JP6388644B2 - 筐体内に密閉封止してはんだ付けすることができる窓要素を製造するための方法、および前記方法によって製造された自由形状窓要素 - Google Patents
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Description
a)光透過性で平坦な基板材料の少なくとも1つの表面に、少なくとも1つの光学コーティングを塗布するステップと、
b)光学コーティングを、犠牲層を意味する、エッチング可能な層である保護層でコーティングするステップと、
c)基板材料から保護層および光学コーティングを選択的に除去するステップであって、任意の幾何形状を有する窓要素を得るために、少なくとも1つの要求された光学活性自由形状面が、少なくとも1つの光学活性自由形状面の周囲を取り囲む縁領域において高エネルギー放射線の有向加工ビームで局部的に機械加工することによってアブレーションされ、その結果、保護層が、少なくとも1つの要求された光学活性自由形状面を完全に覆うマスクとして光学コーティング上に残るステップと、
d)高エネルギー放射線の有向加工ビームによって、局部的に機械加工された周縁領域に沿って基板材料の一部をアブレーションし、その結果、所定の粗さを有する少なくとも1つの下段部が、基板材料の局部的に機械加工された縁領域において形成され、少なくとも1つの段部が、光学コーティングが配置される基板材料の高さレベルから、光学コーティングの単一層の厚さ分よりも下に位置するステップと、
e)保護層によって覆われた光学コーティングを有し、少なくとも1つの窓要素の局部的に機械加工された周縁領域を有する基板材料の表面を、はんだ層システムにより金属被覆することによって、コーティングするステップと、
f)光学コーティングではなく保護層にのみ、またはんだ層システムには最小限でのみ選択的に作用するエッチング工程によって、光学コーティング上の金属被覆を除去し、その結果、保護層に接着するはんだ層システムの金属被覆が、アンダカットによってリフトオフされ、はんだ層システムが、光学活性自由形状面を取り囲む局部的に機械加工された周縁領域上にのみ残るステップ。
a)光透過性で平坦な基板材料1の少なくとも1つの表面に、少なくとも1つの光学コーティング2を塗布するステップと、
b)光学コーティング2を、犠牲層を意味する、エッチング可能な層である保護層3でコーティングし、この点でエッチングに強い光学コーティング2を得るステップと、
c)基板材料1から保護層3および光学コーティング2を選択的に除去するステップであって、任意の幾何形状を有する窓要素6を得るために、少なくとも1つの要求された光学活性自由形状面61が、少なくとも1つの光学活性自由形状面61の周囲を取り囲む縁領域62において高エネルギー放射線の有向加工ビーム4で局部的に機械加工することによってアブレーションされ、その結果、保護層3が、要求された光学活性自由形状面61を完全に覆うマスクとして光学コーティング2上に残るステップと、
d)高エネルギー放射線の有向加工ビーム4によって、局部的に機械加工された周縁領域62に沿って基板材料の一部をアブレーションし、その結果、所定の粗さを有する少なくとも1つの下段部11、12が、基板材料1の局部的に機械加工された縁領域62において形成され、段部11が、光学コーティング2が配置される基板材料1の高さレベルから、光学コーティング2の単一層の厚さ分よりも下に位置するステップと、
e)保護層3によって覆われた光学コーティング2を有し、少なくとも1つの窓要素6の局部的に機械加工された周縁領域62を有する基板材料1の表面を、はんだ付け可能コーティングで金属被覆7を被せることによって、コーティングするステップと、
f)光学コーティング2ではなく保護層3にのみ、また金属被覆7には最小限でのみ選択的に作用するエッチング工程によって、光学コーティング2上の金属被覆7を除去し、その結果、保護層3に接着する金属被覆7が、アンダカットによってリフトオフされ、金属被覆7が、光学活性自由形状面61を取り囲む局部的に機械加工された周縁領域62上にのみ残るステップ。
a)基板材料1の両面に、光学コーティング2(例えば、コーティング層、反射防止コーティングまたはフィルタコーティング)を塗布するステップと、
b)基板材料1の2つの面を、光学コーティング2の保護層3(例えば、レーザ加工用金属層)でコーティングし、続いて窓要素6を切り取る時に端部が破損しないように、窓要素6の光学活性自由形状面61の所望の形状に合わせて基板材料1の裏側に切欠部15を作製するステップと、
c)有向ビーム加工(レーザ加工、電子ビーム法、粒子ビーム法など、またはウォータジェット法)によって、窓要素6の光学活性自由形状面61を取り囲む縁領域62において、基板材料1から保護層3および光学コーティング2を選択的に除去するステップと、
d)レーザ昇華によって、縁領域62において低応力で低残渣の機械加工を行うことにより、Qスイッチまたは調整可能固体レーザの有向加工ビーム4によって窓要素6の光学活性自由形状面61を機械加工するステップと、
e)ビーム加工された縁領域62の基板材料1に接着する金属被覆7を、好ましくは、例えば、
チタン(Ti)−白金(Pt)−金(Au)もしくは
チタン(Ti)−パラジウム(Pd)−金(Au)もしくは
クロム(Cr)−鉄−ニッケル合金(FeNi)−金−ニッケル合金(AuNi)もしくは
銅−ニッケル−金合金(CuNiAu)−ニッケル(Ni)を含むはんだ層システム71の物理的蒸着(PVD法)によって、または
化学工程によって、ニッケル(Ni)および金(Au)でコーティングするステップと、
f)保護層3に接着するはんだ層システム71をリフトオフするステップであって、光学活性自由形状面61に配置された保護層3のみに選択的に作用するが、はんだ層システム71には最小限に作用し、光学コーティング2には作用しない、後のエッチング工程において保護層3が除去され、保護層3は光学コーティング2のリフトオフマスクであり、その結果、金属被覆7が光学活性自由形状面61の周りの縁領域62において、はんだリング構造の形で基板材料1上にのみ保持されるステップと、
g)qスイッチまたは調整可能固体レーザの加工ビーム4によって、窓要素6を基板材料1から切り取るステップであって、裏側(窓要素6の光学活性自由形状面61の要求形状を有する)の切欠部15と一致する、おもて側の選択された切断線43に沿ってレーザの加工ビーム4を移動させるステップ。
a)図3による基板材料1の両面に異なる光学コーティング2を塗布するステップであって、一方の面にARフィルタ21の形をした反射防止コーティングが配置され、他方の面にスペクトルフィルタシステム22が配置されるステップと、
b)基板材料1の2つの面を、光学コーティング用ポリマー(例えば、ネガ型作用フォトレジスト)を含む保護層3でコーティングし、要求される窓要素6(図2参照)が、各場合において少なくとも複数の点で固定されるように(例えば、両面接着テープを用いて)、基板材料1の裏側に追加の支持基板5を固定するステップと、
c)加工ビーム4を用いた有向ビーム機械加工によって、窓要素6の光学活性自由形状面61を取り囲む縁領域62において、基板材料1から保護層3および光学コーティング2を選択的に除去するステップと、
d)基板材料1内に少なくとも1つの段部11を形成するために、加工ビーム4によって、窓要素6の光学活性自由形状面61をさらに機械加工するステップであって、レーザ昇華によって、窓要素6の縁領域62において低応力で低残渣の機械加工が行われるステップと、その直後に
g)電子ビームの形をした加工ビーム4によって、窓要素6の要求形状に対応する窓要素6を切り取り、次いで、図2による方法手順で既に述べた方法で進むステップと、
e)好ましくはビーム加工された縁領域62において基板材料1に接着するはんだ層システム71の物理的蒸着(PVD法)によって、はんだ層システム71で金属被覆7を施すステップと、
f)保護層3に接着する金属被覆7をリフトオフするステップであって、前に施した保護層3に選択的に作用するエッチング工程において保護層3が除去され、その結果、金属被覆7のみが、光学活性自由形状面61の周りの縁領域62における基板材料1上に、はんだリング構造として保持されるステップと、
g)窓要素6が個別になるように、窓要素6を支持基板5から同時に分離するステップ。
a0)第1の洗浄(通常、水および超音波で)、
a)光学コーティング2の塗布、
b)好ましくは両面への、保護層3の配置、
c01)レーザ入力改善のための保護層3のエッチング、
c02)粘着性のあるパッドまたはペーストシルクスクリーニングを備えた支持基板5の準備、
c03)はんだを上にして、支持基板5にウェハを接着剤で接着、
c)第1のレーザ加工ステップ(保護層3および光学コーティング2のアブレーション)、
d)第2のレーザ加工ステップ(窓要素6の表面構造の切取り)、
e0)第2の洗浄、
e)はんだ層システム71でコーティング、
g)窓要素6を切り取り、支持基板5から分離し、保管、
f)保護層3をアンダカットすることによって、光学活性自由形状面61から金属被覆7をリフトオフ。
11 (基板材料アブレーションの)段部
12 (基板材料アブレーションの)さらなる段部
13 (窓要素6の)丸い縁部
14 (窓要素6の)傾斜側面
15 (裏側の)切欠部
2 光学コーティング
21 ARフィルタ
22 (スペクトル)フィルタシステム
3 保護層
4 加工ビーム(高エネルギー放射線)
43 (窓要素6を切り取るための)切断線
5 支持基板
6 窓要素
61 光学活性自由形状面
62 縁領域(はんだ縁部)
7 金属被覆
71 はんだ層システム
8 はんだ層
9 筐体
R 半径
W (側面の)ベベル角度
Claims (15)
- 筐体(9)内に密閉してはんだ付けすることができる窓要素(6)を製造するための方法であって、複数の窓要素(6)に十分な寸法付けを有する光透過性で平坦な基板材料(1)が、
a)前記光透過性で平坦な基板材料(1)の少なくとも1つの表面に、少なくとも1つの光学コーティング(2)を塗布するステップと、
b)前記光学コーティング(2)を、犠牲層を意味する、エッチング可能な層である保護層(3)でコーティングするステップと、
c)前記基板材料(1)から前記保護層(3)および前記光学コーティング(2)を選択的に除去するステップであって、任意の幾何形状を有する窓要素(6)を得るために、少なくとも1つの要求された光学活性自由形状面(61)が、前記少なくとも1つの光学活性自由形状面(61)の周囲を取り囲む縁領域(62)において高エネルギー放射線の有向加工ビーム(4)で局部的に機械加工することによってアブレーションされ、その結果、前記保護層(3)が、前記少なくとも1つの要求された光学活性自由形状面(61)を完全に覆うマスクとして前記光学コーティング(2)上に残るステップと、
d)高エネルギー放射線の前記有向加工ビーム(4)によって、局部的に機械加工された前記縁領域(62)に沿って前記基板材料(1)の一部をアブレーションし、その結果、所定の粗さを有する少なくとも1つの下段部(11、12)が、前記基板材料(1)の前記局部的に機械加工された縁領域(62)において形成され、前記少なくとも1つの下段部(11)が、前記光学コーティング(2)が配置される前記基板材料(1)の高さレベルから、前記光学コーティング(2)の単一層の厚さ分よりも下に位置するステップと、
e)前記保護層(3)によって覆われた前記光学コーティング(2)を有し、少なくとも1つの前記窓要素(6)の前記局部的に機械加工された縁領域(62)を有する前記基板材料(1)の表面を、はんだ層システム(71)により金属被覆(7)することによって、コーティングするステップと、
f)前記光学コーティング(2)ではなく前記保護層(3)にのみ、また前記はんだ層システム(71)には最小限でのみ選択的に作用するエッチング工程によって、前記光学コーティング(2)上の前記金属被覆(7)を除去し、その結果、前記保護層(3)に接着する前記はんだ層システム(71)の前記金属被覆(7)が、アンダカットによってリフトオフされ、前記はんだ層システム(71)が、前記光学活性自由形状面(61)を取り囲む前記局部的に機械加工された縁領域(62)上にのみ残るステップと、
g)ステップf)において前記金属被覆(7)が除去された後に、またはステップd)において前記窓要素(6)の前記縁領域(62)の前記アブレーション後に、前記有向加工ビーム(4)によって、個々の窓要素(6)を切断線(43)に沿って前記基板材料(1)から切り取るステップと
によって連続的に機械加工される方法。 - 前記基板材料(1)の前記局部的に機械加工された縁領域(62)の前記アブレーション中に、高エネルギー放射線の前記有向加工ビーム(4)によって、半径(R)が50μm〜150μmの丸い縁部(13)と共に、内縁領域および外縁領域に前記少なくとも1つの下段部(11、12)が生成され、その結果、ステップe)において、前記はんだ層システム(71)で完全にコーティングすることによって、前記局部的に機械加工された縁領域(62)と、続いて施されるはんだのための追加の縁被覆部との低張力金属被覆(7)が得られる、請求項1に記載の方法。
- 前記局部的に機械加工された縁領域(62)が、洗浄工程によって、緩い、かつ緩く接着している材料を除去し、最大でRamax=2.5μmである表面の粗さが調整される、請求項1に記載の方法。
- アブレーション工程、切り取り工程及び洗浄工程のための前記有向加工ビーム(4)が、レーザビーム、粒子ビーム、電子ビーム、ガラス玉またはエッチング液ビームである、請求項1に記載の方法。
- 前記窓要素(6)が、おもて側から前記切断線(43)に沿って前記基板材料(1)を切断することによって切り取られ、前記おもて側が、はんだ付け可能な前記金属被覆(7)のための前記基板材料(1)の表面であり、
支持基板(5)が設けられ、切断する前に、前記基板材料(1)が、すべての窓要素(6)について接着剤で前記支持基板(5)に固定され、
ステップg)において、前記基板材料(1)から既に切り取られた前記窓要素(6)の個別化が、前記支持基板(5)から前記窓要素(6)を外すことによって行われる、請求項1に記載の方法。 - 前記支持基板(5)に固定する前及び前記基板材料(1)を切断する前に、前記切断線(43)に対応して延在する弱化部が前記基板材料(1)の裏側に導入される、請求項5に記載の方法。
- 高エネルギー放射線の有向加工ビーム(4)を繰り返し移動させることによって、以下のステップ、
−前記切断線(43)上で前記窓要素(6)が切り取られ、同時に、半径(R)の丸い縁部(13)が前記切断線(43)に沿って生成されるステップ、
−前記切断線(43)上での前記窓要素(6)の切り取りが、基板材料(1)の前記下段部(11)における前記アブレーションと直接関連して行われ、その際、2桁〜3桁のマイクロメートル範囲の前記半径(R)を有する丸い縁部(13)が前記切断線(43)に沿って製造されるステップ、が行われる、請求項5に記載の方法。 - 前記丸い縁部(13)に加えて、前記有向加工ビーム(4)を前記切断線(43)上で繰り返し移動させることによって、前記窓要素(6)を切り取る時に、前記窓要素(6)の表面法線に向かって内側に傾く傾斜側面(14)が生成される、請求項7に記載の方法。
- 前記光学コーティング(2)の終止層として、窒化シリコン層、硫化亜鉛層もしくはDLC(ダイアモンド状炭素)層、または、シリコン、マグネシウム、アルミニウムの酸化物を含む層、または、イットリウム、イッテルビウム、バリウムのフッ化物を含む層、または、ゲルマニウムもしくはシリコンを含む半導体層が使用される、請求項1に記載の方法。
- 保護層(3)として、金属保護層(3)が前記光学コーティング(2)上に配置される、請求項1に記載の方法。
- 保護層(3)として、ポリマー層が前記光学コーティング(2)に施される、請求項1に記載の方法。
- 筐体(9)内に密閉してはんだ付けするための、前記筐体(9)の任意形状アパーチャ用自由形状窓要素であって、光透過性で平坦な基板材料(1)の少なくとも1つの表面上の少なくとも1つの光学コーティング(2)を備え、前記少なくとも1つの光学活性自由形状面(61)の周囲を取り囲む縁領域(62)における少なくとも1つの下段部(11)であって、
前記光学コーティング(2)が配置される前記基板材料(1)の高さレベルから、前記光学コーティング(2)の単一層の厚さ分よりも下に位置する下段部(11)を備え、
前記縁領域(62)の外側部分に形成されるさらなる段部(12)を備え、
所定の粗さを有する1つの前記下段部(11)および前記さらなる段部(12)が、はんだ層システム(71)の形をした金属被覆(7)によって覆われる、自由形状窓要素。 - 少なくとも1つの前記下段部(11)が、半径(R)が50μm〜150μmの丸い縁部(13)を内縁領域および外縁領域に有することを特徴とする、請求項12に記載の自由形状窓要素。
- 前記下段部(11)が、50μm〜200μmの平面はんだ範囲の窓要素(6)における前記光学活性自由形状面(61)の周りの前記縁領域(62)において、前記はんだ層システム(71)内に生成され、前記さらなる段部(12)が、200μm〜500μmの範囲の前記縁領域(62)に生成されることを特徴とする、請求項12に記載の自由形状窓要素。
- 気密もしくは真空気密のオプトエレクトロニクス部品または電気光学部品を製造するための、筐体(9)の任意形状アパーチャ用の、請求項12〜14のいずれか一項に記載の自由形状窓要素の使用。
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