JP2006184091A - 面内方向変位計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光ビームを測定対象10に投光し、測定対象面からの反射光を撮像素子34で受光して、面内方向の変位を測定する面内方向変位計において、測定対象面11に光ビーム24を投光する投光手段と、該投光ビームの正反射位置に配設され、測定対象面からの正反射ビーム26を、前記撮像素子の面内方向測定用受光領域34A以外に設定された高さ検出用受光領域34Bに導く反射手段(40)とを備え、該高さ検出用受光領域で受光された光量の重心を求めることにより、測定対象面の高さ方向位置を検出する。
【選択図】図3
Description
11…測定対象面
20…レーザ
22…コリメートレンズ
24…投光ビーム
26…正反射ビーム
30…レンズ
32…ピンホール
34…固体撮像素子
34A…面内方向測定用受光領域
34B…高さ検出用受光領域
34C…デッドゾーン
36…衝立
40…ミラー
Claims (4)
- 光ビームを測定対象に投光し、測定対象面からの反射光を撮像素子で受光して、面内方向の変位を測定する面内方向変位計において、
測定対象面に光ビームを投光する投光手段と、
該投光ビームの正反射位置に配設され、測定対象面からの正反射ビームを、前記撮像素子の面内方向測定用受光領域以外に設定された高さ検出用受光領域に導く反射手段とを備え、
該高さ検出用受光領域で受光された光量の重心を求めることにより、測定対象面の高さ方向位置を検出するようにされていることを特徴とする面内方向変位計。 - 前記投光手段が、面内方向測定用投光手段と兼用されていることを特徴とする請求項1に記載の面内方向変位計。
- 前記面内方向測定用反射光と、高さ方向位置検出用正反射光の干渉を防止するようにされていることを特徴とする請求項1に記載の面内方向変位計。
- 前記高さ検出用受光領域の有効面積が可変とされていることを特徴とする請求項1に記載の面内方向変位計。
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