JP7367497B2 - 炭化ケイ素多結晶膜の成膜方法、および、炭化ケイ素多結晶基板の製造方法 - Google Patents
炭化ケイ素多結晶膜の成膜方法、および、炭化ケイ素多結晶基板の製造方法 Download PDFInfo
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Description
また、本実施形態の炭化ケイ素多結晶基板の製造方法は、支持基板100に炭化ケイ素多結晶膜200を成膜する成膜工程と、成膜工程により得られた、支持基板100と炭化ケイ素多結晶膜200との積層体300から支持基板100を除去する除去工程とを含む。
成膜工程について、図面を参照して説明する。以下の説明は成膜工程の一例であり、問題のない範囲で温度、圧力等の各条件や、手順等を変更してもよい。
次に、成膜工程により得られた積層体300を、除去工程に供する。除去工程は、支持基板100と炭化ケイ素多結晶膜200との積層体300から支持基板100を除去する工程である。
本実施形態の炭化ケイ素多結晶基板の製造方法により得られた炭化ケイ素多結晶基板内の空隙は、例えば、以下の方法により評価することができる。すなわち、炭化ケイ素多結晶基板の厚さ方向と平行な断面を走査型電子顕微鏡(SEM)にて撮像し、撮影した画像において炭化ケイ素多結晶の成膜部分と空隙の面積をそれぞれ計測する。計測した面積を用いて、炭化ケイ素多結晶の成膜部分の面積/全体の面積×100(%)(以下、「炭化ケイ素多結晶の面積割合(%)」と記載することがある。)を算出する。空隙の少ない炭化ケイ素多結晶基板と判定するための炭化ケイ素多結晶の面積割合(%)の基準値を設定しておき、この炭化ケイ素多結晶の面積割合(%)が基準値以上であったとき、製造した炭化ケイ素多結晶基板の空隙が少ないと判断することができる。この基準値は、例えば、空隙が与える炭化ケイ素多結晶基板の抵抗値への影響を考慮して、99.9%とすることができる。
[炭化ケイ素多結晶基板の製造]
直径6インチ、厚み500μmの黒鉛製の支持基板を前述した実施形態の成膜装置1000の成膜室に保持して、成膜工程を行った。まず、成膜室1010内へArガスを流入させながら、成膜室1010内を不図示の排気ポンプにより20kPaに減圧した後、1400℃まで加熱して、1400℃に達したのちArガスの供給を停止した。原料ガスとして、SiCl4、CH4を用い、キャリアガスとしてH2を用い、不純物ドーピングガスとしてN2を用いた。炭化ケイ素多結晶膜の成膜におけるガスの流量は、窒素ガスを20slm、四塩化ケイ素ガスを1slm、メタンガスを1slm、水素ガスを1slmとした。すなわち、窒素ガスの窒素原子、四塩化ケイ素ガスのケイ素原子、メタンガスの炭素原子、および、水素ガスの水素原子の原子数の比率が、N:Si:C:H=40:1:1:2となるようにした。成膜室1010内に上記ガスを供給し、成膜室1010内の圧力を20kPaで維持しながら、10時間の成膜を実施した。以上により、支持基板と、厚さ600μmの炭化ケイ素多結晶膜との積層体を得た。その後、全てのガスの供給を停止し、Arガスを供給することで大気圧まで復圧させながら、成膜室1010内を室温まで冷却した。
次に、得られた炭化ケイ素多結晶基板の評価を行った。得られた炭化ケイ素多結晶基板の厚さ方向と平行な断面を走査型電子顕微鏡(SEM)にて撮像し、撮影した画像において炭化ケイ素多結晶の成膜部分と空隙の面積をそれぞれ計測した。計測した面積を用いて、炭化ケイ素多結晶の成膜部分の面積/全体の面積×100(%)を算出した。炭化ケイ素貼り合わせ基板をデバイス製造に用いた場合に、印加した電圧により流れる電流がこの空隙において大きな抵抗となり、所定の電気特性が得られない等の問題を十分に抑制するという観点から、空隙の少ない炭化ケイ素多結晶基板と判定するための炭化ケイ素多結晶の面積割合(%)の基準値を99.9%と設定した。この炭化ケイ素多結晶の面積割合(%)が99.9%以上であったとき、製造した炭化ケイ素多結晶基板の空隙が少ないと判断した。実施例1において得られた炭化ケイ素多結晶基板の評価したところ、炭化ケイ素多結晶の面積割合(%)は99.95%であった。
成膜工程において、水素ガスの流量を種々変更したこと以外は実施例1と同様の方法により炭化ケイ素多結晶基板を製造して、得られた炭化ケイ素多結晶基板の評価を行った。水素ガスの流量、原子比、炭化ケイ素多結晶の面積割合(%)の結果を表1に示した。原子比は、窒素ガスの窒素原子、四塩化ケイ素ガスのケイ素原子、メタンガスの炭素原子、および、水素ガスの水素原子の原子数の比率を示した。
200 炭化ケイ素多結晶膜
300 積層体
500 炭化ケイ素多結晶基板
Claims (4)
- 化学的気相成長法により、窒素ガス、ケイ素系ガス、炭素系ガス、および、水素ガスのみを用いて、支持基板上に炭化ケイ素多結晶膜を成膜する成膜工程を含み、
前記成膜工程において用いられる、前記窒素ガスの窒素原子、前記ケイ素系ガスのケイ素原子、前記炭素系ガスの炭素原子、および、前記水素ガスの水素原子の原子数の比率が、N:Si:C:H=40:1:1:2~40:1:1:20の範囲内であり、かつ、前記水素ガスの流量が1slm~10slmの範囲内である、炭化ケイ素多結晶の面積割合が99.9%以上の炭化ケイ素多結晶膜の成膜方法。 - 前記ケイ素系ガスが、四塩化ケイ素、トリクロロシラン、および、ジクロロシランからなる群から選択される少なくとも一つである、請求項1に記載の炭化ケイ素多結晶膜の成膜方法。
- 前記炭素系ガスが、メタン、アセチレン、プロパンからなる群から選択される少なくとも一つである、請求項1または2に記載の炭化ケイ素多結晶膜の成膜方法。
- 請求項1~3のいずれか1項に記載の炭化ケイ素多結晶膜の成膜方法により得られた、支持基板と炭化ケイ素多結晶膜との積層体から前記支持基板を除去して、炭化ケイ素多結晶基板を製造する、炭化ケイ素多結晶基板の製造方法。
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