JP5894548B2 - 半導体多層膜反射鏡構造 - Google Patents
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Description
図1に、本発明の実施形態1に係る半導体多層膜反射鏡構造を示す。GaAs基板101の上にIn0.12Ga0.88Asバッファ層102、In0.10Ga0.90As擬似基板層103及びAlAs/InxGa1−xAs半導体多層膜反射鏡104が積層されている。In0.12Ga0.88Asバッファ層102は臨界膜厚以上成長することで、転位をGaAs基板101との界面のみに局在化させている。
図3に、本発明の実施形態2に係る半導体多層膜反射鏡構造を示す。GaAs基板101の上にIn0.12Ga0.88Asバッファ層102、In0.10Ga0.90As擬似基板層103及びInAlAs/InxGa1−xAs半導体多層膜反射鏡105及びAlAs/InxGa1−xAs半導体多層膜反射鏡104が積層されている。In0.12Ga0.88Asバッファ層102は臨界膜厚以上成長することで、転位をGaAs基板101との界面のみに局在化させている。
102 InzGa1−zAsバッファ層
103 InyGa1−yAs擬似基板層
104 AlAs/InxGa1−xAs半導体多層膜反射鏡
105 InAlAs/InxGa1−xAs半導体多層膜反射鏡
Claims (4)
- GaAs基板と、
前記GaAs基板上に積層されたIn組成が5から15%の範囲であるInGaAsバッファ層と、
前記InGaAsバッファ層上に積層された、前記InGaAsバッファ層よりIn組成が1から5%低いInGaAs擬似基板層と、
前記InGaAs擬似基板層上に積層された、前記InGaAs擬似基板層よりもIn組成が高いInAlAs/InGaAs半導体多層膜反射鏡と、
前記InAlAs/InGaAs半導体多層膜反射鏡上に積層された、前記InAlAs/InGaAs半導体多層膜反射鏡とIn組成が同じAlAs/InGaAs半導体多層膜反射鏡と
を備えたことを特徴とする半導体多層膜反射鏡構造。 - 前記InGaAs擬似基板層は、前記InGaAsバッファ層と格子整合することを特徴とする請求項1に記載の半導体多層膜反射鏡構造。
- 前記InAlAs/InGaAs半導体多層膜反射鏡は、前記InGaAs擬似基板層と格子整合することを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体多層膜反射鏡構造。
- 前記AlAs/InGaAs半導体多層膜反射鏡は、平均格子定数が前記GaAs基板の格子定数と前記InGaAs擬似基板層の格子定数の中間の値を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体多層膜反射鏡構造。
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