JP4641230B2 - 光半導体装置 - Google Patents
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1.3μmの発光を得るための量子井戸層の歪量は、GaAs基板上では3.2%、In組成0.1のInGaAs基板では2.3%、In組成0.2のInGaAs基板では1.8%となる。
この構造では、量子井戸層と障壁層のIn組成の差を大きくするほどバンド不連続も大きくなるためキャリアオーバーフローの抑制が可能となり、温度特性が向上する。しかしながら、量子井戸層の歪量が大きくなるため、結晶性の劣化が起こる。そのため3元基板上高歪量子井戸の結晶性向上技術が必要となる。
3元混晶の半導体結晶InxGa1-xAsからなる基板の上に、活性層として形成される多重量子井戸構造を備えた光半導体装置において、
前記多重量子井戸構造は、圧縮歪量子井戸層と障壁層とから成り、前記障壁層は前記多重量子井戸構造の熱抵抗を低減するためにGaAsを含むことを特徴とする。
前記多重量子井戸構造は、圧縮歪量子井戸層とGaAsから成る障壁層との間に、InGaAs障壁層が挿入されていることを特徴とする。
半導体結晶InxGa1-xAsからなる前記基板の組成比xは、0<x≦0.2の範囲にあることを特徴とする。
前記多重量子井戸構造の発光波長が1.1〜1.6μmであることを特徴とする。
前記圧縮歪量子井戸層の材料は、InGaAs、GaInNAs,AlGaInAs,InGaAsPのいずれかであることを特徴とする。
本発明によれば、InGaAs3元基板上圧縮歪量子井戸において、障壁層またはその一部に引っ張り歪となるGaAs層を導入し、障壁層に、基板に対して格子定数の小さい引っ張り歪層を導入することにより歪補償構造になり、量子井戸を多層化した際の歪による転位、欠陥の発生が緩和される。
実施例1は、図1に示すような3元基板上InGaAsレーザ構造において、波長1.3μmでのレーザ発振を実現するための構造である。
更に詳述すると、図2に示すように、量子井戸層4,6,8の両側に、厚さ5nmのIn0.1Ga0.9As障壁層配し、更に、GaAs歪補償層を配する。GaAs歪補償層は厚さが15nmであり、In0.1Ga0.9As障壁層の間に配する。In0.5Ga0.5As量子井戸層の厚さは10nmとした。活性層は3層の量子井戸層4,6,8を持つ。
なお、図1において、12はp電極、13はn電極である。
成長温度550℃、成長圧力76TorrにてInGaAs基板上に同組成のInGaAsバッファー層を0.1μmの厚さに成長し、その上に障壁層と量子井戸層を3層繰り返し成長した3層量子井戸構造で評価を行った。
また障壁層として、InGaAsを用いずに、障壁層の全てをGaAsのみで構成するようにしてもよい。要は、障壁層にGaAsを含んでいればよい。
更に、通常の半導体レーザ構造と同様に、クラッド層と量子井戸構造の間に光閉じ込め層として、100nm程度のAlGaInAsやInGaAsP層などを導入することで、より効率的に光増幅が行われ閾値低減が可能となる。
上記の実施例1では、端面出射型について説明したが、以下に垂直共振面発光レーザ構造を採用した装置について説明する。
なお、図4において、図1に示す実施例と同じ機能を果たす構成部材には、同じ符号を付し、重複する説明は省略する。
2 n−In0.58Ga0.42Pクラッド層
3,5,7,9 InGaAs/GaAs障壁層
4,6,8 In0.5Ga0.5As量子井戸層
10 p−In0.58Ga0.42Pクラッド層
11 コンタクト層
12 p電極
13 n電極
14 InGaAs層
15 InAlAs層
α 歪量子井戸構造
Claims (5)
- 3元混晶の半導体結晶InxGa1-xAsからなる基板の上に、活性層として形成される多重量子井戸構造を備えた光半導体装置において、
前記多重量子井戸構造は、圧縮歪量子井戸層と障壁層とから成り、前記障壁層は前記多重量子井戸構造の熱抵抗を低減するためにGaAsを含むことを特徴とする光半導体装置。 - 前記多重量子井戸構造は、圧縮歪量子井戸層とGaAsから成る障壁層との間に、InGaAs障壁層が挿入されていることを特徴とする請求項1の光半導体装置。
- 半導体結晶InxGa1-xAsからなる前記基板の組成比xは、0<x≦0.2の範囲にあることを特徴とする請求項1または請求項2の光半導体装置。
- 前記多重量子井戸構造の発光波長が1.1〜1.6μmであることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか一項の光半導体装置。
- 前記圧縮歪量子井戸層の材料は、InGaAs、GaInNAs, AlGaInAs,InGaAsPのいずれかであることを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか一項の光半導体装置。
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