JP5854123B2 - 水晶振動子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
が共振して、所定の周波数を発生する。
20、91 水晶振動板
20W 水晶ウェハ
22 上側接合膜
24、25 下側接合膜
26 水晶振動片
28 励伸電極膜
30 リッドガラス
30W リッド用ガラスウェハ
32 ベースガラス
36 第1のガラス板
36W 第1のガラスウェハ
37 第2のガラス板
37W 第2のガラスウェハ
38 第3のガラス板
38W 第3のガラスウェハ
80 回路基板
81 電極パッド
92、93 蓋体
94、95、96 接合膜
Claims (4)
- 側面から底面にかけて第1電極が形成された下側ガラス板と、
前記下側ガラス板上に設けられ、前記下側ガラス板に接する面に前記第1電極に接続する第2電極が形成された水晶板と、
前記水晶板上に設けられた上側ガラス板と、
前記下側ガラス板の前記第1電極が形成された側面において、前記下側ガラス板の上下面に平行で前記側面の端部から端部にわたって設けられた突起部と、
前記下側ガラス板の前記第1電極が形成された側面において、前記突起部と前記水晶板の前記第2電極との間に、前記下側ガラス板の上下面に平行で前記側面の端部から端部にわたって設けられた窪み部と
を有し、
前記第1電極は、前記突起部表面を含め前記側面に形成されている
ことを特徴とする水晶振動子。 - 前記下側ガラス板は、
第1のガラス板と、
前記第1のガラス板上に積層され、1辺のサイズが、前記第1のガラス板の1辺のサイズより長い第2のガラス板と
を有し、
前記第2のガラス板の両端部が、前記第1のガラス板の端部より突出して前記突起部となる
ことを特徴とする請求項1に記載の水晶振動子。 - さらに、前記第2のガラス板上に積層され、1辺のサイズが、前記第2のガラス板の1辺のサイズより短い第3のガラス板
を有する
ことを特徴とする請求項2に記載の水晶振動子。
- 複数の電極パッドを有する回路基板と、
前記回路基板上に実装された水晶振動子と
を含み、
前記水晶振動子は、
側面から底面にかけて第1電極が形成された下側ガラス板と、
前記下側ガラス板上に設けられ、前記下側ガラス板に接する面に前記第1電極に接続する第2電極が形成された水晶板と、
前記水晶板上に設けられた上側ガラス板と、
前記下側ガラス板の前記第1電極が形成された側面において、前記下側ガラス板の上下面に平行で前記側面の端部から端部にわたって設けられた突起部と、
前記下側ガラス板の前記第1電極が形成された側面において、前記突起部と前記水晶板の前記第2電極との間に、前記下側ガラス板の上下面に平行で前記側面の端部から端部にわたって設けられた窪み部と
を有し、
前記第1電極は、前記突起部表面を含め前記側面に形成され、
前記第1電極と、前記電極パッドとは、前記突起部と前記電極パッド間に設けられたはんだによって接合されている
ことを特徴とする電子機器。
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