JP5874144B2 - セラミックス材料及びその製造方法 - Google Patents
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Description
原料粉末の主材料として、99.9%以上の高純度Y2O3粉末を、添加材として、純度95%以上のZrB2、ZrC、ZrN粉末を用いた。これらの原料粉末を表1に示す各配合比率になるように秤量し、ボールミル混合を行った。ボールミル混合は、ナイロン製の2Lポット及び高純度で直径5mm〜12mmの球状ジルコニアボールを用い、メタノール溶媒にて24時間実施した。その後60℃にて乾燥させた後、メノウ乳鉢を用いて粉砕し、その後、目開き300μmの篩を用いて整粒した。
表1に示すように、Y2O3に、ZrB2,ZrC,ZrNを本発明の範囲で添加し焼結することにより、電気抵抗値は低下し、107〜1012Ωcmの範囲を示した(試料1〜9)。添加量及び添加物種により電気抵抗値特性が異なるため、ZrB2,ZrC,ZrNから1種、又は複数種を配合、調整することで任意の電気抵抗値に制御できる。
試料10との比較から、試料1〜9では、ZrB2,ZrC,ZrNの固溶によるY2O3のピークシフトが確認され、ZrB2,ZrC,ZrNがY2O3に固溶していることが確認された。なお、Zrを10モル%含む試料5においては、前記Y2O3ピークのほか、添加材であるZrNのピークが検出された。
前記実施例1に記載の製造工程にて、直径30mm、厚み3mmの試料を作製した後、その試料の一部にマスクテープを施し、評価用試料とした。試料の組成は表2のとおりとした。
各試料の耐腐食性を評価するため、平行平板型反応性イオンプラズマエッチング装置を用い、腐食ガスにはCF4を使用し、ガス圧10Pa、照射合計時間120分間の条件にて、試料14〜21に対してプラズマエッチング(腐食)を行った。耐腐食性は、以下のとおり腐食量と面粗さにて評価した。
プラズマエッチング後にマスクテープを剥がし、マスクにより腐食されなかった面と腐食面との段差を腐食量とし、比較試料20、21のY2O3及びAl2O3との比較により耐腐食性を評価した。高い耐腐食性を有する試料ほど、小さい腐食量を示す。前記段差の測定には、輪郭形状測定機(サーフコム2800、(株)東京精密製)を用いた。
耐腐食性の高い相と、耐腐食性の低い相の両方を有する試料においては、腐食量の値は、高耐腐食性の相の特性に大きく依存し、耐腐食性の低い相が存在しても殆ど劣化しない結果となるが、耐腐食性の低い相が選択的に腐食されることで、面粗さは劣化する。腐食によるパーティクルの発生をより低減するには、この面の荒れも抑制することが望まれる。そこで、前記腐食量を用いた耐腐食性の評価に加え、面粗さでの耐腐食性評価も実施した。すなわち、JIS B0601 1994により、各試料のエッチング面の面粗さを測定し、比較試料20、21のY2O3及びAl2O3の腐食面の面粗さと比較することで、耐腐食性の評価を行った。高い耐腐食性を有する試料ほど、小さい面粗さを示す。
◎:Y2O3と同等かそれ以上の耐腐食性。
○:Y2O3よりは低いが、Al2O3よりは高い耐腐食性
×:Al2O3より低い耐腐食性
<腐食量による評価結果>
腐食量による評価では、表2に示すとおり、Zr含有量が0モル%を超え10モル%以下である本発明の試料14〜16,18,19の全てにおいて、試料20のY2O3と同等以上の耐腐食性を有することが確認された。
Zr含有量が0モル%を超え10モル%以下である本発明の試料14〜16,18,19の全てにおいて、面粗さは、試料21のAl2O3と比べ小さく、良好な耐腐食性を示した。これに対して、Zr含有量が20モル%である試料17は、試料21のAl2O3より面粗さが劣化した。つまり、酸化イットリウムの電気抵抗を下げ、かつ耐腐食性の劣化を抑制するには、Zr含有量は0モル%を超え、10モル%以下とすることが必要である。
実施例1に記載の試料3、6、8、11を乳鉢にて粉砕し、目開き37μmのメッシュにて篩い整粒することで、測定用試料とした。表3に各試料の組成と焼結体の電気抵抗値を示す。
SAGA−LS(BL11ビームライン)のシンクロトロン放射光を用いてXAFS測定を行った。得られたスペクトルデータからEXAFS振動データを抽出し、フーリエ変換することで図1に示す動径分布関数を得た。
Claims (5)
- 4価元素を含むホウ化物、炭化物及び窒化物の群から選ばれる1種以上の非酸化物セラミックスが固溶した酸化イットリウムを主成分とし、前記4価元素の量が0モル%を超え、10モル%以下の範囲にあるセラミックス材料。
- 前記4価元素を含むホウ化物、炭化物及び窒化物の群から選ばれる1種以上の非酸化物セラミックスに加え、更に4価元素を含む酸化物セラミックスが固溶した酸化イットリウムを主成分とし、前記酸化イットリウム中に含まれる前記4価元素の総量が0モル%を超え、10モル%以下の範囲にある請求項1に記載のセラミックス材料。
- 前記4価元素の量が0モル%を超え、5モル%以下の範囲にある請求項1又は2に記載のセラミックス材料。
- 前記4価元素がジルコニウムである請求項1〜3のいずれかに記載のセラミックス材料。
- モル比にて同量の酸化ジルコニウムが固溶した酸化イットリウムのイットリウム原子と酸素原子の結合を示すピークの動径分布強度を1とした際に、イットリウム原子と酸素原子の結合を示すピークの動径分布強度が0.6〜0.95の強度を有する請求項1〜4のいずれかに記載のセラミックス材料。
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