JP6639244B2 - 振動型アクチュエータ及び電子機器 - Google Patents
振動型アクチュエータ及び電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6639244B2 JP6639244B2 JP2016006092A JP2016006092A JP6639244B2 JP 6639244 B2 JP6639244 B2 JP 6639244B2 JP 2016006092 A JP2016006092 A JP 2016006092A JP 2016006092 A JP2016006092 A JP 2016006092A JP 6639244 B2 JP6639244 B2 JP 6639244B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- elastic body
- vibrating body
- type actuator
- contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 60
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 54
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 53
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 27
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 25
- 230000036544 posture Effects 0.000 description 22
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 21
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 14
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 11
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 239000002783 friction material Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229910001105 martensitic stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000009955 peripheral mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/04—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification
- G02B7/08—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification adapted to co-operate with a remote control mechanism
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/04—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification
- G02B7/09—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification adapted for automatic focusing or varying magnification
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/0015—Driving devices, e.g. vibrators using only bending modes
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/026—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/60—Control of cameras or camera modules
- H04N23/68—Control of cameras or camera modules for stable pick-up of the scene, e.g. compensating for camera body vibrations
- H04N23/682—Vibration or motion blur correction
- H04N23/685—Vibration or motion blur correction performed by mechanical compensation
- H04N23/687—Vibration or motion blur correction performed by mechanical compensation by shifting the lens or sensor position
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/03—Assembling devices that include piezoelectric or electrostrictive parts
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/802—Circuitry or processes for operating piezoelectric or electrostrictive devices not otherwise provided for, e.g. drive circuits
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
図1(a)は、本発明の第1実施形態に係る振動型アクチュエータ1の概略構成を示す斜視図である。また、図1(b)は、振動型アクチュエータ1を構成する振動体10とその周辺構成を示す外観斜視図である。振動型アクチュエータ1は、振動体10及び被駆動体(接触体)2を有する。振動体10は、弾性体11、圧電素子12及び2つの突起部13を有する。振動体10は、フレキシブルプリント基板15(以下「FPC15」と記す)を介して、基台3に保持される。
ΣFzi=Fz>0 ・・・(2)
ΣFi×ai=0 ・・・(3)
ΣFzi×ai´=0 ・・・(4)
ここで、加圧力Fziは、スカラー量であり、接触点ai´の位置ベクトルの係数である。よって、上記式(4)の条件を満たすためには、接触点ai´が1カ所の場合はその接触点ai´が振動体10の重心と一致していればよく、接触点ai´が2カ所の場合は、2つの接触点ai´を結ぶ直線上に振動体10の重心があればよい。また、接触点ai´が3カ所以上の場合は、3カ所の以上の接触点ai´で囲う領域内に重心である原点(0,0)が存在すればよい。
図10(a)は、本発明の第2実施形態に係る振動型アクチュエータ1Aの概略構成を示す斜視図である。また、図1(b)は、振動型アクチュエータ1Aを構成する振動体20とその周辺構成を示す外観斜視図である。なお、振動型アクチュエータ1Aにおいて、第1実施形態で説明した振動型アクチュエータ1と共通する構成要素については、同じ名称及び同じ符号を用いて、ここでの重複する説明を省略する。
図14(a)は、本発明の第3実施形態に係る振動型アクチュエータを構成する振動体30の概略構成を示す斜視図である。振動体30は、弾性体11、圧電素子12及び4つの突起部33を有する。それぞれの突起部33の先端部は、不図示の接触体と加圧接触する接触部34となっている。振動体30は、FPC15を介して、基台3に保持される。振動体30は、弾性体11のY方向端にそれぞれ2つずつの突起部23が設けられている点で、弾性体11のY方向端にそれぞれ1つずつの突起部13が設けられている振動体10(第1実施形態)と異なる。なお、振動体30において、第1実施形態で説明した振動体10と共通する構成要素については、同じ名称及び同じ符号を用いて、ここでの重複する説明を省略する。また、突起部33は突起部13と同等であり、接触部34は接触部14と同等である。
図15(a)は、本発明の第4実施形態に係る振動型アクチュエータを構成する振動体40の概略構成を示す斜視図である。振動体40は、弾性体11、圧電素子12及び2つの突起部43を有する。それぞれの突起部43の先端部は、不図示の接触体と加圧接触する接触部44となっている。振動体40は、FPC15を介して、基台3に保持される。振動体40は、モードBの節線X1,X2の中間部において、モードAの節線Y1,Y2の近傍に2つの突起部23が設けられている点で、弾性体11の略中央に1つの突起部23が設けられている振動体20(第2実施形態)と異なる。なお、振動体40において、第1実施形態で説明した振動体10と共通する構成要素については、同じ名称及び同じ符号を用いて、ここでの重複する説明を省略する。また、突起部43は振動体10の突起部13と同等で有り、接触部44は振動体10の接触部14と同等である。
図16は、本発明の第5実施形態に係る振動型アクチュエータを構成する振動体50の製造工程を簡略的に示す図である。振動体50は、弾性体51と、弾性体51のY方向端に設けられた2つの突起部53と、弾性体51に接合された圧電素子12とを有し、2つの突起部53の各先端部が接触部54となっている。圧電素子12は、第1実施形態で説明した圧電素子12と同じである。
第6実施形態では、第1実施形態で説明した振動体10を備える電子機器の一例として、X−Yステージを備える顕微鏡の構成について説明する。図19は、顕微鏡400の外観斜視図である。顕微鏡400は、撮像素子と光学系を内蔵する撮像部410と、基台上に設けられ、少なくとも2つの振動体10によりX−Y面内で移動される接触体としてのステージ420を有するステージ装置の一例である自動ステージ430を有する。少なくとも1つの振動体10は、ステージ420のX方向駆動に用いられ、振動体10のX方向がステージ420のX方向と一致するように配置される。また、少なくとも1つの振動体10は、ステージ420のY方向駆動に用いられ、振動体10のX方向がステージ420のY方向と一致するように配置される。振動体10の駆動方法については、説明済みであるため、ここでの説明を省略する。
第7実施形態では、第1実施形態で説明した振動体10を備える電子機器の一例としての撮像装置について説明する。図20(a)は、撮像装置700の概略構成を示す上面図である。撮像装置700は、撮像素子710及び電源ボタン720を搭載したカメラ本体730を備える。また、撮像装置700は、第1レンズ群(不図示)、第2レンズ群320、第3レンズ群(不図示)、第4レンズ群340、振動型駆動装置620,640を有するレンズ鏡筒740を備える。レンズ鏡筒740は、交換レンズとして取り換え可能であり、撮影対象に合わせて適したレンズ鏡筒740をカメラ本体730に取り付けることができる。撮像装置700では、2つの振動型駆動装置620,640によってそれぞれ、第2レンズ群320,第4レンズ群340の駆動が行われる。
以上、本発明をその好適な実施形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。更に、上述した各実施形態は本発明の一実施形態を示すものにすぎず、各実施形態を適宜組み合わせることも可能である。
2 被駆動体(接触体)
10,20,30,40,50,60,70,80A,80B 振動体
11,51 弾性体
12 圧電素子
13,23,33,43,53,63,73,83,87 突起部
14,24,34,44,54,64,74,84,88 接触部
15 フレキシブルプリント基板(FPC)
58 突出部
400 顕微鏡
700 撮像装置
Claims (16)
- 平板状の弾性体と、
前記弾性体の一方の面に接合される電気−機械エネルギ変換素子と、
前記弾性体に設けられた少なくとも1つの突起部と、を有する振動体と、
前記突起部の先端で前記振動体と加圧接触する接触体とを備える振動型アクチュエータであって、
前記振動体には、互いに交わらずに前記弾性体の短辺と交わる2本の節線を有し、且つ、前記弾性体の2つの長辺を結ぶ節線を有さない第1の曲げ振動モードの振動と、前記弾性体の短手方向に前記弾性体の平板平面を2分割し、前記弾性体の長手方向に前記弾性体の平板平面を3分割した合計6つの領域において、それぞれの領域内に前記弾性体の平板平面の面外方向の振動における振幅極大が存在し、隣り合う領域において前記振幅極大における振動が逆位相となる第2の曲げ振動モードの振動の励起が可能であり、
前記第1の曲げ振動モードの振動と前記第2の曲げ振動モードの振動を組み合わせた駆動振動により、前記弾性体の長手方向と直交する面内で前記突起部の先端に楕円運動を生じさせて、前記振動体と前記接触体を前記弾性体の短手方向で相対的に移動させることを特徴とする振動型アクチュエータ。 - 前記第1の曲げ振動モードが有する2本の節線は、
前記弾性体の有する2つの長辺のうち少なくとも1つの長辺とは交わらないことを特徴とする請求項1に記載の振動型アクチュエータ。 - 前記第1の曲げ振動モードが有する2本の節線は、
前記弾性体の有する2つの長辺とは交わらないことを特徴とする請求項1又は2に記載の振動型アクチュエータ。 - 前記第2の曲げ振動モードは、
互いに交わらずに前記弾性体の長辺と交わる2本の節線と前記弾性体の短辺と交わる1本の節線とを有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。 - 前記第2の曲げ振動モードが有する前記2本の節線は、
前記弾性体の2つの短辺と交わらないことを特徴とする請求項1乃至4いずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。 - 前記弾性体の長辺と交わる前記第2の曲げ振動モードの2本の節線は、前記弾性体の短辺と交わらないことを特徴とする請求項1乃至5いずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記振動体は、前記突起部を1つ有し、
前記接触体から前記振動体へ作用する加圧力の加圧方向から見たときに、1つの前記突起部の先端の任意の点と前記振動体の重心とが一致するように、1つの前記突起部が前記弾性体に設けられていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。 - 1つの前記突起部は、前記弾性体の中央部に設けられていることを特徴とする請求項7に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記振動体は、前記突起部を2つ有し、
前記接触体から前記振動体へ作用する加圧力の加圧方向から見たときに、2つの前記突起部のそれぞれの先端の任意の点を結ぶ直線上に前記振動体の重心があるように、2つの前記突起部が前記弾性体に設けられていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。 - 2つの前記突起部は、前記弾性体の短辺近傍で、前記弾性体の短辺と交わる前記第2の曲げ振動モードの1本の節線の近傍に設けられていることを特徴とする請求項9に記載の振動型アクチュエータ。
- 2つの前記突起部は、前記弾性体の短辺と交わる前記第1の曲げ振動モードの2本の節線の近傍で、前記弾性体の長辺と交わる前記第2の曲げ振動モードの2本の節線の中間部に設けられていることを特徴とする請求項9に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記振動体は、前記弾性体の短辺近傍に設けられた少なくとも3つの前記突起部を有し、
前記接触体から前記振動体へ作用する加圧力の加圧方向から見たときに、少なくとも3つの前記少なくとも3つの突起部のそれぞれの先端の任意の点を結ぶ領域内に前記振動体の重心があるように、少なくとも3つの前記突起部が前記弾性体に設けられていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。 - 4つの前記突起部が、前記弾性体の短辺近傍で、前記弾性体の短辺と交わる前記第1の曲げ振動モードの2本の節線の近傍に設けられていることを特徴とする請求項12に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記突起部は、前記弾性体の厚み方向から見たときに、前記突起部の少なくとも一部は前記電気−機械エネルギ変換素子と重複しないように前記弾性体に設けられていることを特徴とする請求項10又は13に記載の振動型アクチュエータ。
- 前記突起部は、前記弾性体と一体的に形成されていることを特徴とする請求項1乃至14のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータ。
- 請求項1乃至15のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータと、
前記振動型アクチュエータを構成する振動体と接触体のうち前記振動型アクチュエータの駆動によって移動する方に接合されて、前記振動型アクチュエータの駆動によって所定の位置に移動して位置決めされる部材と、を備えることを特徴とする電子機器。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016006092A JP6639244B2 (ja) | 2016-01-15 | 2016-01-15 | 振動型アクチュエータ及び電子機器 |
US15/400,266 US10419676B2 (en) | 2016-01-15 | 2017-01-06 | Vibration-type actuator that drives vibrating body in combination of two bending vibration modes, and electronic apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016006092A JP6639244B2 (ja) | 2016-01-15 | 2016-01-15 | 振動型アクチュエータ及び電子機器 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017127154A JP2017127154A (ja) | 2017-07-20 |
JP2017127154A5 JP2017127154A5 (ja) | 2019-02-14 |
JP6639244B2 true JP6639244B2 (ja) | 2020-02-05 |
Family
ID=59314082
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016006092A Active JP6639244B2 (ja) | 2016-01-15 | 2016-01-15 | 振動型アクチュエータ及び電子機器 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10419676B2 (ja) |
JP (1) | JP6639244B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP1536160S (ja) * | 2014-11-12 | 2015-10-26 | ||
JP7321688B2 (ja) * | 2017-09-29 | 2023-08-07 | キヤノン株式会社 | 振動波アクチュエータ及びそれを用いた撮像装置、ステージ装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3363510B2 (ja) | 1993-04-16 | 2003-01-08 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置 |
JP4261964B2 (ja) * | 2003-04-11 | 2009-05-13 | キヤノン株式会社 | 振動型駆動装置および制御システム |
US7187104B2 (en) | 2003-03-28 | 2007-03-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration-type driving device, control apparatus for controlling the driving of the vibration-type driving device, and electronic equipment having the vibration-type driving device and the control apparatus |
JP2006115559A (ja) | 2004-10-12 | 2006-04-27 | Canon Inc | 振動波駆動装置 |
JP4928127B2 (ja) * | 2006-01-27 | 2012-05-09 | キヤノン株式会社 | 駆動装置及び駆動装置の制御方法 |
US10186988B2 (en) * | 2015-07-01 | 2019-01-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave motor and driver utilizing the vibration wave motor |
JP6779660B2 (ja) * | 2015-07-01 | 2020-11-04 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ及び振動波モータを利用した駆動装置 |
JP6576214B2 (ja) * | 2015-11-06 | 2019-09-18 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータ、レンズ鏡筒、撮像装置及びステージ装置 |
-
2016
- 2016-01-15 JP JP2016006092A patent/JP6639244B2/ja active Active
-
2017
- 2017-01-06 US US15/400,266 patent/US10419676B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017127154A (ja) | 2017-07-20 |
US10419676B2 (en) | 2019-09-17 |
US20170208253A1 (en) | 2017-07-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5765993B2 (ja) | 振動型駆動装置 | |
US9530953B2 (en) | Vibration-type actuator, image pickup apparatus, and stage | |
US20050242686A1 (en) | Vibration-type driving device, control apparatus for controlling the driving of the vibration-type driving device, and electronic equipment having the vibration-type driving device and the control apparatus | |
US10488616B2 (en) | Vibrator of vibratory drive unit, vibratory drive unit, interchangeable lens, imaging device, and automatic stage | |
CN109586609B (zh) | 振动波致动器、成像装置和使用振动波致动器的台装置 | |
JP6639243B2 (ja) | 振動型アクチュエータ及び電子機器 | |
KR20060097723A (ko) | 플랫 공명 전기-기계적 구동 장치 | |
JP6576214B2 (ja) | 振動型アクチュエータ、レンズ鏡筒、撮像装置及びステージ装置 | |
JP6639244B2 (ja) | 振動型アクチュエータ及び電子機器 | |
JP2017127154A5 (ja) | ||
KR20130129258A (ko) | 변위 부재, 구동 부재, 액츄에이터 및 구동 장치 | |
US10833608B2 (en) | Vibration actuator and electronic apparatus using vibration actuator | |
JP2017200374A (ja) | 振動型アクチュエータ及び電子機器 | |
JP4714722B2 (ja) | 圧電アクチュエータを利用したステージ及びこのステージを用いた電子機器 | |
JP2017070115A (ja) | 振動型アクチュエータ、振動型アクチュエータの駆動方法、レンズ鏡筒、撮像装置及びステージ装置 | |
JPH08182351A (ja) | 超音波アクチュエータ | |
JP6849424B2 (ja) | 振動型アクチュエータ、これを有するレンズ鏡筒、撮像装置及びステージ装置 | |
JP6742860B2 (ja) | 振動型アクチュエータ及び電子機器 | |
JP2020178496A (ja) | 振動波アクチュエータ及びそれを備える撮像装置 | |
JP7027052B2 (ja) | 振動型アクチュエータ及びこれを用いた電子機器 | |
JP7500190B2 (ja) | 振動波モータ及びそれを有する電子機器 | |
JP2018101094A (ja) | 振動型アクチュエータ、レンズ駆動装置、光学機器及び電子機器 | |
JP6525640B2 (ja) | 振動型アクチュエータ、超音波モータおよびレンズ鏡筒 | |
JP2005102368A (ja) | 駆動装置 | |
JPH09322568A (ja) | 振動アクチュエータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181228 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181228 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191030 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191126 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191224 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6639244 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |