JP5771632B2 - 円筒体の輪郭形状を測定するための方法及び装置 - Google Patents

円筒体の輪郭形状を測定するための方法及び装置 Download PDF

Info

Publication number
JP5771632B2
JP5771632B2 JP2012556377A JP2012556377A JP5771632B2 JP 5771632 B2 JP5771632 B2 JP 5771632B2 JP 2012556377 A JP2012556377 A JP 2012556377A JP 2012556377 A JP2012556377 A JP 2012556377A JP 5771632 B2 JP5771632 B2 JP 5771632B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
measurement object
imaging camera
line
fan
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2012556377A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2013522580A (ja
Inventor
デッペ,ゲルト‐ヨアヒム
シェーナルツ,ノルベルト
ブラウアー,ホルガー
ヴィンケルス,イェルン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Salzgitter Mannesmann Line Pipe GmbH
Original Assignee
Salzgitter Mannesmann Line Pipe GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Salzgitter Mannesmann Line Pipe GmbH filed Critical Salzgitter Mannesmann Line Pipe GmbH
Publication of JP2013522580A publication Critical patent/JP2013522580A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5771632B2 publication Critical patent/JP5771632B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)

Description

本発明は、請求項1の前文に記載の球状湾曲体、特に、円筒体の輪郭形状を測定するための方法、及び請求項3に記載の前記方法を実施するための装置に関する。
本発明は、特に、周知の二次元三角測距法としてのレーザー光切断法を用いて非接触式に行われる光学的な輪郭の測定に関する。
ここでは、測定対象物、例えば、管の三次元的な「全体輪郭(overall profile)」は、二次元な「輪郭断片(profile sections)」を継ぎ合せることによって、描かれるようになっており、この二次元な「輪郭断片」は、センサ及び測定対象物が互いに相対的に移動する際に連続的に撮像されたものとなっている。
本発明の記載において考慮されるような輪郭の測定が、周知の点三角測距に基づいて一次元的に行われる場合、レーザー及び直線位置敏感型検出器が三角測距のセンサを構成するものとして用いられる。レーザービーム軸及び検出器の光学軸は、以後「法平面(normal plane)」と呼ぶ面上に延在し、かつ三角測距の角度を成している。レーザービームの方向におけるセンサから測定対象物までの距離は、通常では測定変数を構成している。このような方法は、例えば、特許文献1から知られている。
この点三角測距を二次元に拡張することが本特許出願の主題である。一般的に知られている光切断法では、点状レーザービームが扇状レーザービームに置き換えられ、かつ一次元的直線位置検出器が二次元的面検出器に置き換えられることとなる。
周知の方法では、この拡張は、前述した法平面に対して直交する方向にて対称的に行われている。測定対象物上の各測定範囲は、対物レンズによって検出器上に結像されるようになっている。対物レンズ及び検出器は、二次元的に作動する面撮像カメラを構成している。
扇状レーザービームは、典型的には、点状レーザービームの出射口前方に取り付けられた回折光学系によって生成され、これによって、「光切断線(光切断ライン、light section line)」と呼ばれる線が測定対象物上に生成されるようになっている。
前述の方法を円筒状の測定対象物、例えば、必ずしも必要ではないが、管に適用するとき、光切断線は、典型的には管軸と直交するように配向される。管が長軸の方向に運ばれるとき又はセンサがしかるべく移動するとき、管形状の三次元的な輪郭が、前述したような連続測定によって撮像されることになる。
前述した方法及び装置によって光切断測定を行う場合、その欠点が測定対象物の形状によって顕在化して、輪郭形状の正確な測定が一部できなくなるおそれがある。
図1は、円筒管の従来の二次元的な光切断測定を概略的に示している。測定には、カメラ3として構成された検出器により撮像された測定対象物4の表面の画像が用いられる。この表面は、レーザー1から放射された扇状の投影レーザーライン2によって照射されるものである。
図1の左側の図は縦断面を概略的に示しており、右側の図は測定対象物4の長軸に対する横断面を概略的に示している。レーザー1及びカメラ3によって構成される光切断装置は、測定対象物の長軸に沿って位置する法平面に配置されており、レーザー1の扇状レーザービーム5の軸とカメラ3の光学軸6との間における挟角が、縦断面における「三角測距の角度」となっている。
このような装置の欠点としては、対象物表面から後方散乱するレーザービームエネルギーの比較的わずかな部分のみが評価用のカメラ3に到達するに過ぎないということがある。特に、動的な測定を行う場合には、露出時間当たりのエネルギーが関連することとなる。このことは、カメラ3と測定対象物4との間の迅速な相対運動が行われることに伴って必然的に露出時間が短くなる場合に、特に顕著になって、三次元的な輪郭の測定ができなくなるおそれがある。
測定が円筒形状のものに適用される場合、このような周知の方法による測定の欠点は、レーザービーム2の扇状の拡がりによる角度の付いた状態に基づいて増幅されて、特に、測定範囲の縁領域、具体的には、表面の湾曲によって後方散乱したレーザーエネルギーのごくわずかしかカメラ3によって撮像されない領域に、影響を及ぼすことになる。
結像された光切断線の縁領域において強度が低下することも、測定信号の評価における信号ノイズ比、ひいては、信号の測定精度に対して不利となる。
一般的に、信号ノイズ比はレーザー出力の増加によって改善されるが、このことは、レーザーを複雑にし、かつレーザーの安全性を高めることを必要とするので、好ましくない。
カメラの露出時間を増加させることもまた原理的には可能であるが、この露出時間の増加は、センサと測定対象物との間の相対運動が速い場合に移動ブレを大きくするので、適用することができなくなっている。
原理的には、測定対象物の表面に典型的な散乱特性をもたらすようにカメラの視野角(すなわち、三角測距の角度)を狭くすることも考えられるが、このことは、特に、測定分解能の低下をもたらすことになる。
前述の3つの対策では、画像取得中の不均一な強度分布の問題を解決することができず、縁強度を十分なものとした場合には、中心領域が露出過度になる危険性さえ生じることになる。
独国特許出願公開第4037383A1号明細書
従って、本発明は、二次元切断法を用いて、球体、特に、円筒体の測定対象物の輪郭形状を測定することを容易にする方法であって、前述の欠点を解消できる方法を提供することを目的とするものである。さらに他の目的は、対応する装置を提供することにある。
この目的は、請求項1の特徴的な特性と関連する前文とによって解消されることになる。有利な改良は従属請求項の主題になっている。
円筒管の従来の二次元的な光切断測定を説明するための概略縦断面図及び概 略横断面図である。 本発明の測定を説明するための概略横断面図である。
本発明の示唆によれば、輪郭形状は、円筒軸を中心として法平面から離れるようにレーザーを揺動(回動)させることによって測定されるようになっており、法平面に対する角度は、面撮像カメラの光学軸が円筒の表面に対する反射ビームの視射角の範囲内に位置するように、調節されている。
本発明は、測定対象物の特徴的な形状を考慮に入れた記録カメラと扇状レーザービームとの新規な空間的配置によって、従来の方法の前述した欠点を容易に解消するものである。
以下、提案されている新規の手法を、一例として、円筒形状を有する測定対象物を用いて説明するが、当該手法は、他の球形状、例えば、側面輪郭についても同じように適用可能である。
光切断法の従来の実施形態では、レーザー及びカメラは、円筒軸に沿って位置する前述の法平面に配置されているが、提案されている新規の手法によるレーザーは、意図的に、レーザーが表面を斜めに照射するように、円筒軸を中心としてこの法平面から外れるように揺動する。
有利には、レーザー及びカメラは、円筒面に対する記録角度が扇状レーザービームの軸及び記録カメラの光学軸の配置に対する視射角の範囲内に配置されている。
「視射角」は、一般的に、ある角度で高い光反射を示すような理想的な鏡面反射をもたらさない無光沢な表面にて光が反射(「glance」)する角度を表している。周知の測定技術と違って、ここでは、この効果を用いて、レーザーを法平面から外れるように意図的に揺動させることによって、測定対象物の限界的な縁領域からカメラへのレーザービームの反射が強化されるようになっている。
測定範囲が法平面に対して対称的になっている典型的な用途では、有利には、対称的に配置された2つのレーザーが用いられている(図2)。
図2の断面図に示されるような新規に提案された配置によって、円筒の周囲における同一長さの光切断線に対して、より大きな取得領域、すなわち、より大きな輪郭の測定範囲が得られることになる。本発明によれば、レーザー1,1’は、(法平面上に投影された)三角測距の角度、従って、輪郭測定の距離分解能を維持しながら、円筒軸を中心として法平面から外れるように揺動するようになっている。
測定対象物4の表面上に投射されたレーザーライン2’の2つの部分からの連続的な光切断線を組み合わせることによって、これらの2つの部分は、互いに真っ直ぐに並んだ線になり、表面から反射したビームは、レーザー1,1’間に配置されたカメラ3によって撮像され、ここでは示されていない評価ユニットに向かってさらに転送されることになる。
カメラが位置する法平面の両側に2つのレーザーが配置されたこの構成は、円筒の全周を撮像することができる多チャンネル構成に拡張することができるという利点をもたらすので有利であることも分かっている。この場合、同数のカメラ及び扇状レーザービームが用いられることになる。必要なチャンネル数は、円筒面の反射率、レーザー出力、及び(必要な)露出時間の連携によって、個別に決定される。

Claims (4)

  1. 二次元光切断法を用いて、測定対象物(4)としての円筒体の輪郭形状を測定するための方法であって、
    少なくとも1つのレーザー(1、1’)によって、扇状レーザーライン(2,2’)を前記円筒体の表面上に光切断線として結像し、
    前記円筒体の表面から反射したビームを、少なくとも1つの面撮像カメラ(3)によって撮像し、
    前記レーザー(1,1’)及び前記面撮像カメラ(3)を、前記円筒体の軸に沿って位置する法平面に三角測距の角度を成すように配置し、次いで、測定した値を、前記輪郭形状を表示するための評価ユニットに伝える方法において、
    前記扇状レーザーライン(2,2’)を発する前記レーザー(1,1’)を、前記円筒体の表面に関する前記面撮像カメラの光学軸(6)前記反射ビームの視射角の範囲内に位置させるように定められる前記法平面に関する前記角度を成して、前記円筒体の軸を中心として前記法平面から外れる範囲まで揺動させながら、前記測定対象物(4)の輪郭形状が、前記測定対象物の周方向に間隔を空けて配置された複数の前記レーザー(1,1’)を用いて測定され、
    隣接する前記レーザー(1,1’)の扇状レーザーライン(2,2’)が、前記測定対象物(4)の表面上における1つの線上に位置し、かつ互いに部分的に重なり
    前記隣接するレーザー(1,1‘)の扇状レーザーライン(2,2’)を前記測定対象物(4)の表面上に光切断線として結像した後に前記測定対象物の表面から反射したレーザー放射線が、前記隣接するレーザー(1,1‘)間における前記法平面上に配置された前記少なくとも1つの面撮像カメラ(3)の内1つの面撮像カメラ(3)によって検出される、方法。
  2. 前記測定対象物(4)の周方向測定のために、同数の前記レーザー(1,1’)及び前記面撮像カメラ(3)が用いられている、請求項1に記載の方法。
  3. 請求項1又は2に記載の方法を実施するための装置であって、
    前記扇状レーザーライン(2)を前記測定対象物(4)上に投影する前記複数のレーザー(1,1’)と、
    前記測定対象物(4)の表面から反射したレーザー放射線を検出するために、前記レーザーに対して三角測距の角度を成すように配置された前記少なくとも1つの面撮像カメラ(3)と
    を備え、
    前記レーザー(1,1’)及び前記面撮像カメラ(3)が、前記円筒体の軸に沿って位置する法平面に配置され、かつ輪郭形状を表示するための前記評価ユニットに接続され、
    前記扇状に拡がったレーザービーム(5)の軸が、前記法平面から外れるように揺動可能に構成され、
    前記円筒体の表面領域に関する前記面撮像カメラ(3)の光学軸(6)が、前記反射レーザービームの視射角の範囲内に位置するように、前記測定対象物(4)の表面上における直交線から外れた角度を成して配向され、
    前記測定対象物(4)の輪郭形状を測定するために、前記複数のレーザ(1,1’)が、前記測定対象物の周方向に間隔を空けて配置されており、
    前記隣接するレーザー(1,1’)の扇状レーザライン(2,2’)が、前記測定対象物(4)の表面上における1つの線上に位置し、かつ互いに部分的に重なり
    前記少なくとも1つの面撮像カメラ(3)の内1つの面撮像カメラ(3)が、前記隣接するレーザー(1,1‘)の扇状レーザーライン(2,2’)を前記測定対象物の表面上に光切断線として結像した後に前記測定対象物(4)の表面から反射したレーザービームを検出するために、前記隣接するレーザー(1,1‘)間における前記法平面上に配置されている、装置。
  4. 前記測定対象物(4)の周方向測定のために、同数の前記レーザー(1,1’)及び前記面撮像カメラ(3)が配置されている、請求項3に記載の装置。
JP2012556377A 2010-03-11 2011-02-02 円筒体の輪郭形状を測定するための方法及び装置 Expired - Fee Related JP5771632B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE201010011217 DE102010011217A1 (de) 2010-03-11 2010-03-11 Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Profilgeometrie von sphärisch gekrümmten, insbesondere zylindrischen Körpern
DE102010011217.8 2010-03-11
PCT/DE2011/000117 WO2011110144A1 (de) 2010-03-11 2011-02-02 Verfahren und vorrichtung zur messung der profilgeometrie zylindrischen körpern

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013522580A JP2013522580A (ja) 2013-06-13
JP5771632B2 true JP5771632B2 (ja) 2015-09-02

Family

ID=44169128

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012556377A Expired - Fee Related JP5771632B2 (ja) 2010-03-11 2011-02-02 円筒体の輪郭形状を測定するための方法及び装置

Country Status (8)

Country Link
US (1) US9134116B2 (ja)
EP (1) EP2545340B1 (ja)
JP (1) JP5771632B2 (ja)
KR (1) KR101762664B1 (ja)
CA (1) CA2791913C (ja)
DE (1) DE102010011217A1 (ja)
RU (1) RU2523092C2 (ja)
WO (1) WO2011110144A1 (ja)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
PL2489979T3 (pl) * 2011-02-19 2013-09-30 Refractory Intellectual Property Gmbh & Co Kg Sposób rozpoznawania i pomiaru cylindrycznych powierzchni na ogniotrwałych ceramicznych częściach konstrukcyjnych w zastosowaniach metalurgicznych
US9451810B2 (en) 2011-11-18 2016-09-27 Nike, Inc. Automated identification of shoe parts
US10552551B2 (en) 2011-11-18 2020-02-04 Nike, Inc. Generation of tool paths for shore assembly
US8755925B2 (en) 2011-11-18 2014-06-17 Nike, Inc. Automated identification and assembly of shoe parts
US8958901B2 (en) 2011-11-18 2015-02-17 Nike, Inc. Automated manufacturing of shoe parts
US8849620B2 (en) 2011-11-18 2014-09-30 Nike, Inc. Automated 3-D modeling of shoe parts
DE102011056421A1 (de) * 2011-12-14 2013-06-20 V&M Deutschland Gmbh Verfahren zur Überwachung des Fertigungsprozesses von warmgefertigten Rohren aus Stahl
DE102012007563B3 (de) 2012-04-10 2013-05-29 Salzgitter Mannesmann Line Pipe Gmbh Vorrichtung zum Verbinden der Enden von Rohren aus Stahl mittels Orbitalschweißen
US20140218504A1 (en) * 2013-02-01 2014-08-07 Centre De Recherche Industrielle Du Quebec Apparatus and method for scanning a surface of an article
US9333548B2 (en) * 2013-08-12 2016-05-10 Victaulic Company Method and device for forming grooves in pipe elements
JP6308807B2 (ja) * 2014-02-28 2018-04-11 株式会社キーエンス 検査装置、制御方法およびプログラム
US10365370B2 (en) 2016-10-31 2019-07-30 Timothy Webster Wear tolerant hydraulic / pneumatic piston position sensing using optical sensors
EP3502672B1 (en) 2017-12-20 2022-02-09 Fundación Tecnalia Research & Innovation Methods and systems for visual inspection
DE102017130909A1 (de) * 2017-12-21 2019-06-27 Weber Maschinenbau Gmbh Breidenbach Optische Messeinrichtung
CN109489556B (zh) * 2019-01-05 2020-09-08 中国航空制造技术研究院 一种用于飞机装配的接触式曲面法向测量装置及方法
EP3951313A1 (de) 2020-08-05 2022-02-09 SMS Group GmbH Geradheitsmessung länglicher werkstücke in der metallverarbeitenden industrie
CN112378476B (zh) * 2020-11-17 2022-10-04 哈尔滨工业大学 大长径比卧式罐容积多站三维激光扫描内测装置及方法
CN114353673A (zh) * 2022-01-26 2022-04-15 山东钢铁集团日照有限公司 一种激光三角法钢板优化测长装置
CN114719757B (zh) * 2022-03-23 2024-01-30 太原科技大学 一种基于线结构光的钢板测长系统及其测量方法

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57144404A (en) 1981-03-02 1982-09-07 Sumitomo Metal Ind Ltd Method and device for measurement of size and shape of shape steel
US4741621A (en) 1986-08-18 1988-05-03 Westinghouse Electric Corp. Geometric surface inspection system with dual overlap light stripe generator
DE3921956A1 (de) * 1989-06-06 1990-12-13 Eyetec Gmbh Verfahren zur beruehrungslosen dickenmessung von faserigen, koernigen oder poroesen materialien sowie vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
US5015867A (en) * 1989-08-30 1991-05-14 Ppg Industries, Inc. Apparatus and methods for measuring the diameter of a moving elongated material
WO1991008439A1 (de) * 1989-12-05 1991-06-13 Böhler Gesellschaft M.B.H. Verfahren und anordnung zur optoelektronischen vermessung von gegenständen
DE4037383A1 (de) 1990-11-20 1992-05-21 Mesacon Messtechnik Verfahren zum kontinuierlichen beruehrungsfreien messen von profilen und einrichtung zur durchfuehrung des messverfahrens
US5669871A (en) * 1994-02-21 1997-09-23 Olympus Optical Co., Ltd. Endoscope measurement apparatus for calculating approximate expression of line projected onto object to measure depth of recess or the like
DE19509631A1 (de) * 1995-03-17 1996-09-19 Helmut A Kappner Verfahren und Einrichtung zum Erkennen und Sortieren von Getränkebehältern, insbesondere Flaschen und Flaschenkästen
DK172161B1 (da) 1995-03-28 1997-12-08 Pedershaab As Anlæg til støbning af rørgods
AU5270596A (en) * 1995-03-30 1996-10-16 Pipetech Aps System identification
US6502984B2 (en) * 1997-01-17 2003-01-07 Canon Kabushiki Kaisha Radiographic apparatus
DE19849793C1 (de) * 1998-10-28 2000-03-16 Fraunhofer Ges Forschung Vorrichtung und Verfahren zur berührungslosen Erfassung von Unebenheiten in einer gewölbten Oberfläche
DE19949275A1 (de) * 1999-10-12 2001-05-03 Wolf Henning Meßverfahren und Meßvorrichtung zur Vermessung der Form von Objekten
DE10006663B4 (de) 2000-02-15 2006-10-05 Metronom Ag Verfahren zur Vermessung von langwelligen Oberflächenstrukturen
JP2003148936A (ja) * 2002-10-30 2003-05-21 Nippon Avionics Co Ltd 光切断法による対象物の三次元計測方法
DE10313191A1 (de) * 2003-03-25 2004-10-07 Gutehoffnungshütte Radsatz Gmbh Verfahren zur berührungslosen dynamischen Erfassung des Profils eines Festkörpers
JP4354343B2 (ja) * 2004-06-15 2009-10-28 株式会社トプコン 位置測定システム
DE102004057092A1 (de) * 2004-11-25 2006-06-01 Hauni Maschinenbau Ag Messen des Durchmessers von stabförmigen Artikeln der Tabak verarbeitenden Industrie
CN101156044B (zh) * 2005-04-11 2011-02-02 Faro科技有限公司 三维坐标测量设备
JP4644540B2 (ja) * 2005-06-28 2011-03-02 富士通株式会社 撮像装置
JP5207665B2 (ja) * 2007-06-08 2013-06-12 株式会社トプコン 測定システム
DE102007026900A1 (de) 2007-06-11 2008-12-18 Siemens Ag Auswerten der Oberflächenstruktur von Bauelementen unter Verwendung von unterschiedlichen Präsentationswinkeln
US7755754B2 (en) * 2007-10-23 2010-07-13 Gii Acquisition, Llc Calibration device for use in an optical part measuring system
US8482607B2 (en) * 2008-03-10 2013-07-09 Timothy David Webster Position sensing of a piston in a hydraulic cylinder using a photo image sensor
JP5302702B2 (ja) * 2008-06-04 2013-10-02 株式会社神戸製鋼所 タイヤ形状検査方法,タイヤ形状検査装置
US9739595B2 (en) * 2008-12-11 2017-08-22 Automated Precision Inc. Multi-dimensional measuring system with measuring instrument having 360° angular working range
CN102822618B (zh) * 2009-11-26 2017-02-15 沃思测量技术股份有限公司 用于接触‑光学确定测量物体的几何形状的方法和装置
BRPI1000301B1 (pt) * 2010-01-27 2017-04-11 Photonita Ltda dispositivo óptico para medição e identificação de superfícies cilíndricas por deflectometria aplicado para identificação balística
JP5725922B2 (ja) * 2011-03-25 2015-05-27 株式会社トプコン 測量システム及びこの測量システムに用いる測量用ポール及びこの測量システムに用いる携帯型無線送受信装置

Also Published As

Publication number Publication date
RU2523092C2 (ru) 2014-07-20
JP2013522580A (ja) 2013-06-13
US20130063590A1 (en) 2013-03-14
US9134116B2 (en) 2015-09-15
EP2545340A1 (de) 2013-01-16
CA2791913A1 (en) 2011-09-15
WO2011110144A1 (de) 2011-09-15
KR101762664B1 (ko) 2017-07-28
KR20130052548A (ko) 2013-05-22
DE102010011217A1 (de) 2011-09-15
RU2012143402A (ru) 2014-04-20
EP2545340B1 (de) 2017-12-13
CA2791913C (en) 2017-10-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5771632B2 (ja) 円筒体の輪郭形状を測定するための方法及び装置
JP2019095799A5 (ja)
US11226301B2 (en) Thermographic examination means and method for non-destructive examination of a near-surface structure at a test object
JP2008513751A (ja) 測定対象物の複数の面を測定するための光学式測定装置
JP2010164334A (ja) 内面形状測定装置および内面形状測定方法
JP7010672B2 (ja) 車輪形状測定方法
US7382467B2 (en) Interferometric measuring device
CN109990732B (zh) 横向相减差动共焦曲率半径测量方法
CN109945804B (zh) 横向相减差动共焦超大曲率半径测量方法
JP2006284179A (ja) 寸法計測装置および車両の寸法計測装置ならびに車両の寸法計測方法
US9383191B2 (en) Outer dimension measuring apparatus and outer dimension measuring method
US11421984B2 (en) Testing of curved X-ray gratings
JP2008032669A5 (ja)
JP6350900B2 (ja) 層厚計測装置
JP5768349B2 (ja) スリット光輝度分布設計方法および光切断凹凸疵検出装置
US8928862B2 (en) Device and method for non-contacting measurement of a distance and/or profile
US11163072B2 (en) Device for contactlessly determining the straightness of at least one long product and method for calibrating a device of this type
JP3920713B2 (ja) 光学変位測定装置
JP2006189390A (ja) 光学式変位測定方法および装置
JP2006184091A (ja) 面内方向変位計
JP2009156671A (ja) 光線方向計測装置及び表面性状計測装置
CZ308493B6 (cs) Zařízení pro měření vnitřních stěn hlubokých otvorů pomocí principu triangulačního snímače měření vzdálenosti
JP5188377B2 (ja) 球体の真球度の測定方法および球体の曲率半径の測定方法
JP5553593B2 (ja) 面形状測定装置、面形状測定方法および光学素子の製造方法
JPWO2022208571A5 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20131225

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20131225

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140307

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20140715

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20141010

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20141010

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20141104

A912 Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912

Effective date: 20141219

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20150629

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5771632

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees