JP2012016107A - 振動型駆動装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電気−機械エネルギー変換素子が接合された振動板を有し、振動板に形成された接触部に楕円運動が生成可能に構成された振動子と、
振動子の接触部と加圧接触し楕円運動によって該振動子に対して相対移動する被駆動体と、を有する振動型駆動装置であって、
被駆動体の少なくとも一部が強磁性体によって形成されることにより第一磁気部材を構成し、
振動子の少なくとも一部が強磁性体によって形成されることにより、振動子と、振動子の支持部に接合され被駆動体の相対移動する方向に延出するヨークと、によって第二磁気部材を構成し、
第一磁気部材または第二磁気部材のいずれか一方に永久磁石を設け、第一磁気部材と第二磁気部材との磁力による吸引力によって、被駆動体に振動子の接触部を加圧接触させる。
【選択図】 図1
Description
このような振動子を用いる振動型駆動装置において、振動子と被駆動体との加圧力を発生させる方法として磁力を用いるものが提案されている。
特許文献1では、振動子の少なくとも一部に永久磁石を備える振動型駆動装置が提案されている。
また、特許文献2では、被駆動体の少なくとも一部に永久磁石を備える振動型駆動装置が提案されている。
また、特許文献3では、振動子と被駆動体との間の空間に磁気部材を配置した振動型駆動装置が提案されている。この特許文献3の装置では、振動子の第一の面から突出して被駆動体に接触する突起部を形成し、振動子の第一の面と被駆動体との間に磁石を配置して被駆動体を磁力により吸引するように構成されている。
超音波モータが搭載される電子機器等においては、小型化、高密度実装化が常に求められており、超音波モータの加圧構造に対しても、更なる小型化が求められている。
一方で、超音波モータの出力、特に振動子による被駆動体に対する駆動力は振動子と被駆動体の加圧力に依存している。
すなわち、この振動子による被駆動体に対する駆動力は、振動子との加圧接触による摩擦力を介して被駆動体に伝えられ、それにより振動子に対し被駆動体が相対移動される。
したがって、超音波モータの駆動力は加圧接触による摩擦力を発生させる加圧力に依存することとなる。
このようなことから、小型化と、必要な加圧力の得られる加圧構造が求められるが、上記従来のものにはさらなる改善の余地がある。
また、加圧力の発生に磁力を用いる場合においては、加圧力のアンバランスが生じる可能性がある。
磁力により振動子に対する被駆動体が相対移動方向と平行な軸に対する回転力が生じる。その際、例えば寸法精度や取り付け精度により位置ずれや傾きを生じている場合等において、磁石部材と吸着物との距離が近づくほど吸引力が上昇するために、更に加圧力がアンバランスになる可能性がある。
したがって、このような加圧力のアンバランスを生じない構造のものがもとめられる。
前記振動子の接触部と加圧接触し前記楕円運動によって該振動子に対して相対移動する被駆動体と、を有する振動型駆動装置であって、
前記被駆動体の少なくとも一部が強磁性体によって形成されることにより第一磁気部材を構成し、
前記振動子の少なくとも一部が強磁性体によって形成されることにより、前記振動子と、前記振動子の支持部に接合され前記被駆動体の相対移動する方向に延出するヨークと、によって第二磁気部材を構成し、
前記第一磁気部材または前記第二磁気部材のいずれか一方に永久磁石を設け、該第一磁気部材と該第二磁気部材との磁力による吸引力によって、前記被駆動体に前記振動子の接触部を加圧接触させることを特徴とする。
このようにヨークを被駆動体に沿うように配置しているので、ヨークと被駆動体との間に磁力を発生させることができ、また振動子を形成する振動板の少なくとも一部が強磁性体で形成されており、この部分も被駆動体との磁気加圧力を発生させることができる。
また、振動子の被駆動体との接触部のみが強磁性体で形成されている構成を採ることにより、被駆動体と接するために磁気吸引力を発生させやすく、且つ接触部が直接加圧力を発生させるので相対移動方向と平行な軸に対する回転力の発生を抑えることが可能となる。
また、振動子に形成された支持部を、被駆動体の相対移動の方向に延出させ、ヨークと接合する構成を採ることによって、ヨークにより振動子の保持固定を行うことが可能となる。
また、振動子に形成された支持部とヨークとの接合部を、被駆動体の幅よりも狭い幅とする構成を採ることによって、ヨークの吸引力はこの接合部において大きく発生させることができる。この吸引力を接触部に近づけることができ被駆動体の相対移動方向と平行な軸に対する回転力の発生を抑えることが可能となる。
また、ヨークに永久磁石を配置すると共に、このヨークに配置された永久磁石に被駆動体の相対移動する方向に延出する第二のヨークを設けた構成を採ることによって、大きな加圧力を発生させることができる。
すなわち、ヨーク、永久磁石、第二のヨーク及び被駆動体に形成される磁気部材により、磁気回路を形成して大きな加圧力を発生させることが可能となる。
[実施例1]
実施例1として、本発明を適用して構成した超音波モータ(振動型駆動装置)の構成例を、図1を用いて説明する。
本実施例の振動形駆動装置としての超音波モータ10は、主として、振動子1と、振動子1に加圧接触状態で保持される被駆動体6とを備える。
振動子1は、圧電素子(電気−機械エネルギー変換素子)13と、圧電素子13が接合され弾性体である振動板11と、を有している。振動板11には、被駆動体と接触する接触部12が設けられている。
被駆動体6は強磁性体である鉄系の金属により形成され、振動子1と接触する部分にはニッケルめっき処理など耐摩耗性を高める処理が施されている。この被駆動体6は第一磁気部材として作用する。
また、磁力線を集中させるためのヨーク3を備え、このヨーク3は、振動子1に形成された支持部11−2(図3(a)参照)と、接合可能に構成されている。また、磁石部材4がヨーク3と平面同士で結合されており、これらの振動子1から磁石部材4までの保持固定が保持部材5によって行われている。
これらのほかに振動子1と外部との電気的な接続を行うフレキシブル基板(不図示)や、被駆動体6のガイド部材等(不図示)を備える。
図2にこのとき用いられる振動モードの形状を示す。MODE−Aは、振動部11に図中X方向に平行に2つの節が現れる面外曲げ一次モードである。MODE−Aの振動により、接触部には、Z軸方向(振動板11と垂直な方向)に変位する振幅が励起される。MODE−Bは振動部11に図中Y方向に略平行に3つの節が現れる面外曲げ二次モードである。MODE−Bの振動によって、接触部には、X軸方向(振動板11と平行な方向)に変位する振幅が励起される。
これら二つのモードを重ね合わせることで、接触部12の表面に楕円運動が生成可能とされている。
そして、この楕円運動によって接触部12と加圧接触している被駆動体6を、振動子に対し被駆動体が相対移動される。
図3(a)は主に振動子1の構成を説明する超音波モータの平面図である。
図3(a)に示すように、振動子1はアルミニウムなど常磁性体金属材により板状に形成される振動板11を備える。
振動板11は、略矩形の振動部11−1、振動部11−1の側面から対向するように延出している結合部11−3、結合部11−3の端部に形成される支持部11−2とから構成される。
振動部11−1の平面部の2箇所には、鉄系金属など強磁性体により形成される接触部12が固定されている。
振動部11−1のもう一方の面には、図3(b)に示すように圧電素子13(電気−機械エネルギー変換素子)が結合されている。
振動子1は図3(a)に示すX、Y方向に略対称形状に形成されている。振動子1の接触部12を備える面の側に被駆動体6が配置される。
振動子1と被駆動体6のY方向の中心がZ方向から投影したときに一致するように互いの位置が決められている。振動子1と被駆動体6はX方向に相対移動を行う。
支持部11−2はZ方向から投影したときに被駆動体6と重なる位置に配置されている。また支持部11−2は被駆動体6よりも幅を狭く形成されている。
ヨーク端部3−2の幅は支持部11−2と同じか狭くなるように形成されている。ヨーク3の圧電素子板13の近傍には磁石部材4が配置される。
磁石部材4は図中Z方向に磁化処理がなされている。磁石部材4には、図中Y方向に延出する保持部材5が固定されている。
保持部材5は常磁性体であるリン青銅板で形成されており、板バネ状の弾性構造を有している。保持部材5の図中Y方向両端部は不図示の枠体に保持固定される。
保持部材5により駆動部材14が保持されており、この保持部材5の弾性構造により、主に図中Z方向、X及びY軸回りの変形自由度を与えることができる。
そのため、駆動部材14と被駆動体6との間に所望の位置関係に対してずれが生じても、磁気吸引力により互いに倣うように接触状態が与えられる。
本実施例では、以上の駆動部材14における磁石部材4、ヨーク3、強磁性体による2つの接触部12によって、第二磁気部材が形成される。
磁石部材4のY方向上面、即ち振動子近傍から出る磁力線は略Y方向に向かい、一部は接触部12を通る。この磁力線は第一磁気部材である被駆動体6を通る。また、磁石部材4から出る磁力線の一部は直接被駆動体6を通る。被駆動体6を通る磁力線の一部はヨーク3のX方向に延出している端部に向かう。ヨーク3を通る磁力線は、ヨーク3と接合している磁石部材4に戻る。
このように磁力線が通るようにすると、磁石部材4の磁力を駆動部材14と被駆動体6との吸引力に有効に用いることができる。
磁石部材4を振動子近傍に配置することにより、被駆動体6との距離を少なくして吸引力を得る構成を採ることができる。
また、接触部12を強磁性体とし、磁石部材4から発生する磁力をこの接触部12に集める構成を採ることができる。
また、接触部12を被駆動体6に直接接触させ、吸引力を有効に発生させる構成を採ることができる。
また、ヨーク3を支持部11−2と結合するように形成し、ヨーク3を被駆動体6の近傍に位置させ、被駆動体6とヨーク3の間にも有効に吸引力を発生させる構成を採ることができる。
また、ヨーク3と磁石部材4とを直接接触させて磁力線を集中させる構成を採ることができる。
また、ヨークに振動子1を保持する作用を併せ持たせ、振動子1を保持するための部品を別に用意する必要の無い構成を採ることができる。
また、駆動部材14において、被駆動体6との吸引力を主に図3中のY方向の中心付近に集中している部位である接触部12とヨーク端部3−2により発生するようにした構成を採ることができる。これにより、駆動部材14と被駆動体6とにY方向の位置ずれが生じたときにも、磁力によるX軸周りのモーメントの発生を抑制するように構成することが可能となる。
このような本実施例の構成によれば、磁力による吸引力、即ち駆動部材14と被駆動体6との加圧力を小さな部品で十分に発生させることが可能となる。
また、駆動部材と被駆動体6との位置ずれにより生じる加圧力の偏りを小さくすることが可能となる。
実施例2として、実施例1と異なる形態の超音波モータ(振動形駆動装置)の構成例を、図4を用いて説明する。
なお、図1及び図3に示した、実施例1と同様の構成については説明を省略する。
本実施例においては、振動板11は鉄系の強磁性体金属で形成されている。本実施例の場合、振動板11をプレス成形して突起を形成することにより接触部12を設けてもよい。実施例1と同様に振動板11に別部材として固定してもよいが、プレス成形することにより工程が簡略化できコストが低減される。
振動子1から図中Z方向下側に向かい、保持部材5、ヨーク3、磁石部材4の順に配置されている。
ヨーク3は図1に示したものと同様にヨーク端部3−2が振動子の支持部11−2と結合している。
本実施例においては、磁石部材4、ヨーク3、保持部材5に加えて振動板11が第二磁気部材として作用する。また、ヨーク3、振動板11、接触部12は同磁極となる。
本実施例によれば、第一磁気部材として作用する被駆動体6の近傍に位置する振動板11が、磁気部材として作用するので、吸引力、即ち駆動部材14と被駆動体6との加圧力を、より効果的に発生させることが可能となる。
実施例3として、実施例2を変形させた形態の超音波モータ(振動型駆動装置)の構成例を、図5を用いて説明する。
本実施例では、被駆動体6は永久磁石8と摩擦部材7とを結合して形成されている。
この摩擦部材7は、強磁性体であるマルテンサイト系ステンレスに焼入れを施して硬度を高めた状態で用いられる。また、ここでは駆動部材14には磁石部材は配されていない。
本実施例のように、第一磁気部材側に永久磁石を配置しても同様の効果を得ることができる。
実施例4として、実施例2を変形させた実施例3とは異なる形態の超音波モータ(振動型駆動装置)の構成例を、図6を用いて説明する。
本実施例では、図4に示す形態における磁石4の開放面に、第二ヨーク9を配置している。
第二ヨーク9の両端は図中X方向且つ被駆動体6の底面付近に延出している。この第二ヨーク端部9−2の幅は被駆動体6の幅よりも狭く形成されている。
本実施例のように第二ヨーク9を配することで、吸引力、即ち駆動部材14と被駆動体6との加圧力を更に高めることが可能となる。
また、本実施例においては、振動板11を常磁性体で形成しても良い。
振動板11を常磁性体とすることで、実施例1で説明したように駆動部材14と被駆動体6とにY方向の位置ずれが生じたときにも、磁力によるX軸周りのモーメントの発生を抑制することが可能となる。
3:ヨーク
4:磁石部材
5:保持部材
6:被駆動体
10:超音波モータ
11:振動板
12:接触部
13:圧電素子(電気−機械エネルギー変換素子)
14:駆動部材
Claims (5)
- 電気−機械エネルギー変換素子と、前記電気−機械エネルギー変換素子が接合された振動板とを有し、前記振動板に形成された接触部に楕円運動が生成可能に構成された振動子と、
前記振動子の接触部と加圧接触し前記楕円運動によって該振動子に対して相対移動する被駆動体と、を有する振動型駆動装置であって、
前記被駆動体の少なくとも一部が強磁性体によって形成されることにより第一磁気部材を構成し、
前記振動子の少なくとも一部が強磁性体によって形成されることにより、前記振動子と、前記振動子の支持部に接合され前記被駆動体の相対移動する方向に延出するヨークと、によって第二磁気部材を構成し、
前記第一磁気部材または前記第二磁気部材のいずれか一方に永久磁石を設け、該第一磁気部材と該第二磁気部材との磁力による吸引力によって、前記被駆動体に前記振動子の接触部を加圧接触させることを特徴とする振動型駆動装置。 - 前記振動子のうち前記振動板に形成された前記接触部のみが、強磁性体で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の振動型駆動装置。
- 前記支持部は、前記振動板の振動部から前記被駆動体の相対移動する方向に延出した位置に形成され、前記被駆動体の相対移動する方向に延出する前記ヨークの端部と接合されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の振動型駆動装置。
- 前記支持部と前記ヨークとが接合する接合部が、前記被駆動体の幅よりも狭い幅に構成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の振動型駆動装置。
- 前記ヨークに前記永久磁石を配置すると共に、前記ヨークに配置された永久磁石に前記被駆動体の相対移動する方向に延出する第二のヨークを設けたことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の振動型駆動装置。
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