JP5765993B2 - 振動型駆動装置 - Google Patents

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Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5679781B2 (ja) 2010-11-26 2015-03-04 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータの制御装置
JP2014018027A (ja) * 2012-07-11 2014-01-30 Canon Inc 振動型アクチュエータ、撮像装置、及びステージ
JP5998980B2 (ja) * 2013-02-22 2016-09-28 セイコーエプソン株式会社 圧電モーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置、搬送装置
JP5673752B2 (ja) * 2013-07-25 2015-02-18 Tdk株式会社 圧電アクチュエータ
JP6271901B2 (ja) * 2013-07-31 2018-01-31 キヤノン株式会社 超音波モータ及び超音波モータを備えた光学機器
JP6257224B2 (ja) * 2013-08-29 2018-01-10 キヤノン株式会社 モータ及びレンズ装置
JP6324208B2 (ja) * 2014-05-20 2018-05-16 キヤノン株式会社 超音波モータ
JP6361365B2 (ja) * 2014-08-13 2018-07-25 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法
JP6410568B2 (ja) * 2014-10-31 2018-10-24 キヤノン株式会社 振動波モータ及びそれを用いた光学機器
JP6639243B2 (ja) 2016-01-14 2020-02-05 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータ及び電子機器
JP6624961B2 (ja) * 2016-02-10 2019-12-25 キヤノン株式会社 旋回駆動装置
JP6771939B2 (ja) * 2016-04-25 2020-10-21 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータ及び電子機器
US11201570B2 (en) * 2017-03-28 2021-12-14 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave motor and optical device
JP7046614B2 (ja) * 2018-01-18 2022-04-04 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータ及び電子機器
JP6995660B2 (ja) * 2018-02-15 2022-01-14 キヤノン株式会社 振動波モータを備えた駆動装置
JP6479238B2 (ja) * 2018-04-09 2019-03-06 キヤノン株式会社 モータ
JP7207949B2 (ja) * 2018-10-31 2023-01-18 キヤノン株式会社 振動波モータ及び振動波モータを備えた駆動装置
JP6659193B2 (ja) * 2019-02-06 2020-03-04 キヤノン株式会社 モータ
JP7250610B2 (ja) * 2019-05-08 2023-04-03 日本電産サンキョー株式会社 振動アクチュエータ及び触覚デバイス
CN113031375B (zh) * 2021-03-18 2022-09-30 深圳市火乐科技发展有限公司 光学组件及投影设备

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2542528Y2 (ja) * 1991-07-18 1997-07-30 株式会社ケンウッド 超音波モータの振動体構造
JPH07274552A (ja) * 1994-04-01 1995-10-20 Nikon Corp リニアモータ
JPH0947045A (ja) * 1995-07-31 1997-02-14 Canon Inc 振動波駆動装置
US6078438A (en) * 1997-04-14 2000-06-20 Nikon Corporation Vibration actuator and lens barrel
JPH11235062A (ja) * 1998-02-12 1999-08-27 Nikon Corp 振動アクチュエータ駆動装置及びレンズ鏡筒
JPH1194872A (ja) * 1997-09-24 1999-04-09 Murata Mfg Co Ltd 加速度センサ
JP4838865B2 (ja) * 2002-07-12 2011-12-14 セイコーインスツル株式会社 圧電モータ及び圧電モータ付き電子機器
US7187104B2 (en) * 2003-03-28 2007-03-06 Canon Kabushiki Kaisha Vibration-type driving device, control apparatus for controlling the driving of the vibration-type driving device, and electronic equipment having the vibration-type driving device and the control apparatus
JP4389480B2 (ja) * 2003-05-28 2009-12-24 セイコーエプソン株式会社 振動子の支持機構及び振動子ユニット
JP4072518B2 (ja) * 2004-06-09 2008-04-09 キヤノン株式会社 振動波駆動装置
JP4576214B2 (ja) * 2004-11-26 2010-11-04 オリンパスイメージング株式会社 超音波モータおよびレンズ鏡筒
JP4649263B2 (ja) 2005-04-22 2011-03-09 キヤノン株式会社 光学機器
JP4769479B2 (ja) * 2005-04-22 2011-09-07 キヤノン株式会社 光学機器
JP4794901B2 (ja) * 2005-05-09 2011-10-19 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータの駆動システムおよびその駆動方法
JP5244727B2 (ja) * 2009-07-27 2013-07-24 パナソニック株式会社 振動型アクチュエータ
US8643252B2 (en) 2010-05-11 2014-02-04 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave actuator

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