JP5894548B2 - 半導体多層膜反射鏡構造 - Google Patents

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本発明は、面発光レーザの基板および半導体多層膜反射鏡からなる半導体多層膜反射鏡構造に関する。
面型半導体光デバイスのうち、垂直共振器型面発光レーザ(VCSEL:Vertical Cavity Surface Emitting Laser)は、端面発光型レーザに比べて、製造コストが安い、2次元アレイ化が容易である、しきい値電流が小さいなど、多くの利点を有しており、開発が進められている。
VCSELは、活性層とそれを上下で挟む一対の多層膜ブラッグ反射鏡(DBR:Distributed Bragg Reflector)から構成される。DBR層は、低屈折率層と高屈折率層の周期構造を有する誘電体多層膜や半導体多層膜、及びこれらの組み合わせで構成される。
DBR層を半導体多層膜で構成する場合、不純物をドーピングすることで電流注入が行える。また、一般に誘電体多層膜に対して半導体多層膜は熱抵抗が小さいため、放熱性に優れるとう利点を有している。電流注入を行い発光させる場合には、転位が活性層まで届かないように半導体多層膜をエピタキシャル成長させる必要がある。
DBR層は、低屈折率層と高屈折率層の屈折率差が大きくなるほど高反射率となるが、誘電体多層膜に比べて半導体多層膜は屈折率差が小さいため、所望の反射率を得るためには、多層膜のペア数を大きくする必要がある。
DBR層を構成する低屈折率層及び高屈折率層の膜厚dは、d=λ/4n(λは波長、nは屈折率)と表されるため、長波長のVCSELを作製するためには、各層の膜厚が大きくなる。
このように、半導体多層膜で構成されたVCSELは、ペア数の増加と膜厚の増加のため、長波長に対応するDBRの総膜厚は厚くなり、より短い波長に対応する850nmVCSELに比べると大きくなる。そのため、対応する波長が長くなるにしたがって、熱抵抗の増加や基板の反りがより大きく現れる。
ウエハは反ることにより、蓄積された歪エネルギーを低減し、安定化している。基板の厚さが厚いと基板の反りは抑制されるが、VCSELを形成した後に、基板裏面を研磨し薄くすると、反りは大きくなってしまう。大きな反りを持った基板をプロセス時に無理に反りを無くそうとすると、結晶中に転位が生じ、素子の信頼性に悪影響を及ぼす。
また、光通信において重要となる1.3μm帯などの長波長帯のレーザは、GaAs基板上に作製したInGaAs量子井戸では歪の関係で1.3μmまで長波長化できない。但し、長波長化はInGaAs量子井戸をInP基板上に作製することで可能になるが、GaAs基板上に作製したものに比べて温度特性が劣るという課題がある。また、GaAs基板上の活性層にGaInNAs量子井戸を用いることでも長波長化が可能であるが、微量でもNが添加されることで、結晶品質が悪くなるという課題がある。
そのため、長波長のVCSELではInGaAs基板を利用し、これに完全に格子整合するInAlAsとInGaAsの半導体多層膜をDBRとして利用することで、この問題を解決してきた。しかし、この方法では、3元混晶であるため熱抵抗が大きいという課題がある。
さらに、InGaAs基板は、基板の品質、生産性、熱伝導性に課題がある。そこで、InGaAs基板を用いない方法として、GaAs基板上にメタモルフィックバッファ層と呼ばれるInGaAs層を成長させ、このInGaAs層上に半導体多層膜を成長させる、InGaAs層を擬似基板として用いる方法が開発されてきた。
しかし、この方法では、InGaAs擬似基板層に格子整合する半導体多層膜を積層してDBRとして利用しても、InGaAsバッファ層を成長させる際に基板に大きな反りが生じるため、素子全体としての反りを抑制できない課題がある。
ShaoJun Ma, et al., "Strain-compensation measurement and simulation of InGaAs/GaAsP multiple quantum wells by metal organic vapor phase epitaxy using wafercurvature", J. Appl. Phys. 110, 113501, 1 December 2011, internet <URL: http://dx.doi.org/10.1063/1.3663309>
従来利用されてきたGaAs基板上のInGaAs量子井戸では、歪の関係で1.3μm帯まで長波長化することができない。GaAs基板上のGaInNAsでは、長波長化できるものの品質の劣化が避けられず、InAs量子ドットを活性媒質とする場合には、変調特性が優れない。また、InP基板上の量子井戸では、温度特性が悪い問題がある。
このように、従来技術では、InGaAs擬似基板上に高反射率、低熱抵抗な高品質なDBRを有し、かつDBR作製後のウエハの反りが小さい良好な多層膜反射鏡を実現することは困難であった。特に、光通信で重要となる1300nmや1550nmといった長波長のVCSELをInGaAs擬似基板上に形成するときに顕著な問題である。
本発明は、このような課題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、高反射率、低熱抵抗なDBR特性を有し、かつ反りの小さいウエハを実現した半導体多層膜反射鏡構造を提供することにある。
上記の課題を解決するために、請求項1に記載の発明は、半導体多層膜反射鏡構造であって、GaAs基板と、前記GaAs基板上に積層されたIn組成が5から15%の範囲であるInGaAsバッファ層と、前記InGaAsバッファ層上に積層された、前記InGaAsバッファ層よりIn組成が1から5%低いInGaAs擬似基板層と、前記InGaAs擬似基板層上に積層された、前記InGaAs擬似基板層よりもIn組成が高いInAlAs/InGaAs半導体多層膜反射鏡と、前記InAlAs/InGaAs半導体多層膜反射鏡上に積層された、前記InAlAs/InGaAs半導体多層膜反射鏡とIn組成が同じAlAs/InGaAs半導体多層膜反射鏡とを備えたことを特徴とする。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の半導体多層膜反射鏡構造において、前記InGaAs擬似基板層は、前記InGaAsバッファ層と格子整合することを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、請求項1又は2に記載の半導体多層膜反射鏡構造において、前記InAlAs/InGaAs半導体多層膜反射鏡は、前記InGaAs擬似基板層と格子整合することを特徴とする。
請求項4に記載の発明は、請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体多層膜反射鏡構造において、前記AlAs/InGaAs半導体多層膜反射鏡は、平均格子定数が前記GaAs基板の格子定数と前記InGaAs擬似基板の格子定数の中間の値を有することを特徴とする。
本発明は、半導体多層膜反射鏡構造において、高反射率、低熱抵抗な高品質なDBR特性を有し、かつ反りの小さいウエハを実現し、素子の歩留まり向上や素子の高信頼性に寄与する効果を奏する。
本発明の実施形態1に係る半導体多層膜反射鏡構造を示す図である。 GaAs基板の反りのin-situモニタでの測定結果に基づく曲率のシミュレーション結果を示す図である。 本発明の実施形態2に係る半導体多層膜反射鏡構造を示す図である。 本発明の実施形態2に係る半導体多層膜反射鏡構造の反りのin-situモニタでの測定結果に基づく曲率のシミュレーション結果を示す図である。
本発明の半導体多層膜反射鏡構造は、GaAs基板上にInGa1−zAsバッファ層、InGa1−yAs擬似基板層とAlAs/InGa1−xAs半導体多層膜反射鏡及びInAlAs/InGa1−xAs半導体多層膜反射鏡を積層したものである。
InGa1−zAsバッファ層は、In組成が5〜15%であり、100nm以上の膜厚を有し、50〜90%格子緩和している。InGa1−zAsバッファ層は、GaAs基板より格子定数が大きいため、圧縮性の歪を有し、成長時に反りを生じるものである。但し、格子緩和が、50%より小さいとInGa1−yAs擬似基板層にさらに大きな圧縮歪が加わり、90%より大きいとInGa1−yAs擬似基板層に引張歪が加わるため、フリースタンディングなInGa1−yAs擬似基板層の形成が困難になる。
InGa1−yAs擬似基板層は、InGa1−zAsバッファ層よりもIn組成が1〜5%低く、格子緩和したInGa1−zAsバッファ層と等しい格子定数であり、成長時に反りが増加しないことを特徴とする。
尚、InGa1−zAsバッファ層およびInGa1−yAs擬似基板層のIn組成は、上記数値よりも大きい場合、高品質なミラーを作製できなくなることや、上記数値よりも小さい場合、半導体多層膜反射鏡の格子歪量が大きくなりすぎるため、半導体多層膜反射鏡構造が困難になる。
InAlAs/InGa1−xAs半導体多層膜反射鏡は、InAlAs及びInGa1−xAsがInGa1−yAs擬似基板層と等しい格子定数となるようにIn組成をそれぞれ決定したものであり、成長時に反りが増加しないことを特徴とする。
AlAs/InGa1−xAs半導体多層膜反射鏡は、AlAs層がInGa1−yAs擬似基板層より小さな格子定数であるため引張性の歪を生じるものであり、InGa1−xAs層は、全体の反りを調整するためにそのIn組成を決定するものである。
具体的には、成長前のGaAs基板に対して、InGa1−zAsバッファ層成長時に圧縮性の歪が生じるため、AlAs/InGa1−xAs半導体多層膜反射鏡成長時に、この圧縮性の歪と絶対値の等しい量の引張性の歪を与えることでウエハ全体の歪量を0としてウエハの反りを解消するように、AlAs/InGa1−xAs半導体多層膜反射鏡のInGa1−xAs層のIn組成を決定する。
尚、AlAs/InGa1−xAs半導体多層膜反射鏡の平均格子定数は、GaAs基板の格子定数とInGa1−yAs擬似基板層の格子定数との中間の値であるものとする。
VCSELを作製する場合には、活性層に近い側へAlAs/InGa1−xAs半導体多層膜反射鏡を作製することで、熱抵抗を減少させることができる。
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。
(実施形態1)
図1に、本発明の実施形態1に係る半導体多層膜反射鏡構造を示す。GaAs基板101の上にIn0.12Ga0.88Asバッファ層102、In0.10Ga0.90As擬似基板層103及びAlAs/InGa1−xAs半導体多層膜反射鏡104が積層されている。In0.12Ga0.88Asバッファ層102は臨界膜厚以上成長することで、転位をGaAs基板101との界面のみに局在化させている。
歪補償を行わず、x=y(=0.10)とした場合と、歪補償を行い、x=0.18とした場合を比較する。
図2に、GaAs基板の反りのin-situモニタでの測定結果に基づく曲率のシミュレーション結果を示す。実線で示したものがシミュレーション結果であり、△、○でプロットしたものが測定結果である。曲率は、
Figure 0005894548
で表されるものとしてシミュレーションを行った(非特許文献1参照)。
本発明は、歪補償を行うことで、歪補償を行わなかった場合と比較して基板の反りの大幅な減少が可能となる。また、InGaAs層のIn組成を調整することで、反り量を大きく変化させることができる。
(実施形態2)
図3に、本発明の実施形態2に係る半導体多層膜反射鏡構造を示す。GaAs基板101の上にIn0.12Ga0.88Asバッファ層102、In0.10Ga0.90As擬似基板層103及びInAlAs/InGa1−xAs半導体多層膜反射鏡105及びAlAs/InGa1−xAs半導体多層膜反射鏡104が積層されている。In0.12Ga0.88Asバッファ層102は臨界膜厚以上成長することで、転位をGaAs基板101との界面のみに局在化させている。
図4に、本発明の実施形態2に係る半導体多層膜反射鏡構造の反りのin-situモニタでの測定結果に基づく曲率のシミュレーション結果を示す。In0.12Ga0.88Asバッファ層102を1600nm成長させた場合、GaAs基板101に対する圧縮歪の影響で基板が反ってしまう。InGaAs擬似基板103に対して格子整合系であるInAlAs/InGa1−xAs半導体多層膜反射鏡105のみではこの反りを解消できないのに対し、AlAs/InGa1−xAs半導体多層膜反射鏡104をInAlAs/InGa1−xAs半導体多層膜反射鏡105上に積層することにより、InGaAs擬似基板103に対して多層膜全体として引張歪を有するため、GaAs基板101をIn0.12Ga0.88Asバッファ層102成長時とは反対方向へ反らせる効果があり、実施形態1と同様に、全体としての反り量を減少させる事が可能である。
101 GaAs基板
102 InGa1−zAsバッファ層
103 InGa1−yAs擬似基板層
104 AlAs/InGa1−xAs半導体多層膜反射鏡
105 InAlAs/InGa1−xAs半導体多層膜反射鏡

Claims (4)

  1. GaAs基板と、
    前記GaAs基板上に積層されたIn組成が5から15%の範囲であるInGaAsバッファ層と、
    前記InGaAsバッファ層上に積層された、前記InGaAsバッファ層よりIn組成が1から5%低いInGaAs擬似基板層と、
    前記InGaAs擬似基板層上に積層された、前記InGaAs擬似基板層よりもIn組成が高いInAlAs/InGaAs半導体多層膜反射鏡と、
    前記InAlAs/InGaAs半導体多層膜反射鏡上に積層された、前記InAlAs/InGaAs半導体多層膜反射鏡とIn組成が同じAlAs/InGaAs半導体多層膜反射鏡と
    を備えたことを特徴とする半導体多層膜反射鏡構造。
  2. 前記InGaAs擬似基板層は、前記InGaAsバッファ層と格子整合することを特徴とする請求項1に記載の半導体多層膜反射鏡構造。
  3. 前記InAlAs/InGaAs半導体多層膜反射鏡は、前記InGaAs擬似基板層と格子整合することを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体多層膜反射鏡構造。
  4. 前記AlAs/InGaAs半導体多層膜反射鏡は、平均格子定数が前記GaAs基板の格子定数と前記InGaAs擬似基板の格子定数の中間の値を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体多層膜反射鏡構造。
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