JP5907741B2 - 水晶デバイス及びその製造方法 - Google Patents
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Description
第1主面(上面)には、導体膜HBと、該導体膜HBの内側に水晶素子120を接合するための電極パッド111とが設けられ、第2主面(下面)には、外部接続用電極端子Gが設けられている。
図5(a)及び図5(b)に示されているように、接合工程は、導電性接着剤DSをパッケージ110の一対の電極パッド111に跨るように設けて、一対の電極パッド111に水晶素子120を接合する工程である。
図5(c)に示されているように、除去工程は、水晶素子120を透過して導電性接着剤DSにレーザ光を照射し、一対の電極パッド111間において導電性接着剤DSの一部を除去して直線状の溝部M1を形成する工程である。
110a・・・基板部
110b・・・枠部
111・・・電極パッド
120・・・水晶素子
121・・・水晶素板
122・・・励振用電極
123・・・接続用電極
130・・・蓋体
K1・・・凹部
M1・・・溝部
DS・・・導電性接着剤
B1・・・バインダー
F1・・・導電性粉末
HB・・・導体膜
G・・・外部接続用端子
Claims (3)
- 基板部と前記基板部上に設けられた一対の電極パッドとを有しているパッケージと、
バインダーと導電性粉末とを有する導電性接着剤と、
一対の接続用電極を有しており、前記一対の接続用電極のそれぞれが前記導電性接着剤によって前記電極パッドに接合された水晶素子と、
前記一対の電極パッド間の領域において前記導電性接着剤を分離するように、前記導電性接着剤の内側表面と前記基板部の上面から形成された直線状の溝部と、を備え、
前記溝部内の前記導電性接着剤の表面に露出している前記バインダーのみが炭化していることを特徴とする水晶デバイス。 - 前記溝部内の前記導電性接着剤の表面から前記導電性粉末が露出していることを特徴とする請求項1記載の水晶デバイス。
- 前記溝部内の前記導電性接着剤の表面に凹凸が設けられていることを特徴とする請求項1乃至請求項2のいずれかに記載の水晶デバイス。
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