JP2019008179A - 半導体光素子 - Google Patents
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Abstract
Description
基板上に形成された量子井戸層をコア層とする導波路構造に沿って形成された電界吸収変調器領域とレーザ領域から構成される半導体光素子であって、
前記導波路構造は、前記量子井戸層を含んだコア層の、前記量子井戸層の積層面に平行な方向の両側にpクラッド層とnクラッド層を配置した導波路構造から形成され、
前記電界吸収変調器領域と前記レーザ領域のコア層が同一の量子井戸構造である
ことを特徴とする半導体光素子。
発明の構成1に記載の半導体光素子であって、
前記基板が、シリコン基板上にSiO2層が形成された2層構造の基板である
ことを特徴とする半導体光素子。
発明の構成1に記載の半導体光素子であって、
前記基板が、単層の半絶縁性(SI)InP基板である
ことを特徴とする半導体光素子。
発明の構成1から3のいずれか1項に記載の半導体光素子であって、
前記導波路構造に沿った前記レーザ領域の後段に、光吸収層として機能し、レーザ後段の端面反射による戻り光を抑制する後段導波路領域を更に有する
ことを特徴とする半導体光素子。
発明の構成1から3のいずれか1項に記載の半導体光素子であって、
前記導波路構造に沿った前記レーザ領域の後段に、受光領域として動作して前記レーザ領域の後段からの光出力をモニタすることができる埋め込みpin構造のモニタ領域を更に有する
ことを特徴とする半導体光素子。
図5は、本発明の実施例1の半導体光素子の構造を示す斜視図である。図6は、本発明の実施例1の半導体光素子の半導体領域のみを示した上面図である。
図8(a)に、本実施例1の半導体光素子の変調器の消光特性(オフ/オン比)を示す。レーザの発振波長を1.55μmに設定することにより、電圧振幅0.8Vと、1V以下の低電圧振幅で10dBの消光特性を実現できる。量子井戸構造の基底準位間波長は1.48μmであり、70nmの離調幅があるが、量子井戸の発光スペクトルの波長広がりは半値幅で約60meV、すなわち125nm程度であり、加えて電流注入に伴うバンドギャップ縮小効果および熱による長波長シフトが生じることから、同一活性層を使用してもレーザ動作可能である。すなわち、レーザの発振波長を量子井戸構造の基底準位間遷移波長に対して長波長側に設定し、離調幅をエネルギー換算で60meV以下となるように設定すれば、本発明の高い効果を有する変調器集積光源が得られる。 図8(b)には比較のため、従来型のQCSEを用いたEA変調器の消光特性を示した。変調器長は同一の200μmとし、コア層厚は200nmである。この構造でも波長1.55μmでの消光特性が得られ、同一活性層を用いたEA−DFBは構成可能であるが、10dBの消光特性を実現するには2V近い電圧振幅が必要であり、本発明における動作バイアス電圧および変調振幅電圧の有利性は明らかである。
図10は、本発明の実施例2の半導体光素子の構造を示す斜視図である。図11は、実施例1の図7と同様に、本発明の実施例2の変調器領域8の断面図11(a)、および変調器領域8とレーザ領域9を接続する接続導波路領域13の断面図11(b)である。
図12は、本発明の実施例3の半導体光素子の斜視図である。また、図13は、実施例3の上面図である。いずれの図においても、図5の実施例1と同じ部分は同じ符号で示す。
図14は本発明の実施例4の半導体光素子の斜視図である。また、図15は実施例4の上面図である。いずれの図においても、図5の実施例1と同じ部分は同じ符号で示す。
2 p型クラッド層(p−InP)
3 n型クラッド層(n−InP)/基板
41 変調信号源
4 レーザコア層(量子井戸層、活性層)
5 n電極
6 p電極
7 pコンタクト層
8 電界吸収変調領域
9 レーザ領域
10 EA−DFBレーザ素子
11 回折格子
12 表面回折格子
13 接続導波路領域
20 シリコン基板
21 SiO2層
22 i−InP層
23、24 コア層(量子井戸層、活性層)
25 n型クラッド層
26 p型クラッド層
27,28 コンタクト層
29、30 電極
31 SiO2保護膜
40 InP基板
50 後段導波路領域
60 モニタ領域
61、62 モニタ電極
Claims (5)
- 基板上に形成された量子井戸層をコア層とする導波路構造に沿って形成された電界吸収変調器領域とレーザ領域から構成される半導体光素子であって、
前記導波路構造は、前記量子井戸層を含んだコア層の、前記量子井戸層の積層面に平行な方向の両側にpクラッド層とnクラッド層を配置した導波路構造から形成され、
前記電界吸収変調器領域と前記レーザ領域のコア層が同一の量子井戸構造である
ことを特徴とする半導体光素子。 - 請求項1に記載の半導体光素子であって、
前記基板が、シリコン基板上にSiO2層が形成された2層構造の基板である
ことを特徴とする半導体光素子。 - 請求項1に記載の半導体光素子であって、
前記基板が、単層の半絶縁性(SI)InP基板である
ことを特徴とする半導体光素子。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体光素子であって、
前記導波路構造に沿った前記レーザ領域の後段に、光吸収層として機能し、レーザ後段の端面反射による戻り光を抑制する後段導波路領域を更に有する
ことを特徴とする半導体光素子。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体光素子であって、
前記導波路構造に沿った前記レーザ領域の後段に、受光領域として動作して前記レーザ領域の後段からの光出力をモニタすることができる埋め込みpin構造のモニタ領域を更に有する
ことを特徴とする半導体光素子。
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