JP5903784B2 - ガス選択性酸素センサ素子及びその製造方法 - Google Patents
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図1は、本実施例の酸素センサ素子について、反応サイト(三相界面)の概略を示す。
本実施例の酸素センサ素子の電極について、その製造方法を詳細に説明する。
酸素センサの応答性について、図4乃び図5を用いて、詳細に説明する。
10 : 固体電解質
21 : 被測定ガス電極(白金の薄膜)
22 : 基準ガス電極
31 : 白金
32 : Zr酸化物及び/又はTi酸化物
Claims (4)
- 酸素イオン伝導性の固体電解質を備える酸素センサ素子の製造方法であって、
上記固体電解質の一方の表面に被測定ガス電極を生成する工程と、
上記固体電解質の他方の表面に基準ガス電極を生成する工程と、
を有し、
上記被測定ガス電極を生成する工程は、無電解めっき法を用いて、上記固体電解質の表面に白金を析出させることにより、上記固体電解質を被覆するように白金の薄膜を生成し、上記白金の粒子間隙に熱処理によりZr酸化物及び/又はTi酸化物を析出させることを特徴とする酸素センサ素子の製造方法。 - 上記Zr酸化物及び/又はTi酸化物は、空燃比の変化による雰囲気変化に対して、反応サイト(三相界面)の酸素分圧の変化速度を制御することを特徴とする請求項1に記載の酸素センサ素子の製造方法。
- 酸素イオン伝導性の固体電解質を備える酸素センサ素子であって、
上記固体電解質は、一方の表面に被測定ガス電極を有し、他方の表面に基準ガス電極を有し、
上記被測定ガス電極は、上記固体電解質を被覆する膜厚が1μm以下である白金の薄膜を含み、
上記白金の薄膜は、白金の粒子間隙にZr酸化物及び/又はTi酸化物を担持している、
ことを特徴とする酸素センサ素子。 - 上記Zr酸化物及び/又はTi酸化物は、空燃比の変化による雰囲気変化に対して、反応サイト(三相界面)の酸素分圧の変化速度を制御することを特徴とする請求項3に記載の酸素センサ素子。
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