JP5772830B2 - 露光装置の製造方法及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
Claims (68)
- ボディと、該ボディにドッキングされる第1モジュールとを含む複数のモジュールを備え、感応物体を露光する露光装置を製造する、露光装置の製造方法であって、
出荷される前記ボディと実質的に同じ部材であるボディ工具と前記第1モジュールとのドッキング時の両者の位置関係が所望の関係となるように前記ボディ工具と前記第1モジュールとの間に設けられる第1の位置決め装置を調整することと、
前記調整後の前記第1の位置決め装置を介した前記ボディ工具とのドッキング時の位置関係が、前記所望の関係となる前記第1モジュールを出荷することと、
出荷先で、前記調整後の前記第1の位置決め装置と同一状態にある、前記ボディと前記第1モジュールとの間に設けられる、前記第1の位置決め装置と同じ構成の第2の位置決め装置を介して前記ボディと前記第1モジュールとをドッキングすることと、を含む露光装置の製造方法。 - 前記ボディ工具として、出荷される前記ボディが用いられる請求項1に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第1の位置決め装置を調整することでは、前記ボディ工具の第1基準面と前記第1モジュールの第2基準面との位置関係が所望の関係となるように、前記第1の位置決め装置が調整される請求項1又は2に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第1の位置決め装置を調整することは、前記第1基準面と前記第2基準面との傾きを計測し、前記第1モジュールの傾きが調整されるように前記第1の位置決め装置を調整することを含む請求項3に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第1の位置決め装置を調整することは、前記第1基準面と前記第2基準面との回転ずれを計測し、前記第1モジュールの回転が調整されるように前記第1の位置決め装置を調整することを含む請求項3又は4に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第1の位置決め装置を調整することは、前記第1基準面と前記第2基準面との位置ずれを計測し、前記第1モジュールの位置が調整されるように前記第1の位置決め装置を調整することを含む請求項3〜5のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第1の位置決め装置を調整することは、前記第1の位置決め装置を構成する、前記ボディ工具と前記第1モジュールとの一方に設けられ凹部が形成された第1部材と、前記ボディ工具と前記第1モジュールとの他方に設けられ凸部を有する第2部材と、を前記凹部と前記凸部との係合によって係合させて、前記第1部材と前記第2部材のうちの前記ボディ工具に設けられる部材の前記ボディ工具に対する位置を調整することを含む請求項1〜6のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法。
- 前記ドッキングすることは、前記第2の位置決め装置を構成する、前記ボディと前記第1モジュールとの一方に設けられた前記第1部材と、前記ボディと前記第1モジュールとの他方に設けられた前記第2部材とのうち、前記ボディに設けられる部材であって前記調整後の前記第1の位置決め装置と同一状態にある一方の部材と、他方の部材と、を係合させることを含む請求項7に記載の露光装置の製造方法。
- 前記凹部は、V溝であり、前記凸部は、前記V溝の一対の斜面に接触する形状を有する請求項7又は8に記載の露光装置の製造方法。
- 前記凸部は、前記V溝の一対の斜面に線接触する請求項9に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第1の位置決め装置を調整することでは、前記ボディ工具の3箇所に対応して設けられた3つの前記第1の位置決め装置を調整する請求項1〜10のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法。
- 前記ドッキングすることでは、前記ボディの3箇所に対応して設けられた3つの前記第2の位置決め装置を介して前記ボディと前記第1モジュールとをドッキングする請求項11に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第1モジュールは、前記感応物体を保持するステージを含むステージモジュールである請求項1〜12のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法。
- 請求項1〜13のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法を用いて製造された露光装置を用いて感応物体を露光することと、
露光された前記感応物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - ボディと、該ボディにドッキングされる第1モジュールとを含む複数のモジュールを備え、感応物体を露光する露光装置を製造する、露光装置の製造方法であって、
出荷される前記第1モジュールと実質的に同じ部材である第1モジュール工具と前記ボディとのドッキング時の両者の位置関係が所望の関係となるように前記第1モジュール工具と前記ボディとの間に設けられる第1の位置決め装置を調整することと、
前記調整後の前記第1の位置決め装置を介した前記第1モジュール工具とのドッキング時の位置関係が、前記所望の関係となる前記ボディを出荷することと、
出荷先で、前記調整後の前記第1の位置決め装置と同一状態にある、前記第1モジュールと前記ボディとの間に設けられる、前記第1の位置決め装置と同じ構成の第2の位置決め装置を介して前記ボディと前記第1モジュールとをドッキングすることと、を含む露光装置の製造方法。 - 前記第1モジュール工具として、出荷される前記第1モジュールが用いられる請求項15に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第1の位置決め装置を調整することでは、前記ボディの第1基準面と前記第1モジュール工具の第2基準面との位置関係が所望の関係となるように、前記第1の位置決め装置が調整される請求項15又は16に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第1の位置決め装置を調整することは、前記第1基準面と前記第2基準面との傾きを計測し、前記第1モジュール工具の傾きが調整されるように前記第1の位置決め装置を調整することを含む請求項17に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第1の位置決め装置を調整することは、前記第1基準面と前記第2基準面との回転ずれを計測し、前記第1モジュール工具の回転が調整されるように前記第1の位置決め装置を調整することを含む請求項17又は18に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第1の位置決め装置を調整することは、前記第1基準面と前記第2基準面との位置ずれを計測し、前記第1モジュール工具の位置が調整されるように前記第1の位置決め装置を調整することを含む請求項17〜19のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第1の位置決め装置を調整することは、前記第1の位置決め装置を構成する、前記ボディと第1モジュール工具との一方に設けられ凹部が形成された第1部材と、前記ボディと前記第1モジュール工具との他方に設けられ凸部を有する第2部材と、を前記凹部と前記凸部との係合によって係合させて、前記第1部材と前記第2部材のうちの前記第1モジュール工具に設けられる部材の前記第1モジュール工具に対する位置を調整することを含む請求項15〜20のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法。
- 前記ドッキングすることは、前記第2の位置決め装置を構成する、前記ボディと前記第1モジュールとの一方に設けられた前記第1部材と、前記ボディと前記第1モジュールとの他方に設けられた前記第2部材とのうち、前記第1モジュールに設けられる部材であって前記調整後の前記第1の位置決め装置と同一状態にある一方の部材と、他方の部材と、を係合させることを含む請求項21に記載の露光装置の製造方法。
- 前記凹部は、V溝であり、前記凸部は、前記V溝の一対の斜面に接触する形状を有する請求項21又は22に記載の露光装置の製造方法。
- 前記凸部は、前記V溝の一対の斜面に線接触する請求項23に記載の露光装置の製造方法。
- 第1の位置決め装置を調整することでは、前記ボディの3箇所に対応して設けられた3つの前記第1の位置決め装置を調整する請求項15〜24のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法。
- 前記ドッキングすることでは、前記ボディの3箇所に対応して設けられた3つの前記第2の位置決め装置を介して前記ボディと前記第1モジュールとをドッキングする請求項25に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第1モジュールは、前記感応物体を保持するステージを含むステージモジュールである請求項15〜26のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法。
- 請求項15〜27のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法を用いて製造された露光装置を用いて感応物体を露光することと、
露光された前記感応物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - ボディと、該ボディにドッキングされる第1モジュールとを含む複数のモジュールを備え、感応物体を露光する露光装置を製造する、露光装置の製造方法であって、
前記ボディと前記第1モジュールとを、前記ボディと前記第1モジュールとのドッキング時の位置関係を決定する位置決め装置を介してドッキングすることと、
前記ボディの第1基準面と前記第1モジュールの第2基準面との位置関係が所望の関係となるように、前記ボディに対する前記位置決め装置の位置を調整することと、を含む露光装置の製造方法。 - 前記第1モジュールは、前記感応物体を保持するステージを含むステージモジュールである請求項29に記載の露光装置の製造方法。
- 前記位置決め装置を調整することは、前記第1基準面と前記第2基準面との傾きを計測し、前記第1モジュールの傾きが調整されるように前記位置決め装置を調整することを含む請求項29又は30に記載の露光装置の製造方法。
- 前記位置決め装置を調整することは、前記第1基準面と前記第2基準面との回転ずれを計測し、前記第1モジュールの回転が調整されるように前記位置決め装置を調整することを含む請求項29〜31のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法。
- 前記位置決め装置を調整することは、前記第1基準面と前記第2基準面との位置ずれを計測し、前記第1モジュールの位置が調整されるように前記位置決め装置を調整することを含む請求項29〜32のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法。
- 前記位置決め装置を調整することは、前記位置決め装置を構成する、前記ボディと前記第1モジュールとの一方に設けられ凹部が形成された第1部材と、前記ボディと前記第1モジュールとの他方に設けられ凸部を有する第2部材と、を前記凹部と前記凸部との係合によって係合させて、前記第1部材と前記第2部材のうちの前記ボディに設けられる部材の前記ボディに対する位置を調整することを含む請求項29〜33のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法。
- 前記凹部は、V溝であり、前記凸部は、前記V溝の一対の斜面に接触する形状を有する請求項34に記載の露光装置の製造方法。
- 前記凸部は、前記V溝の一対の斜面に線接触する請求項35に記載の露光装置の製造方法。
- 前記位置決め装置を調整することでは、前記ボディの3箇所に対応して設けられた3つの前記位置決め装置を調整する請求項29〜36のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法。
- 請求項29〜37のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法を用いて製造された露光装置を用いて感応物体を露光することと、
露光された前記感応物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - ボディと、該ボディにドッキングされる第1モジュールとを含む複数のモジュールを備え、感応物体を露光する露光装置を製造する、露光装置の製造方法であって、
出荷先で前記ボディと前記第1モジュールとを、前記ボディと前記第1モジュールとの間に設けられる第1の位置決め装置を介して所望の関係でドッキングするのに先立って、出荷される前記ボディと実質的に同じ部材であるボディ工具と前記第1モジュールとを、前記第1の位置決め装置と同じ構成の第2の位置決め装置を介してドッキングし、その際に、前記ボディ工具と前記第1モジュールとの位置関係が前記所望の関係となるように、前記ボディ工具と前記第1モジュールとの間に設けられる前記第2の位置決め装置を調整することと、
前記調整後の前記第1モジュールを出荷することと、
を含む露光装置の製造方法。 - 前記ボディ工具として、出荷される前記ボディが用いられる請求項39に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第2の位置決め装置を調整することでは、前記ボディ工具の第1基準面と前記第1モジュールの第2基準面との位置関係が所望の関係となるように、前記第2の位置決め装置が調整される請求項39又は40に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第2の位置決め装置を調整することは、前記第1基準面と前記第2基準面との傾きを計測し、前記第1モジュールの傾きが調整されるように前記第2の位置決め装置を調整することを含む請求項41に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第2の位置決め装置を調整することは、前記第1基準面と前記第2基準面との回転ずれを計測し、前記第1モジュールの回転が調整されるように前記第2の位置決め装置を調整することを含む請求項41又は42に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第2の位置決め装置を調整することは、前記第1基準面と前記第2基準面との位置ずれを計測し、前記第1モジュールの位置が調整されるように前記第2の位置決め装置を調整することを含む請求項41〜43のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第2の位置決め装置を調整することは、前記第2の位置決め装置を構成する、前記ボディ工具と前記第1モジュールとの一方に設けられ凹部が形成された第1部材と、前記ボディ工具と前記第1モジュールとの他方に設けられ凸部を有する第2部材と、を前記凹部と前記凸部との係合によって係合させて、前記第1部材と前記第2部材のうちの前記ボディ工具に設けられる部材の前記ボディ工具に対する位置を調整することを含む請求項39〜44のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法。
- 出荷先で、前記調整後の前記第2の位置決め装置と同一状態にある前記第1の位置決め装置を介して前記ボディと前記第1モジュールとをドッキングすることをさらに含む請求項39〜45のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法。
- 出荷先で前記ボディと前記第1モジュールとを、前記ボディと前記第1モジュールとの間に設けられる第1の位置決め装置を介して所望の関係でドッキングするのに先立って、
出荷される前記第1モジュールと実質的に同じ部材である第1モジュール工具と前記ボディとを、前記第1の位置決め装置と同じ構成の第3の位置決め装置を介してドッキングし、その際に、前記ボディと前記第1モジュール工具との位置関係が前記所望の関係となるように、前記ボディと前記第1モジュール工具との間に設けられる前記第3の位置決め装置を調整することと、
前記調整後の前記ボディを出荷することと、
をさらに含む請求項39〜46のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法。 - 前記第1モジュールは、前記感応物体を保持するステージを含むステージモジュールである請求項39〜47のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法。
- 請求項39〜48のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法を用いて製造された露光装置を用いて感応物体を露光することと、
露光された前記感応物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - ボディと、該ボディにドッキングされる第1モジュールとを含む複数のモジュールを備え、感応物体を露光する露光装置を製造する、露光装置の製造方法であって、
前記ボディと前記第1モジュールとを、両者間に設けられ、予め調整された第1の位置決め装置を介して所望の関係でドッキングすることを含み、
前記第1の位置決め装置は、前記ボディと実質的に同じ部材であるボディ工具と前記第1モジュールとを、前記第1の位置決め装置と同じ構成の第2の位置決め装置を介して、ドッキングし、その際に、前記ボディ工具と前記第1モジュールとの位置関係が前記所望の関係となるように調整された前記第2の位置決め装置と同様に、予め調整されている露光装置の製造方法。 - 前記ボディ工具は、前記ボディと前記第1モジュールとの前記第1の位置決め装置を介したドッキングが行われるデバイス製造工場に納入される前記ボディと実質的に同じ部材である請求項50に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第1モジュールは、前記感応物体を保持するステージを含むステージモジュールである請求項50又は51に記載の露光装置の製造方法。
- 請求項50〜52のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法を用いて製造された露光装置を用いて感応物体を露光することと、
露光された前記感応物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - ボディと、該ボディにドッキングされる第1モジュールとを含む複数のモジュールを備え、感応物体を露光する露光装置を製造する、露光装置の製造方法であって、
出荷先で前記ボディと前記第1モジュールとを、前記ボディと前記第1モジュールとの間に設けられる第1の位置決め装置を介して所望の関係でドッキングするのに先立って、出荷される前記第1モジュールと実質的に同じ部材である第1モジュール工具と前記ボディとを、前記第1の位置決め装置と同じ構成の第2の位置決め装置を介してドッキングし、その際に、前記ボディと前記第1モジュール工具との位置関係が前記所望の関係となるように、前記第1モジュール工具と前記ボディとの間に設けられる前記第2の位置決め装置を調整することと、
前記調整後の前記ボディを出荷することと、
を含む露光装置の製造方法。 - 前記第1モジュール工具として、出荷される前記第1モジュールが用いられる請求項54に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第2の位置決め装置を調整することでは、前記ボディの第1基準面と前記第1モジュール工具の第2基準面との位置関係が所望の関係となるように、前記第2の位置決め装置が調整される請求項54又は55に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第2の位置決め装置を調整することは、前記第1基準面と前記第2基準面との傾きを計測し、前記第1モジュール工具の傾きが調整されるように前記第2の位置決め装置を調整することを含む請求項56に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第2の位置決め装置を調整することは、前記第1基準面と前記第2基準面との回転ずれを計測し、前記第1モジュール工具の回転が調整されるように前記第2の位置決め装置を調整することを含む請求項56又は57に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第2の位置決め装置を調整することは、前記第1基準面と前記第2基準面との位置ずれを計測し、前記第1モジュール工具の位置が調整されるように前記第2の位置決め装置を調整することを含む請求項56〜58のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第2の位置決め装置を調整することは、前記第2の位置決め装置を構成する、前記ボディと前記第1モジュール工具との一方に設けられ凹部が形成された第1部材と、前記ボディと前記第1モジュール工具との他方に設けられ凸部を有する第2部材と、を前記凹部と前記凸部との係合によって係合させて、前記第1部材と前記第2部材のうちの前記第1モジュール工具に設けられる部材の前記第1モジュール工具に対する位置を調整することを含む請求項54〜59のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法。
- 出荷先で、前記調整後の前記第2の位置決め装置と同一状態にある前記第1の位置決め装置を介して前記ボディと前記第1モジュールとをドッキングすることをさらに含む請求項54〜60のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法。
- 出荷先で前記ボディと前記第1モジュールとを、前記ボディと前記第1モジュールとの間に設けられる第1の位置決め装置を介して所望の関係でドッキングするのに先立って、
出荷される前記ボディと実質的に同じ部材であるボディ工具と前記第1モジュールとを、前記第1の位置決め装置と同じ構成の第3の位置決め装置を介してドッキングし、その際に、前記ボディ工具と前記第1モジュールとの位置関係が前記所望の関係となるように、前記ボディ工具と前記第1モジュールとの間に設けられる前記第3の位置決め装置を調整することと、
前記調整後の前記第1モジュールを出荷することと、
をさらに含む請求項54〜61のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法。 - 前記第1モジュールは、前記感応物体を保持するステージを含むステージモジュールである請求項54〜62のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法。
- 請求項54〜63のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法を用いて製造された露光装置を用いて感応物体を露光することと、
露光された前記感応物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - ボディと、該ボディにドッキングされる第1モジュールとを含む複数のモジュールを備え、感応物体を露光する露光装置を製造する、露光装置の製造方法であって、
前記ボディと前記第1モジュールとを、両者間に設けられ、予め調整された第1の位置決め装置を介して所望の関係でドッキングすることを含み、
前記第1の位置決め装置は、前記第1モジュールと実質的に同じ部材である第1モジュール工具と前記ボディとを、前記第1の位置決め装置と同じ構成の第2の位置決め装置を介して、ドッキングし、その際に、前記第1モジュール工具と前記ボディとの位置関係が前記所望の関係となるように調整された前記第2の位置決め装置と同様に、予め調整されている露光装置の製造方法。 - 前記第1モジュール工具は、前記ボディと前記第1モジュールとの前記第1の位置決め装置を介したドッキングが行われるデバイス製造工場に納入される前記第1モジュールと実質的に同じ部材である請求項65に記載の露光装置の製造方法。
- 前記第1モジュールは、前記感応物体を保持するステージを含むステージモジュールである請求項65又は66に記載の露光装置の製造方法。
- 請求項65〜67のいずれか一項に記載の露光装置の製造方法を用いて製造された露光装置を用いて感応物体を露光することと、
露光された前記感応物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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