DE112012005697T5

DE112012005697T5 - Drahterodiervorrichtung, Drahterodierverfahren, Dünnplatten-Herstellungsverfahren und Halbleiterwafer-Herstellungsverfahren

Info

Publication number: DE112012005697T5
Application number: DE112012005697.3T
Authority: DE
Inventors: c/o Mitsubishi Electric Corpora Itokazu Atsushi; c/o Mitsubishi Electric Corpor Miyake Hidetaka
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2012-01-18
Filing date: 2012-12-17
Publication date: 2014-10-02
Anticipated expiration: 2032-12-18
Also published as: CN104053520B; JP5843889B2; JPWO2013108530A1; WO2013108530A1; US9707638B2; US20140332503A1; CN104053520A; DE112012005697B4

Abstract

Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Abtrennung einer Drahtelektrode und eine Verringerung der Bearbeitungsoberflächengenauigkeit aufgrund eines Bearbeitungsstroms, der von einem Schneiddrahtteil, in dem keine elektrische Entladung stattgefunden hat, bei einer Endflächenbearbeitung fließt, zu verhindern, und eine Drahterodiervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst eine Steuereinheit, die einen Schneiddraht, an den eine Impulsspannung durch eine Impulsspannungs-Erzeugungseinheit angelegt wird, auf einer Basis eines Winkels, der zwischen einer Endfläche eines Werkstücks und einer Ebene, die mehrere Schneiddrähte enthält, die nicht zur Endfläche parallel sind, gebildet ist, eines Intervalls zwischen den parallelen Schneiddrähten und eines relativen Abstandes zwischen den Schneiddrähten und dem Werkstück auswählt. Eine Antriebseinheit treibt ein Werkstück in einer Richtung an, die zur Ebene, die die Schneiddrähte enthält, nicht vertikal ist, und das Werkstück wird durch Erosion durch Anlegen einer Impulsspannung geschnitten.

Description

Gebiet
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Drahterodiervorrichtung, ein Drahterodierverfahren, ein Dünnplatten-Herstellungsverfahren und ein Halbleiterwafer-Herstellungsverfahren und insbesondere auf eine Drahterodiervorrichtung, ein Drahterodierverfahren, ein Dünnplatten-Herstellungsverfahren und ein Halbleiterwafer-Herstellungsverfahren, bei denen eine Impulsspannung zwischen einem Werkstück und mehreren Schneiddrahtteilen angelegt wird, die durch Wickeln von einer Drahtelektrode um mehrere Führungsrollen gebildet sind und die mit einem Intervall dazwischen angeordnet sind, um das Werkstück durch elektrische Entladung in mehrere Stücke zu schneiden.
Hintergrund
Eine Technik zum Ausbilden von mehreren Schneiddrahtteilen in Bezug auf ein säulenförmiges Werkstück durch Wickeln von einer Drahtelektrode um mehrere Führungsrollen und Anlegen einer Impulsspannung zwischen den Schneiddrahtteilen und dem säulenförmigen Werkstück, um eine elektrische Entladung zu erzeugen, wodurch mehrere dünne Platten aus dem Werkstück gemeinsam ausgeschnitten werden, wurde offenbart (siehe beispielsweise Patentliteratur 1 und Patentliteratur 3).
Gemäß diesem Verfahren sind mehrere Leistungszufuhrteile in einer Drahtelektrode vorgesehen, eine Impulsspannung wird zwischen dem Werkstück und den Schneiddrahtteilen gleichzeitig angelegt, um eine elektrische Entladung zu erzeugen, und mehrere dünne Platten werden gemeinsam aus dem Werkstück ausgeschnitten. Bei der Dünnplattenbearbeitung gemäß diesem Verfahren kann ein Bedarf am Verschmälern des Ausdehnungsabstandsmaßes der Schneiddrahtteile bestehen, um die Dicke der auszuschneidenden dünnen Platten zu verringern. In Bezug auf diesen Bedarf wird in der Patentliteratur 3 jeder der Leistungszufuhrteile, der Leistung zu einem Schneiddrahtteil zuführt, in einer Ausdehnungsrichtung eines Schneiddrahts verschoben und angeordnet, um das Verdünnen der dünnen Platte zu verwirklichen.
Gemäß diesen Verfahren, wie vorstehend beschrieben, wird eine Impulsspannung gleichzeitig zwischen einem Werkstück und Schneiddrahtteilen angelegt, um eine elektrische Entladung zu erzeugen, wodurch gemeinsam mehrere dünne Platten aus dem Werkstück ausgeschnitten werden. Daher fließt ein Strom zur Bearbeitung von einem angrenzenden Leistungszufuhrteil zum Schneiddrahtteil, in dem eine elektrische Entladung stattgefunden hat, wodurch eine Abtrennung einer Drahtelektrode oder eine Verringerung der Bearbeitungsoberflächengenauigkeit verursacht wird.
In Bezug auf dieses Problem schlägt die Patentliteratur 2 ein Verfahren zum Verschieben eines Anlegezeitpunkts einer Impulsspannung an einen angrenzenden Schneiddrahtteil vor. Gemäß diesem Verfahren ist es durch Verschieben des Anlegezeitpunkts der Impulsspannung an Schneiddrahtteile, um die Impedanz zwischen den Schneiddrahtteilen während des Anlegens der Impulsspannung zu erhöhen, möglich zu verhindern, dass ein Bearbeitungsstrom während des Anlegens einer Spannung von den Schneiddrahtteilen fließt, und die elektrische Entladung zu stabilisieren.
Entgegenhaltungsliste
Patentliteraturen

Patentliteratur 1: Japanische Patentoffenlegungsschrift Nr. 2000-94221
Patentliteratur 2: Japanische Patentoffenlegungsschrift Nr. 2011-62764
Patentliteratur 3: Japanische Patentoffenlegungsschrift Nr. 2009-166221

Zusammenfassung
Technisches Problem
Gemäß dem in der Patentliteratur 3 offenbarten Verfahren muss die Dicke von jedem der Leistungszufuhrteile verringert werden, wenn das Ausdehnungsabstandsmaß der Schneiddrähte verschmälert wird. Es besteht jedoch eine Begrenzung beim Verdünnen von jedem der Leistungszufuhrteile und es ist im Allgemeinen schwierig, eine dünne Platte mit einer Dicke von mehreren hundert Mikrometer oder weniger in einem Schneidprozess zu bearbeiten. Dies liegt daran, dass eine von einer Bearbeitungsleistungsquelle herausgeführte Leistungseinspeisung mit einem Leiterteil eines Leistungszufuhrkontakts durch Löten oder dergleichen verbunden ist und die Leistungseinspeisung eine bestimmte Dicke aufweisen muss, da ein Bearbeitungsstrom zu dieser fließt, und folglich ein Abschnitt, der die Leistungseinspeisung und den Leiterteil des Leistungszufuhrkontakts verbindet, eine bestimmte Dicke aufweisen muss.
Andererseits sind bei der eigentlichen elektrischen Entladung ein Werkstück und eine zugewandte Ebene eines Schneiddrahtteils gemäß den Aufbauanordnungen nicht immer parallel. Gemäß der Form des Werkstücks kann ferner eine Bearbeitung erforderlich sein, wenn das Werkstück und die zugewandte Ebene des Schneiddrahtteils nicht parallel sind. Bei einer solchen Bearbeitung tritt eine elektrische Entladung von einem Schneiddrahtteil auf, und wenn die Bearbeitung fortschreitet, tritt eine elektrische Entladung von allen Schneiddrahtteilen auf.
In einer herkömmlichen Drahterodiervorrichtung fließt in einem Fall der Bearbeitung, bei der eine Endfläche eines Werkstücks in Bezug auf eine parallele Richtung der Schneiddrahtteile geneigt ist, da eine Erodierimpulsspannung gleichzeitig an diese Schneiddrahtteile angelegt wird, bei der Endflächenbearbeitung ein Bearbeitungsstrom von einem Schneiddrahtteil, in dem keine elektrische Entladung stattgefunden hat. Daher ist die elektrische Entladung instabil und folglich bestehen Probleme wie z. B. Abtrennung einer Drahtelektrode und eine Verringerung der Bearbeitungsoberflächengenauigkeit.
Die vorliegende Erfindung wurde erreicht, um die obigen Probleme zu lösen, und eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Drahterodiervorrichtung, ein Drahterodierverfahren, ein Dünnplatten-Herstellungsverfahren und ein Halbleiterwafer-Herstellungsverfahren zu schaffen, wobei die Drahterodiervorrichtung ein Verfahren zur Bearbeitung eines Werkstücks zu dünnen Platten mit einer Dicke von mehreren hundert Mikrometer oder weniger aufweist, bei der Drahterosion mehrere Schneiddrahtteile in Bezug auf das Werkstück durch Wickeln einer Drahtelektrode um mehrere Führungsrollen gebildet sind und eine Impulsspannung zwischen den Schneiddrahtteilen und dem Werkstück angelegt wird, um eine elektrische Entladung zu erzeugen, wodurch mehrere dünne Platten gemeinsam aus dem Werkstück ausgeschnitten werden, und die Drahterodiervorrichtung die Abtrennung einer Drahtelektrode und eine Verringerung der Bearbeitungsoberflächengenauigkeit, die durch einen Bearbeitungsstrom verursacht wird, der von einem Schneiddrahtteil, in dem keine elektrische Entladung stattgefunden hat, bei der Endflächenbearbeitung fließt, verhindert. Das heißt, eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, bei der Halbleiterwaferbearbeitung und Dünnplattenbearbeitung eine Drahterodiervorrichtung zu schaffen, die ein Werkstück mit einem schmalen Abstandsmaß schneiden kann und eine stabile Erosion in Bezug auf eine Endfläche eines Werkstücks durchführen kann, wenn eine Ebene, die Schneiddrahtteile enthält, und eine Endfläche des Werkstücks nicht zueinander parallel sind.
Lösung des Problems
Um die obigen Probleme zu lösen und die Aufgabe zu bewerkstelligen, umfasst gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung eine Drahterodiervorrichtung einen Schneiddrahtteil mit mehreren Schneiddrähten, die parallel zueinander angeordnet sind, so dass sie durch Wickeln einer Drahtelektrode um mehrere Führungsrollen einem Werkstück zugewandt sind; eine Antriebseinheit, die einen relativen Abstand zwischen dem Werkstück und dem Schneiddrahtteil steuert; und mehrere Impulsspannungs-Erzeugungseinheiten, die unabhängig eine Impulsspannung zwischen dem Werkstück und den Schneiddrähten anlegen, wobei die Antriebseinheit das Werkstück mit einem Neigungswinkel in Bezug auf eine Ebene, die die Schneiddrähte enthält, anordnet und einen relativen Abstand zwischen den Schneiddrähten und dem Werkstück steuert.
Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung wählen zusätzlich zur Konfiguration der Erfindung des ersten Aspekts die Impulsspannungs-Erzeugungseinheiten einen Schneiddraht, an den eine Impulsspannung angelegt wird, auf der Basis des Neigungswinkels zwischen der Ebene, die die Schneiddrähte enthält, und einer Endfläche des Werkstücks, eines Ausdehnungsabstandsmaßes des Schneiddrahts und des relativen Abstandes aus.
Vorteilhafte Effekte der Erfindung
Gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird bei der Drahterosion, bei der mehrere Schneiddrahtteile für ein Werkstück durch Wickeln einer Drahtelektrode um mehrere Führungsrollen gebildet sind und eine Impulsspannung zwischen den Schneiddrahtteilen und dem Werkstück angelegt wird, um eine elektrische Entladung zu erzeugen, wodurch mehrere dünne Platten gemeinsam aus dem Werkstück ausgeschnitten werden, ein Effekt erhalten, bei dem das Werkstück zu dünnen Platten mit einer Dicke von mehreren hundert Mikrometer oder weniger bearbeitet werden kann, ohne ein Ausdehnungsabstandsmaß der Schneiddrähte zu verschmälern.
Gemäß dem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ferner in einer Drahterodiervorrichtung, in der mehrere Schneiddrahtteile für ein Werkstück durch Wickeln von einer Drahtelektrode um mehrere Führungsrollen gebildet sind und eine Impulsspannung zwischen den Schneiddrahtteilen und dem Werkstück angelegt wird, um eine elektrische Entladung zu erzeugen, wodurch mehrere dünne Platten gemeinsam aus dem Werkstück ausgeschnitten werden, ein Effekt erhalten, bei dem eine elektrische Entladung an einer Endfläche des Werkstücks stabil aufrechterhalten werden kann und eine Abtrennung der Drahtelektrode und eine Verringerung der Bearbeitungsoberflächengenauigkeit unterdrückt werden können.
Kurzbeschreibung der Zeichnungen
1 ist eine perspektivische Ansicht einer schematischen Konfiguration einer Drahterodiervorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
2 ist eine Draufsicht eines Schneiddrahtteils einer Drahterodiervorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und eines Werkstücks aus einer Ausdehnungsrichtung des Schneiddrahtteils betrachtet.
3 ist ein Ablaufplan, der einen Betrieb einer Bearbeitungssteuervorrichtung erläutert, der auf die Drahterodiervorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung angewendet wird.
4 ist eine Draufsicht eines Schneiddrahtteils einer Drahterodiervorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und eines Werkstücks aus einer Ausdehnungsrichtung des Schneiddrahtteils betrachtet.
5 ist ein Diagramm eines Beispiels von Messdaten eines Schneiddrahtteils und eines Werkstücks, die von einer Winkelmesseinheit erfasst werden, die auf die dritte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung angewendet wird.
6 ist eine Draufsicht eines Schneiddrahtteils einer Drahterodiervorrichtung, der auf eine vierte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung angewendet wird, und eines Werkstücks aus einer Ausdehnungsrichtung des Schneiddrahtteils betrachtet.
7 ist ein Beispiel einer Draufsicht des Schneiddrahtteils der Drahterodiervorrichtung, der auf die vierte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung angewendet wird, und des Werkstücks aus einer Ausdehnungsrichtung des Schneiddrahtteils betrachtet.
8 ist eine Draufsicht des Schneiddrahtteils und einer Antriebseinheit, aus der Ausdehnungsrichtung des Schneiddrahtteils betrachtet, der Drahterodiervorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
9 ist eine Draufsicht des Schneiddrahtteils und der Antriebseinheit, aus der Ausdehnungsrichtung des Schneiddrahtteils betrachtet, der Drahterodiervorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
Beschreibung der Ausführungsformen
Beispielhafte Ausführungsformen einer Drahterodiervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung werden nachstehend im Einzelnen mit Bezug auf die begleitenden Zeichnungen erläutert. Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Ausführungsformen begrenzt.
Erste Ausführungsform.
1 ist eine perspektivische Ansicht einer schematischen Konfiguration einer Drahterodiervorrichtung 100 gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In 1 umfasst die Drahterodiervorrichtung 100 eine Drahtspule 1, die eine Drahtelektrode 2 abwickelt, eine erste Führungsrolle 3a, eine zweite Führungsrolle 3b, eine dritte Führungsrolle 3c, eine vierte Führungsrolle 3d, eine fünfte Führungsrolle 3e, eine sechste Führungsrolle 3f und eine Einzugsrolle 5, die die Drahtelektrode 2 einzieht. Eine Drahtelektrode 2 ist nacheinander um die erste bis sechste Führungsrolle 3a bis 3f gewickelt und die Drahtelektroden 2 sind parallel in der axialen Richtung angeordnet. Zum Zeitpunkt der Durchführung der Drahterosion verläuft die Drahtelektrode 2 von der Drahtspule 1 zur Einzugsrolle 5 über einen solchen Weg.
Ein Schneiddrahtteil 2a, der aus den Drahtelektroden 2 gebildet ist, die parallel zueinander verlegt sind, ist zwischen der dritten Führungsrolle 3c und der vierten Führungsrolle 3d der Drahtelektrode 2 gebildet. Ein Werkstück 8, das dem Schneiddrahtteil 2a zugewandt ist, wird in einer Schneidrichtung transportiert, während es durch eine Positionssteuervorrichtung (nicht dargestellt) so gesteuert wird, dass es einen geeigneten Abstand zwischen den Elektroden aufweist. Ein Bearbeitungsfluid wird zwischen dem Werkstück 8 und dem Schneiddrahtteil 2a durch Sprühen oder Eintauchen in derselben Weise wie jener einer allgemeinen Drahterodiervorrichtung zugeführt.
Leistungszufuhrkontakteinheiten 71 kommen jeweils mit mehreren Drahtelektroden 2 in Kontakt, die parallel zueinander zwischen der zweiten Führungsrolle 3b und der dritten Führungsrolle 3c der Drahtelektrode 2 verlegt sind, und dieser Teil wird zu einem Leistungszufuhrkontaktdrahtteil 2b. Die Leistungszufuhrkontakteinheiten 71 sind jeweils mit Bearbeitungsleistungsquelleneinheiten 61 verbunden, um eine Impulsspannung an die jeweiligen Schneiddrähte, die den Schneiddrahtteil 2a bilden, über den Leistungszufuhrkontaktdrahtteil 2b anzulegen. Die jeweiligen Leistungszufuhrkontakteinheiten 71, die voneinander isoliert sind, sind integriert, um einen Leistungszufuhrkontakt 7 zu bilden.
Die jeweiligen Bearbeitungsleistungsquelleneinheiten 61 können eine Spannung an den Schneiddrahtteil 2a jeweils unabhängig über die jeweiligen Leistungszufuhrkontakteinheiten 71 anlegen und eine Erdung davon ist gemeinschaftlich durchgeführt und mit dem Werkstück 8 verbunden. Die jeweiligen Bearbeitungsleistungsquelleneinheiten 61 bilden als Ganzes eine Bearbeitungsleistungsquelle 6. In Reaktion auf einen Befehl von einer Bearbeitungssteuervorrichtung 50 (Steuereinheit) kann die Bearbeitungsleistungsquelle 6 eine elektrische Entladung durch Anlegen einer Impulsspannung unabhängig zwischen dem Werkstück 8 und den Schneiddrahtteilen 2a erzeugen, die um einen winzigen Abstand voneinander entfernt sind. Die Polarität der durch die Bearbeitungsleistungsquelle 6 angelegten Impulsspannung kann nach Bedarf geeignet umgekehrt werden.
Ein Drahtteil 2c der Drahtelektrode 2 zwischen der fünften Führungsrolle 3e und der sechsten Führungsrolle 3f kann mehrere Male um eine Hochfrequenz-Isolationsvorrichtung 4 gewickelt sein, wodurch eine Hochfrequenzisolation der jeweiligen Schneiddrahtteile 2a ermöglicht wird. Da eine Hochfrequenzspannung an die jeweiligen Schneiddrahtteile 2a unabhängig von den jeweiligen Bearbeitungsleistungsquelleneinheiten 61 angelegt werden muss, ist der Leistungszufuhrkontakt 7 zwischen der Hochfrequenz-Isolationsvorrichtung 4 und den jeweiligen Schneiddrahtteilen 2a angeordnet.
Als Werkstück 8 kann ein in mehrere dünne Platten zu schneidendes Barrenwerkstück verwendet werden. Als Material davon können Metall wie beispielsweise Wolfram und Molybdän, die zu einem Sputtertarget werden, Keramik wie z. B. polykristallines Siliziumcarbid, das als verschiedene Strukturelemente verwendet wird, Halbleitermaterialien wie z. B. monokristallines Silizium und monokristallines Siliziumcarbid, die zu Halbleitervorrichtungswafern werden, und Solarzellenmaterialien wie z. B. monokristallines Silizium und polykristallines Silizium, die zu Solarzellenwafern werden, erwähnt werden.
Unter den vorstehend erwähnten Materialien weist Metall einen ausreichend niedrigen spezifischen Widerstand auf und es besteht kein Problem bei der Anwendung einer Erosion. Unter den Halbleitermaterialien und den Solarzellenmaterialien kann jedoch ein Material mit einem spezifischen Widerstand von etwa 100 Ωcm oder weniger, vorzugsweise 10 Ωcm oder weniger, einer Erosion unterzogen werden.
Als Werkstück 8 ist folglich Metall oder ein Material mit einem spezifischen Widerstand gleich jenem von Metall oder mit einem spezifischen Widerstand von 100 Ωcm oder weniger, vorzugsweise 10 Ωcm oder weniger, und insbesondere das Halbleitermaterial oder das Solarzellenmaterial mit dem spezifischen Widerstand innerhalb des vorstehend erwähnten Bereichs bevorzugt.
Eine Antriebseinheit, die einen relativen Abstand zwischen dem Werkstück und dem Schneiddrahtteil steuert, wird als nächstes erläutert. 8 ist eine Draufsicht des Schneiddrahtteils 2a und der Antriebseinheit aus einer Ausdehnungsrichtung des Schneiddrahtteils 2a betrachtet. Das Werkstück 8 ist an einem Werkstückbewegungstisch 81 befestigt und der Werkstückbewegungstisch 81 ist mit einer Bearbeitungsrichtungs-Änderungseinheit 88c verbunden. Die Bearbeitungsrichtungs-Änderungseinheit 88c kann eine Bewegungsrichtung des Werkstückbewegungstischs 81 (das heißt eine Bearbeitungsrichtung) ändern. Die Vorschubrichtung des Werkstückbewegungstischs 81 kann beispielsweise durch Ändern einer Neigung der Bearbeitungsrichtungs-Änderungseinheit 88c, unter Verwendung eines Bearbeitungsrichtungs-Einstellzentrums 88a als Drehzentrum und einer Bearbeitungsrichtungs-Einstellführung 88b als Führung geändert werden. Der Werkstückbewegungstisch wird durch einen Antriebsaktuator 84, der an der Bearbeitungsrichtungs-Änderungseinheit 88c befestigt ist, angetrieben, um ihn in der Bearbeitungsrichtung zu bewegen, die durch die Bearbeitungsrichtungs-Änderungseinheit 88c festgelegt wird.
Bearbeitungsnuten können am Werkstück mit einem kleineren Abstandsmaß als einem Ausdehnungsabstandsmaß Pw des Drahts durch Überführen des Werkstücks in einer Richtung, die nicht zu einer Ebene 21 vertikal ist, die mehrere Schneiddrähte enthält, ausgebildet werden. Wenn angenommen wird, dass ein Winkel, der zwischen der Ebene 21, die die Schneiddrähte enthält, und einer Bewegungsrichtung 80 des Werkstücks gebildet ist, wie aus der Ausdehnungsrichtung des Schneiddrahtteils 2a betrachtet, Ψ ist, wird ein Vergleichsausdruck Ps = Pw·sinΨ (Ausdruck 1) zwischen einem Abstandsmaß Ps der Bearbeitungsnuten, die am Werkstück 8 durch den Schneiddrahtteil 2a ausgebildet werden, und dem Ausdehnungsabstandsmaß Pw der Schneiddrähte hergestellt und natürlich wird Ps ≤ Pw festgelegt.
In 1 ist ein Beispiel, in dem eine Drahtelektrode 2 um die sechs Führungsrollen 3a bis 3f gewickelt ist, gezeigt. Die vorliegende Ausführungsform ist jedoch nicht auf dieses Beispiel begrenzt und ein spezifisches Verfahren ist nicht besonders begrenzt, solange die Drahtelektrode 2 um mehrere Führungsrollen gewickelt ist, um mehrere der Schneiddrahtteile 2a zu bilden.
In 8 ist ein Beispiel zur Verwendung eines Aktuators als Antriebseinheit des Werkstückbewegungstischs gezeigt. Mehrere Aktuatoren können jedoch verwendet werden, solange der Aktuator das Werkstück 8 in einer Richtung antreibt, die zur Ebene, die die Schneiddrähte enthält, nicht vertikal ist, und ein spezifisches Verfahren davon ist nicht besonders begrenzt.
Ferner wird in dem in 8 gezeigten Beispiel das Schneiden mit einem Bearbeitungsnutabstandsmaß, das kleiner ist als das Ausdehnungsabstandsmaß Pw, durch Ändern der Bewegungsrichtung des Werkstückbewegungstisches in Bezug auf den Schneiddrahtteil 2a durchgeführt. Wenn jedoch die Ebene 21, die mehrere Schneiddrahtteile enthält, aus der Ausdehnungsrichtung des Schneiddrahtteils 2a betrachtet, eine Neigung eines spitzen Winkels aufweist, wie in 9 gezeigt, können die erste bis sechste Führungsrolle 3a bis 3f derart angeordnet werden, dass die Ebene 21, die die Schneiddrahtteile enthält, die Neigung eines spitzen Winkels in Bezug auf die Bewegungsrichtung des Werkstückbewegungstischs aufweist, und das spezifische Verfahren davon ist nicht besonders begrenzt.
Wie vorstehend beschrieben, kann durch Anordnen des Werkstücks mit dem Neigungswinkel zwischen dem Schneiddrahtteil und dem Werkstück und Steuern des relativen Abstandes zwischen den Schneiddrähten und dem Werkstück das Abstandsmaß einer Nutbreite nach der Bearbeitung schmäler gemacht werden als das Abstandsmaß der Leistungszufuhrkontakteinheiten 71. Das heißt, das Verdünnen von Scheiben und eine Schneidausbeute können verbessert werden.
Zweite Ausführungsform.
2 ist eine Draufsicht des Schneiddrahtteils 2a und des Werkstücks 8 gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung aus der Ausdehnungsrichtung des Schneiddrahtteils 2a betrachtet. Der Werkstückbewegungstisch 81 weist eine Struktur auf, die in der Bewegungsrichtung 80 angetrieben wird. Eine Werkstückbefestigungsoberfläche 86 des Werkstückbewegungstischs 81 ist so ausgebildet, dass sie zu einer parallelen Richtung des Schneiddrahtteils 2a mit mehreren Schneiddrähten 2a1 bis 2a5 parallel ist. Andere Konfigurationen der zweiten Ausführungsform sind identisch zu jenen der ersten Ausführungsform.
Hier wird angenommen, dass das Werkstück 8 in einem Zustand befestigt ist, in dem eine Endfläche 83 des Werkstücks 8 mit einem Winkel θ in Bezug auf einen Neigungswinkel der Ebene 21, die den Schneiddrahtteil 2a enthält, geneigt ist. Der Neigungswinkel der Ebene 21, die den Schneiddrahtteil 2a enthält, kann beispielsweise als Winkel angenommen werden, der durch die Ebene 21, die den Schneiddrahtteil 2a enthält (eine Ebene mit sowohl der Ausdehnungsrichtung des Schneiddrahtteils 2a als auch der parallelen Richtung der Schneiddrähte 2a1 bis 2a5), in Bezug auf den Werkstückbewegungstisch 81 gebildet ist. In diesem Fall kann der Neigungswinkel θ der Endfläche 83 des Werkstücks 8 in Bezug auf die parallele Richtung des Schneiddrahtteils 2a im Voraus durch eine Bedienperson gemessen werden.
Die Bearbeitungssteuervorrichtung 50 kann den am nächsten zur Endfläche des Werkstücks 8 liegenden Schneiddraht 2a5 auf der Basis des Neigungswinkels θ der Endfläche des Werkstücks 8 in Bezug auf die parallele Richtung des Schneiddrahtteils 2a, der durch eine Bedienperson eingegeben wird, festlegen. Das Bezugszeichen θ bezeichnet einen Winkel, der zwischen der Ebene 21, die den Schneiddrahtteil 2a enthält, und der Endfläche 83 des Werkstücks 8 gebildet ist. Die Bearbeitungssteuervorrichtung 50 kann die Position des Werkstückbewegungstisches 81 zum Zeitpunkt des Starts der elektrischen Entladung in dem am nächsten zur Endfläche des Werkstücks 8 gelegenen Schneiddraht 2a5 speichern.
Die Bearbeitungssteuervorrichtung 50 kann die Position des Werkstückbewegungstischs 81, in der die elektrische Entladung in den restlichen jeweiligen Schneiddrähten 2a1 bis 2a4 stattfindet, auf der Basis der Position des Werkstückbewegungstischs 81, wenn die elektrische Entladung im Schneiddraht 2a5 begonnen hat, des Neigungswinkels θ der Endfläche des Werkstücks 8 in Bezug auf die parallele Richtung des Schneiddrahtteils 2a, von Intervallen zwischen den parallelen Schneiddrähten im Schneiddrahtteil 2a und dergleichen berechnen. Die Bearbeitungssteuervorrichtung 50 kann einen der Schneiddrähte 2a1 bis 2a4, an den eine Impulsspannung angelegt wird, gemäß der berechneten Bearbeitungsposition auswählen.
3 ist ein Ablaufplan, der einen Betrieb der Bearbeitungssteuervorrichtung 50 erläutert.
Zuerst werden in Schritt S1 die Drahtspule 1, die erste Führungsrolle 3a, die zweite Führungsrolle 3b, die dritte Führungsrolle 3c, die vierte Führungsrolle 3d, die fünfte Führungsrolle 3e, die sechste Führungsrolle 3f und die Einzugsrolle 5 gedreht, um zu bewirken, dass die Drahtelektrode 2 sequentiell läuft. Als nächstes wird in Schritt S2 eine Impulsspannung an den am nächsten zur Endfläche des Werkstücks 8 gelegenen Schneiddraht 2a5 angelegt. In Schritt S3 wird anschließend der Werkstückbewegungstisch 81 bewegt, um eine elektrische Entladung im Schneiddraht 2a5 zu erzeugen.
In Schritt S4 bestimmt die Bearbeitungssteuervorrichtung 50 dann, ob die elektrische Entladung im Schneiddraht 2a5 stattgefunden hat (JA in Schritt S4) oder (Nein in Schritt S4), und bewegt den Werkstückbewegungstisch 81, bis die Erzeugung einer elektrischen Entladung detektiert wird. Das heißt, die Bearbeitungssteuervorrichtung 50 verringert den relativen Abstand zwischen dem Werkstück 8 und dem Schneiddrahtteil 2a, um die Erzeugung der ersten elektrischen Entladung (Start der Erosion) zu bestimmen. Wenn die Erzeugung der elektrischen Entladung detektiert wurde (JA in Schritt S4), berechnet die Bearbeitungssteuervorrichtung 50 die Position, in der die elektrische Entladung in den restlichen jeweiligen Schneiddrähten 2a1 bis 2a4 stattfindet, auf der Basis der Position des Werkstückbewegungstischs 81 zum Zeitpunkt der Erzeugung der elektrischen Entladung im Schneiddraht 2a5, unter Verwendung des Neigungswinkels θ der Endfläche des Werkstücks 8 in Bezug auf die parallele Richtung des Schneiddrahtteils 2a und der Intervalle zwischen den parallelen Schneiddrähten im Schneiddrahtteil 2a, wie vorstehend beschrieben (Schritt S5).
In Schritt S6 bestimmt die Bearbeitungssteuervorrichtung 50 dann, ob der Werkstückbewegungstisch 81 die Position erreicht hat, in der die elektrische Entladung im nächsten Schneiddraht stattfindet (JA in Schritt S6) oder (Nein in Schritt S6), auf der Basis der Position des Werkstückbewegungstischs 81, in der die elektrische Entladung in den jeweiligen Schneiddrähten 2a1 bis 2a4 stattfindet, die in Schritt S5 berechnet wurde. Diese Bestimmung wird fortgesetzt, bis der Werkstückbewegungstisch 81 die Position erreicht, in der die elektrische Entladung im nächsten Schneiddraht stattfindet (NEIN in Schritt S6). Wenn der Werkstückbewegungstisch 81 die Position erreicht hat, in der die elektrische Entladung im nächsten Schneiddraht stattfindet (JA in Schritt S6), legt die Bearbeitungssteuervorrichtung 50 eine Impulsspannung an den Schneiddraht an (Schritt S7). In Schritt S8 bestimmt die Bearbeitungssteuervorrichtung 50 ferner, ob der Werkstückbewegungstisch 81 eine Bearbeitungsendposition erreicht hat (JA in Schritt S8) oder (NEIN in Schritt S8). Wenn der Werkstückbewegungstisch 81 die Bearbeitungsendposition nicht erreicht hat (NEIN in Schritt S8), kehrt die Steuerung zu Schritt S6 zurück, wo die Bearbeitungssteuervorrichtung 50 bestimmt, ob der Werkstückbewegungstisch 81 die Position erreicht hat, in der die elektrische Entladung im nächsten Schneiddraht stattfindet. Die Bearbeitungssteuervorrichtung 50 wiederholt den Prozess, bis der Werkstückbewegungstisch 81 die Bearbeitungsendposition erreicht (JA in Schritt S8). Folglich wird eine Impulsspannung nacheinander an die Schneiddrähte 2a1 bis 2a4 angelegt.
Bei der herkömmlichen Endflächenbearbeitung des Werkstücks 8 fließt ein Bearbeitungsstrom vom Schneiddrahtteil 2a (ein Schneiddraht), in dem keine elektrische Entladung stattgefunden hat, ein und folglich ist die elektrische Entladung nicht stabil und eine Abtrennung der Drahtelektrode 2 kann auftreten oder die Bearbeitungsoberflächengenauigkeit kann abnehmen. Das heißt, wenn ein Schneiddrahtteil, bei dem keine elektrische Entladung stattgefunden hat, zusammen mit einem Schneiddrahtteil, an dem eine elektrische Entladung gegenwärtig erzeugt wird, vorhanden ist und eine gemeinsame Impulsspannung an diese Schneiddrahtteile angelegt wird, fließt eine Impulsspannung (ein Impulsstrom), die an den Schneiddrahtteil angelegt wird, in dem keine elektrische Entladung stattgefunden hat, in den Schneiddrahtteil, in dem die elektrische Entladung gegenwärtig erzeugt wird, so dass es ein übermäßiger Strom wird, wodurch eine Abtrennung von Drähten, eine Ungleichmäßigkeit der Bearbeitungsnutbreite oder eine Verschlechterung der Oberflächengenauigkeit verursacht wird. Da jedoch gemäß der vorliegenden Erfindung die Impulsspannung selektiv an jeden der Schneiddrähte 2a1 bis 2a5 angelegt wird, können diese Probleme verhindert werden und eine ausgezeichnete Erosion kann aufrechterhalten werden. Das heißt, die elektrische Entladung zum Zeitpunkt der Endflächenbearbeitung kann stabil aufrechterhalten werden und die Abtrennung der Drahtelektrode und eine Verringerung der Bearbeitungsoberflächengenauigkeit können unterdrückt werden.
Wenn die Position des Werkstückbewegungstischs 81, in der die Erosion begonnen wird, in Bezug auf den Schneiddraht 2a5 im Voraus bekannt ist, beispielsweise wenn der Abstand zwischen dem Schneiddraht 2a5 zum Zeitpunkt des Starts des Antriebs des Werkstückbewegungstischs 81 und dem Abschnitt der Endfläche des durch den Schneiddraht 2a5 zu bearbeitenden Werkstücks 8 bekannt ist, können die Schritte S2 bis S4 weggelassen werden und das selektive Anlegen eines Impulses an den Schneiddraht 2a5 ist auch möglich.
Dritte Ausführungsform
4 ist eine Draufsicht des Schneiddrahtteils 2a der Drahterodiervorrichtung 100 gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und des Werkstücks 8 aus der Ausdehnungsrichtung des Schneiddrahtteils 2a betrachtet. Die Drahterodiervorrichtung 100 gemäß der vorliegenden Ausführungsform umfasst eine Winkelmesseinheit 9, die den Neigungswinkel der Endfläche des Werkstücks 8 in Bezug auf die parallele Richtung des Schneiddrahtteils 2a mit den Schneiddrähten 2a1 bis 2a5 misst. Als Winkelmesseinheit 9 kann eine kontaktlose Messeinheit wie z. B. ein Laserverlagerungsmesser verwendet werden.
Die Winkelmesseinheit 9 kann Messdaten 82 des Schneiddrahtteils 2a und der Endflächenform des Werkstücks 8 erfassen, beispielsweise wie in 5 gezeigt. Die Winkelmesseinheit 9 kann ein Signal, das vom Schneiddrahtteil 2a erfasst wird, und ein Signal, das von der Endfläche des Werkstücks 8 erfasst wird, von den Messdaten 82 trennen. Die Winkelmesseinheit 9 kann einen Neigungswinkel der Endfläche 83 des Werkstücks 8, einen Neigungswinkel der Ebene 21, die den Schneiddrahtteil 2a enthält (einen Neigungswinkel in der parallelen Richtung des Schneiddrahtteils 2a), und den Winkel θ, der zwischen der Endfläche 83 des Werkstücks 8 und der Ebene 21, die den Schneiddrahtteil 2a enthält, gebildet ist, auf der Basis des getrennten Signals berechnen. Als Winkelmesseinheit 9 kann unter Verwendung der kontaktlosen Messeinheit wie z. B. eines Laserverlagerungsmessers der Winkel θ genauer gemessen werden als unter Verwendung einer Messeinheit vom Kontakttyp.
Die Bearbeitungssteuervorrichtung 50 kann einen Schneiddraht, an den eine Impulsspannung angelegt wird, gemäß der Bearbeitungsposition, unter Verwendung des Neigungswinkels θ der Endfläche des Werkstücks 8 in Bezug auf die parallele Richtung des Schneiddrahtteils 2a, der durch die Winkelmesseinheit 9 berechnet wird, auswählen. Andere Konfigurationen der vorliegenden Ausführungsform sind zu jenen der Drahterodiervorrichtung 100 gemäß der ersten Ausführungsform identisch.
Folglich muss eine Bedienperson nicht den Neigungswinkel θ der Endfläche des Werkstücks 8 in Bezug auf die parallele Richtung des Schneiddrahtteils 2a im Voraus messen und den Neigungswinkel θ in die Bearbeitungssteuervorrichtung 50 eingeben, wodurch ermöglicht wird, dass die Anordnungen vereinfacht werden. Das heißt, die Bearbeitungssteuervorrichtung 50 arbeitet auch in der vorliegenden Ausführungsform gemäß dem in 3 gezeigten Ablaufplan. In Schritt S5 in 3 der vorliegenden Ausführungsform kann jedoch die Bearbeitungssteuervorrichtung 50 die Position des Werkstückbewegungstischs 81, in der die elektrische Entladung in den restlichen jeweiligen Schneiddrähten 2a1 bis 2a4 stattfindet, unter Verwendung des berechneten Winkels θ, der zwischen der Endfläche 83 des Werkstücks 8 und der Ebene 21, die den Schneiddrahtteil 2a enthält, gebildet ist, der unter Verwendung eines Messergebnisses der Winkelmesseinheit 9 berechnet wird, berechnen.
In der vorliegenden Ausführungsform ist die Winkelmesseinheit 9 beispielsweise unter Verwendung der kontaktlosen Messeinheit wie z. B. eines Laserverlagerungsmessers gebildet. Die vorliegende Ausführungsform ist jedoch nicht darauf begrenzt und das spezifische Verfahren davon ist nicht speziell begrenzt, solange der Neigungswinkel der Endfläche des Werkstücks 8 in Bezug auf die parallele Richtung des Schneiddrahtteils 2a gemessen wird, und ein Schneiddraht, an den eine Impulsspannung angelegt wird, gemäß der Bearbeitungsposition zum Durchführen der Bearbeitung ausgewählt werden kann.
Vierte Ausführungsform
6 ist eine Draufsicht des Schneiddrahtteils 2a der Drahterodiervorrichtung 100 gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und des Werkstücks 8 aus der Ausdehnungsrichtung des Schneiddrahtteils 2a betrachtet. Die Drahterodiervorrichtung 100 gemäß der vorliegenden Ausführungsform treibt den Werkstückbewegungstisch 81 mit einem Neigungswinkel in Bezug auf die parallele Richtung des Schneiddrahtteils 2a an, um das Werkstück 8 zu bearbeiten. Wie in 6 gezeigt, weist der Werkstückbewegungstisch 81 insbesondere zwei Achsen auf, das heißt eine Achse, die das Werkstück in der Z-Richtung (einer vertikalen Richtung zur Ebene des Schneiddrahtteils 2a) antreiben kann, und eine Achse, die das Werkstück in der X-Richtung (einer horizontalen Richtung zur Ebene des Schneiddrahtteils 2a) antreiben kann. Durch gleichzeitiges Steuern dieser zwei Achsen wird der Werkstückbewegungstisch 81 mit dem Neigungswinkel relativ zum Schneiddrahtteil 2a angetrieben. Andere Konfigurationen der vorliegenden Ausführungsform sind identisch zu jenen der Drahterodiervorrichtung 100 gemäß der ersten oder zweiten Ausführungsform.
Durch Antreiben des Werkstückbewegungstischs 81 mit dem Neigungswinkel in Bezug auf die parallele Richtung des Schneiddrahtteils 2a in dieser Weise werden Schnittnuten am Werkstück 8 mit Intervallen Ps ausgebildet, die schmäler sind als ein paralleles Intervall Pw des Schneiddrahtteils 2a. In der vorliegenden Ausführungsform arbeitet die Bearbeitungssteuervorrichtung 50 auch gemäß dem in 3 gezeigten Ablaufplan.
Da jedoch in der vorliegenden Ausführungsform der Winkel θ, der zwischen der Ebene 21, die den Schneiddrahtteil 2a enthält, und der Endfläche 83 des Werkstücks 8 gebildet ist, im Voraus durch die Vorrichtungskonfiguration bekannt ist, kann in Schritt S5 in 3 die Position des Werkstückbewegungstischs 81, in der die elektrische Entladung in den restlichen jeweiligen Schneiddrähten 2a1 bis 2a4 stattfindet, unter Verwendung des Winkels θ berechnet werden. Wenn die Position des Werkstückbewegungstischs 81, in der die Erosion begonnen wird, in Bezug auf den Schneiddraht 2a5 im Voraus bekannt ist, beispielsweise wenn der Abstand zwischen dem Schneiddraht 2a5 und einem Abschnitt der durch den Schneiddraht 2a5 zu bearbeitenden Endfläche des Werkstücks 8 zum Zeitpunkt des Starts des Antriebs des Werkstückbewegungstischs 81 im Voraus bekannt ist, können ferner die Schritte S2 bis S4 weggelassen werden und das selektive Anlegen eines Impulses an den Schneiddraht 2a5 ist auch möglich.
Mit dieser Konfiguration kann ähnlich zur zweiten und zur dritten Ausführungsform eine dünne Platte, die dünner ist als das parallele Intervall Pw des Schneiddrahtteils 2a, hergestellt werden, während eine stabile elektrische Entladung zum Zeitpunkt der Endflächenbearbeitung aufrechterhalten wird und die Abtrennung der Drahtelektrode und eine Verringerung der Bearbeitungsoberflächengenauigkeit unterdrückt werden.
6 gemäß der vorliegenden Ausführungsform stellt einen Fall dar, in dem die Werkstückbefestigungsoberfläche 86 des Werkstückbewegungstischs 81 und die Ebene 21, die den Schneiddrahtteil 2a enthält, nicht zueinander parallel sind. Wie in 7 gezeigt, können jedoch die Werkstückbefestigungsoberfläche 86 des Werkstückbewegungstischs 81 und die Ebene 21, die den Schneiddrahtteil 2a enthält, zueinander parallel sein. In diesem Fall wird durch Integrieren einer Werkstückbefestigungsvorrichtung 87 und des Werkstücks 8 oder dergleichen eine Einstellung durchgeführt, so dass die Endfläche des Werkstücks 8 und die Ebene 21, die den Schneiddrahtteil 2a enthält, nicht zueinander parallel werden. Das heißt, die Einheit zum Verwirklichen der Drahterosion ist nicht speziell begrenzt, solange die Drahterosion in einem Zustand vorangebracht werden kann, in dem die Bewegungsrichtung 80 des Werkstückbewegungstischs 81 und die Ebene 21, die den Schneiddrahtteil 2a enthält, nicht zueinander vertikal sind.
In 6 und 7 ist ein Beispiel, in dem die Bewegungsrichtung 80 des Werkstückbewegungstischs 81 vertikal zur Endfläche des Werkstücks 8 ist, gezeigt. Andererseits ist in dem Fall von 2, die in der zweiten Ausführungsform erläutert wurde, die Bewegungsrichtung 80 des Werkstückbewegungstischs 81 vertikal zur Ebene 21, die den Schneiddrahtteil 2a enthält. In beiden Fällen kann eine Abstandsberechnung zum Anlegen einer Impulsspannung selektiv an jeden der Schneiddrähte 2a1 bis 2a5 leicht durchgeführt werden. Das Berechnungsverfahren ist jedoch nicht darauf begrenzt, solange die Bewegungsrichtung 80 des Werkstückbewegungstischs 81 in Bezug auf die Endfläche des Werkstücks 8 und die Ebene 21, die den Schneiddrahtteil 2a enthält, bekannt ist. Das heißt, durch Erhalten des relativen Abstandes zwischen dem Werkstück 8 und dem Schneiddrahtteil 2a, wo angenommen wird, dass das Anlegen der Impulsspannung begonnen wird, für jeden der Schneiddrähte 2a1 bis 2a5 kann das selektive Anlegen der Impulsspannung an jeden Schneiddraht durchgeführt werden.
In der ersten bis vierten Ausführungsform sind die jeweiligen parallelen Intervalle zwischen den Schneiddrähten 2a1 bis 2a5 im Allgemeinen gleich. Die Intervalle müssen jedoch nicht notwendigerweise einander gleich sein. Selbst wenn die parallelen Intervalle nicht einander gleich sind, kann, solange die jeweiligen Werte speziell bekannt sind, der relative Abstand zwischen dem Werkstück 8 und dem Schneiddrahtteil 2a, wo angenommen wird, dass das Anlegen der Impulsspannung begonnen wird, für jeden der Schneiddrähte erhalten werden. Folglich kann ein selektives Anlegen der Impulsspannung durchgeführt werden.
Unter Verwendung der Drahterodiervorrichtung 100 gemäß der ersten bis vierten Ausführungsform, die vorstehend beschrieben wurden, kann eine dünne Platte, insbesondere eine dünne Platte aus einem harten brüchigen Material oder einem sehr schwierig zu schneidenden Material wie z. B. eines Halbleiterwafers ausgeschnitten werden, ohne vom Werkstück 8 wie z. B. einem vorstehend beschriebenen Halbleiterbarren abgebrochen zu werden.
Ferner ist die Erfindung der vorliegenden Anmeldung nicht auf die obigen Ausführungsformen begrenzt, und wenn die vorliegende Erfindung ausgeführt wird, kann die Erfindung verschiedenartig modifiziert werden, ohne von deren Schutzbereich abzuweichen. In den obigen Ausführungsformen sind Erfindungen von verschiedenen Stufen enthalten und verschiedene Erfindungen können durch geeignetes Kombinieren der hier offenbarten mehreren Bestandteilselemente entnommen werden. Selbst wenn beispielsweise einige Bestandteilselemente von allen in den Ausführungsformen beschriebenen Bestandteilselementen weggelassen werden, kann, sofern die im Abschnitt der Lösung des Problems erwähnten Probleme gelöst werden können und die im Abschnitt der vorteilhaften Effekte der Erfindung erwähnten Effekte erhalten werden, die Konfiguration, von der einige Bestandteilselemente weggelassen wurden, als Erfindung entnommen werden. Außerdem können in verschiedenen Ausführungsformen erwähnte Bestandteilselemente geeignet kombiniert werden.
Industrielle Anwendbarkeit
Wie vorstehend beschrieben, sind die Drahterodiervorrichtung, das Drahterodierverfahren, das Dünnplatten-Herstellungsverfahren und das Halbleiterwafer-Herstellungsverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung zur Bearbeitung nützlich, wenn eine Endfläche eines Werkstücks eine Neigung in Bezug auf eine parallele Richtung eines Schneiddrahtteils aufweist, und insbesondere können die Abtrennung von Drähten und eine Verringerung der Bearbeitungsoberflächengenauigkeit aufgrund einer instabilen elektrischen Entladung bei einer Endflächenbearbeitung eines Werkstücks verhindert werden. Folglich sind die Vorrichtung und die Verfahren für ein Verfahren zum Ausschneiden von mehreren Dünnplattenmaterialien gemeinsam aus einem Werkstück durch Erzeugen einer elektrischen Entladung zwischen einem Schneiddrahtteil mit mehreren Schneiddrähten, die durch Wickeln einer Drahtelektrode um mehrere Führungsrollen gebildet sind, und dem Werkstück geeignet.
Bezugszeichenliste

1 Drahtspule, 2 Drahtelektrode, 2a Schneiddrahtteil, 2a1 bis 2a5 Schneiddraht, 2b Leistungszufuhrkontaktdrahtteil, 2c Drahtteil, 3a erste Führungsrolle, 3b zweite Führungsrolle, 3c dritte Führungsrolle, 3d vierte Führungsrolle, 3e fünfte Führungsrolle, 3f sechste Führungsrolle, 5 Einzugsrolle, 6 Bearbeitungsleistungsquelle, 7 Leistungszufuhrkontakt, 8 Werkstück, 9 Winkelmesseinheit, 21 Ebene, die die Schneiddrahtteile enthält, 50 Bearbeitungssteuervorrichtung, 61 Bearbeitungsleistungsquelleneinheit, 71 Leistungszufuhrkontakteinheit, 80 Bewegungsrichtung, 81 Werkstückbewegungstisch, 82 Messdaten, 83 Endfläche, 86 Werkstückbefestigungsoberfläche, 87 Werkstückbefestigungsvorrichtung, 100 Drahterodiervorrichtung, S1 bis S8 Schritt.

Claims

Drahterodiervorrichtung, die Folgendes umfasst: einen Schneiddrahtteil mit mehreren Schneiddrähten, die parallel zueinander angeordnet sind, so dass sie durch Wickeln einer Drahtelektrode um mehrere Führungsrollen; einem Werkstück zugewandt sind; eine Antriebseinheit, die einen relativen Abstand zwischen dem Werkstück und dem Schneiddrahtteil steuert; und eine Impulsspannungs-Erzeugungseinheit, die eine Impulsspannung zwischen dem Werkstück und den Schneiddrähten anlegt, wobei das Werkstück mit einem Neigungswinkel in Bezug auf eine Ebene, die die Schneiddrähte enthält, angeordnet ist und die Bearbeitung durch Steuern eines relativen Abstandes zwischen den Schneiddrähten und dem Werkstück durchgeführt wird.
Drahterodiervorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Impulsspannungs-Erzeugungseinheit einen Schneiddraht, an den die Impulsspannung angelegt wird, auf einer Basis eines Winkels, der zwischen einer Endfläche des Werkstücks und der Ebene, die die Schneiddrähte enthält, gebildet ist, auswählt.
Drahterodiervorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, die ferner eine Antriebseinheit umfasst, die einen relativen Abstand zwischen dem Werkstück und dem Schneiddrahtteil steuert, wobei die Antriebseinheit das Werkstück durch Vorsehen eines Neigungswinkels in Bezug auf die Ebene, die die Schneiddrähte enthält, antreibt.
Drahterodiervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Antriebseinheit in der Lage ist, einen Neigungswinkel einer Antriebsrichtung in Bezug auf die Ebene, die die Schneiddrähte enthält, zu ändern.
Drahterodiervorrichtung nach Anspruch 4, die ferner eine Drahtlaufeinheit umfasst, die in der Lage ist, eine Neigung der Ebene, die die Schneiddrähte enthält, in Bezug auf die Antriebsrichtung der Antriebseinheit zu ändern.
Drahterodiervorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 5, die ferner eine kontaktlose Winkelmesseinheit umfasst, die einen Winkel misst, der zwischen der Ebene, die die Schneiddrähte enthält, und der Endfläche des Werkstücks gebildet ist.
Drahterodierverfahren, das das Durchführen einer Erosion am Werkstück unter Verwendung der Drahterodiervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6 umfasst.
Dünnplatten-Herstellungsverfahren, das das Ausschneiden von dünnen Platten aus dem Werkstück unter Verwendung der Drahterodiervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6 umfasst.
Halbleiterwafer-Herstellungsverfahren, das das Ausschneiden eines Halbleiterwafers aus einem Halbleiterbarren unter Verwendung der Drahterodiervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6 umfasst.