JP5062732B2 - 半導体変調器 - Google Patents
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電界吸収変調器に量子井戸構造を用いると量子閉じ込めシュタルク効果が利用できる。この効果は量子井戸に垂直に電界を印加することにより、電子と正孔が対になった励起子による光吸収ピークが変化し、小さい印加電圧においても大きな吸収係数変化をもたらすものである。
このような従来の半導体変調器においては、通常、光吸収特性の改善のために、量子井戸中へのキャリアの閉じ込めを十分確保することが重要になる。
1.3μmの光の吸収波長を実現するための量子井戸層の歪量は、GaAs基板上では3.2%、In組成0.1のInGaAs基板では2.3%、In組成0.2のInGaAs基板では1.8%となる。
この構造では、量子井戸層と障壁層のIn組成の差を大きくするほどバンド不連続も大きくなるためキャリアオーバーフローの抑制が可能となり、温度特性が向上する。しかしながら、量子井戸層の歪量が大きくなるため、結晶性の劣化が起こる。そのため3元基板上高歪量子井戸の結晶性向上技術が必要となる。
さらに結晶的に安定した2元結晶は3元、4元の材料で問題となる相分離などが無いため、結晶性向上が可能となる。
また3元材料に比べ熱抵抗が低いため、放熱性が向上し、素子全体の発熱を抑えた高温度特性動作が可能となる。
また、InGaAs/GaAs障壁層においてGaAsに若干量のInが含まれた場合、例えば、InGaAs/GaAs障壁層におけるGaAsをIn組成yが0より大きく0.05以下であるIn(y)Ga(1−y)Asに代えた場合でも同様の効果を奏する。
2,11 n−In0.58Ga0.42Pクラッド層
3 In0.45Ga0.55As/In0.1Al0.9As量子井戸構造
4,15 p−In0.58Ga0.42Pクラッド層
5 In0.1Ga0.9Asコンタクト層
6 ポリイミド
7 p電極
8 n電極
9 電界吸収型光変調器
10 分布帰還型半導体レーザ
12,14 InGaAsPガイド層
13 In0.5Ga0.5As/GaAs量子井戸構造
23 In0.4Ga0.6As/AlAs量子井戸構造
31 n−In0.3Ga0.7As基板
32 n−In0.78Ga0.22Pクラッド層
33 In0.6Ga0.4As/InAlAs量子井戸構造
34 p−In0.78Ga0.22Pクラッド層
35 In0.3Ga0.7Asコンタクト層
43 In0.4Ga0.6As/Al0.8Ga0.2As量子井戸構造
Claims (4)
- 3元混晶の半導体結晶In(x)Ga(1−x)Asからなる基板の上に、光吸収層として形成される歪量子井戸構造において、
前記半導体結晶In(x)Ga(1−x)Asからなる前記基板の組成比xは、0<x≦0.2の範囲にあり、
前記歪量子井戸構造は、圧縮歪量子井戸層と、InAlAsまたはAlAsまたはGaAsまたはAlGaAsを含み、歪量が0より大きく1.5%以下である引っ張り歪障壁層とを交互に複数設けた歪補償構造を有する
ことを特徴とする半導体変調器。 - 前記障壁層が前記圧縮歪量子井戸層との界面側にIn(z)Ga(1−z)As層を有することを特徴とする請求項1記載の半導体変調器。
- 前記歪量子井戸構造による吸収波長が1.3μm帯であることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の半導体変調器。
- 前記圧縮歪量子井戸層の材料が、InGaAs、GaInNAs、AlGaInAs、InGaAsPのいずれかであることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか一項に記載の半導体変調器。
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