JP5843889B2 - ワイヤ放電加工装置 - Google Patents
ワイヤ放電加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5843889B2 JP5843889B2 JP2013554212A JP2013554212A JP5843889B2 JP 5843889 B2 JP5843889 B2 JP 5843889B2 JP 2013554212 A JP2013554212 A JP 2013554212A JP 2013554212 A JP2013554212 A JP 2013554212A JP 5843889 B2 JP5843889 B2 JP 5843889B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- cutting wire
- cutting
- wire
- wire portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
- B23H7/02—Wire-cutting
- B23H7/06—Control of the travel curve of the relative movement between electrode and workpiece
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
- B23H7/02—Wire-cutting
- B23H7/08—Wire electrodes
- B23H7/10—Supporting, winding or electrical connection of wire-electrode
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H1/00—Electrical discharge machining, i.e. removing metal with a series of rapidly recurring electrical discharges between an electrode and a workpiece in the presence of a fluid dielectric
- B23H1/02—Electric circuits specially adapted therefor, e.g. power supply, control, preventing short circuits or other abnormal discharges
- B23H1/028—Electric circuits specially adapted therefor, e.g. power supply, control, preventing short circuits or other abnormal discharges for multiple gap machining
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
- B23H7/02—Wire-cutting
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係るワイヤ放電加工装置100の概略構成を示す斜視図である。図1において、ワイヤ放電加工装置100は、ワイヤ電極2を繰り出すワイヤボビン1、第1のガイドローラ3a、第2のガイドローラ3b、第3のガイドローラ3c、第4のガイドローラ3d、第5のガイドローラ3e、第6のガイドローラ3f、およびワイヤ電極2を回収する回収ローラ5を備える。第1〜第6のガイドローラ3a〜3fのそれぞれには1本のワイヤ電極2が順次巻き掛けられ、軸線方向に並行に並んだワイヤ電極2が配置されている。ワイヤ放電加工時において、ワイヤ電極2はワイヤボビン1から上記経路を経て回収ローラ5まで走行する。
Ps=Pw・sinΨ (式1)
なる関係式が成り立ち、Ps≦Pwとなることは云うまでもない。
図2は、本発明に係る実施の形態2の切断ワイヤ部2aと被加工物8を切断ワイヤ部2aの張架方向から見た平面図である。被加工物移動ステージ81は、移動方向80に駆動されるような構造を有している。また、被加工物移動ステージ81の被加工物固定面86は、複数の切断ワイヤ2a1〜2a5を有する切断ワイヤ部2aの並列方向と平行となるように構成されている。その他の構成は、実施の形態1と同様である。
図4は、本発明の実施の形態3に係るワイヤ放電加工装置100の切断ワイヤ部2aと被加工物8を切断ワイヤ部2aの張架方向から見た平面図である。本実施の形態に係るワイヤ放電加工装置100は、複数の切断ワイヤ2a1〜2a5を有する切断ワイヤ部2aの並列方向に対する被加工物8の端面の傾斜角度を計測する角度計測手段9を備えた構造になっている。角度計測手段9としては、例えばレーザ変位計などの非接触式計測手段を用いることが可能である。
図6は、本発明の実施の形態4に係るワイヤ放電加工装置100の切断ワイヤ部2aと被加工物8を切断ワイヤ部2aの張架方向から見た平面図である。本実施の形態に係るワイヤ放電加工装置100は、被加工物移動ステージ81が切断ワイヤ部2aの並列方向に対して傾斜角を持って駆動し、被加工物8を加工する。具体的には、図6に示すように被加工物をZ方向(切断ワイヤ部2aの平面と垂直方向)に駆動可能な軸と、X方向(切断ワイヤ部2aの平面と水平方向)に駆動可能な軸との2軸を備えている。これらの2軸を同時に制御することで相対的に被加工物移動ステージ81が切断ワイヤ部2aに対して傾斜角を持って駆動することになる。また、本実施の形態のその他の構成は実施の形態1または2のワイヤ放電加工装置100と同様である。
Claims (5)
- ワイヤ電極を複数のガイドローラに巻回することにより被加工物に対向するように並列した複数の切断ワイヤを有する切断ワイヤ部と、
前記被加工物と前記切断ワイヤ部との相対距離を制御する駆動手段と、
前記被加工物と複数の前記切断ワイヤとの間にパルス電圧を印加するパルス電圧発生手段と、
前記被加工物の端面の傾斜角度を計測する角度計測手段と、
を備え、
前記切断ワイヤ部は、前記駆動手段の駆動方向に垂直な面に対して平行となるように配置され、
前記被加工物の端面が、前記駆動手段の駆動方向に垂直な面に対して前記切断ワイヤ部の張架方向から見て前記傾斜角度を有して配置され、
前記パルス電圧発生手段は、前記傾斜角度に基づいて前記パルス電圧を印加する前記切断ワイヤを選択する
ことを特徴とするワイヤ放電加工装置。 - ワイヤ電極を複数のガイドローラに巻回することにより被加工物に対向するように並列した複数の切断ワイヤを有する切断ワイヤ部と、
前記被加工物と前記切断ワイヤ部との相対距離を制御する駆動手段と、
前記被加工物と複数の前記切断ワイヤとの間にパルス電圧を印加するパルス電圧発生手段を備え、
前記切断ワイヤ部は、前記駆動手段の駆動方向に垂直な面に対して前記切断ワイヤの張架ピッチより前記被加工物に形成される加工溝のピッチが小さくなるような傾斜角を有する面に張架方向が平行となるように配置され、
前記被加工物の端面が、前記駆動手段の駆動方向に垂直になるように配置され、
前記パルス電圧発生手段は、前記傾斜角に基づいて前記パルス電圧を印加する前記切断ワイヤを選択する
ことを特徴とするワイヤ放電加工装置。 - 前記駆動手段は、前記傾斜角を変更可能である
ことを特徴とする請求項2に記載のワイヤ放電加工装置。 - 前記傾斜角を変更可能なワイヤ走行手段を備える、
ことを特徴とする請求項2に記載のワイヤ放電加工装置。 - 前記傾斜角を測定する非接触式の角度計測手段を、備える
ことを特徴とする請求項2から4のいずれか1項に記載のワイヤ放電加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013554212A JP5843889B2 (ja) | 2012-01-18 | 2012-12-17 | ワイヤ放電加工装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012007807 | 2012-01-18 | ||
JP2012007807 | 2012-01-18 | ||
PCT/JP2012/082696 WO2013108530A1 (ja) | 2012-01-18 | 2012-12-17 | ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工方法、薄板製造方法、および半導体ウェハ製造方法 |
JP2013554212A JP5843889B2 (ja) | 2012-01-18 | 2012-12-17 | ワイヤ放電加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2013108530A1 JPWO2013108530A1 (ja) | 2015-05-11 |
JP5843889B2 true JP5843889B2 (ja) | 2016-01-13 |
Family
ID=48798967
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013554212A Active JP5843889B2 (ja) | 2012-01-18 | 2012-12-17 | ワイヤ放電加工装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9707638B2 (ja) |
JP (1) | JP5843889B2 (ja) |
CN (1) | CN104053520B (ja) |
DE (1) | DE112012005697B4 (ja) |
WO (1) | WO2013108530A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6348131B2 (ja) * | 2016-01-07 | 2018-06-27 | ファナック株式会社 | 給電線の劣化検出機能を有するワイヤ放電加工機 |
CN115297984A (zh) * | 2020-03-18 | 2022-11-04 | 三菱电机株式会社 | 多线放电加工机、多线放电加工系统 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS573529U (ja) * | 1980-06-04 | 1982-01-09 | ||
JPH032290Y2 (ja) | 1986-04-18 | 1991-01-22 | ||
JP2000094221A (ja) | 1998-09-24 | 2000-04-04 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | 放電式ワイヤソー |
JP4629393B2 (ja) * | 2004-09-10 | 2011-02-09 | 三菱電機株式会社 | ワイヤ放電加工装置 |
JP4912330B2 (ja) | 2008-01-18 | 2012-04-11 | 三菱電機株式会社 | ワイヤ放電加工装置 |
JP2009166221A (ja) | 2008-01-21 | 2009-07-30 | Hitachi Koki Co Ltd | 燃焼式釘打機 |
JP4948441B2 (ja) * | 2008-02-06 | 2012-06-06 | 三菱電機株式会社 | ワイヤ放電加工装置およびワイヤ断線検出方法 |
JP2009226504A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Mitsubishi Electric Corp | ワイヤ放電加工装置 |
DE112009001483B4 (de) * | 2008-06-16 | 2020-01-09 | Mitsubishi Electric Corp. | Drahtelektroerosionsbearbeitungsvorrichtung, drahtelektroerosionsbearbeitungsverfahren, dünnplattenherstellungsverfahren und halbleiterwaferherstellungsverfahren |
JP2011062764A (ja) | 2009-09-16 | 2011-03-31 | Tokyo Cathode Laboratory Co Ltd | ワイヤ放電加工装置 |
JPWO2011125656A1 (ja) | 2010-04-09 | 2013-07-08 | 三菱電機株式会社 | 放電加工装置および放電加工方法 |
JP5430771B2 (ja) | 2010-10-01 | 2014-03-05 | 三菱電機株式会社 | ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工方法、薄板製造方法および半導体ウェハ製造方法 |
WO2013073225A1 (ja) | 2011-11-17 | 2013-05-23 | 三菱電機株式会社 | ワイヤ放電加工装置および半導体ウエハ製造方法 |
-
2012
- 2012-12-17 DE DE112012005697.3T patent/DE112012005697B4/de active Active
- 2012-12-17 CN CN201280067416.4A patent/CN104053520B/zh active Active
- 2012-12-17 WO PCT/JP2012/082696 patent/WO2013108530A1/ja active Application Filing
- 2012-12-17 US US14/364,188 patent/US9707638B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2012-12-17 JP JP2013554212A patent/JP5843889B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9707638B2 (en) | 2017-07-18 |
WO2013108530A1 (ja) | 2013-07-25 |
US20140332503A1 (en) | 2014-11-13 |
DE112012005697T5 (de) | 2014-10-02 |
DE112012005697B4 (de) | 2020-06-10 |
JPWO2013108530A1 (ja) | 2015-05-11 |
CN104053520A (zh) | 2014-09-17 |
CN104053520B (zh) | 2016-08-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5460864B2 (ja) | ワイヤ放電加工装置および薄板製造方法 | |
JP5079091B2 (ja) | ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工方法、薄板製造方法および半導体ウエハ製造方法 | |
Dongre et al. | Multi-objective optimization for silicon wafer slicing using wire-EDM process | |
JP6195539B2 (ja) | ワイヤ放電加工装置および半導体ウエハ製造方法 | |
JP5930883B2 (ja) | マルチワイヤ放電加工装置 | |
TW201622860A (zh) | 線放電加工裝置及半導體晶圓之製造方法 | |
JP5843889B2 (ja) | ワイヤ放電加工装置 | |
JP5430771B2 (ja) | ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工方法、薄板製造方法および半導体ウェハ製造方法 | |
JP6072236B2 (ja) | ワイヤ放電加工装置、これを用いた薄板の製造方法及び半導体ウエハの製造方法 | |
JP6033190B2 (ja) | マルチワイヤ加工装置及びマルチワイヤ加工方法 | |
TWI721855B (zh) | 線放電加工機 | |
TWI508834B (zh) | A multi-wire discharge machining system, a multi-line discharge processing apparatus, a power supply apparatus, a semiconductor substrate, or a solar cell substrate, and a discharge machining method | |
JP2010105051A (ja) | 形彫放電加工方法および形彫放電加工装置 | |
JP5393501B2 (ja) | ワイヤ放電加工装置 | |
JP6072718B2 (ja) | ワイヤ放電加工装置、薄板の製造方法および半導体ウエハの製造方法 | |
JP7179239B1 (ja) | マルチワイヤ放電加工機、マルチワイヤ放電加工方法、薄板製造方法および半導体ウェハ製造方法 | |
WO2013073225A1 (ja) | ワイヤ放電加工装置および半導体ウエハ製造方法 | |
JP2016140927A (ja) | ウェーハの製造方法及びマルチワイヤ放電加工装置 | |
JP2015009346A (ja) | 電解ドレッシング方法、及び電解ドレッシング装置 | |
JP2012210664A (ja) | ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工方法、薄板製造方法および半導体ウエハ製造方法 | |
TW201813749A (zh) | 線切割加工弱電導體之伺服控制機構及方法 | |
JP2011131319A (ja) | 放電加工用ワイヤおよびマルチ放電加工方法 | |
JP2017087402A (ja) | ワイヤーの接続方法 | |
JP2016083773A (ja) | マルチワイヤ放電加工システム、マルチワイヤ放電加工方法 | |
JP2014065095A (ja) | 電源装置、放電加工装置、その制御方法およびプログラム。 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150728 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150925 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151020 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151117 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5843889 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |