JP5849777B2 - 半導体装置、冷却システム、及び、半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
12 半導体集積回路素子
12A 回路形成面
12B 非回路形成面
14 スペーサ基板
14A スペーサ基板の厚さ方向一方側の面
14B スペーサ基板の厚さ方向他方側の面
22 貫通ビア
26 はんだバンプ
28 基材
28A 基材の厚さ方向他方側の面
30 樹脂層
32 貫通孔(第一貫通孔の一例)
34 土台部
38 熱伝導性接着剤
40 貫通孔(第二貫通孔の一例)
42 溝
46 保護膜
48 凹部
50 支持台座
60 冷却システム
62 半導体ユニット
64,66 一対のマニフォールド
68 配管
70 ポンプ
72 熱交換器
Claims (9)
- それぞれ貫通ビアを有し、積層された複数の半導体集積回路素子と、
一方の前記半導体集積回路素子における前記貫通ビアと他方の前記半導体集積回路素子における前記貫通ビアとを接続するはんだバンプと、
複数の半導体集積回路素子の間に介在されて前記複数の半導体集積回路素子の各々と接合されたスペーサ基板と、
を備え、
前記スペーサ基板は、
シリコン又はシリコンを含む化合物により形成された基材と、
前記基材に形成されると共に、前記はんだバンプに対応した位置に前記はんだバンプを収容する貫通孔をそれぞれ有し、且つ、複数の前記貫通孔の間に冷媒を通過させるための溝が形成された樹脂層と、
を有する半導体装置。 - 前記貫通孔は、前記樹脂層に形成され、
前記はんだバンプは、前記貫通孔の内周面と接触されている、
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記基材は、前記一方の半導体集積回路素子における回路形成面と熱伝導性接着剤により接合されている、
請求項1又は請求項2に記載の半導体装置。 - 前記樹脂層は、前記他方の半導体集積回路素子における回路形成面とは反対側の非回路形成面と接合されている、
請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記樹脂層は、ポリイミド樹脂により形成されている、
請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記溝の内壁面及び底面には、保護膜が形成されている、
請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 請求項1〜請求項6のいずれか一項に記載の半導体装置と、
前記溝の入口及び出口と接続された一対のマニフォールドと、
前記一対のマニフォールドの一方と他方とを繋ぐ配管と、
前記配管を通じて前記一対のマニフォールドの一方から他方へ冷媒を循環させるポンプと、
前記配管に取り付けられた熱交換器と、
を備えた冷却システム。 - 基材に、その厚さ方向一方側に開口する複数の凹部を形成し、
前記基材の厚さ方向一方側から前記基材に支持台座を貼り合わせ、
前記基材の厚さ方向他方側の面を研磨して前記凹部により第一貫通孔を形成し、
前記基材において隣り合う前記第一貫通孔の間に形成された土台部を前記基材の厚さ方向他方側から覆うと共に前記第一貫通孔を閉塞する樹脂層を前記基材に形成し、
前記樹脂層における前記第一貫通孔の内側の部位に第二貫通孔をそれぞれ形成すると共に、前記樹脂層における前記土台部を覆う部位に前記土台部を底部とする溝を形成し、
前記基材及び前記樹脂層から前記支持台座を取り外して前記基材及び前記樹脂層を有するスペーサ基板を形成し、
前記スペーサ基板の厚さ方向一方側の面を一方の半導体集積回路素子における回路形成面に接合すると共に、前記スペーサ基板の厚さ方向他方側の面を他方の半導体集積回路素子における回路形成面とは反対側の非回路形成面と接合し、且つ、前記第二貫通孔に収容したはんだバンプにより前記一方の半導体集積回路素子における貫通ビアと前記他方の半導体集積回路素子における貫通ビアとを接合して、複数の前記半導体集積回路素子、前記はんだバンプ、及び、前記スペーサ基板を有する半導体装置を得る、
半導体装置の製造方法。 - 前記はんだバンプにより複数の前記半導体集積回路素子における前記貫通ビアを接合する際に、加圧及び加熱することで、前記スペーサ基板の前記樹脂層と前記他方の半導体集積回路素子における前記非回路形成面とを接合する、
請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
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