JP2006286809A - 光半導体デバイス及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体基板1,2と、第1半導体層3、活性層4、第2半導体層5を順に積層させてなるストライプ状積層体11と、ストライプ状積層体11を埋め込む埋込層7とを備え、埋込層7の側面及び底面が接している面が、V族組成がAsのみからなる化合物半導体により形成されており、埋込層7が接していない部分がAs以外のV族元素を含むものとして形成されている。
【選択図】 図1
Description
光ファイバ通信システムにおいて用いられる光デバイスには、これまで、主にInGaAsP系の材料が用いられてきている。
最近では、ヘテロ接合のバンド構造の点で高温時に十分な高速動作を実現できるAlGaInAs系の材料を用いた光デバイスの開発が進められている。
ここで、図6は、従来のAlGaInAs系の材料からなる埋め込み型半導体レーザ(光半導体デバイス)の一例を示している。
従来のAlGaInAs系の材料からなる埋め込み型半導体レーザは、図6に示すように、n型InP基板100上に、バッファ層を兼ねるn型InP下側クラッド層101、AlGaInAs/AlGaInAs歪量子井戸活性層102、p型InP上側クラッド層103、p型InGaAsコンタクト層104を順に積層し、メサ形状に加工された光導波路を有し、このメサ構造の光導波路の両側がInP層(ここでは半絶縁性InP層)105で埋め込まれた構造になっている。なお、図6中、符号106はn側電極であり、符号107はp側電極であり、符号108はSiO2膜である。
まず、図7(A)に示すように、n型InP基板100上に、バッファ層を兼ねるn型InP下側クラッド層101、AlGaInAs/AlGaInAs歪量子井戸活性層102、p型InP上側クラッド層103、p型InGaAsコンタクト層104の各層を結晶成長させて積層構造を形成し、エッチングによってメサ形状に加工する。
この作製方法は、導波路形状などに柔軟に対応でき、非常に応用範囲の広い作製方法である。また、図6に示すような高速化に適した比較的高いメサ構造を高抵抗半導体層(ここでは半絶縁性InP層)で埋め込んだ構造を実現するには、最も現実的な方法である。
そこで、Asに比べて蒸気圧の高いPの脱離を防ぐために、成長炉の中をホスフィン(PH3)雰囲気にして昇温工程を行なうのが一般的である。
[第1実施形態]
まず、第1実施形態にかかる光半導体デバイス及びその製造方法について、図1及び図2を参照しながら説明する。
また、半絶縁性InP埋込層7は、例えばFeをドープしたFe−InP埋込層としている。また、p側電極8は、コンタクト層6上に形成され、例えばTi/Pt/Au電極としている。また、表面を覆うようにSiO2膜10が形成されている。さらに、n側電極9は、半導体基板1の裏面側に形成され、例えばAuGe電極としている。
本実施形態では、下側クラッド層3は、半導体基板1上に形成されたバッファ層2の表面を覆うように半導体基板1の端面近傍まで延びるベース部3A(ここは電流ブロック層としても機能する)と、ベース部3Aから突出している突出部3Bとを備えるものとして構成される。
なお、下側クラッド層3の突出部3B、活性層4、上側クラッド層5により、メサ構造を有するストライプ状の光導波路が形成されると見ることもできる。また、メサ構造のストライプ状積層体は、ここでは、下方から上方まで幅が等しい垂直メサ構造になっているが、これに限られるものではなく、上方にいくにしたがって幅が広くなる逆メサ構造や上方にいくにしたがって幅が狭くなる順メサ構造であっても良い。また、これらを組み合わせた形状のメサ構造であっても良い。
この場合、後述するように、メサ構造のストライプ状積層体11の両側に半絶縁性InP埋込層7を再成長させて埋め込む埋込再成長工程において、結晶成長温度(再成長温度)まで昇温させる際に結晶成長炉内の雰囲気中に露出するのは、下側クラッド層3の表面及び側面、活性層4の側面、上側クラッド層5の側面及びコンタクト層6の側面であり、これらの面は全てV族元素としてAsのみを含む化合物半導体(III−V族化合物半導体)により形成されているため[つまり、従来のようにリン(P)を含む面がないため]、Asを含む雰囲気で埋込再成長工程を行なうことが可能となる。
素を含む雰囲気[例えば、InP半導体結晶に対するアルシン(AsH3)雰囲気、AlGaInAs半導体結晶に対するホスフィン(PH3)雰囲気]にさらされることがなくなる。これにより、As/P置換が生じないようにすることができ、欠陥の発生を著しく抑制することができる。この結果、駆動電流の増大や通電による結晶の劣化を抑制できることになる。
ここでは、埋込層7の側面及び底面が接している面は、下側クラッド層3、活性層4、上側クラッド層5及びコンタクト層6により構成される。また、下側クラッド層3を突出部3Bのみとする場合には、埋込層7の側面及び底面が接している面は、下側クラッド層3(突出部3B)、活性層4、上側クラッド層5、コンタクト層6、第3半導体層(電流ブロック層)により構成される。
このうち、AlxGayIn1-x-yAs(0≦x≦1,0≦y≦1)で表される四元化合物半導体はIn組成がほぼ一定でAlとGaの比を変化させることで、InP基板と格子整合した状態でバンドギャップの異なる材料を実現することができる点で好ましい。
まず、図2(A)に示すように、n型InP基板1上に、n型InPバッファ層2、n型InAlAsクラッド層3(第1半導体層,下側クラッド層)、AlGaInAs系の化合物半導体からなる歪多重量子井戸構造のAlGaInAs/AlGaInAs歪多重量子井戸活性層4(導波路コア層)、p型InAlAsクラッド層5(第2半導体層,上側クラッド層)、p型InGaAsコンタクト層6を、例えば有機金属気相成長(MOVPE;Metal Organic Chemical Vapor Deposition)法などによって、順に成長させて、積層構造の半導体積層体を形成する。
次いで、図2(C)に示すように、SiO2マスク12を用いて、例えばエッチングガスとして塩素を用いたドライエッチングによって、活性層4の下側に形成されている下側クラッド層3の一部が半導体基板1上に形成されたバッファ層2の表面に残るようにメサ形状に加工して、所定の高さ以上の高さ(例えば高さ2.7μm)を有するメサ構造のストライプ状積層体11(メサ構造体)を形成する。ここで、メサエッチングによってバッファ層2上に残される下側クラッド層3の厚さは任意に設定することができ、少なくともバッファ層2の表面が覆われるようにすれば良い。
続いて、メサ表面に形成されたダメージ層を臭化水素酸系溶液によるウェットエッチングによって薄く除去し、硫化アンモニウム溶液で浸漬処理した後、結晶成長炉に入れて、例えばMOVPE法によって、メサ構造のストライプ状積層体11(メサ構造体)の両側が埋め込まれるように、半絶縁性InP埋込層7を再成長させる(埋込再成長工程)。
この場合、上述のように、デバイス表面の露出している面は、全てV族元素としてAsのみを含むものであり、また、昇温工程はAsH3雰囲気で行なわれるため、高温で結晶表面が異なるV族元素を含む雰囲気にさらされることがなく、As/P置換が生じないよ
うにすることができ、欠陥の発生を著しく抑制することができる。この結果、駆動電流の増大や通電による結晶の劣化を抑制できることになる。
その後、図2(F)に示すように、全面にSiO2膜10(絶縁膜)を形成する。そして、コンタクト層近傍の上方のみSiO2膜10を除去して、例えばTi/Pt/Auからなるp側電極8を形成する。一方、n型InP基板1の裏面側には、例えばAuGeからなるn側電極9を形成する。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態にかかる光半導体デバイス及びその製造方法について、図3及び図4を参照しながら説明する。
つまり、本半導体レーザでは、図3に示すように、n型InP基板1(n−InP基板,半導体基板)上に、下側クラッド層の一部を兼ねるn型InPバッファ層2と、n型AlGaInAs下側光ガイド層13(第1半導体層)と、AlGaInAs系(AlGaInAs,InAlAs,InGaAsを含む)の化合物半導体からなる歪多重量子井戸構造のAlGaInAs/AlGaInAs歪多重量子井戸活性層4(導波路コア層)と、p型AlGaInAs上側光ガイド層14(第2半導体層)と、p型InGaAsコンタクト層6と、p型InP埋込層15と、n型InP埋込層16と、p型InP上側クラッド層17と、p側電極8と、n側電極9と、SiO2膜(絶縁膜)10とを備えるものとして構成される。なお、図3では、図1に示したものと同一のものには同一の符号を付している。
また、下側光ガイド層13は、半導体基板1上に形成されたバッファ層2の表面を覆うように半導体基板1の端面近傍まで延びるベース部13A(ここは電流狭窄構造の一部を構成する)と、ベース部13Aから突出している突出部13Bとを備えるものとして構成される。なお、ベース部13Aは、製品になった状態では一部除去されている場合もある。
この場合、後述するように、メサ構造のストライプ状積層体11の両側にp型InP埋込層15及びn型InP埋込層16を再成長させて埋め込む埋込再成長工程において、結晶成長温度まで昇温させる際に結晶成長炉内の雰囲気中に露出するのは、下側光ガイド層13の表面及び側面、活性層4の側面、上側光ガイド層14の側面であり、これらの面は全てV族元素としてヒ素(As)のみを含む化合物半導体(III−V族化合物半導体)により形成されているため[つまり、従来のようにリン(P)を含む面がないため]、Asを含む雰囲気で埋込再成長工程を行なうことが可能となる。
素を含む雰囲気にさらされることがなくなる。これにより、As/P置換が生じないようにすることができ、欠陥の発生を著しく抑制することができる。この結果、駆動電流の増大や通電による結晶の劣化を抑制できることになる。
このようにして作製されたデバイスは、埋込層15の側面及び底面が接している面が、V族組成がAsのみからなる化合物半導体(III−V族化合物半導体)により形成され、埋込層15が接していない部分がAs以外のV族元素を含むものとして形成されたものとなる。
一方、埋込層15が接していない部分は、n型InP基板1、n型InPバッファ層2により構成される。なお、後述するように、下側光ガイド層13、活性層4、上側光ガイド層14、下側光ガイド層13を突出部13Bのみとする場合の第3半導体層の各層を多層構造にし、埋込層15の側面及び底面が接する面を構成する層だけを、V族組成がAsのみからなる化合物半導体により形成する場合には、埋込層15の側面及び底面が接する面を構成する層以外の層が、埋込層15が接していない部分に含まれ、As以外のV族元素を含むものとして形成される場合もある。
例えば、V族組成がAsのみからなる化合物半導体としては、例えば、組成式AlxGayIn1-x-yAs(0≦x≦1,0≦y≦1)で表される化合物半導体、Tl(タリウム)を含むTlGaInAs系の化合物半導体、Mn(マンガン)を含むGaInMnAs系の化合物半導体などを挙げることができる。
次に、本実施形態にかかる光半導体デバイスとしての半導体レーザの製造方法について、図4(A)〜(F)を参照しながら説明する。
まず、図4(A)に示すように、n型InP基板1上に、n型InPバッファ層2、n型AlGaInAs下側光ガイド層13、AlGaInAs/AlGaInAs歪多重量子井戸活性層4、p型AlGaInAs上側光ガイド層14を、例えば有機金属気相成長(MOVPE;Metal Organic Chemical Vapor Deposition)法などによって、順に成長させて、積層構造の半導体積層体を形成する。
次いで、図4(C)に示すように、SiO2マスク12を用いて、例えばエッチングガスとして塩素を用いたドライエッチングによって、活性層4の下側に形成されている下側光ガイド層13の一部が半導体基板1上に形成されたバッファ層2の表面に残るようにメサ形状に加工して、比較的高さの低いメサ構造のストライプ状積層体11(メサ構造体)を形成する。ここで、メサエッチングによってバッファ層2上に残される下側光ガイド層13の厚さは任意に設定することができ、少なくともバッファ層2の表面が覆われるようにすれば良い。
続いて、メサ表面に形成されたダメージ層を臭化水素酸系溶液によるウェットエッチングによって薄く除去し、硫化アンモニウム溶液で浸漬処理した後、結晶成長炉に入れて、例えばMOVPE法によって、メサ構造のストライプ状積層体11(メサ構造体)の両側が埋め込まれるように、p型InP埋込層15及びn型InP埋込層16を再成長させる(埋込再成長工程)。
この場合、上述のように、デバイス表面の露出している面は、全てV族元素としてAsのみを含むものであり、また、昇温工程はAsH3雰囲気で行なわれるため、高温で結晶表面が異なるV族元素を含む雰囲気にさらされることがなく、As/P置換が生じないよ
うにすることができ、欠陥の発生を著しく抑制することができる。この結果、駆動電流の増大や通電による結晶の劣化を抑制できることになる。
その後、図4(F)に示すように、全面にSiO2膜10(絶縁膜)を形成した後、コンタクト層近傍の上方のみSiO2膜10を除去して、例えばTi/Pt/Auからなるp側電極8を形成する。一方、n型InP基板1の裏面側には、例えばAuGeからなるn側電極9を形成する。
[その他]
なお、上述の各実施形態では、AsH3雰囲気で再成長温度まで昇温させるようにしているが、これに限られるものではなく、Asを含む雰囲気で再成長温度まで昇温させるようにすれば良い。Asを含む雰囲気にするためには、再成長温度(例えば600℃程度)で熱分解によりAsが生成されるガス(V族原料ガス)を供給すれば良い。例えば、TBA(ターシャルブチルアルシン)を供給して、Asを含む雰囲気にしても良い。
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形することができる。
半導体基板と、
第1半導体層、活性層、第2半導体層を含むストライプ状積層体と、
前記ストライプ状積層体を埋め込む埋込層とを備え、
前記埋込層の側面及び底面が接している面が、V族組成がAsのみからなる化合物半導体により形成されており、前記埋込層が接していない部分がAs以外のV族元素を含むものとして形成されていることを特徴とする、光半導体デバイス。
前記第1半導体層が、前記半導体基板の端面近傍まで延びるベース部と、前記ベース部から突出している突出部とを備え、
前記ストライプ状積層体が、前記突出部と、前記活性層と、前記第2半導体層とを含み、
前記埋込層の側面及び底面が接している面が、前記第1半導体層、前記活性層及び前記第2半導体層により構成されることを特徴とする、付記1記載の光半導体デバイス。
前記半導体基板の端面近傍まで延びる第3半導体層を備え、
前記第3半導体層上に前記第1半導体層が形成されており、
前記埋込層の側面及び底面が接している面が、前記第1半導体層、前記活性層、前記第2半導体層及び前記第3半導体層により構成されることを特徴とする、付記1記載の光半導体デバイス。
前記半導体基板が、InP基板であることを特徴とする、付記1〜3のいずれか1項に記載の光半導体デバイス。
(付記5)
前記活性層が、AlGaInAs系の化合物半導体により形成されていることを特徴とする、付記1〜4のいずれか1項に記載の光半導体デバイス。
前記第1半導体層及び前記第2半導体層が、AlGaInAs系の化合物半導体により形成されていることを特徴とする、付記1、2、4、5のいずれか1項に記載の光半導体デバイス。
(付記7)
前記第1半導体層、前記第2半導体層及び前記第3半導体層が、AlGaInAs系の化合物半導体により形成されていることを特徴とする、付記3記載の光半導体デバイス。
前記埋込層が、Pを含む化合物半導体により形成されていることを特徴とする、付記1〜7のいずれか1項に記載の光半導体デバイス。
(付記9)
前記埋込層が、半絶縁性InP層であることを特徴とする、付記8記載の光半導体デバイス。
前記埋込層として、n型InP層と、p型InP層とを含むことを特徴とする、付記8記載の光半導体デバイス。
(付記11)
前記第1半導体層及び前記第2半導体層が、クラッド層であり、
前記ストライプ状積層体が、メサ構造になっており、
前記メサ構造の頂部に接する電極を備えることを特徴とする、付記1〜9のいずれか1項に記載の光半導体デバイス。
前記ストライプ状積層体が、AlGaInAs系の化合物半導体により形成されるコンタクト層を含むことを特徴とする、付記11記載の光半導体デバイス。
(付記13)
前記ストライプ状積層体及び前記埋込層を覆うクラッド層を備えることを特徴とする、付記1〜10のいずれか1項に記載の光半導体デバイス。
前記クラッド層が、InP層であることを特徴とする、付記13記載の光半導体デバイス。
(付記15)
半導体基板上に、V族組成がAsのみからなる化合物半導体からなる、第1半導体層、活性層、第2半導体層を結晶成長させ、
前記半導体基板の表面に前記第1半導体層の一部が残るようにメサ形状に加工してストライプ状積層体を形成し、
Asを含む雰囲気で結晶成長温度まで昇温させた後、前記ストライプ状積層体が埋め込まれるように埋込層を結晶成長させる工程を含むことを特徴とする、光半導体デバイスの製造方法。
前記埋込工程において、アルシン雰囲気又はターシャルブチルアルシン雰囲気で結晶成長温度まで昇温させることを特徴とする、付記15記載の光半導体デバイスの製造方法。
(付記17)
前記埋込工程において、アルシン雰囲気又はターシャルブチルアルシン雰囲気で結晶成長温度まで昇温させた後、アルシン又はターシャルブチルアルシンからホスフィンに切り替えるとともに、トリメチルインジウムを供給してInP埋込層を結晶成長させることを特徴とする、付記15記載の光半導体デバイスの製造方法。
2 n型InPバッファ層
3 n型InAlAsクラッド層(第1半導体層,下側クラッド層)
3A ベース部
3B 突出部
4 AlGaInAs/AlGaInAs歪多重量子井戸活性層(導波路コア層)
5 p型InAlAsクラッド層(第2半導体層,上側クラッド層)
6 p型InGaAsコンタクト層
7 半絶縁性InP埋込層(電流ブロック層,高抵抗半導体層)
8 p側電極
9 n側電極
10 SiO2膜(絶縁膜)
11 ストライプ状積層体(メサ構造体)
12 SiO2マスク
13 n型AlGaInAs光ガイド層(第2半導体層,上側又は下側クラッド層)
13A ベース部
13B 突出部
14 p型AlGaInAs光ガイド層(第1半導体層,上側又は下側クラッド層)
15 p型InP埋込層
16 n型InP埋込層
17 p型InPクラッド層(上側クラッド層)
20 p型InP基板(半導体基板)
21 p型InPバッファ層
22 p型InP埋込層
23 n型InP埋込層
24 p型InP埋込層
25 n型InPクラッド層(上側クラッド層)
26 n型InGaAsコンタクト層
Claims (10)
- 半導体基板と、
第1半導体層、活性層、第2半導体層を含むストライプ状積層体と、
前記ストライプ状積層体を埋め込む埋込層とを備え、
前記埋込層の側面及び底面が接している面が、V族組成がAsのみからなる化合物半導体により形成されており、前記埋込層が接していない部分がAs以外のV族元素を含むものとして形成されていることを特徴とする、光半導体デバイス。 - 前記第1半導体層が、前記半導体基板の端面近傍まで延びるベース部と、前記ベース部から突出している突出部とを備え、
前記ストライプ状積層体が、前記突出部と、前記活性層と、前記第2半導体層とを含み、
前記埋込層の側面及び底面が接している面が、前記第1半導体層、前記活性層及び前記第2半導体層により構成されることを特徴とする、請求項1記載の光半導体デバイス。 - 前記半導体基板の端面近傍まで延びる第3半導体層を備え、
前記第3半導体層上に前記第1半導体層が形成されており、
前記埋込層の側面及び底面が接している面が、前記第1半導体層、前記活性層、前記第2半導体層及び前記第3半導体層により構成されることを特徴とする、請求項1記載の光半導体デバイス。 - 前記半導体基板が、InP基板であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の光半導体デバイス。
- 前記活性層が、AlGaInAs系の化合物半導体により形成されていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の光半導体デバイス。
- 前記第1半導体層及び前記第2半導体層が、AlGaInAs系の化合物半導体により形成されていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか1項に記載の光半導体デバイス。
- 前記埋込層が、Pを含む化合物半導体により形成されていることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか1項に記載の光半導体デバイス。
- 半導体基板上に、V族組成がAsのみからなる化合物半導体からなる、第1半導体層、活性層、第2半導体層を結晶成長させ、
前記半導体基板の表面に前記第1半導体層の一部が残るようにメサ形状に加工してストライプ状積層体を形成し、
Asを含む雰囲気で結晶成長温度まで昇温させた後、前記ストライプ状積層体が埋め込まれるように埋込層を結晶成長させる工程を含むことを特徴とする、光半導体デバイスの製造方法。 - 前記埋込工程において、アルシン雰囲気又はターシャルブチルアルシン雰囲気で結晶成長温度まで昇温させることを特徴とする、請求項8記載の光半導体デバイスの製造方法。
- 前記埋込工程において、アルシン雰囲気又はターシャルブチルアルシン雰囲気で結晶成長温度まで昇温させた後、アルシン又はターシャルブチルアルシンからホスフィンに切り替えるとともに、トリメチルインジウムを供給してInP埋込層を結晶成長させることを特徴とする、請求項8記載の光半導体デバイスの製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005102945A JP2006286809A (ja) | 2005-03-31 | 2005-03-31 | 光半導体デバイス及びその製造方法 |
EP05256079A EP1708325A3 (en) | 2005-03-31 | 2005-09-29 | Optical semiconductor device and fabrication method thereof |
US11/244,387 US7482617B2 (en) | 2005-03-31 | 2005-10-06 | Optical semiconductor device and fabrication method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005102945A JP2006286809A (ja) | 2005-03-31 | 2005-03-31 | 光半導体デバイス及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006286809A true JP2006286809A (ja) | 2006-10-19 |
Family
ID=36698843
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005102945A Pending JP2006286809A (ja) | 2005-03-31 | 2005-03-31 | 光半導体デバイス及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7482617B2 (ja) |
EP (1) | EP1708325A3 (ja) |
JP (1) | JP2006286809A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010062202A (ja) * | 2008-09-01 | 2010-03-18 | Fujitsu Ltd | 光半導体装置及びその製造方法 |
JP2012028824A (ja) * | 2011-11-09 | 2012-02-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Iii−v化合物半導体光素子を作製する方法 |
JP2019004112A (ja) * | 2017-06-19 | 2019-01-10 | Nttエレクトロニクス株式会社 | 半導体レーザ |
JP2021028971A (ja) * | 2019-08-09 | 2021-02-25 | 日本ルメンタム株式会社 | 埋め込み型半導体光素子 |
WO2024157678A1 (ja) * | 2023-01-26 | 2024-08-02 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | 半導体発光素子及び半導体発光素子の製造方法 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4135019B2 (ja) * | 2006-04-28 | 2008-08-20 | 住友電気工業株式会社 | 半導体レーザ |
TW201331990A (zh) * | 2012-01-31 | 2013-08-01 | Nat Univ Tsing Hua | 混合光電元件 |
US10811845B2 (en) * | 2012-02-28 | 2020-10-20 | Thorlabs Quantum Electronics, Inc. | Surface emitting multiwavelength distributed-feedback concentric ring lasers |
JP6209843B2 (ja) * | 2013-03-29 | 2017-10-11 | 住友電気工業株式会社 | 半導体変調器を作製する方法、半導体変調器 |
JP6236947B2 (ja) * | 2013-07-16 | 2017-11-29 | 住友電気工業株式会社 | 半導体光素子を製造する方法、および半導体光素子 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0653609A (ja) * | 1992-06-01 | 1994-02-25 | Toshiba Corp | 光半導体素子の製造方法 |
JPH08293639A (ja) * | 1995-04-25 | 1996-11-05 | Nec Kansai Ltd | 半導体レーザの製造方法 |
JP2001068788A (ja) * | 1999-08-26 | 2001-03-16 | Sharp Corp | 埋め込みヘテロ型半導体レーザ素子およびその製造方法並びにそれを用いた光モジュール |
JP2003086899A (ja) * | 2001-09-12 | 2003-03-20 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体レーザ素子およびその製造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5583878A (en) * | 1993-06-23 | 1996-12-10 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Semiconductor optical device |
JPH08172241A (ja) | 1994-12-16 | 1996-07-02 | Furukawa Electric Co Ltd:The | AlGaInAs系多重量子井戸を有する半導体発光素子 |
US6028875A (en) * | 1996-10-11 | 2000-02-22 | Nortel Networks Corporation | Buried heterostructure laser with quaternary current blocking layer |
EP0896406B1 (en) * | 1997-08-08 | 2006-06-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor laser device, optical communication system using the same, and method for producing compound semiconductor |
JP2002134842A (ja) | 2000-10-26 | 2002-05-10 | Hitachi Ltd | 半導体レーザ装置 |
CA2328641A1 (en) * | 2000-12-15 | 2002-06-15 | Nortel Networks Limited | Confinement layer of buried heterostructure semiconductor laser |
JP4164438B2 (ja) * | 2003-11-12 | 2008-10-15 | 株式会社日立製作所 | 半導体光素子の製造方法 |
US20050189552A1 (en) * | 2003-12-26 | 2005-09-01 | Nobuyuki Ikoma | Semiconductor light-emitting device |
-
2005
- 2005-03-31 JP JP2005102945A patent/JP2006286809A/ja active Pending
- 2005-09-29 EP EP05256079A patent/EP1708325A3/en not_active Withdrawn
- 2005-10-06 US US11/244,387 patent/US7482617B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0653609A (ja) * | 1992-06-01 | 1994-02-25 | Toshiba Corp | 光半導体素子の製造方法 |
JPH08293639A (ja) * | 1995-04-25 | 1996-11-05 | Nec Kansai Ltd | 半導体レーザの製造方法 |
JP2001068788A (ja) * | 1999-08-26 | 2001-03-16 | Sharp Corp | 埋め込みヘテロ型半導体レーザ素子およびその製造方法並びにそれを用いた光モジュール |
JP2003086899A (ja) * | 2001-09-12 | 2003-03-20 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体レーザ素子およびその製造方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010062202A (ja) * | 2008-09-01 | 2010-03-18 | Fujitsu Ltd | 光半導体装置及びその製造方法 |
JP2012028824A (ja) * | 2011-11-09 | 2012-02-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Iii−v化合物半導体光素子を作製する方法 |
JP2019004112A (ja) * | 2017-06-19 | 2019-01-10 | Nttエレクトロニクス株式会社 | 半導体レーザ |
JP2021028971A (ja) * | 2019-08-09 | 2021-02-25 | 日本ルメンタム株式会社 | 埋め込み型半導体光素子 |
JP7457485B2 (ja) | 2019-08-09 | 2024-03-28 | 日本ルメンタム株式会社 | 埋め込み型半導体光素子 |
WO2024157678A1 (ja) * | 2023-01-26 | 2024-08-02 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | 半導体発光素子及び半導体発光素子の製造方法 |
JP7541591B2 (ja) | 2023-01-26 | 2024-08-28 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | 半導体発光素子及び半導体発光素子の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1708325A2 (en) | 2006-10-04 |
US20060219996A1 (en) | 2006-10-05 |
EP1708325A3 (en) | 2009-05-20 |
US7482617B2 (en) | 2009-01-27 |
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Legal Events
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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