JP5895615B2 - センサーモジュール、力検出装置及びロボット - Google Patents

センサーモジュール、力検出装置及びロボット Download PDF

Info

Publication number
JP5895615B2
JP5895615B2 JP2012052623A JP2012052623A JP5895615B2 JP 5895615 B2 JP5895615 B2 JP 5895615B2 JP 2012052623 A JP2012052623 A JP 2012052623A JP 2012052623 A JP2012052623 A JP 2012052623A JP 5895615 B2 JP5895615 B2 JP 5895615B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plate
sensor element
sensor
electrode
contact
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2012052623A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2013186030A5 (enExample
JP2013186030A (ja
Inventor
河合　宏紀
宏紀 河合
神谷　俊幸
俊幸 神谷
隆伸 松本
隆伸 松本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2012052623A priority Critical patent/JP5895615B2/ja
Priority to TW102107691A priority patent/TW201341771A/zh
Priority to US13/788,482 priority patent/US9127996B2/en
Priority to CN201310072538.9A priority patent/CN103308221B/zh
Priority to EP13158135.7A priority patent/EP2637006B1/en
Priority to KR1020130025043A priority patent/KR20130103431A/ko
Publication of JP2013186030A publication Critical patent/JP2013186030A/ja
Publication of JP2013186030A5 publication Critical patent/JP2013186030A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5895615B2 publication Critical patent/JP5895615B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/16—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J13/00—Controls for manipulators
    • B25J13/08—Controls for manipulators by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices
    • B25J13/085—Force or torque sensors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/02—Sensing devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
    • G01L5/16—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force
    • G01L5/167—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force using piezoelectric means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
    • G01L5/22—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring the force applied to control members, e.g. control members of vehicles, triggers
    • G01L5/226—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring the force applied to control members, e.g. control members of vehicles, triggers to manipulators, e.g. the force due to gripping

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
  • Manipulator (AREA)
JP2012052623A 2012-03-09 2012-03-09 センサーモジュール、力検出装置及びロボット Active JP5895615B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012052623A JP5895615B2 (ja) 2012-03-09 2012-03-09 センサーモジュール、力検出装置及びロボット
TW102107691A TW201341771A (zh) 2012-03-09 2013-03-05 感測器模組、力檢測裝置及機器人
CN201310072538.9A CN103308221B (zh) 2012-03-09 2013-03-07 传感器模块、力检测装置以及机器人
EP13158135.7A EP2637006B1 (en) 2012-03-09 2013-03-07 Sensor module, force detecting device, and robot
US13/788,482 US9127996B2 (en) 2012-03-09 2013-03-07 Sensor module, force detecting device, and robot
KR1020130025043A KR20130103431A (ko) 2012-03-09 2013-03-08 센서 모듈, 힘 검출 장치 및 로봇

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012052623A JP5895615B2 (ja) 2012-03-09 2012-03-09 センサーモジュール、力検出装置及びロボット

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2013186030A JP2013186030A (ja) 2013-09-19
JP2013186030A5 JP2013186030A5 (enExample) 2015-03-12
JP5895615B2 true JP5895615B2 (ja) 2016-03-30

Family

ID=47832985

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012052623A Active JP5895615B2 (ja) 2012-03-09 2012-03-09 センサーモジュール、力検出装置及びロボット

Country Status (6)

Country Link
US (1) US9127996B2 (enExample)
EP (1) EP2637006B1 (enExample)
JP (1) JP5895615B2 (enExample)
KR (1) KR20130103431A (enExample)
CN (1) CN103308221B (enExample)
TW (1) TW201341771A (enExample)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017187510A (ja) * 2017-07-19 2017-10-12 セイコーエプソン株式会社 センサーデバイス、力検出装置、およびロボット
WO2020203771A1 (ja) * 2019-03-29 2020-10-08 国立大学法人山形大学 圧電センサ

Families Citing this family (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5742415B2 (ja) * 2011-04-14 2015-07-01 セイコーエプソン株式会社 センサーデバイス、力検出装置およびロボット
ITTO20120890A1 (it) * 2012-10-11 2014-04-12 Fond Istituto Italiano Di Tecnologia Unita' elettronica di misura per un dispositivo polimorfico per la misura di forze, e dispositivo polimorfico includente la medesima
JP6163900B2 (ja) 2013-06-13 2017-07-19 セイコーエプソン株式会社 力検出装置およびロボット
WO2015019329A1 (en) * 2013-08-09 2015-02-12 Aito B.V. Mounting arrangement for piezoelectric sensor device
JP2015175811A (ja) * 2014-03-18 2015-10-05 セイコーエプソン株式会社 力検出装置、およびロボット
JP6183161B2 (ja) * 2013-10-31 2017-08-23 セイコーエプソン株式会社 センサー素子、力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置
JP6217321B2 (ja) * 2013-10-31 2017-10-25 セイコーエプソン株式会社 センサー素子、力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置
US9705069B2 (en) * 2013-10-31 2017-07-11 Seiko Epson Corporation Sensor device, force detecting device, robot, electronic component conveying apparatus, electronic component inspecting apparatus, and component machining apparatus
CN104596678A (zh) * 2013-10-31 2015-05-06 精工爱普生株式会社 力检测装置、机器人、电子部件输送装置以及检查装置
JP2015087292A (ja) * 2013-10-31 2015-05-07 セイコーエプソン株式会社 センサー素子、力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置
CN104596676B (zh) * 2013-10-31 2019-03-26 精工爱普生株式会社 力检测装置、机器人、电子部件输送装置及检查装置
CN104596675B (zh) * 2013-10-31 2019-05-14 精工爱普生株式会社 传感器元件、力检测装置、机器人、电子部件输送装置
JP6210296B2 (ja) * 2013-10-31 2017-10-11 セイコーエプソン株式会社 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置
JP2015087289A (ja) * 2013-10-31 2015-05-07 セイコーエプソン株式会社 センサー素子、力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置
EP2878939B1 (en) * 2013-11-05 2021-01-06 Seiko Epson Corporation Force detecting device, robot, eletronic component conveying apparatus
JP6232942B2 (ja) * 2013-11-05 2017-11-22 セイコーエプソン株式会社 力検出装置、ロボットおよび電子部品搬送装置
JP6232943B2 (ja) * 2013-11-05 2017-11-22 セイコーエプソン株式会社 力検出装置、ロボットおよび電子部品搬送装置
JP6287166B2 (ja) * 2013-12-19 2018-03-07 株式会社村田製作所 圧電センサの検査方法
JP6252241B2 (ja) 2014-02-27 2017-12-27 セイコーエプソン株式会社 力検出装置、およびロボット
JP6248709B2 (ja) * 2014-03-04 2017-12-20 セイコーエプソン株式会社 力検出装置およびロボット
JP2015184007A (ja) * 2014-03-20 2015-10-22 セイコーエプソン株式会社 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置および電子部品検出装置
CN106164634A (zh) * 2014-03-26 2016-11-23 株式会社电装 力检测装置
CN105865670B (zh) * 2015-02-09 2020-09-25 精工爱普生株式会社 力检测装置以及机器人
CN107336225A (zh) * 2016-06-13 2017-11-10 广东顺德天太机器人技术有限公司 一种六轴机器人
JP2018054563A (ja) * 2016-09-30 2018-04-05 セイコーエプソン株式会社 力検出装置、駆動ユニットおよびロボット
JP6862762B2 (ja) * 2016-10-28 2021-04-21 セイコーエプソン株式会社 力検出センサー、力覚センサーおよびロボット
JP6862794B2 (ja) * 2016-11-24 2021-04-21 セイコーエプソン株式会社 力検出センサー、力覚センサー、トルクセンサーおよびロボット
JP2018119923A (ja) * 2017-01-27 2018-08-02 セイコーエプソン株式会社 力検出装置およびロボット
JP6789853B2 (ja) * 2017-03-08 2020-11-25 日本電産コパル電子株式会社 力覚センサ
JP2018173343A (ja) * 2017-03-31 2018-11-08 セイコーエプソン株式会社 力検出装置およびロボット
JP2018189385A (ja) 2017-04-28 2018-11-29 セイコーエプソン株式会社 力検出装置およびロボット
JP6874513B2 (ja) * 2017-04-28 2021-05-19 セイコーエプソン株式会社 力検出装置およびロボット
JP2019012012A (ja) * 2017-06-30 2019-01-24 セイコーエプソン株式会社 力検出装置およびロボット
JP2019027920A (ja) * 2017-07-31 2019-02-21 セイコーエプソン株式会社 力検出装置およびロボット
JP6481735B2 (ja) * 2017-10-18 2019-03-13 セイコーエプソン株式会社 力検出装置およびロボット
JP6477843B2 (ja) * 2017-11-28 2019-03-06 セイコーエプソン株式会社 力検出装置、およびロボット
JP6996344B2 (ja) * 2018-02-28 2022-01-17 セイコーエプソン株式会社 センサーデバイス、力検出装置およびロボット
US10732060B2 (en) * 2018-08-15 2020-08-04 X Development Llc Force/torque sensor with hardstops to limit overloading a flexure
WO2020202631A1 (ja) * 2019-03-29 2020-10-08 株式会社村田製作所 押圧センサの配置構造及び電子機器
CN111546345B (zh) * 2020-05-26 2021-08-17 广州纳丽生物科技有限公司 一种基于接触动力学模型的肌肤材质力学性能测量方法

Family Cites Families (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3320580A (en) * 1963-02-27 1967-05-16 Alan O Sykes Multipurpose piezoelectric transducer system
CH472668A (de) * 1967-09-05 1969-05-15 Kistler Instrumente Ag Einrichtung mit einer Mehrkomponenten-Piezomesszelle
ATE65319T1 (de) 1986-11-07 1991-08-15 Kristal Instr Ag Mehrkomponenten-dynamometer.
JPH0610638B2 (ja) * 1986-12-05 1994-02-09 日本電気株式会社 積層型圧電素子
JPS63124636U (enExample) * 1987-02-06 1988-08-15
JPS6435331A (en) * 1987-07-31 1989-02-06 Omron Tateisi Electronics Co Force sensor
SU1500874A1 (ru) * 1987-08-03 1989-08-15 Предприятие П/Я М-5717 Датчик силы
US4821584A (en) * 1988-03-15 1989-04-18 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Piezoelectric film load cell robot collision detector
US4993266A (en) * 1988-07-26 1991-02-19 Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho Semiconductor pressure transducer
US6864677B1 (en) * 1993-12-15 2005-03-08 Kazuhiro Okada Method of testing a sensor
CH680689A5 (enExample) * 1990-05-31 1992-10-15 Kistler Instrumente Ag
JPH04231827A (ja) 1990-05-31 1992-08-20 Kistler Instr Ag 薄円板状力センサ
JPH04231829A (ja) * 1990-05-31 1992-08-20 Kistler Instr Ag 平行にされた円板測定要素及び集積増幅器を有する介在式力センサ
JPH0534231A (ja) * 1991-07-29 1993-02-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電型圧力センサ
JP3279221B2 (ja) * 1997-05-29 2002-04-30 株式会社東京センサ 押圧力検知センサ
JPH1137860A (ja) * 1997-07-15 1999-02-12 Nippon Soken Inc 荷重検出装置
JP4011177B2 (ja) * 1998-02-10 2007-11-21 日本特殊陶業株式会社 荷重センサ
JPH11230837A (ja) * 1998-02-13 1999-08-27 Murata Mfg Co Ltd 圧電部品
JP3413464B2 (ja) 1999-07-13 2003-06-03 ニッタ株式会社 静電容量式力覚センサ
US6373265B1 (en) 1999-02-02 2002-04-16 Nitta Corporation Electrostatic capacitive touch sensor
AT409550B (de) * 2001-04-23 2002-09-25 Avl List Gmbh Piezoelektrische vorrichtung
DK1282174T3 (da) * 2001-07-27 2008-10-27 Holmberg Gmbh & Co Kg Vibrationstransducer med piezoelektrisk element
JP2004028883A (ja) * 2002-06-27 2004-01-29 Denso Corp 感圧センサ
US7152482B2 (en) * 2002-10-01 2006-12-26 National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology Piezoelectric sensor and input device including same
FR2885409B1 (fr) * 2005-05-04 2007-08-31 Commissariat Energie Atomique Dispositif de mesure de force a tige rigide
US20070158826A1 (en) 2005-12-27 2007-07-12 Yamaha Corporation Semiconductor device
JP2008002953A (ja) 2006-06-22 2008-01-10 Yamaha Corp 半導体装置及びその製造方法
SG137708A1 (en) * 2006-05-15 2007-12-28 St Microelectronics Asia Piezo-resistive force sensor with bumps on membrane structure
US7673512B2 (en) * 2006-10-30 2010-03-09 Sony Corporation Angular velocity sensor and electronic device
US7701202B2 (en) * 2006-11-02 2010-04-20 Massachusetts Institute Of Technology Compliant tactile sensor that delivers a force vector
US20080129150A1 (en) * 2006-12-05 2008-06-05 Hongxi Zhang High temperature sustainable piezoelectric sensors using etched or micromachined piezoelectric films
KR100843217B1 (ko) * 2006-12-15 2008-07-02 삼성전자주식회사 웨이퍼 후면 액상접착제 도포를 이용한 반도체 패키지 제조용 인라인 시스템
JP2008196933A (ja) * 2007-02-13 2008-08-28 Nitta Ind Corp 力測定装置
US7772960B2 (en) * 2007-11-27 2010-08-10 Interlink Electronics, Inc. Pre-loaded force sensing resistor and method
JP5248182B2 (ja) 2008-04-18 2013-07-31 株式会社ワコー 力検出装置
AT506705B1 (de) * 2008-09-11 2009-11-15 Piezocryst Advanced Sensorics Piezoelektrischer drucksensor
CH699668A1 (de) * 2008-10-09 2010-04-15 Kistler Holding Ag Sensormembrane.
JP2010096525A (ja) 2008-10-14 2010-04-30 Fujikura Ltd 圧力センサパッケージ及びその製造方法、並びに圧力センサモジュール及び電子デバイス
JP5287186B2 (ja) 2008-12-02 2013-09-11 セイコーエプソン株式会社 ロボットアーム及びロボットアーム装置
JP2010203857A (ja) 2009-03-02 2010-09-16 Alps Electric Co Ltd 圧力センサのパッケージ構造
JP5277038B2 (ja) 2009-03-30 2013-08-28 株式会社ワコー 力検出装置
US8421311B2 (en) * 2010-04-30 2013-04-16 Southern Taiwan University Of Technology Flexible piezoelectric tactile sensor
US8322224B2 (en) * 2010-06-24 2012-12-04 Universal Cement Corporation Pressure sensor with fixed deformable area
CN202153166U (zh) * 2011-07-28 2012-02-29 济南大学 一种并联式压电六维大力传感器

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017187510A (ja) * 2017-07-19 2017-10-12 セイコーエプソン株式会社 センサーデバイス、力検出装置、およびロボット
WO2020203771A1 (ja) * 2019-03-29 2020-10-08 国立大学法人山形大学 圧電センサ
JPWO2020203771A1 (ja) * 2019-03-29 2021-11-25 国立大学法人山形大学 圧電センサ
JP7016198B2 (ja) 2019-03-29 2022-02-04 国立大学法人山形大学 圧電センサ
US11389115B2 (en) 2019-03-29 2022-07-19 National University Corporation Yamagata University Piezoelectric sensor

Also Published As

Publication number Publication date
CN103308221B (zh) 2017-04-12
US20130233089A1 (en) 2013-09-12
EP2637006B1 (en) 2017-12-13
JP2013186030A (ja) 2013-09-19
EP2637006A2 (en) 2013-09-11
KR20130103431A (ko) 2013-09-23
US9127996B2 (en) 2015-09-08
CN103308221A (zh) 2013-09-18
TW201341771A (zh) 2013-10-16
EP2637006A3 (en) 2014-11-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5895615B2 (ja) センサーモジュール、力検出装置及びロボット
JP5887911B2 (ja) センサーモジュール、力検出装置、ロボット
JP5880935B2 (ja) センサーデバイス、センサーモジュール、ロボット、センサーデバイスの製造方法
JP6051678B2 (ja) センサーデバイス、センサーモジュール、力検出装置およびロボット
JP5880934B2 (ja) センサーデバイス、センサーモジュール、力検出装置、ロボット
US10201902B2 (en) Force detector and robot
CN104596681B (zh) 传感器设备、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置及部件加工装置
JP6163900B2 (ja) 力検出装置およびロボット
CN109211441A (zh) 力检测装置及机器人
CN108731854A (zh) 力检测装置以及机器人
JP2013160669A (ja) センサーデバイス、センサーモジュール、力検出装置及びロボット
CN104596676A (zh) 力检测装置、机器人、电子部件输送装置及检查装置
JP5880936B2 (ja) センサーデバイス、センサーモジュール、力検出装置及びロボット
JP6274296B2 (ja) 力検出装置およびロボット
JP2015175811A (ja) 力検出装置、およびロボット
JP2018077248A (ja) センサーデバイス、センサーモジュール、力検出装置およびロボット

Legal Events

Date Code Title Description
RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20150107

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150123

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150123

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20151124

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160113

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160202

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160215

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5895615

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150