JP2008039535A - 画像相関変位計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】コヒーレント光の照明手段(レーザ20、半導体レーザ52)を備え、コヒーレント光の照明により得られるスペックル画像の相関から、測定対象の面内変位を測定する画像相関変位計において、非コヒーレント光の照明手段(白色光源40、LED光源50)を備えて、物体画像も得られるようにする。ここで、前記コヒーレント光の照明と非コヒーレント光の照明を同期して切り替えるようにすることができる。又、前記コヒーレント光の照明による動作と非コヒーレント光の照明による動作を含む動作モードを選択可能とすることができる。更に、前記物体画像を相関処理して、測定対象の位置を特定する手段(パターンマッチング回路58)を備えることができる。
【選択図】図3
Description
11…測定対象面
12…マーキング
20…レーザ
34…固体撮像素子
36…測定可能エリア
36C…測定中心
40…白色光源
42…切替機構
50…LED光源
52…半導体レーザ
54…同期回路
56…モード選択スイッチ
58…パターンマッチング回路
Claims (4)
- コヒーレント光の照明手段を備え、コヒーレント光の照明により得られるスペックル画像の相関から、測定対象の面内変位を測定する画像相関変位計において、
非コヒーレント光の照明手段を備えて、物体画像も得られるようにしたことを特徴とする画像相関変位計。 - 前記コヒーレント光の照明と非コヒーレント光の照明を同期して切り替える切替手段を備えたことを特徴とする請求項1に記載の画像相関変位計。
- 前記コヒーレント光の照明による動作と非コヒーレント光の照明による動作を含む動作モードを選択する手段を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の画像相関変位計。
- 前記物体画像を相関処理して、測定対象の特定位置を検出する手段を更に備えたことを特徴とする請求項1に記載の画像相関変位計。
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2006
- 2006-08-04 JP JP2006212813A patent/JP2008039535A/ja active Pending
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