JP5877500B2 - シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 - Google Patents
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Description
前記ドープガスがPH 3 であり、
前記シリコン基板の直径が300mm、前記原料ガスの流量が7〜13slm、キャリアガスの流量が40〜80slm、前記サセプタの回転数が15〜45rpmの条件で、前記エピタキシャル層の成長温度を1160℃以上1180℃以下としたことを特徴とする。
エピタキシャル層の抵抗率と外周ダレとの関係を見るために、導電型がN型(ボロンドープ)、直径300mm、抵抗率10Ω・cm、結晶面方位(100)、CZ法で製造されたシリコン単結晶ウェーハの試料を複数準備した。エピタキシャル成長温度1140℃、トリクロロシランの流量が7〜13slm、キャリアガス(H2)(第1のキャリアガス供給管202を流れるキャリアガス)の流量が40〜80slm、第2のキャリアガス供給管204(図2参照)を流れるH2の流量がゼロ、サセプタ回転数が15〜45rpmの条件で、準備した各ウェーハ上に厚さ3.5μmのエピタキシャル層を成膜した。このとき、PH3の流量を振って、各ウェーハに成膜するエピタキシャル層の抵抗率を表1のように振った。なお、表1の各抵抗率は四探針法で測定した。そして、エピタキシャル成長前後でウェーハ表面のZDD(FrontZDD)を測定した。なお、ZDDは、ウェーハの高さをウェーハの半径方向の長さで2回微分を行ったものである。別の言い方をすると、ZDDは、ウェーハの表面変位量(nm)をウェーハの径方向の位置変化(mm)で微分したものである。FrontZDD=0は、表面変位量の傾きが変化していないことを示す。
成長温度と外周ダレとの関係を見るため抵抗率0.0045Ω・cmのエピタキシャル層を成長させる実験を行った。具体的には、実験1と同様に、導電型がN型(Pドープ)、直径300mm、抵抗率10Ω・cm、結晶面方位(100)、CZ法で製造されたシリコン単結晶ウェーハの試料を複数準備した。トリクロロシランの流量が7〜13slm、キャリアガス(H2)(第1のキャリアガス供給管202を流れるキャリアガス)の流量が40〜80slm、第2のキャリアガス供給管204(図2参照)を流れるH2の流量がゼロ、サセプタ回転数が15〜45rpm、PH3の流量が2.7slmの条件で、準備した各ウェーハ上に厚さ3.5μm、抵抗率が0.0045Ω・cmのエピタキシャル層を成膜した。このとき、各ウェーハの成長温度を表2のように振った。そして、実験1と同様に、エピタキシャル成長前後でウェーハ表面のZDD(FrontZDD)を測定した。
10 ヒータ
12 反応容器
17 サセプタ
20 ガス供給管
Claims (1)
- 反応容器の水平方向における一端側からエピタキシャル成長用の原料ガス及びドープガスを前記反応容器内に供給して、前記反応容器内にサセプタにより水平に支持されたシリコン基板上に導電型がN型、抵抗率が0.007Ω・cm以下のエピタキシャル層を気相成長させるシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法において、
前記ドープガスがPH 3 であり、
前記シリコン基板の直径が300mm、前記原料ガスの流量が7〜13slm、キャリアガスの流量が40〜80slm、前記サセプタの回転数が15〜45rpmの条件で、前記エピタキシャル層の成長温度を1160℃以上1180℃以下としたことを特徴とするシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法。
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