘附至该透镜固持器。该光吸收剂被定位从而使得具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光无法入射至该粘合剂。

在另一个实施例中，描述了一种光学组件，包括：透镜；光吸收剂，该光吸收剂不透射具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光；以及定位于该光吸收剂上的保护层。

在又一个实施例中，描述了一种用于减少光学组件中的粘合剂的降解的方法，包括：将光吸收剂应用于透镜，其中，该光吸收剂不透射具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光；配置所述光吸收剂和所述粘合剂从而使得具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光无法入射至所述粘合剂。

附加特征以及优点将在以下详细描述中予以阐明、并且部分从该描述中对本领域普通技术人员而言将变得非常明显或者通过实践本文中所描述的实施例很容易被识别，包括以下详细描述、权利要求书以及所附附图。

应当理解，上述概括描述和以下详细描述两者均描述各实施例并且旨在为理解所请求保护的主题的本质和特征提供概要或框架。附图被包括以便提供对各实施例的进一步理解，并被结合在本说明书中并构成本说明书的一部分。附图展示了本文所描述的各实施例，并且与详细描述一起用于解释所请求包括的主题的原理和操作。

附图说明

附图中阐明的实施例在本质上是说明性的且示例性的并且并不旨在限制由权利要求书限定的主题。当结合以下附图阅读时，能够理解说明性实施例的以下详细描述，其中，相似结构用相似参考数字指示，并且在附图中：

图1示意性地描绘了根据本文中所示出或描述的一个或多个实施例的具有耦合至透镜固持器的透镜的光学系统的切除前视图；

图2示意性地描绘了根据本文中所示出或描述的一个或多个实施例的具有耦合至透镜固持器的透镜的透镜组件的俯视图；

图3示意性地描绘了根据本文中所示出或描述的一个或多个实施例的具有耦合至透镜固持器的透镜的透镜组件的沿图2的线A-A示出的截面前视图；

图4示意性地描绘了根据本文中所示出或描述的一个或多个实施例的具有耦合至透镜固持器的透镜的透镜组件的在图3的视图J示出的详细截面前视图；

图5示意性地描绘了根据本文中所示出或描述的一个或多个实施例的具有耦合至透镜固持器的透镜的透镜组件的俯视图；

图6示意性地描绘了根据本文中所示出或描述的一个或多个实施例的具有耦合至透镜固持器的透镜的透镜组件的沿图5的线B-B示出的截面前视图；

图7示意性地描绘了根据本文中所示出或描述的一个或多个实施例的用于将透镜粘附至透镜固持器的层状结构；

图8示意性地描绘了根据本文中所示出或描述的一个或多个实施例的包括防反射层和保护层的用于将透镜粘附至透镜固持器的层状结构；

图9示意性地描绘了根据本文中所示出或描述的一个或多个实施例的包括多个防反射层和多个吸收剂的用于将透镜粘附至透镜固持器的层状结构；以及

图10是根据实施例示出了透镜组件的透射率和反射率的图。

具体实施方式

现在将详细参照具有透镜和透镜固持器的透镜组件以及用于将透镜粘附至透镜组件的方法的各实施例。结合透镜组件的光学系统的各实施例可包括透镜和透镜固持器。该透镜可通过粘合剂固定到该透镜固持器上。该粘合剂以多种配置被安排在透镜被配置成与透镜固持器相接触的位置处。在各实施例中，包括透镜和透镜固持器的该透镜组件可被结合在包括光源以便向透镜提供光的光学系统中。该光源可具有能够在粘合剂暴露于光源时降解粘合剂的波长。因此，在各实施例中，该透镜组件包括被定位以便防止粘合剂暴露于降解光的吸收剂。

参考图1，示意性地描绘了光学系统90的一部分，为了简洁，某些部件被切除。在所描绘的实施例中，光学系统90包括光源92、至少一个波束成形元件94、透镜组件100以及零件载体96。透镜组件100包括透镜固持器110和透镜130。由光源92提供的光被引导通过透镜组件100的透镜130，其朝向被支撑在零件载体96上的工件80透射并反射光。光学系统90可被用于在工件80上例如以光刻工艺进行制造操作，例如检查工件80或修改工件80。

现在参考图2，描绘了透镜组件100的一个实施例。在此实施例中，透镜组件100包括透镜固持器110和透镜130。在图3中以横截面被示出的透镜固持器110包括紧固部分112和透镜支撑部分118。紧固部分112包括多个安装元件114，该多个安装元件提供固定位置以便耦合光学系统中的透镜固持器110和/或光学系统内的其他透镜固持器。在图2示出的实施例中，通孔穿过紧固部分112。紧固部分112也可包括定时元件116，例如键和/或键槽。定时元件116可提供光学系统90的相邻部件之间的定向参考从而使得光学系统90的部件的对准能够被维持。

在所描绘的实施例中，透镜支撑部分118以径向地向内定向从紧固部分112延伸。如在图4中详细描绘的，透镜支撑部分118可包括平坦部分124和波形形状部分126。在此实施例中，波形形状部分126位于距离平坦部分124的径向地向内位置处。波形形状部分126可被成形为符合在透镜130通过粘合剂140耦合至透镜支撑部分118的位置处的透镜130的大体形状。

参考图4，透镜130的附接部分134用粘合剂140耦合至透镜支撑部分118。在一些实施例中，粘合剂140定位在围绕透镜130以圆周定向被安排的多个位置处。粘合剂140的区域可在粘合剂140的区域之间的中间周向位置处彼此分离，从而使得透镜组件100在粘合剂140的区域之间的周向位置处基本上不含粘合剂140。

用于粘合剂140的适合的材料包括可商购的材料，包括胶水和粘合剂，在美国专利号7,232,595和7,256,221中讨论了其示例，该两个专利通过引用以其整体结合于此。当组装透镜组件100时，粘合剂140可沿透镜固持器110的透镜支撑部分118定位于所期望的位置。透镜130可被插入并固持在相对于透镜固持器110的基准特征的位置处，包括定时元件116。透镜130可被固持在位直至粘合剂140有机会干固或硬化，从而维持透镜130相对于透镜固持器110的基准特征的位置。这些粘合剂材料通常满足弹性模量和热膨胀系数的操作需要，并且很好地适用于在文中描述的光学系统90。

然而，用作粘合剂140的材料在被具有特定波长的光源照射时可能易于降解。降解在光源发射短波长(例如在对应于深紫外线和超紫外线波长的波长处)处的光时可能特别剧烈。在短波长处，来自光源的能量具有分解粘合剂140的材料的倾向。降解可引起粘合剂140的排气，这可导致对光学系统90的污染。粘合剂140的降解也可负面地影响粘合剂140的拉伸强度和/或弹性，这可降低粘合剂140维持透镜130相对于透镜固持器110的基准特征的位置的能力。透镜130与透镜固持器110的基准特征之间的未对准可减少光学系统90的性能特征。

在图2和图3描绘的实施例中，透镜支撑部分118包括围绕透镜支撑部分118以圆周定向被安排的多个支撑衬垫120。该多个支撑衬垫120每一个都通过释压通道122彼此分离，该释压通道在对应于透镜130的光轴132的方向上与支撑衬垫120间隔开。支撑衬垫120和释压通道122沿透镜130耦合至其的透镜支撑部分118提供间断的安装板。在此实施例中，粘合剂140沿支撑衬垫120被定位以便与透镜130接触。粘合剂140一般不定位在接近释压通道122的位置处，从而使得透镜130在接近释压通道122的位置处与透镜固持器110分离。透镜130与透镜固持器110的释压通道122之间的间隔提供流体可通过其行进的间隙。在光学系统90的某些实施例中，净化气体可被引入透镜组件100并且流经在释压通道122与透镜130之间创建的间隙以便冲洗任何污染物。

尽管图2和图3的实施例描绘了结合三个支撑衬垫120以及因此三个释压通道122和三个粘合剂区域140的透镜固持器110，应当理解的是，如光学系统90的设计和需求所指示的，透镜固持器110可包括任何数量的支撑衬垫120、释压通道122和粘合剂140的区域。

现在参考图5和图6，描绘了结合透镜固持器210和透镜130的透镜组件200的另一个实施例。在此实施例中，透镜固持器210包括紧固部分112和透镜支撑部分118。紧固部分112包括多个安装元件114，此处存在穿过紧固部分112且提供固定位置以便在光学系统中耦合透镜固持器210的通孔。紧固部分112也可包括定时元件116，例如键和/或键槽。定时元件116可提供光学系统90的相邻部件之间的定向参考从而使得光学系统90的部件的径向对准能够被维持。

在此实施例中，透镜支撑部分118可围绕其圆周136在形状上是连续的，从而使得透镜支撑部分118在圆周定向不间断。透镜130利用定位在离散区域中的粘合剂140耦合至透镜支撑部分118，该离散区域被安排在接近透镜130的圆周136的位置处。粘合剂140一般仅定位在离散区域内，从而使得粘合剂140不是位于相邻区域之间的位置处。

因为粘合剂140定位在透镜固持器110的透镜支撑部分118与透镜130之间的离散区域中，并且因为粘合剂140可具有厚度，因此透镜130可通过粘合剂140定位在透镜支撑部分118上方。在这些实施例中，在粘合剂140的离散区域之间的位置处，透镜支撑部分118与透镜130之间的间隔可提供流体可通过其行进的间隙。在光学系统90的某些实施例中，净化气体可被引入透镜组件200并且在与粘合剂140的离散区域间隔开的位置处流经在透镜支撑部分118与透镜130之间创建的间隙以便冲洗任何污染物。

虽然以上参考图2至图6讨论的实施例叙述了粘合剂可位于离散区域中，但是在其他实施例中，粘合剂可以根据任何适合将透镜粘附至透镜固持器的配置被应用于透镜。例如，在一些实施例中，可围绕透镜的圆周连续应用粘合剂。

现在参考图7中描绘的实施例，透镜组件可包括层状结构900，该层状结构包括定位于透镜130与粘合剂140之间的光吸收剂190。光吸收剂190被配置成用于吸收和/或反射从光源910发射的光的波长，该光源可降解粘合剂140并且从而导致透镜130的位置相对于透镜固持器310发生偏移。在各实施例中，光吸收剂190可定位于光源910与粘合剂140之间，例如如图7中所示，从而防止所吸收的和/或所反射的波长内的光入射至粘合剂140。虽然图7示出了层状结构900的水平定向，但是应当理解的是，层状结构的其他定向(诸如竖直定向)处于本披露的范围内。

光吸收剂190可包括吸收UV光的广谱的任何材料。在各实施例中，光吸收剂190包括吸收光化波长和主固化波长两者的材料。在一些实施例中，光吸收剂190吸收具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm(诸如从大于或等于大约220nm至小于或等于大约480nm)的波长的光。在其他实施例中，光吸收剂190吸收具有从大于或等于大约230nm至小于或等于大约460nm(诸如从大于或等于大约240nm至小于或等于大约440nm的波长)的波长的光。在另外的其他实施例中，光吸收剂190吸收具有从大于或等于大约250nm至小于或等于大约400nm(诸如从大于或等于大约260nm至小于或等于大约375nm的波长)的波长的光。在还有其他的实施例中，光吸收剂190可吸收具有从大于或等于大约265nm至小于或等于大约365nm的波长的光。

如以上所述，包括光吸收剂190的材料能够吸收和/或反射至少一部分UV光。在一些实施例中，包括光吸收剂190的材料可以是能够吸收和/或反射UV光的一种或多种金属。在其他实施例中，包括光吸收剂190的材料可以是一种或多种过渡金属。在另外的其他实施例中，包括光吸收剂190的材料可选自铬、钛、锌、镍、锰、铁、铌、银、金、铪、铝、钽以及其混合物。在各实施例中，金属可作为基本上纯金属或作为金属氧化物、金属氮化物、金属碳化物或其混合物存在。可被用作光吸收剂的各种材料允许先前不可获得的层状结构的不同配置。例如，在一些实施例中，可选择光吸收剂材料从而使得光吸收剂可被应用于透镜130的无法面朝光源的表面。然而，在其他实施例中，可选择光吸收剂材料从而使得光吸收剂可被应用于透镜130的面朝光源的表面。

虽然图7示出了层状结构900的具有相同近似厚度的层，但是在各实施例中，层状结构900的每一层可具有任何适合的厚度。光吸收剂190可具有厚度从而使得在光化波长处的光的透射率小于或等于大约5％或者甚至小于或等于大约4％。在一些实施例中，光吸收剂的厚度为使得在光化波长处的光的透射率小于或等于大约3％或者甚至小于或等于大约2％。此外，光吸收剂无法在将固化粘合剂的波长处透射光。因此，在各实施例中，光吸收剂的厚度不需要调整为在固化波长处透射光。从而，由于光吸收剂的厚度还未调谐为在固化波长处透射光，因此先前不被期望的光组件的配置可在一些实施例中被采用。

在一些实施例中，层状结构900可被配置成用于向透镜装置提供其他特性。在各实施例中，层状结构900可被配置成用于减少从散射进入光学装置的各部件的来自光吸收剂190、粘合剂140和/或透镜固持器310的光的反射，这可导致光学装置较差地进行操作。可通过选择反射少许或不反射光的光吸收剂190提供防反射特性。然而，在一些实施例中，可通过向层状结构900添加层提供防反射特性。在一些实施例中，可向层状结构900添加层以便促进层与层之间的粘附力和/或以便保护层状结构900的层。

现在参考图8中描绘的实施例，除透镜130、光吸收剂190、粘合剂140以及透镜固持器310之外，层状结构900可包括层。在一些实施例中，层状结构900可包括粘合促进剂/防反射层1100和保护层1200中的一项或多项。粘合促进剂/防反射层1100可定位于透镜130与光吸收剂190之间。粘合促进剂/防反射层1100可包括促进光吸收剂190至透镜130的粘附力的材料并且也充当内部防反射层。包括粘合促进剂/防反射层1100的材料可以是促进透镜130至光吸收剂190的粘附力和/或向层状结构900提供防反射特性的任何材料。在一些实施例中，粘合促进剂/防反射层1100可由金属氧化物、金属碳化物、金属氮化物或其混合物组成。在一些实施例中，粘合促进剂/防反射层1100可由铬、钛、锌、镍、锰、铁、铌、银、金、铪、铝、钽的氧化物以及其混合物组成。在一些实施例中，粘合促进剂/防反射层1100可由包括光吸收剂190的金属的氧化物组成。例如，如果光吸收剂190由铬组成，则粘合促进剂/防反射层1100可由氧化铬组成，诸如氧化铬(III)。然而，在其他实施例中，粘合促进剂/防反射层1100可由金属氧化物组成，该金属氧化物具有不同于光吸收剂190的金属的金属。在一些实施例中，具有粘合促进剂/防反射层1100的层状结构可具有小于或等于大约20％(诸如小于或等于大约18％或者甚至小于或等于大约16％)的反射率。

层状结构900也可包括保护层1200。在各实施例中，保护层可被应用于光吸收剂190与粘合剂140之间。保护层1200保护光吸收剂190在处理过程中免受损坏。例如，如果光吸收剂190被刮擦，则来自光源910的光可通过光吸收剂190中的刮痕被透射至粘合剂140，这可导致粘合剂140降解并且允许透镜130变得未对准。通过提供保护层1200，光吸收剂190将诸如通过刮擦受损变得不太可能。保护层1200可由能够向光吸收剂190提供保护并且也与光吸收剂190和粘合剂140兼容的任何材料组成。在一些实施例中，保护层1200可由金属氧化物、金属氮化物、金属碳化物或其混合物组成。在一些实施例中，保护层1200可由铬、钛、锌、镍、锰、铁、铌、银、金、铪、铝、钽的氧化物以及其混合物组成。在一些实施例中，保护层1200可由包括光吸收剂190的金属的氧化物组成。例如，如果光吸收剂190由铬组成，则保护层1200可由氧化铬组成，诸如氧化铬(III)。然而，在其他实施例中，保护层1200可由金属氧化物组成，该金属氧化物具有不同于光吸收剂190的金属的金属。

现在参考图9，层状结构900可包括多个光吸收剂190和多个粘合促进剂/防反射层1100。光吸收剂190和粘合促进剂/防反射层1100的数量受到光学装置的物理约束的限制。在各实施例中，每一个光吸收剂190具有定位在最接近透镜130的一侧上的粘合促进剂/防反射层1100。在一些实施例中，可能有两个光吸收剂190和两个粘合促进剂/防反射层1100或者甚至三个光吸收剂190和三个粘合促进剂/防反射层1100。在其他实施例中，可能有四个光吸收剂190和四个粘合促进剂/防反射层1100或者甚至五个光吸收剂190和五个粘合促进剂/防反射层1100。

虽然图7至图9示出了位于透镜的一侧上的层状结构的所有部件，但是在一些实施例中，只要层状结构的其他部件防止UV光入射至粘合剂，则粘合剂可定位在透镜的与层状结构的其他部件相对的相对侧上。例如，在各实施例中，吸收剂(以及可选地防反射/粘合促进层和保护层)可定位在透镜的入射至光源的一侧上。粘合剂可定位在透镜的相对的、非入射侧，但是如果粘合剂被适当地配置，则吸收剂仍可防止UV光入射至粘合剂。

可通过任何合适的方法将层状结构应用于透镜。例如，在一些实施例中，可通过真空沉积、溅射、喷涂、喷墨打印等应用层状结构。在通过例如真空沉积或溅射应用层状结构的实施例中，可使用掩模以便在应用过程中保护透镜的光学表面。掩模被配置成用于仅直接接触透镜的圆周并且无法直接接触透镜的光学表面以便在从沉积方法中提供保护的同时不会刮擦或以其他方式损坏透镜的光学表面。掩模无法覆盖旨在被粘附至透镜固持器的透镜的预先确定的部分。一旦掩模就位，则层状结构可被应用于透镜的预先确定的部分。

还披露了用于在光学装置中保护粘合剂的方法。在各实施例中，该方法包括将本文中描述的至少一个光吸收剂应用于透镜。光吸收剂被配置从而使得当透镜被安装在光学装置中时，光吸收剂被定位以便遮蔽粘合剂从而使得UV光无法入射至粘合剂。光吸收剂无法透射来自光源的UV光，其可降解粘合剂。该方法的各实施例可进一步包括将本文中描述的粘合促进剂/防反射层应用于定位在透镜与吸收剂之间的透镜。该方法的一些实施例可包括将本文中描述的保护层应用于吸收剂的与透镜相对的表面以便在处理过程中(诸如在安装入光学装置的过程中)保护透镜。可通过任何合适的沉积方法(诸如真空沉积、旋涂、溶胶-凝胶沉积、喷墨沉积、化学气相沉积、物理气相沉积以及电子束蒸发)应用层状结构的每一层。在一些实施例中，可通过相同的沉积方法应用层状结构的每一层。然而，在其他实施例中，可通过不同于其他层的沉积方法应用层状结构的一层或多层。一些实施例包括利用被配置成用于将透镜粘附至透镜固持器的粘合剂接触光吸收剂或保护层中的一项。

示例

将通过以下示例来进一步说明实施例。

示例1

通过层状结构用粘附至透镜固持器的透镜构建光学组件，该层状结构包括定位在透镜的一个表面上的30-60nm厚度的Cr₂O₃粘合促进剂/防反射层、定位在粘合促进剂/防反射层上的100-300nm厚度的Cr光吸收剂、定位在光吸收剂上的100-200nmCr₂O₃保护层以及在保护层与将层状结构和透镜保持到透镜固持器的透镜固持器之间的粘合剂。使用电子束蒸发的方法应用以上每一层。用光照射层状结构，并且测量具有从250nm至400nm的波长的UV光的透射率和反射率。如图10所示，具有从250nm至400nm的波长的UV光通过层状结构的透射是0％(沿x轴放置)。具有从190nm至500nm的波长的UV光(反射-有AR)通过层状结构的反射率小于15％。

示例2

以与示例1相同的方式制备示例，所不同的是层状结构不包括Cr₂O₃粘合促进剂/防反射层并且保护层是60-100nm厚。使用电子束蒸发的方法应用在此示例中的每一层。用光照射层状结构，并且测量具有从250nm至400nm的波长的UV光的透射率和反射率。如图10所示，具有从250nm至400nm的波长的UV光通过层状结构的透射是0％(沿x轴放置)。具有从190nm至500nm的波长的UV光(反射-无AR)通过层状结构的反射率在15％和40％之间。

现在应当理解的是，根据本披露的透镜组件和包括透镜组件的光学系统包括透镜固持器和透镜。透镜利用粘合剂耦合至透镜固持器，该粘合剂在接近透镜的圆周的位置处间断。在光学脚印中提供光学系统中的光，该光学脚印具有与沿透镜的圆周被估算的多个低强度区域分离的多个高强度区域。透镜组件定位在光学系统中以使得粘合剂与光学脚印的高强度区域间隔开。

应注意的是，在本文中可使用术语“基本上”来表示可归因于任何量化比较、值、测量或其他表示的固有不确定性程度。在本文中也可使用此术语来表示量化表示可从所阐明的参考量变化而不会导致讨论中的主题的基本功能改变的程度。

虽然本文中已经展示和描述了特定实施例，但应当理解的是，在不脱离所要求保护的主题的精神和范围的情况下，可作出各种其他变化和修改。而且，虽然本文中已经描述了所请求保护的主题的各个方面，但是此类方面无需以组合使用。因此，本发明旨在所附权利要求书涵盖所有此类落入所请求保护的主题的范围内的变化和修改。

Claims (20)

1.一种透镜组件，包括：

透镜；

光吸收剂，所述光吸收剂不透射具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光；

透镜固持器；以及

粘合剂，所述粘合剂被配置成将所述透镜粘附至所述透镜固持器，

其中，所述光吸收剂被定位成使得具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光无法入射至所述粘合剂。

2.如权利要求1所述的透镜组件，进一步包括定位于所述透镜与所述光吸收剂之间的粘合促进剂/防反射层。

3.如权利要求2所述的透镜组件，其中，所述粘合促进剂/防反射层包括从由以下各项组成的组中选择的一项：金属氧化物、金属氮化物、金属碳化物以及其混合物。

4.如权利要求2所述的透镜组件，其中，所述粘合促进剂/防反射层对于具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光具有小于或等于大约20％的反射率。

5.如权利要求2-4中任一项所述的透镜组件，进一步包括保护层，所述保护层定位于所述光吸收剂的与所述粘合促进剂/防反射层相对的表面上。

6.如权利要求5所述的透镜组件，其中，所述保护层包括从由以下各项组成的组中选择的一项：金属氧化物、金属氮化物、金属碳化物以及其混合物。

7.如权利要求2-4中任一项所述的透镜组件，其中，所述透镜组件包括：

第二粘合促进剂/防反射层，所述第二粘合促进剂/防反射层定位于所述光吸收剂的与所述透镜相对的表面上；以及

第二光吸收剂，所述第二光吸收剂定位于与所述光吸收剂相对的一侧的所述第二粘合促进剂/防反射层上。

8.如权利要求1-4中任一项所述的透镜组件，其中，所述光吸收剂包括从由以下各项组成的组中选择的一项：金属、金属氧化物、金属氮化物、金属碳化物以及其混合物。

9.如权利要求1-4中任一项所述的透镜组件，其中，所述光吸收剂包括从由以下各项组成的组中选择的一项或多项：铬、钛、锌、镍、锰、铁、铌、银、金、铪、铝、钽、其氧化物、其氮化物以及其碳化物。

10.如权利要求1-4中任一项所述的透镜组件，其中，所述粘合剂和所述光吸收剂以间断配置被安排在接近所述透镜的圆周的位置处。

11.一种透镜组件，包括：

透镜；

光吸收剂，所述光吸收剂不透射具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光；以及

定位于所述光吸收剂上的保护层。

12.如权利要求11所述的透镜组件，进一步包括定位于所述透镜与所述光吸收剂之间的粘合促进剂/防反射层。

13.如权利要求12所述的透镜组件，其中，所述粘合促进剂/防反射层和所述光吸收剂具有小于或等于大约20％的反射率。

14.如权利要求11所述的透镜组件，其中，所述光吸收剂包括从由以下各项组成的组中选择的一项：金属、金属氧化物、金属氮化物、金属碳化物以及其混合物。

15.如权利要求11-13中任一项所述的透镜组件，其中，所述光吸收剂包括从由以下各项组成的组中选择的一项或多项：铬、钛、锌、镍、锰、铁、铌、银、金、铪、铝、钽、其氧化物、其氮化物以及其碳化物。

16.如权利要求11-13中任一项所述的透镜组件，其中，所述保护层包括从由以下各项组成的组中选择的一项：金属氧化物、金属氮化物、金属碳化物以及其混合物。

17.如权利要求11-13中任一项所述的透镜组件，其中，所述光吸收剂和所述保护层以间断配置被安排在接近所述透镜的圆周的位置处。

18.一种用于减少透镜组件中的粘合剂的降解的方法，所述方法包括：

将光吸收剂应用于透镜，其中，所述光吸收剂不透射具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光；以及

配置所述光吸收剂和所述粘合剂从而使得具有从大于或等于大约190nm至小于或等于大约500nm的波长的光无法入射至所述粘合剂。

19.如权利要求18所述的方法，进一步包括在所述透镜与所述光吸收剂之间应用粘合促进剂/防反射层。

20.如权利要求18或19所述的方法，进一步包括在所述光吸收剂上应用保护层。