JP2013246343A - 半導体光変調器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る半導体光変調器は、多重量子井戸層1aを挟むP型クラッド層16とN型クラッド層11の間に逆バイアス電圧を印加して駆動する半導体光変調器であって、多重量子井戸層1aは、交互に積層された複数の井戸層と障壁層を備え、全ての井戸層は、電界非印加時に吸収端が等しく、第1の逆バイアス電圧を微少量増加させながら印加したときに多重量子井戸層1aにかかる電界の変化率よりも、第1の逆バイアス電圧よりも大きい第2の逆バイアス電圧を微少量増加させながら印加したときに多重量子井戸層にかかる電界の変化率が大きいことを特徴とする。
【選択図】図5
Description
本発明に係る実施の形態を説明する前に、本発明が前提とする技術について説明する。前提技術として、一般的なEA光変調器付きの半導体レーザーの構造を図1に示す。
<構成>
本実施の形態における半導体光変調器は、電界吸収型の光変調器であり、以下では電界吸収型光変調器(EA変調器)と呼ぶ。
本実施の形態においては、オン状態に対応する第1の逆バイアス電圧、即ち小さい逆バイアス電圧を例えば1Vとし、また、オフ状態に対応する、第1の逆バイアス電圧よりも大きい第2の逆バイアス電圧を例えば4Vとする。
本実施の形態に係る半導体光変調器は、多重量子井戸層1aを挟むP型クラッド層16とN型クラッド層11の間に逆バイアス電圧を印加して駆動する半導体光変調器であって、多重量子井戸層1aは、交互に積層された複数の井戸層と障壁層を備え、全ての井戸層は、電界非印加時に吸収端が等しく、第1の逆バイアス電圧を微少量増加させながら印加したときに多重量子井戸層1aにかかる電界の変化率よりも、第1の逆バイアス電圧よりも大きい第2の逆バイアス電圧を微少量増加させながら印加したときに多重量子井戸層1aにかかる電界の変化率が大きいことを特徴とする。
本実施の形態におけるEA光変調器は、図5におけるP型ハイドープ層15を備えない。それ以外の構成は実施の形態1(図5)と同じであるので、説明を省略する。
<構成>
本実施の形態におけるEA光変調器の断面図を図13に示す。本実施の形態では、N型クラッド層側に電界緩和層8が配置される点が実施の形態1(図5)と異なる。図13において、N−InP基板1d上に、N型クラッド層21が積層され、N型クラッド層21上に、電界緩和層8として、NドープされたN型ハイドープ層22、N型クラッド層23、N側中間層24が順に積層される。電界緩和層8上には、光閉じ込め層20として、PドープされたP−InGaAlAs層25、NドープされたN−InGaAlAs層26、NドープされたN−InAlAs層27が順に積層される。光閉じ込め層20上には、多重量子井戸層1aが積層される。多重量子井戸層1a上には、さらにP側中間層28、P型クラッド層29が順に積層される。なお、N−InP基板1d上とP型クラッド層29上には、逆バイアス電圧を印加する電極として、N側電極1cとP側電極1bがそれぞれ形成される。
本実施の形態における半導体光変調器(即ちEA光変調器)は、多重量子井戸層1aとP型クラッド層29との間に配設された、井戸層よりもバンドギャップの大きいP側中間層28と、多重量子井戸層1aとN型クラッド層21との間に配設された、井戸層よりもバンドギャップの大きいN側中間層24とを備え、P側中間層28およびN側中間層24は、P型またはN型であることを特徴とする。
本実施の形態における本実施の形態におけるEA光変調器は、井戸層の厚みを単一の厚みとした点が実施の形態1(図5)と異なる。本実施の形態において多重量子井戸層は、井戸幅7nmの量子井戸と幅9nmの障壁層が交互に13層ずつ積層されて構成される。その他の構成は実施の形態1と同じであるので、説明を省略する。
Claims (8)
- 多重量子井戸層を挟むP型クラッド層とN型クラッド層の間に逆バイアス電圧を印加して駆動する半導体光変調器であって、
前記多重量子井戸層は、交互に積層された複数の井戸層と障壁層を備え、
全ての前記井戸層は、電界非印加時に吸収端が等しく、
第1の逆バイアス電圧を微少量増加させながら印加したときに前記多重量子井戸層にかかる電界の変化率よりも、第1の逆バイアス電圧よりも大きい第2の逆バイアス電圧を微少量増加させながら印加したときに前記多重量子井戸層にかかる電界の変化率が大きいことを特徴とする、
半導体光変調器。 - 前記第1の逆バイアス電圧を印加したときに、前記多重量子井戸層の中間よりも前記P型クラッド層側の前記多重量子井戸層に印加される電界が、前記多重量子井戸層の中間よりも前記N型クラッド層側の前記多重量子井戸層に印加される電界よりも大きいことを特徴とする、
請求項1に記載の半導体光変調器。 - 前記第1の逆バイアス電圧よりも大きい前記第2の逆バイアス電圧を印加したときに、前記多重量子井戸層の中間よりも前記P型クラッド層側の前記多重量子井戸層に印加される電界が、前記多重量子井戸層の中間よりも前記N型クラッド層側の前記多重量子井戸層に印加される電界よりも小さいことを特徴とする、
請求項1または2に記載の半導体光変調器。 - 前記P型クラッド層側から前記N型クラッド層側へ向かって、前記井戸層の厚みが減少することを特徴とする、
請求項1〜3のいずれかに記載の半導体光変調器。 - 前記多重量子井戸層と前記P型クラッド層との間に配設された、前記井戸層よりもバンドギャップの大きいP側中間層と、
前記多重量子井戸層と前記N型クラッド層との間に配設された、前記井戸層よりもバンドギャップの大きいN側中間層と、
を備え、
前記P側中間層および前記N側中間層は、P型またはN型であることを特徴とする、
請求項1〜4のいずれかに記載の半導体光変調器。 - 前記P側中間層および前記N側中間層がP型である場合は、前記N側中間層と前記N型クラッド層との間に、前記N型クラッド層よりも不純物濃度の高いN型ハイドープ層をさらに備え、
前記P側中間層および前記N側中間層がN型である場合は、前記N側中間層と前記P型クラッド層との間に、前記P型クラッド層よりも不純物濃度の高いP型ハイドープ層をさらに備えることを特徴とする、
請求項5に記載の半導体光変調器。 - 前記多重量子井戸層は、InGaAsPまたはInGaAlAsを含むことを特徴とする、
請求項1〜6のいずれかに記載の半導体光変調器。 - 前記井戸層と前記障壁層は、互いに逆の極性の歪みを有することを特徴とする、
請求項1〜7のいずれかに記載の半導体光変調器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012120692A JP2013246343A (ja) | 2012-05-28 | 2012-05-28 | 半導体光変調器 |
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JP2012120692A JP2013246343A (ja) | 2012-05-28 | 2012-05-28 | 半導体光変調器 |
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JP2013246343A true JP2013246343A (ja) | 2013-12-09 |
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Family Applications (1)
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JP2012120692A Pending JP2013246343A (ja) | 2012-05-28 | 2012-05-28 | 半導体光変調器 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016206430A (ja) * | 2015-04-23 | 2016-12-08 | 日本電信電話株式会社 | 半導体受光検出回路および光回路 |
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-
2012
- 2012-05-28 JP JP2012120692A patent/JP2013246343A/ja active Pending
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