JP4935490B2 - 圧電デバイス - Google Patents

Description

本発明は、箱状のパッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスと、該圧電デバイスの製造方法の改良に関する。

ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）、モバイルコンピュータ、あるいはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機器において、圧電振動子や圧電発振器等の圧電デバイスが広く使用されている。
従来の圧電デバイスは、パッケージ内に、例えば、圧電材料で形成した圧電振動片を収容している。
圧電振動片は、例えば水晶ウエハを矩形にエッチングして駆動用の電極を設けることにより形成されている。

このような構成の圧電デバイスでは、矩形の圧電振動片の長さ方向の端部において、その幅方向の両端付近に形成した一対の引出し電極どうしを確実に分離するために、圧電振動片に絶縁性の接着剤を適用する手法がとられている（特許文献１参照）。
また、パッケージ側に形成され、圧電振動片と接続されて、駆動電圧を印加するための一対の電極パッドを電気的に確実に分離するために、電極パッドどうしの間に、切欠き部を形成する手法も知られている（特許文献２参照）。
さらに、圧電振動片を収容するパッケージを蓋体により気密に封止する際に、シール用の導体膜を形成する水晶発振器が知られている（特許文献３参照）。
この水晶発振器では、容器体（パッケージ）の表面（内側表面）に形成した一対の電極パッドの外側に溝を形成して、導電性接着剤が該溝に流れ込むことで、上記シール用導体膜に触れて、短絡することを防止している。

特開２００２−２０８８３１ 特開平７−７４５７６号 特開２０００−１３８５３２

しかしながら、これらの特許文献により記載されている技術では、パッケージに形成した電極パッドどうしの短絡や、圧電振動片の引出し電極どうしの短絡を防止することができても、以下に説明するような電気的短絡を防止することができない。
図９は、圧電振動片のうち、例えば、ＡＴカット振動片と呼ばれる矩形もしくは短冊状の圧電振動片１であり、その主面には、励振電極２が形成されている。励振電極２には、これと接続された一方の引出し電極３を介して駆動電圧が印加される。また、他方の引出し電極４は、裏面に形成された図示しない励振電極と接続されている。

かくして、圧電振動片１は、パッケージの内側底部などに設けた一対の電極パッド５，６に接合されることによって、これら電極パッド５，６から、各引出し電極３，４に駆動電圧が印加されることにより、それぞれ接続された励振電極を介して、厚みすべり振動を励起するように圧電材料内部に電界が形成されるようになっている。
この場合、電極パッド５に図示しない導電性接着剤を塗布して、圧電振動片１の引出し電極３を載置し、電極パッド６にも同様に導電性接着剤を塗布して、圧電振動片１の電極パッド４を載置し、加熱硬化させることにより接合される。

ところが、電極パッド６に塗布した導電性接着剤が流れて、圧電振動片１の励振電極２の方へ向かうと、符号Ａに示すように短絡を生じてしまい、発振しなくなってしまう。
特に、最近は、圧電振動片１が、図示の寸法で、例えば、Ｘの寸法が１．５ｍｍ、Ｚの寸法が１．０ｍｍ、Ｙの寸法（厚さｔ）が６０μｍ程度ときわめて小さいものが製造されるようになると、導電性接着剤が僅かに流れただけで、短絡を生じる可能性がある。
一方、導電性接着剤は、その塗布量により、要求される圧電振動片１の接合強度を得ているから、短絡の可能性をおそれて極端に塗布量を減らすことは難しい。

本発明は、以上の課題を解決するためになされたもので、短絡を生じることなく、圧電振動片の十分な接合強度を得ることができる圧電デバイスと、その製造方法を提供することを目的とする。

上述の目的は、本発明にあっては、パッケージの内側底面に少なくとも一対の電極パッドが形成されており、該一対の電極パッドに対して、圧電振動片の対応する引出し電極が導電性接着剤により接合されている圧電デバイスにおいて、前記圧電振動片が、圧電材料により矩形もしくは正方形の外形を備える板状体となるように形成されており、表裏両面にそれぞれ形成された励振電極と、前記板状体の一端部において、互いに離間して形成され、各一方が前記表裏の励振電極の各一方と接続されている一対の引出し電極とを備えており、前記一対の引出し電極のうち、前記圧電振動片の前記内側底面と対向する面において、当該対向面に形成された励振電極と接続されていない方の引出し電極が、前記パッケージの内側底面に形成された前記一対の電極パッドのうちの一方の電極パッドと、当該対向面に形成された励振電極と接続されている方の引出し電極が、前記一対の電極パッドのうちの他方の電極パッドと、それぞれ接続されていて、前記一方の電極パッドが、前記他方の電極パッドよりも小さく形成されている圧電デバイスにより、達成される。

上記構成によれば、圧電振動片のパッケージの内側底面と対向する面において、当該対向面に形成された励振電極と接続されていない方の引出し電極が接合される電極パッド（一方の電極パッド）は、他方の電極パッドよりも小さく形成されている。このため、当該一方の電極パッドは、小さいために、導電性接着剤の塗布量が少ないことから、接合の際に、励振電極側に流れにくく、当該励振電極と接するおそれがないいから、短絡の心配がない。しかも他方の電極パッドは、一方の電極パッドよりも大きいことになるから、こちらへの導電性接着剤の塗布量は多い。このため、他方の電極パッド側では、十分な接合強度を得ることができるし、もし、その導電性接着剤が励振電極側に流れて、励振電極と触れても、もともと、引出し電極が励振電極と接続されている箇所であるから、短絡の心配もない。
かくして、短絡を生じることなく、圧電振動片の十分な接合強度を得ることができる圧電デバイスを得ることができる。

また、他の発明は、前記一方の電極パッドの外縁の少なくとも、前記パッケージの内側に臨んだ領域には、前記導電性接着剤の流れ込み防止用の溝が形成されていることを特徴とする。
上記構成によれば、圧電振動片のパッケージの内側底面と対向する面において、当該対向面に形成された励振電極と接続されていない方の引出し電極が接合される電極パッド（一方の電極パッド）は、その外縁の少なくとも、前記パッケージの内側に臨んだ領域に溝が形成されている。このため、接合の際に励振電極に向かって導電性接着剤が流れても、溝に入り込むので、導電性接着剤と励振電極が接することが防止され、短絡が有効に回避される。

また、他の発明は、前記一方の電極パッドの上面は、前記他方の電極パッドの上面よりも低くなるようにされていることを特徴とする。
上記構成によれば、圧電振動片のパッケージの内側底面と対向する面において、当該対向面に形成された励振電極と接続されていない方の引出し電極が接合される電極パッド（一方の電極パッド）は、他方の電極パッドの上面よりも低くされているから、圧電振動片の対応する引出し電極との間の間隔が大きくなる。このため、一方の電極パッド側では、他方の電極パッド側と比べて、当該間隔に導電性接着剤が留まる量が大きく、接合の際に励振電極に向かって導電性接着剤が流れることが有効に防止される。これとは逆に他方の電極パッド側では、圧電振動片の対応する引出し電極との間の間隔は狭くなるから、導電性接着剤は広く拡がり、接合面積が大きくなる。

また、他の発明は、前記一方の電極パッドが、前記パッケージの内側底面に設けた凹部もしくは孔内に形成されていることを特徴とする。
上記構成によれば、圧電振動片のパッケージの内側底面と対向する面において、当該対向面に形成された励振電極と接続されていない方の引出し電極が接合される電極パッド（一方の電極パッド）は、パッケージの内側底面に設けた凹部もしくは孔内に形成されている。このため、接合の際には、当該凹部や孔に導電性接着剤が入り込み、励振電極側に流れることが有効に防止される。

また、他の発明によれば、前記他方の電極パッドが前記パッケージの内側底面の表面から隆起した形態とされていることを特徴とする。
上記構成によれば、他方の電極パッドが前記パッケージの内側底面の表面から隆起した形態とされているので、この場合にも、圧電振動片のパッケージの内側底面と対向する面において、当該対向面に形成された励振電極と接続されていない方の引出し電極が接合される電極パッド（一方の電極パッド）は、他方の電極パッドの上面よりも低くされているから、圧電振動片の対応する引出し電極との間の間隔が大きくなる。このため、一方の電極パッド側では、他方の電極パッド側と比べて、当該間隔に導電性接着剤が留まる量が大きく、接合の際に励振電極に向かって導電性接着剤が流れることが有効に防止される。これとは逆に他方の電極パッドは隆起しているから、圧電振動片の対応する引出し電極との間の間隔は狭くなり、導電性接着剤は広く拡がるので、接合面積が大きくなる。

また、上記目的は、他の発明にあっては、パッケージの内側底面に少なくとも一対の電極パッドが形成されており、該一対の電極パッドに対して、圧電振動片の対応する引出し電極が導電性接着剤により接合されている圧電デバイスにおいて、前記圧電振動片が、圧電材料により矩形もしくは正方形の外形を備える板状体となるように形成されており、表裏両面にそれぞれ形成された励振電極と、前記板状体の一端部において、互いに離間して形成され、各一方が前記表裏の励振電極の各一方と接続されている一対の引出し電極とを備えており、 前記一対の引出し電極のうち、前記圧電振動片の前記内側底面と対向する面において、当該対向面に形成された励振電極と接続されていない方の引出し電極が、前記パッケージの内側底面に形成された前記一対の電極パッドのうちの一方の電極パッドと、当該対向面に形成された励振電極と接続されている方の引出し電極が、前記一対の電極パッドのうちの他方の電極パッドと、それぞれ接続されていて、かつ、前記圧電振動片の前記表面または裏面の各励振電極と、これら表面または裏面の同じ面で接続されていない前記引出し電極と近接した角隅部が、面取りされることにより、面取り部を備える構成とした圧電デバイスにより、達成される。

上記構成によれば、圧電振動片をパッケージの電極パッドに接合する際には、一方の電極パッド側では、圧電振動片の前記面取り部との間にできる空間に、導電性接着剤が回りこんで、留まるので、励振電極側に流れにくく、当該励振電極と接するおそれがないがないから、短絡の心配がない。
しかも他方の電極パッドは、面取り部がないので、導電性接着剤は広く拡がり、十分な接合強度を得ることができるし、もし、その導電性接着剤が励振電極側に流れて、励振電極と触れても、もともと、引出し電極が励振電極と接続されている箇所であるから、短絡の心配もない。
かくして、短絡を生じることなく、圧電振動片の十分な接合強度を得ることができる圧電デバイスを得ることができる。

図１および図２は、本発明の圧電デバイスの第１の実施形態を示しており、図１は蓋体を除いて内部構造を露出した圧電デバイスの概略平面図、図２は図１のＡ−Ａ線概略端面図であり、蓋体を配置して示すものである。
これらの図において、圧電デバイス３０は、圧電振動子を構成した例を示しており、圧電デバイス３０は、パッケージ３６内に圧電振動片４０を収容している。
具体的には、圧電デバイス３０は、図２示すように、第１の基板３４と、この第１の基板３４に積層された第２の基板３５を含むパッケージ３６内に圧電振動片４０を収容している。第２の基板３５はその内側の材料を除いて第１の基板３４に重ねることで、内部空間Ｓを形成しており、全体として圧電振動片４０を収容するためのキャビティを構成している。

パッケージ３６を構成する第１の基板３４は絶縁基体であり、その上面は、パッケージ３６の内側底面３９である。図１の場合、内側底面の左端部において、幅方向に互いに距離をおいて、一対の電極パッドが形成されている。この一対の電極パッドが、一方の電極パッド３２と、他方の電極パッド３３である。
一対の電極パッドは、パッケージ３６の底面に露出した実装端子３８，３８と図示しない導電パターンにより接続されている。
パッケージ３６には、セラミックやガラスあるいはコバールなどの金属で形成された蓋体３７が所定の封止材を介して接合されている。これにより、パッケージ３６は気密に封止されている。

圧電振動片４０を形成する圧電材料は、例えば、圧電基板として、水晶から作る水晶ウエハが用いられ、この水晶ウエハは、該水晶のＸ軸（電機軸）に対して平行で、しかもＺ軸（光軸）に対してカット面をもつ水晶基板が使用される。
圧電振動片４０は、上記水晶基板を矩形もしくは正方形の外形を備える板状体となるように形成されており、主面である表裏両面にそれぞれ励振電極４１，４２が成膜されている。この圧電振動片４０は、きわめて小型（例えば、横×縦×厚みが、１．５ｍｍ×１．０ｍｍ×６０μｍ程度）である。
また、励振電極４１，４２は、圧電振動片４０の長さ方向の端部において、その幅方向の両端にそれぞれ形成された接続電極である引出し電極４３，４４に対して、各別に接続されている。各引出し電極４３，４４は圧電振動片４０の側面を回り込んで、裏面にも形成されている。
すなわち、図１の圧電振動片４０は表裏で同じ形態である。

図１に示すように、一方の電極パッド３２には、導電性接着剤５１が、他方の電極パッド３３には、導電性接着剤５２が塗布され、その上から、圧電振動片４０の各引出し電極４３，４４が載置されて、加熱、硬化されることにより、圧電振動片４０が電気的、機械的に接合されている。

図３は、図１から圧電振動片４０を取り去って、パッケージ３６の内部を示す部分拡大図である。
図において、一方の電極パッド３２は、他方の電極パッド３３よりも小さく形成されている。つまり、図示のように、一方の電極パッド３２の面積は、他方の電極パッド３３の面積よりも小さい。
このため、一方の電極パッド３２に対する導電性接着剤５１の塗布量は、他方の電極パッド３３に対する導電性接着剤５２の塗布量よりも少ない。
このため、塗布された導電性接着剤５１は、図２の圧電振動片４０の裏面に形成されている励振電極４２側に流れにくく、当該励振電極４２と接するおそれがない。このため、引出し電極４３と励振電極４２の短絡の心配がない。

また、他方の電極パッド３３は、一方の電極パッド３２よりも広い面積を有しており、そこへ塗布される導電性接着剤５２の塗布量は多い。このため、他方の電極パッド３３側では、圧電振動片４０に対する十分な接合強度を得ることができる。
また、もし、その導電性接着剤５２が励振電極４２側に流れて、該励振電極４２と触れても、もともと、引出し電極４４が励振電極４２と接続されている箇所であるから、短絡の心配もない。
かくして、短絡を生じることなく、圧電振動片４０の十分な接合強度を得ることができる圧電デバイス３０を得ることができる。

図４は、上記実施形態の変形例１を示しており、図４は、図３と同様に、図１から圧電振動片４０を取り去って、パッケージ３６の内部を示す部分拡大図である。
図において、一方の電極パッド３２−１と他方の電極パッド３３−１は、同じ大きさである。
この場合、一方の電極パッド３２−１の外縁の少なくとも、パッケージ３６の内側（内方）に臨んだ領域には、導電性接着剤の流れ込み防止用の溝が形成されている。
この場合、溝５７はパッケージ３６の内側底面に、一方の電極パッド３２−１を囲むように溝５７を形成したものである。溝５７は、パッケージ３６の内側（内方）に臨んだ領域の溝部５５と、他方の電極パッド３３−１に臨んだ領域の溝部５６とを有している。

このような構造としたので、パッケージ３６に対して、圧電振動片４０を接合する場合に、図２の励振電極４２に向かって導電性接着剤５１が流れても、溝部５５に入り込むので、導電性接着剤５１と励振電極４２とが接することが防止され、短絡が有効に回避される。
また、好ましくは、図示のように溝５７が、溝部５６を有していることにより、一対の電極パッド３２−１，３３−１どうしの短絡も防止できる。
なお、図示の場合、一方の電極パッド３２−１と他方の電極パッド３３−１は、同じ大きさである。しかし、一方の電極パッド３２−１が、他方の電極パッド３３−１よりも小さくても、大きくてもよい。溝５７により導電性接着剤５１の流れ出しが防止されれば、短絡は回避できるからである。
この変形例１で特徴的なのは、溝５７を一方の電極パッド３２−１の外縁だけに設けた点である。
すなわち、他方の電極パッド３３−１は、その導電性接着剤５２が励振電極４２側に流れて、該励振電極４２と触れても、もともと、引出し電極４４が励振電極４２と接続されている箇所であるから、短絡の心配はない。したがって、他方の電極パッド３３−１の外縁には、溝形成は不要である。
したがって、この変形例１の利点は、例えば、一方の電極パッド３２−１と他方の電極パッド３３−１をともに十分な面積として、導電性接着剤５１，５２を十分な量塗布し、接合強度を高くするとともに、一方の電極パッド３２−１の少なくとも外縁にだけ溝部５５もしくは溝５７を形成することによって、引出し電極と励振電極との短絡を有効に防止できるものである。

図５は、上記実施形態の変形例２を示しており、図１のＢ−Ｂ線に沿って切断端面を示すもので、しかしながら各電極パッドの構成は図１とは異なるものである。
図示されているように、一方の電極パッド３２−２は、パッケージの内側底面３９に形成した凹部もしくは孔部３２ａに形成されており、他方の電極パッド３３−２は、当該内側底面３９の上に形成されている。このため、一方の電極パッド３２−２の上面は、他方の電極パッド３３−２の上面よりも低くなるようにされている。

このため、一方の電極パッド３２−２側の圧電振動片４０までの間隔ｈ２は、他方の電極パッド３３−２側の圧電振動片４０までの間隔ｈ１よりも大きな間隔となる。すなわち、一方の電極パッド３２−２側では、凹部または孔部３２ａに形成される大きな間隔に導電性接着剤５１が留まる量が大きく、図２の励振電極４２に向かって該導電性接着剤５１が流れることが有効に防止される。
これとは逆に、他方の電極パッド３３−２側では、圧電振動片４０との間隔は狭くなるから、導電性接着剤５２は横方向の寸法Ｗ２で示すように、一方の電極パッド３２−２側の導電性接着剤５１の横方向の寸法Ｗ１よりも広く拡がり、接合面積が大きくなる。

なお、変形例３として、図１の実施形態で説明した他方の電極パッド３３がパッケージ３６の内側底面３９の表面から隆起した形態とすることもできる（図示せず）。
このような構成によれば、上記変形例２の説明からも理解されるように、一方の電極パッド３２側では、他方の電極パッド側と比べて、圧電振動片４０までの間隔が大きくなるから、当該間隔に導電性接着剤５１が留まる量が大きく、接合の際に図２の励振電極４２に向かって該導電性接着剤５１が流れることが有効に防止される。
これとは逆に他方の電極パッド３３は隆起しているから、圧電振動片４０との間の間隔は狭くなり、導電性接着剤５２は広く拡がるので、接合面積が大きくなる。

図６は、本発明の第２の実施形態の要部として、圧電振動片４０−１の構成を示す概略斜視図である。
第２の実施形態においては、パッケージ３６や蓋体３７の構成は第１の実施形態と同一であり、圧電振動片の構成だけが異なるので、重複する説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
この実施形態では、圧電振動片４０−１の表面または裏面の各励振電極と、これら表面または裏面の同じ面で接続されていない引出し電極と近接した角隅部が、面取りされることにより、面取り部を備えている点が第１の実施形態と異なっている。

つまり、図示されているように、圧電振動片４０−１では、表面側の励振電極４１と接続されていない引出し電極４３−１の表面側の角隅部が斜めに切除されて面取り部４５が形成されている。
同様に、裏面側の励振電極４２（図２参照）と接続されていない引出し電極４４−１の裏面側の角隅部が斜めに切除されて面取り部４６が形成されている。
本実施形態は以上のように構成されており、図１と合わせて接合する場合、つまり、圧電振動片４０−１の表面側を、パッケージ３６の内側底面３９と対向させて接合する場合には、一方の電極パッド３２側では、圧電振動片４０−１の面取り部４５との間にできる空間に、導電性接着剤５１が回りこんで、留まるので、励振電極４２（図２参照）側に流れにくく、当該励振電極４２と接するおそれがないから、短絡の心配がない。

しかも、他方の電極パッド３３は、面取り部がないので、導電性接着剤５２は広く拡がり、十分な接合強度を得ることができるし、もし、その導電性接着剤５２が励振電極４２側に流れて、該励振電極４２と触れても、もともと、引出し電極４４−１が励振電極と接続されている箇所であるから、短絡の心配もない。
なお、この実施形態では、面取り部４６を形成しているので、圧電振動片４０−１を上記と表裏を逆にして接合しても同様の作用効果を発揮できる。
なお、この実施形態では、一方の電極パッド３２と他方の電極パッド３３は、同じ大きさにしてもよいし、図１の構成と同じとしてもよいことは勿論である。

（圧電デバイスの製造方法）
（前工程）
前工程は、収容容器であるパッケージ３６と、圧電振動片４０とをそれぞれ別個に形成する工程である。
（パッケージ）
パッケージ３６の第１の基板３４と第２の基板３５は、図１、図２に示す形状に成形したグリーンシートを積層し、焼結して形成することができる。この場合、第１の基板３４は、パッケージ３６の底部を構成する基板で、これに重ねられる第２の基板３５は、上述したグリーンシートを板状として、内部の材料を除去して、枠状として、図２の内部空間Ｓを形成したものである。
第１の基板３４上には、例えば、銀・パラジウムなどの導電ペーストもしくはタングステンメタライズなどの導電ペーストなどを用いて、必要とされる導電パターンを形成後に、第１及び第２の基板の焼結をした後で、ニッケルおよび金もしくは銀などを順次メッキして、上述した電極パッド等が形成される。なお、電極パッドと実装端子３８とを接続するための導電パターンは、パッケージ３６の形成時に利用されるキャスタレーション（図示せず）の表面に形成して、パッケージ３６の外面を引き回してもよいし、あるいは第１の基板３４を貫通する図示しない導電スルーホールなどにより接続してもよい。

（圧電振動片）
圧電振動片４０を形成するための圧電材料である水晶ウエハは水晶の結晶軸に関して、Ｘ軸が電気軸、Ｙ軸が機械軸及びＺ軸が光軸となるように、水晶の単結晶から切り出されることになる。また、水晶の単結晶から切り出す際、上述のＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸からなる直交座標系において、Ｚ軸から所定角度、例えば、３５．１５度傾けた面で切り出したＡＴカット水晶板を得るようにしたもので、それに励振電極４１，４２や、引出し電極４３，４４などの駆動電極を形成している。
圧電振動片４０の大きさはたとえば、上述した通りきわめて小型のものである。
なお、これ以外の圧電材料として、例えば、水晶以外にもタンタル酸リチウム，ニオブ酸リチウム等の圧電材料を利用することができる。また、圧電チップの形状もフラットタイプに限らず、コンベックスタイプや、逆メサ型の振動片を用いることができる。
駆動電極は、例えば、水晶表面にニッケルやクロムの下地を形成後、金や銀などの導体金属をメッキして成膜し、フォトリソグラフィの手法で、図１や図６に示す電極形状を得るものである。

（後工程）
（接着剤塗布工程）
上述したパッケージ３６の一方の電極パッド３２と、他方の電極パッド３３に、導電性接着剤を塗布する。
すなわち、一方の電極パッド３２に導電性接着剤５１を、他方の電極パッド３３に導電性接着剤５２を塗布する。
この場合、一方の電極パッド３２と他方の電極パッド３３は、図１と異なり同じ大きさでよいが、一方の電極パッド３２には、導電性接着剤５１を少量塗布し、他方の電極パッド３３には、導電性接着剤５２をより多い塗布量となるようにする。
ここで、各電極パッドへの導電性接着剤の塗布量の調整は、圧電振動片の大きさや厚みにより、若干の変更を要するが、例えば、一方の電極パッド３２への導電性接着剤５１の塗布量は、他方の電極パッド３３への導電性接着剤５１の塗布量の５０％ないし８０％とするのが好ましい。

この場合、好ましくは、図８に示すように、塗布治具であるニードル６０を用いることができる。
ニードル治具６０は、小さなノズル径Ｄ１を有する小径ノズル６１と、これより大きなノズル径Ｄ２を有する大径ノズル６２を備えており、小径ノズル６１と大径ノズル６２から同時に導電性接着剤を塗布することができるようになっている。しかも小径ノズル６１と大径ノズル６２の間隔は、一方の電極パッド３２と他方の電極パッド３３の間隔と一致するようにされた専用治具である。
したがって、小径ノズル６１を一方の電極パッド３２上に、大径ノズル６２を他方の電極パッド３３上に位置合わせすれば、ニードル６０から導電性接着剤を一度吐出させるだけで、一方の電極パッド３２と他方の電極パッド３３に対して、同時に適切な量の導電性接着剤５１と導電性接着剤５２を塗布することができる。

このように、接着剤塗布工程では、一方の電極パッド３２への接着剤塗布量を、他方の電極パッド３３への接着剤塗布量よりも少なくしているので、一方の電極パッド３２側では、導電性接着剤５１の塗布量が少なく、図２の励振電極４２側に流れにくい。このため、一方の引出し電極３２は、当該励振電極４２と接するおそれがないがないから、短絡の心配がない。
しかも他方の電極パッド３３は、導電性接着剤５２の塗布量は、一方の電極パッド３２より多いから、導電性接着剤５２は広く拡がり、十分な接合強度を得ることができるし、もし、その導電性接着剤５２が励振電極４２側に流れて、該励振電極４２と触れても、短絡の心配はない。

（接合工程）
次に、一方の電極パッド３２と、他方の電極パッド３３に導電性接着剤を符号５１，５２のように塗布した後で、その上に圧電振動片４０を片持ち式に載置し、加熱することで、導電性接着剤５１，５２が硬化する。これにより、圧電振動片４０がパッケージ３６に対して接合される。
（封止工程）
次いで、例えば、パッケージ３６を所定の治具などに収容して、真空チャンバー内に移載し、真空下で、蓋体３７をシーム溶接などによりパッケージ３６に対して接合する。
これにより、パッケージ３６は気密に封止される。
以後、必要な検査などを経て、圧電デバイス３０が完成する。

本発明は上述の実施形態に限定されない。各実施形態の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
パッケージ３６は、圧電振動片の収容容器であるから、種々の構成が考えられる。
例えば、平板な絶縁基板上に、電極パッドを形成し、圧電振動片を接合した後で、内側に空間を有する箱状のキャップを気密に接合するようにしてもよい。
本発明は、ＡＴカット圧電振動片だけでなく、所謂コンベックスタイプの圧電振動片や、逆メサ形状の圧電振動片などにも利用することができる。
また、この発明は、箱状の収容容器としてのパッケージを利用し、内部に圧電振動片を収容するものであれば、圧電振動子、圧電発振器等の名称にかかわらず、全ての圧電デバイスに適用することができる。

本発明の第１の実施形態に係る圧電デバイスの概略平面図。 図１のＡ−Ａ線切断端面図。 図１の圧電デバイスのパッケージの一部を拡大して示す概略平面図。 パッケージの一部を拡大して示す概略平面図であり、変形例１を示す図。 図１のＢ−Ｂ線切断端面図であり、変形例２を示す図。 本発明の第２の実施形態の要部を示す図。 本発明の圧電デバイスの製造方法の実施形態の接着剤塗布工程を説明する図。 図７の接着剤塗布工程の一例を示す図。 本発明の課題を説明するための説明図。

符号の説明

３０・・・圧電デバイス、４０・・・圧電振動片、３２・・・一方の電極パッド、３３・・・他方の電極パッド、３６・・・パッケージ、４１，４２・・・励振電極、５１，５２・・・導電性接着剤

Claims (5)

1. パッケージの内側底面に少なくとも一対の電極パッドが形成されており、該一対の電極
   パッドに対して、圧電振動片の対応する引出し電極が導電性接着剤により接合されている
   圧電デバイスにおいて、
   前記圧電振動片が、
   圧電材料により矩形もしくは正方形の外形を備える板状体となるように形成されており
   、表裏両面にそれぞれ形成された励振電極と、前記板状体の一端部において、互いに離間
   して形成され、各一方が前記表裏の励振電極の各一方と接続されている一対の引出し電極
   とを備えており、
   前記一対の引出し電極のうち、前記圧電振動片の前記内側底面と対向する面において、
   当該対向面に形成された励振電極と接続されていない方の引出し電極が、前記パッケージ
   の内側底面に形成された前記一対の電極パッドのうちの一方の電極パッドと、当該対向面
   に形成された励振電極と接続されている方の引出し電極が、前記一対の電極パッドのうち
   の他方の電極パッドと、それぞれ接続されていて、
   前記一方の電極パッドが、前記他方の電極パッドよりも小さく形成されていることを特
   徴とする圧電デバイス。
2. 前記一方の電極パッドの外縁の少なくとも、前記パッケージの内側に臨んだ領域には、
   前記導電性接着剤の流れ込み防止用の溝が形成されていることを特徴とする請求項１に記
   載の圧電デバイス。
3. 前記一方の電極パッドの上面は、前記他方の電極パッドの上面よりも低くなるようにさ
   れていることを特徴とする請求項１に記載の圧電デバイス。
4. 前記一方の電極パッドが、前記パッケージの内側底面に設けた凹部もしくは孔内に形成
   されていることを特徴とする請求項３に記載の圧電デバイス。
5. 前記他方の電極パッドが前記パッケージの内側底面の表面から隆起した形態とされてい
   ることを特徴とする請求項３に記載の圧電デバイス。

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