JP2019095799A5

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Publication number: JP2019095799A5
Application number: JP2019012078A
Authority: JP
Filing date: 2019-01-28
Publication date: 2019-09-26

Claims

光学アセンブリであって、
光が本体の第２の端部を介して前記本体から出るように前記本体の第１の端部から前記本体の前記第２の端部まで前記光を案内する前記本体を備える導波路、および
結合出力デバイス
を備えるアセンブリを備える、照射光学ユニットと、
前記光を生成するように構成された光源と、
測定デバイスと、
ａ）照射フィールド、またはｂ）前記照射フィールドが結像される像面を検出するように構成された検出デバイスと、を備え、
前記本体の前記第２の端部が、出口面内にあり、
前記結合出力デバイスが、ａ）前記出口面内にある、ｂ）前記出口面付近にある、ｃ）前記出口面に対して共役関係にある、またはｄ）前記出口面と共益関係にある面付近にある結合出力面内にあり、
前記結合出力デバイスが、部分光ビームが前記本体の前記第２の端部から出た後で前記部分光ビームを反射して、前記部分光ビームを、前記光の残りの部分が前記本体の前記第２の端部から出た後で前記光の前記残りの部分から分離するように構成され、
前記部分光ビームの断面が、前記本体の前記第２の端部から出る前記光の断面の一部分であり、
前記測定デバイスが、前記部分光ビームの測定変数特性を検出するように構成され、
前記装置が、前記装置の使用中に、
前記部分光ビームが、前記光源から前記導波路を通って前記測定デバイスに至る経路をたどり、
前記光の前記残りの部分が前記光源から前記照射光学ユニットを通って前記照射フィールドに至る経路をたどり、その結果、前記光の前記残りの部分が前記検出デバイスによって検出可能となるように構成され、
前記装置が、ウェハまたはマスクを検査するように構成される、光学アセンブリ。
前記結合出力デバイスが、前記部分ビームが中間フィールド面から結合出力されるように配置され、前記中間フィールド面が、前記照射フィールドに、または照射フィールド面から結像することができる、請求項１に記載の光学アセンブリ。
前記結合出力デバイスが、ミラーを備える、請求項１または２に記載の光学アセンブリ。
前記ミラーが、前記部分光ビームの前記断面が７０°より大きい入射角で前記ミラーに入射するように構成される、請求項３に記載の光学アセンブリ。
前記ミラーが、前記ミラーの少なくとも一部分が前記本体の外側となるように、前記本体から遠ざかる方向に前記出口面を超えて延びる、請求項３または４に記載の光学アセンブリ。
前記結合出力デバイスが、絞りを備える、請求項１から５のいずれか１項に記載の光学アセンブリ。
前記測定デバイスが、ｈ３に対するｈ１の比が１未満となる面の領域内にセンサを備え、
ｈ１が、導波路入口領域の同一の点から生じる前記部分光ビームにおける反射の次数が同じ光線の間の距離であり、
ｈ３が、導波路出口領域の同じ点を通過する前記部分光ビームにおける反射の次数がゼロの光線の間の最大距離である、請求項１から６のいずれか１項に記載の光学アセンブリ。
前記測定デバイスが、線量測定センサを備える、請求項７に記載の光学アセンブリ。
前記線量測定センサが、前記線量測定センサの検出ビームにおいて前記光ビームの前記残りの部分と同じ角度分布を検出するように構成される、請求項８に記載の光学アセンブリ。
前記測定デバイスが、焦電センサを備える、請求項１から９のいずれか１項に記載の光学アセンブリ。
同時に前記結合出力デバイスの一部でもあるセンサ光学ユニットを備える、請求項１から１０のいずれか１項に記載の光学アセンブリ。
前記測定デバイスが、前記照射フィールドの位置を検出するように構成されたフィールド位置センサを備える、請求項１から１１のいずれか１項に記載の光学アセンブリ。
前記フィールド位置センサが、空間解像センサである、請求項１２に記載の光学アセンブリ。
前記空間解像センサが、４分割センサを含む、請求項１３に記載の光学アセンブリ。
前記測定デバイスが、前記照射フィールドの照射の角度分布を測定するように構成された瞳センサを備える、請求項１から１４のいずれか１項に記載の光学アセンブリ。
制御／調整デバイスと、
前記装置の構成要素を駆動するように構成された変位デバイスと、をさらに備え、
前記測定デバイスが、前記制御／調整デバイスと信号接続しており、前記変位デバイスが、前記制御／調整デバイスと信号接続している、請求項１から１５のいずれか１項に記載の光学アセンブリ。
前記結合出力面を前記測定デバイスの検出面に結像するように構成されたセンサ光学ユニットをさらに備える、請求項１から１６のいずれか１項に記載の光学アセンブリ。
前記センサ光学ユニットが、凹面鏡を備える、請求項１７に記載の光学アセンブリ。
前記センサ光学ユニットが、前記第１のデバイスによって前記光ビームの前記残りの部分より大きな開口が検出されることを回避するための開口絞りを備える、請求項１７に記載の光学アセンブリ。
前記センサ光学ユニットが、前記第１のデバイスによって前記光ビームの前記残りの部分より大きな開口が検出されることを回避するための反射コーティングを備える、請求項１７に記載の光学アセンブリ。
第２の測定デバイスをさらに備え、前記第２の測定デバイスが、前記導波路に入射したときの前記照射光の偏心および傾斜を測定するように構成される、請求項１から２０のいずれか１項に記載の光学アセンブリ。