JP6117522B2 - エピタキシャル炭化珪素ウエハの製造方法 - Google Patents
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(1)複数の炭化珪素単結晶基板を成長室内で互いに隙間を空けて積層する方向に配列させる縦型配列構造の基板処理装置を用いて、それぞれの炭化珪素単結晶基板の表面に炭化珪素単結晶薄膜をエピタキシャル成長させるエピタキシャル炭化珪素ウエハの製造方法であって、
炭化珪素単結晶薄膜を形成するのに用いる珪素源を含んだ珪素材料ガス、炭素源を含んだ炭素材料ガス、及び窒素を含んだドーピングガスは、成長室内を縦方向に沿って配置される珪素材料ガス導入管、炭素材料ガス導入管、及びドーピングガス導入管を通じてそれぞれ個別に成長室内に導入されると共に、これらのガス導入管が炭化珪素単結晶基板間の各隙間に対応する位置にそれぞれガス吹出し口を有しており、
各炭化珪素単結晶基板の表面にそれぞれ珪素材料ガス、炭素材料ガス、及びドーピングガスを供給して熱CVD法により炭化珪素単結晶薄膜を形成する際に、前記ドーピングガスは、キャリアガスとして希ガスを混合して供給することを特徴とするエピタキシャル炭化珪素ウエハの製造方法。
(2)前記珪素材料ガス又は炭素材料ガスのうちのガス流量が少ない方を基準にして、該基準ガス流量の10%以上に相当する流量となるように希ガスを混合したドーピングガスを成長室内に導入する(1)に記載のエピタキシャル炭化珪素ウエハの製造方法。
(3)前記珪素材料ガスは、珪素源がSiH4、SiH3Cl、SiH2Cl2、SiHCl3、及びSiCl4からなる群から選ばれた1種又は2種以上の珪素源ガスであって、かつ、キャリアガスとして希ガスが混合されたものであり、前記炭素材料ガスは、炭素源が炭素数5以下の炭化水素からなる炭素源ガスであって、かつ、キャリアガスとして水素ガスが混合されたものである(1)又は(2)に記載のエピタキシャル炭化珪素ウエハの製造方法。
(4)前記珪素材料ガス中の珪素原子数に対する前記炭素材料ガス中の炭素原子数の比(C/Si)を0.5以上1.5以下にして炭化珪素単結晶薄膜をエピタキシャル成長させる(1)〜(3)のいずれかに記載のエピタキシャル炭化珪素ウエハの製造方法。
(5)前記成長室内の温度を1450℃以上1700℃以下にして炭化珪素単結晶薄膜をエピタキシャル成長させる(1)〜(4)のいずれかに記載のエピタキシャル炭化珪素ウエハの製造方法。
図1には、縦型配列構造を有する基板処理装置の概要を説明する説明図が示されており、図2には、その成長室内において互いに隙間を空けて縦型に配列されたSiC基板に対して、珪素材料ガス、炭素材料ガス、及びドーピングガスをそれぞれ個別のガス導入管を通じて供給し、熱CVD法によりSiC単結晶薄膜を形成する様子を説明する説明図が示されている。
4インチ(100mm)基板用の炭化珪素(SiC)単結晶インゴットから、約400μmの厚さでスライスし、粗削りとダイヤモンド砥粒による通常研磨を実施した4H型のポリタイプを有するSiC単結晶基板を複数用意し、それぞれのSi面を成長面として、以下のようにして熱CVD法によりSiC単結晶薄膜のエピタキシャル成長を実施した。なお、これらのSiC単結晶基板のオフ角はいずれも4°である。
表2に示したように、珪素源ガス及び炭素源ガスの種類とその濃度を変更すると共に、珪素材料ガス、炭素材料ガス、及びドーピングガスの流量、並びに成長温度を変える以外は実施例1と同様にして、縦型配列構造を有した基板処理装置1を用いてエピタキシャルSiCウエハを製造した。
実施例1〜15で用いた基板処理装置1における6本のカーボン製ガス導入管のうち、ドーピングガスを専用で導入するiv)のドーピングガス導入管6は使用せずに、i)、iii)及びvi)の炭素材料ガス導入管5を使って、窒素を混合した炭素材料ガスを成長室内に導入した。また、珪素材料ガスについては、ii)珪素材料ガス導入管4、及びv)珪素材料ガス導入管4を使って成長室内に導入した。
実施例1〜15で用いた基板処理装置1における6本のカーボン製ガス導入管のうち、ドーピングガスを専用で導入するiv)のドーピングガス導入管6は使用せずに、ii)及びv)の珪素材料ガス導入管4を使って、窒素を混合した窒素材料ガス成長室内に導入した。また、炭素材料ガスについては、i)、iii)及びvi)の炭素材料ガス導入管5を使って成長室内に導入した。
アルゴンガスを混ぜることなく、窒素ガスを毎分20cm3の流量でiv)のドーピングガス導入管6を通じて成長室内に導入するようにした以外は実施例1と同様にして、エピタキシャルSiCウエハを製造した。得られた全20枚のエピタキシャルSiCウエハでのSiC単結晶薄膜の平均膜厚は10.5μmであった。また、この比較例1のエピタキシャル成長におけるC/Si比は0.9である。
Claims (5)
- 複数の炭化珪素単結晶基板を成長室内で互いに隙間を空けて積層する方向に配列させる縦型配列構造の基板処理装置を用いて、それぞれの炭化珪素単結晶基板の表面に炭化珪素単結晶薄膜をエピタキシャル成長させるエピタキシャル炭化珪素ウエハの製造方法であって、
炭化珪素単結晶薄膜を形成するのに用いる珪素源を含んだ珪素材料ガス、炭素源を含んだ炭素材料ガス、及び窒素を含んだドーピングガスは、成長室内を縦方向に沿って配置される珪素材料ガス導入管、炭素材料ガス導入管、及びドーピングガス導入管を通じてそれぞれ個別に成長室内に導入されると共に、これらのガス導入管が炭化珪素単結晶基板間の各隙間に対応する位置にそれぞれガス吹出し口を有しており、
各炭化珪素単結晶基板の表面にそれぞれ珪素材料ガス、炭素材料ガス、及びドーピングガスを供給して熱CVD法により炭化珪素単結晶薄膜を形成する際に、前記ドーピングガスは、キャリアガスとして希ガスを混合して供給することを特徴とするエピタキシャル炭化珪素ウエハの製造方法。 - 前記珪素材料ガス又は炭素材料ガスのうちのガス流量が少ない方を基準にして、該基準ガス流量の10%以上に相当する流量となるように希ガスを混合したドーピングガスを成長室内に導入する請求項1に記載のエピタキシャル炭化珪素ウエハの製造方法。
- 前記珪素材料ガスは、珪素源がSiH4、SiH3Cl、SiH2Cl2、SiHCl3、及びSiCl4からなる群から選ばれた1種又は2種以上の珪素源ガスであって、かつ、キャリアガスとして希ガスが混合されたものであり、前記炭素材料ガスは、炭素源が炭素数5以下の炭化水素からなる炭素源ガスであって、かつ、キャリアガスとして水素ガスが混合されたものである請求項1又は2に記載のエピタキシャル炭化珪素ウエハの製造方法。
- 前記珪素材料ガス中の珪素原子数に対する前記炭素材料ガス中の炭素原子数の比(C/Si)を0.5以上1.5以下にして炭化珪素単結晶薄膜をエピタキシャル成長させる請求項1〜3のいずれかに記載のエピタキシャル炭化珪素ウエハの製造方法。
- 前記成長室内の温度を1450℃以上1700℃以下にして炭化珪素単結晶薄膜をエピタキシャル成長させる請求項1〜4のいずれかに記載のエピタキシャル炭化珪素ウエハの製造方法。
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