CN115064599B - 一种红外探测器用金属化窗片的金属膜层制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种红外探测器用金属化窗片的金属膜层制备方法,其包括步骤:物料准备;点胶装夹;加热固化;窗片金属化;剥离成型。上述红外探测器用金属化窗片的金属膜层制备方法采用点胶工艺实现了窗片与护膜片、压板的组合,保证了对窗片的光学膜的保护性,解决了装夹问题,充分实现了窗片的边缘金属化,保证了镀金质量,提高了镀金良率和生产效率,降低了生产成本。

Description

一种红外探测器用金属化窗片的金属膜层制备方法
技术领域
本发明涉及红外探测器元器件技术领域,尤其涉及一种红外探测器用金属化窗片的金属膜层制备方法。
背景技术
目前的红外窗片在金属化前,需要对窗片上的光学膜进行护膜处理,以便在镀金时保护光学膜不被镀金层干扰,而影响光学性能与膜层稳定性,则在金属化前寻求易于加工、耐高温、可重复利用的护膜片就成为了保证产品良率的重要条件。
现有常见的护膜片为金属护膜片与塑料护膜片,其中,金属护膜片在较薄时硬度普遍较低,易发生边缘破损,从而降低镀金良率,且镀金过程中温度普遍高于200℃,长期反复的高温加热与退火过程易造成金属护膜片翘曲,镀金后的反复清洁易使其发生形变,更换频率高,造成生产成本的增加;而各类塑料护膜片在高温镀制过程中易融化,造成光学膜表面附着难以清除的污渍,严重影响窗片质量。
另外,因蒸发镀金耗材大、安装窗片步骤繁琐,会大大增加镀制成本,在金属化过程中需要将窗片紧密的固定在镀膜工件盘上,普遍采用金属夹具对批量窗片进行固定,而金属夹具损耗速度快,寿命短,易变性松垮,需要频繁更换,边缘夹具还会阻碍对窗片边缘的镀金效果,增加窗片金属化后焊接难度,并且加大窗片边缘破损风险,增加了生产成本,并严重影响产品良率的提升。
因此,亟需探求一种新的窗片金属化方案。
发明内容
基于上述问题,本发明的目的在于提供一种红外探测器用金属化窗片的金属膜层制备方法,解决窗片金属化过程中普遍存在镀金层绕镀、窗片难以固定在夹具上等问题,提高产品良率。
为达上述目的,本发明采用以下技术方案:
一种红外探测器用金属化窗片的金属膜层制备方法,其包括步骤:
物料准备,根据目标待镀窗片选用合适尺寸、材质的压板和护膜片;
点胶装夹,使用辅助工装将护膜片、待镀窗片、压板依次层叠,并通过点胶方式相互粘连;
加热固化,使护膜片、待镀窗片、压板组合成一体件;
窗片金属化,将粘附窗片、护膜片的压板固定在镀膜工件盘上,对窗片进行金属化处理;
剥离成型,将金属化后窗片上的压板和护膜片去除,得到成品。
特别地,护膜片选用氧化铝陶瓷材质。
特别地,压板选用透明玻璃材质。
特别地,护膜片的尺寸小于待镀窗片的尺寸,以便露出窗片的正面待镀金属区域;压板的尺寸大于待镀窗片的尺寸,以便覆盖窗片的背面。
特别地,辅助工装包括基板,基板上对应压板形状开设有压板嵌槽,压板嵌槽的底部对应待镀窗片形状开设有窗片嵌槽,窗片嵌槽的底部对应护膜片形状开设有膜片嵌槽,使用时,将护膜片、待镀窗片、压板依次按先后顺序放入对应嵌槽中。
特别地,点胶用胶水为水溶胶。
特别地,剥离时,将金属化后的窗片浸泡在去离子水中,以便使上面的压板和护膜片松动。
综上,本发明的有益效果为,所述红外探测器用金属化窗片的金属膜层制备方法采用点胶工艺实现了窗片与护膜片、压板的组合,保证了对窗片的光学膜的保护性,解决了装夹问题,充分实现了窗片的边缘金属化,保证了镀金质量,提高了镀金良率和生产效率,降低了生产成本。
附图说明
图1是本发明实施例提供的红外探测器用金属化窗片的金属膜层制备方法的流程图;
图2是本发明实施例提供的红外探测器用金属化窗片的金属膜层制备方法中辅助工装的示意图;
图3是本发明实施例提供的红外探测器用金属化窗片的金属膜层制备方法中加热固化后的工件图;
图4是本发明实施例提供的红外探测器用金属化窗片的金属膜层制备方法中剥离成型后的产品正视图;
图5是本发明实施例提供的红外探测器用金属化窗片的金属膜层制备方法中剥离成型后的产品背视图。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例,实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的零部件或具有相同或类似功能的零部件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本发明,而不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,可以是机械连接,也可以是电连接,可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明的描述中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一特征和第二特征直接接触,也可以包括第一特征和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
请参阅图1所示,本优选实施例提供一种红外探测器用金属化窗片的金属膜层制备方法,其包括以下步骤:
S10:物料准备,根据目标待镀窗片1选用合适尺寸、材质的压板2和护膜片3。
此处,优选护膜片3为氧化铝陶瓷材质,氧化铝陶瓷材质具有耐高温、耐形变的特性,在高温下仍能保持良好的硬度,且在反复加热退火后不发生形变,能很好保护表面光学膜,性价比高,从光学膜剥离后也易于清洁,有利于反复利用,大大降低生产难度与生产成本。
优选压板2选用透明玻璃材质,方便后续点胶、剥离及观察使用。
另外,根据待镀窗片1正面及边缘区域镀金要求,护膜片3的尺寸要小于待镀窗片1的尺寸,以便露出窗片的正面待镀金属区域;压板2的尺寸要大于待镀窗片1的尺寸,以便覆盖窗片的背面,进一步地,一个压板2上可排布多个待镀窗片1,提高利用率。
S20:点胶装夹,使用辅助工装将护膜片3、待镀窗片1、压板2依次层叠,并通过点胶方式相互粘连。
具体地,如图2所示,辅助工装包括基板4,基板4上对应压板2形状开设有压板嵌槽5,压板嵌槽5的底部对应待镀窗片1形状开设有窗片嵌槽6,窗片嵌槽6的底部对应护膜片3形状开设有膜片嵌槽7,使用时,将护膜片3、待镀窗片1、压板2依次按先后顺序放入对应嵌槽中。
此处点胶用胶水优选为水溶胶,方便后续去除,且点胶形式也避免胶水溢出,以免污染工装和影响镀金。
S30:加热固化,使护膜片3、待镀窗片1、压板2组合成一体件,如图3所示。
S40:窗片金属化,将粘附窗片、护膜片3的压板2固定在镀膜工件盘上,对窗片进行金属化处理。
此批量化窗片点胶固化工艺,完全克服了夹具造成的边缘破损,并在镀金过程中充分实现了窗片的边缘金属化,在提高窗片焊接质量的前提下,简化了窗片镀金前的人工安装工序,消除了夹具的维护成本,大大提升了生产效率,降低了生产成本。
S50:剥离成型,将金属化后窗片上的压板2和护膜片3去除,得到成品,如图4和图5所示,窗片的正面边缘形成了完整金属膜层8,正面中心和背面的光学膜9也未受到破坏。
鉴于前述水溶胶的属性,可采用浸泡剥离方式,将金属化后的窗片浸泡在去离子水中,使上面的压板2和护膜片3松动,便可轻松去除,且方便压板2和护膜片3重复使用。
综上,上述的红外探测器用金属化窗片的金属膜层制备方法采用点胶工艺实现了窗片与护膜片、压板的组合,保证了对窗片的光学膜的保护性,解决了装夹问题,充分实现了窗片的边缘金属化,保证了镀金质量,提高了镀金良率和生产效率,降低了生产成本。
以上实施例只是阐述了本发明的基本原理和特性,本发明不受上述事例限制,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还有各种变化和改变,这些变化和改变都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (6)

1.一种红外探测器用金属化窗片的金属膜层制备方法,其特征在于,包括步骤:
物料准备,根据目标待镀窗片选用合适尺寸、材质的压板和护膜片;
点胶装夹,使用辅助工装将护膜片、待镀窗片、压板依次层叠,并通过点胶方式相互粘连,所述辅助工装包括基板,所述基板上对应压板形状开设有压板嵌槽,所述压板嵌槽的底部对应待镀窗片形状开设有窗片嵌槽,所述窗片嵌槽的底部对应护膜片形状开设有膜片嵌槽,使用时,将护膜片、待镀窗片、压板依次按先后顺序放入对应嵌槽中;
加热固化,使护膜片、待镀窗片、压板组合成一体件;
窗片金属化,将粘附窗片、护膜片的压板固定在镀膜工件盘上,对窗片进行金属化处理;
剥离成型,将金属化后窗片上的压板和护膜片去除,得到成品。
2.根据权利要求1所述的红外探测器用金属化窗片的金属膜层制备方法,其特征在于:所述护膜片选用氧化铝陶瓷材质。
3.根据权利要求1所述的红外探测器用金属化窗片的金属膜层制备方法,其特征在于:所述压板选用透明玻璃材质。
4.根据权利要求1所述的红外探测器用金属化窗片的金属膜层制备方法,其特征在于:所述护膜片的尺寸小于待镀窗片的尺寸,以便露出窗片的正面待镀金属区域;所述压板的尺寸大于待镀窗片的尺寸,以便覆盖窗片的背面。
5.根据权利要求1所述的红外探测器用金属化窗片的金属膜层制备方法,其特征在于:点胶用胶水为水溶胶。
6.根据权利要求5所述的红外探测器用金属化窗片的金属膜层制备方法,其特征在于:剥离时,将金属化后的窗片浸泡在去离子水中,以便使上面的压板和护膜片松动。
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Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060045888A (ko) * 2004-06-10 2006-05-17 삼성전자주식회사 이미지 센서 패키지 조립 방법 및 이에 의해 조립된 패키지구조
CN103578962A (zh) * 2012-07-20 2014-02-12 中国科学院电工研究所 一种芯片正面电极金属化的方法及辅助装置
DE102013008478A1 (de) * 2013-05-13 2014-11-13 Jenoptik Optical Systems Gmbh Verfahren zur Herstellung von in ein Gehäuse hermetisch dicht einlötbaren Fensterelementen und danach hergestellte Freiformfensterelemente
CN105506547A (zh) * 2015-12-15 2016-04-20 苏州晶鼎鑫光电科技有限公司 一种光学元件金属化镀膜的纳米掩膜方法
CN109375295A (zh) * 2018-12-24 2019-02-22 无锡奥夫特光学技术有限公司 一种具有边缘微结构的光学窗口
CN113186489A (zh) * 2021-04-09 2021-07-30 武汉致拓光电科技有限公司 一种光学窗口镀膜的工艺方法及其成型模具
CN114231900A (zh) * 2021-12-20 2022-03-25 唐山斯腾光电科技有限公司 对光学镀膜基片进行金属化掩膜的方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7224856B2 (en) * 2001-10-23 2007-05-29 Digital Optics Corporation Wafer based optical chassis and associated methods

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060045888A (ko) * 2004-06-10 2006-05-17 삼성전자주식회사 이미지 센서 패키지 조립 방법 및 이에 의해 조립된 패키지구조
CN103578962A (zh) * 2012-07-20 2014-02-12 中国科学院电工研究所 一种芯片正面电极金属化的方法及辅助装置
DE102013008478A1 (de) * 2013-05-13 2014-11-13 Jenoptik Optical Systems Gmbh Verfahren zur Herstellung von in ein Gehäuse hermetisch dicht einlötbaren Fensterelementen und danach hergestellte Freiformfensterelemente
CN105506547A (zh) * 2015-12-15 2016-04-20 苏州晶鼎鑫光电科技有限公司 一种光学元件金属化镀膜的纳米掩膜方法
CN109375295A (zh) * 2018-12-24 2019-02-22 无锡奥夫特光学技术有限公司 一种具有边缘微结构的光学窗口
CN113186489A (zh) * 2021-04-09 2021-07-30 武汉致拓光电科技有限公司 一种光学窗口镀膜的工艺方法及其成型模具
CN114231900A (zh) * 2021-12-20 2022-03-25 唐山斯腾光电科技有限公司 对光学镀膜基片进行金属化掩膜的方法

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