JP5746512B2 - 感光性表面に画像を形成する装置 - Google Patents
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Description
また、本発明に係る感光性表面に画像を形成する装置は、s−偏光である第一偏光を有するs−偏光光ビームである複数の第一光ビームを同時に生成するように配置された複数の光エミッタと、光学要素とを含む第一集積マルチビーム光源であって、該複数の第一光ビームは実質的に平行な光路を通るとともにさらに前記感光性表面上において第一光スポットのアレイに入射し、隣接する第一光スポットは実質的に均一な処理方向間隔と実質的に均一なスキャン方向間隔とによって隔たれているような第一集積マルチビーム光源と、前記第一光ビームとは異なる位置で発生してs−偏光である第二偏光を有するs−偏光光ビームであり、実質的に平行な光路を通る複数の第二光ビームを同時に生成するように配置された複数の光エミッタと、光学要素とを含む第二集積マルチビーム光源であって、前記第二集積マルチビーム光源によって生成された前記光ビームの光路は、前記第一集積マルチビーム光源によって生成された前記光ビームの光路と非平行であり、前記複数の第二光ビームは前記感光性表面上において第二光スポットのアレイに入射し、隣接する第二光スポットは実質的に均一な処理方向間隔と実質的に均一なスキャン方向間隔とによって隔たれているような第二集積マルチビーム光源と、前記複数の第一及び第二光ビームの両方の光路上に、前記複数の第一光ビームの光路及び前記複数の第二光ビームの光路を互いに実質的に平行とするように配置され、前記第一偏光の光に対して少なくとも一部が透過性であって前記第二偏光の光に対して少なくとも一部が反射性であり、画像経路に前記複数の第一及び第二光ビームの光エネルギーの一部を含む画像ビームアレイを出力する第一偏光光学ビームスプリッタと、前記複数の第一光ビームの光路上で、前記第一集積マルチビーム光源と前記複数の第一光ビームの偏光をs−偏光からp−偏光へと切り替える前記第一偏光光学ビームスプリッタとの間に設置された二分の一波長板と、を備え、前記第一偏光光学ビームスプリッタは、前記複数の第一光ビームの大部分が前記第一偏光ビームスプリッタによって前記画像経路に向かって透過し、前記複数の第一光ビームの残りが前記第一偏光光学ビームスプリッタによって組み合わされたビームモニタ経路に向かって反射するように、第一偏光の一部を透過させ、第一偏光の別の一部を反射させ、さらに、前記複数の第二光ビームの大部分が前記第一偏光ビームスプリッタによって前記画像経路に向かって反射し、前記複数の第二光ビームの残りが前記第一偏光光学ビームスプリッタによって前記組み合わされたビームモニタ経路に向かって透過するように、第二偏光の一部を反射させ、第二偏光の別の一部を透過させ、さらに、前記組み合わされたビームモニタ経路に配置される第二偏光光学ビームスプリッタであって、前記第一偏光の前記組み合わされたビームモニタ経路における光が、前記第二偏光光学ビームスプリッタによって第一ビームモニタ経路に向かって透過し、前記第二偏光の前記組み合わされたビームモニタ経路における光が、前記第二偏光光学ビームスプリッタによって第二ビームモニタ経路に向かって反射するように、前記第一偏光の光に対して少なくとも一部が透過性であって前記第二偏光の光に対して少なくとも一部が反射性である第二偏光光学ビームスプリッタと、前記第一ビームモニタ経路に配置され、前記第一ビームモニタ経路のビームを受光する第一ビーム受光表面を有する第一ビームモニタであって、前記第一ビームモニタ経路の前記ビームの光学特性を決定する第一ビームモニタと、前記第二ビームモニタ経路に配置され、前記第二ビームモニタ経路のビームを受光する第二ビーム受光表面を有する第二ビームモニタであって、前記第二ビームモニタ経路の前記ビームの光学特性を決定する第二ビームモニタとを備え、前記第一集積マルチビーム光源及び前記第二集積マルチビーム光源が、前記感光性表面において前記第二光スポットが前記第一光スポットに対して位置的にずれるように配置され、さらに、前記第一光ビームの光エネルギーの一部が前記第一ビームモニタへ向けられるとともに、前記複数の第二光ビームの光エネルギーの一部が前記第二ビームモニタへ向けられており、前記第二光スポットは、前記第一光スポットに対し前記処理方向間隔の1/2ずれており、さらに、前記第一光スポットに対し前記スキャン方向間隔の1/2ずれていることを特徴とする装置である。
また、本発明に係る感光性表面に画像を形成する装置は、s−偏光である第一偏光を有するs−偏光光ビームである複数の第一光ビームを同時に生成するように配置された複数の光エミッタと、光学要素とを含む第一集積マルチビーム光源であって、該複数の第一光ビームは実質的に平行な光路を通るとともにさらに前記感光性表面上において第一光スポットのアレイに入射し、隣接する第一光スポットは実質的に均一な処理方向間隔と実質的に均一なスキャン方向間隔とによって隔たれているような第一集積マルチビーム光源と、前記第一光ビームとは異なる位置で発生してs−偏光である第二偏光を有するs−偏光光ビームであり、実質的に平行な光路を通る複数の第二光ビームを同時に生成するように配置された複数の光エミッタと、光学要素とを含む第二集積マルチビーム光源であって、前記第二集積マルチビーム光源によって生成された前記光ビームの光路は、前記第一集積マルチビーム光源によって生成された前記光ビームの光路と非平行であり、前記複数の第二光ビームは前記感光性表面上において第二光スポットのアレイに入射し、隣接する第二光スポットは実質的に均一な処理方向間隔と実質的に均一なスキャン方向間隔とによって隔たれているような第二集積マルチビーム光源と、前記複数の第一及び第二光ビームの両方の光路上に、前記複数の第一光ビームの光路及び前記複数の第二光ビームの光路を互いに実質的に平行とするように配置され、前記第一偏光の光に対して少なくとも一部が透過性であって前記第二偏光の光に対して少なくとも一部が反射性であり、画像経路に前記複数の第一及び第二光ビームの光エネルギーの一部を含む画像ビームアレイを出力する第一偏光光学ビームスプリッタと、前記複数の第一光ビームの光路上で、前記第一集積マルチビーム光源と前記複数の第一光ビームの偏光をs−偏光からp−偏光へと切り替える前記第一偏光光学ビームスプリッタとの間に設置された二分の一波長板と、を備え、前記第一偏光光学ビームスプリッタは、前記複数の第一光ビームの大部分が前記第一偏光ビームスプリッタによって前記画像経路に向かって透過し、前記複数の第一光ビームの残りが前記第一偏光光学ビームスプリッタによって組み合わされたビームモニタ経路に向かって反射するように、第一偏光の一部を透過させ、第一偏光の別の一部を反射させ、さらに、前記複数の第二光ビームの大部分が前記第一偏光ビームスプリッタによって前記画像経路に向かって反射し、前記複数の第二光ビームの残りが前記第一偏光光学ビームスプリッタによって前記組み合わされたビームモニタ経路に向かって透過するように、第二偏光の一部を反射させ、第二偏光の別の一部を透過させ、さらに、前記第一及び第二集積マルチビーム光源を駆動する駆動部であって、1つの時点で前記第一及び第二集積マルチビーム光源の一方のみがビームを発生するように互いに時間決めする駆動部と、前記組み合わされたビームモニタ経路に配置され、前記組み合わされたビームモニタ経路のビームを受光するビーム受光表面を有するビームモニタであって、前記第一及び第二集積マルチビーム光源の前記時間決めされた駆動と同期して、前記組み合わされたビームモニタ経路の前記ビームの光学特性を決定し、前記組み合わされた光学ビームモニタ経路を前記第一集積マルチビーム光源からのビームと、前記第二集積マルチビーム光源からのビームとに分割するように、前記組み合わされたビームモニタ経路の前記ビームの光学特性を決定するビームモニタとを備え、前記第一集積マルチビーム光源及び前記第二集積マルチビーム光源が、前記感光性表面において前記第二光スポットが前記第一光スポットに対して位置的にずれるように配置され、さらに、前記第一光ビームの光エネルギーの一部が前記第一ビームモニタへ向けられるとともに、前記複数の第二光ビームの光エネルギーの一部が前記第二ビームモニタへ向けられており、前記第二光スポットは、前記第一光スポットに対し前記処理方向間隔の1/2ずれており、さらに、前記第一光スポットに対し前記スキャン方向間隔の1/2ずれていることを特徴とする装置である。
Claims (3)
- 感光性表面に画像を形成する装置であって、
s−偏光である第一偏光を有するs−偏光光ビームである複数の第一光ビームを同時に生成するように配置された複数の光エミッタと、光学要素とを含む第一集積マルチビーム光源であって、該複数の第一光ビームは実質的に平行な光路を通るとともにさらに前記感光性表面上において第一光スポットのアレイに入射し、隣接する第一光スポットは実質的に均一な処理方向間隔と実質的に均一なスキャン方向間隔とによって隔たれているような第一集積マルチビーム光源と、
前記第一光ビームとは異なる位置で発生してs−偏光である第二偏光を有するs−偏光光ビームであり、実質的に平行な光路を通る複数の第二光ビームを同時に生成するように配置された複数の光エミッタと、光学要素とを含む第二集積マルチビーム光源であって、前記第二集積マルチビーム光源によって生成された前記光ビームの光路は、前記第一集積マルチビーム光源によって生成された前記光ビームの光路と非平行であり、前記複数の第二光ビームは前記感光性表面上において第二光スポットのアレイに入射し、隣接する第二光スポットは実質的に均一な処理方向間隔と実質的に均一なスキャン方向間隔とによって隔たれているような第二集積マルチビーム光源と、
前記複数の第一及び第二光ビームの両方の光路上に、前記複数の第一光ビームの光路及び前記複数の第二光ビームの光路を互いに実質的に平行とするように配置され、前記第一偏光の光に対して少なくとも一部が透過性であって前記第二偏光の光に対して少なくとも一部が反射性であり、画像経路に前記複数の第一及び第二光ビームの光エネルギーの一部を含む画像ビームアレイを出力する第一偏光光学ビームスプリッタと、
前記複数の第一光ビームの光路上で、前記第一集積マルチビーム光源と前記複数の第一光ビームの偏光をs−偏光からp−偏光へと切り替える前記第一偏光光学ビームスプリッタとの間に設置された二分の一波長板と、を備え、
前記第一偏光光学ビームスプリッタは、
第一及び第二非偏光ビームスプリッタ層と、
前記第一及び第二非偏光ビームスプリッタ層の間に配置される第一偏光光学ビームスプリッタ層とを含み、
さらに、第一ビーム受光表面を有する第一ビームモニタであって、前記複数の第一光ビームのそれぞれの一部が前記第一非偏光ビームスプリッタ層によって前記第一ビーム受光表面への経路へ反射され、前記複数の第一光ビームのそれぞれの残りが前記第一非偏光ビームスプリッタ層によって前記第一偏光光学ビームスプリッタ層への経路に透過されるように位置して設けられた第一ビームモニタと、
第二ビーム受光表面を有する第二ビームモニタであって、前記複数の第二光ビームのそれぞれの一部が前記第二非偏光ビームスプリッタ層によって前記第二ビーム受光表面への経路へ反射され、前記複数の第二光ビームのそれぞれの残りが前記第二非偏光ビームスプリッタ層によって前記第一偏光光学ビームスプリッタ層への経路に透過されるように位置して設けられた第二ビームモニタと、を備え、
前記第一集積マルチビーム光源及び前記第二集積マルチビーム光源が、前記感光性表面において前記第二光スポットが前記第一光スポットに対して位置的にずれるように配置され、さらに、前記第一光ビームの光エネルギーの一部が第一ビームモニタへ向けられるとともに、前記複数の第二光ビームの光エネルギーの一部が第二ビームモニタへ向けられており、
前記第二光スポットは、前記第一光スポットに対し前記処理方向間隔の1/2ずれており、さらに、前記第一光スポットに対し前記スキャン方向間隔の1/2ずれていることを特徴とする装置。 - 感光性表面に画像を形成する装置であって、
s−偏光である第一偏光を有するs−偏光光ビームである複数の第一光ビームを同時に生成するように配置された複数の光エミッタと、光学要素とを含む第一集積マルチビーム光源であって、該複数の第一光ビームは実質的に平行な光路を通るとともにさらに前記感光性表面上において第一光スポットのアレイに入射し、隣接する第一光スポットは実質的に均一な処理方向間隔と実質的に均一なスキャン方向間隔とによって隔たれているような第一集積マルチビーム光源と、
前記第一光ビームとは異なる位置で発生してs−偏光である第二偏光を有するs−偏光光ビームであり、実質的に平行な光路を通る複数の第二光ビームを同時に生成するように配置された複数の光エミッタと、光学要素とを含む第二集積マルチビーム光源であって、前記第二集積マルチビーム光源によって生成された前記光ビームの光路は、前記第一集積マルチビーム光源によって生成された前記光ビームの光路と非平行であり、前記複数の第二光ビームは前記感光性表面上において第二光スポットのアレイに入射し、隣接する第二光スポットは実質的に均一な処理方向間隔と実質的に均一なスキャン方向間隔とによって隔たれているような第二集積マルチビーム光源と、
前記複数の第一及び第二光ビームの両方の光路上に、前記複数の第一光ビームの光路及び前記複数の第二光ビームの光路を互いに実質的に平行とするように配置され、前記第一偏光の光に対して少なくとも一部が透過性であって前記第二偏光の光に対して少なくとも一部が反射性であり、画像経路に前記複数の第一及び第二光ビームの光エネルギーの一部を含む画像ビームアレイを出力する第一偏光光学ビームスプリッタと、
前記複数の第一光ビームの光路上で、前記第一集積マルチビーム光源と前記複数の第一光ビームの偏光をs−偏光からp−偏光へと切り替える前記第一偏光光学ビームスプリッタとの間に設置された二分の一波長板と、を備え、
前記第一偏光光学ビームスプリッタは、
前記複数の第一光ビームの大部分が前記第一偏光ビームスプリッタによって前記画像経路に向かって透過し、前記複数の第一光ビームの残りが前記第一偏光光学ビームスプリッタによって組み合わされたビームモニタ経路に向かって反射するように、第一偏光の一部を透過させ、第一偏光の別の一部を反射させ、
さらに、前記複数の第二光ビームの大部分が前記第一偏光ビームスプリッタによって前記画像経路に向かって反射し、前記複数の第二光ビームの残りが前記第一偏光光学ビームスプリッタによって前記組み合わされたビームモニタ経路に向かって透過するように、第二偏光の一部を反射させ、第二偏光の別の一部を透過させ、
さらに、前記組み合わされたビームモニタ経路に配置される第二偏光光学ビームスプリッタであって、前記第一偏光の前記組み合わされたビームモニタ経路における光が、前記第二偏光光学ビームスプリッタによって第一ビームモニタ経路に向かって透過し、前記第二偏光の前記組み合わされたビームモニタ経路における光が、前記第二偏光光学ビームスプリッタによって第二ビームモニタ経路に向かって反射するように、前記第一偏光の光に対して少なくとも一部が透過性であって前記第二偏光の光に対して少なくとも一部が反射性である第二偏光光学ビームスプリッタと、
前記第一ビームモニタ経路に配置され、前記第一ビームモニタ経路のビームを受光する第一ビーム受光表面を有する第一ビームモニタであって、前記第一ビームモニタ経路の前記ビームの光学特性を決定する第一ビームモニタと、
前記第二ビームモニタ経路に配置され、前記第二ビームモニタ経路のビームを受光する第二ビーム受光表面を有する第二ビームモニタであって、前記第二ビームモニタ経路の前記ビームの光学特性を決定する第二ビームモニタとを備え、
前記第一集積マルチビーム光源及び前記第二集積マルチビーム光源が、前記感光性表面において前記第二光スポットが前記第一光スポットに対して位置的にずれるように配置され、さらに、前記第一光ビームの光エネルギーの一部が前記第一ビームモニタへ向けられるとともに、前記複数の第二光ビームの光エネルギーの一部が前記第二ビームモニタへ向けられており、
前記第二光スポットは、前記第一光スポットに対し前記処理方向間隔の1/2ずれており、さらに、前記第一光スポットに対し前記スキャン方向間隔の1/2ずれていることを特徴とする装置。 - 感光性表面に画像を形成する装置であって、
s−偏光である第一偏光を有するs−偏光光ビームである複数の第一光ビームを同時に生成するように配置された複数の光エミッタと、光学要素とを含む第一集積マルチビーム光源であって、該複数の第一光ビームは実質的に平行な光路を通るとともにさらに前記感光性表面上において第一光スポットのアレイに入射し、隣接する第一光スポットは実質的に均一な処理方向間隔と実質的に均一なスキャン方向間隔とによって隔たれているような第一集積マルチビーム光源と、
前記第一光ビームとは異なる位置で発生してs−偏光である第二偏光を有するs−偏光光ビームであり、実質的に平行な光路を通る複数の第二光ビームを同時に生成するように配置された複数の光エミッタと、光学要素とを含む第二集積マルチビーム光源であって、前記第二集積マルチビーム光源によって生成された前記光ビームの光路は、前記第一集積マルチビーム光源によって生成された前記光ビームの光路と非平行であり、前記複数の第二光ビームは前記感光性表面上において第二光スポットのアレイに入射し、隣接する第二光スポットは実質的に均一な処理方向間隔と実質的に均一なスキャン方向間隔とによって隔たれているような第二集積マルチビーム光源と、
前記複数の第一及び第二光ビームの両方の光路上に、前記複数の第一光ビームの光路及び前記複数の第二光ビームの光路を互いに実質的に平行とするように配置され、前記第一偏光の光に対して少なくとも一部が透過性であって前記第二偏光の光に対して少なくとも一部が反射性であり、画像経路に前記複数の第一及び第二光ビームの光エネルギーの一部を含む画像ビームアレイを出力する第一偏光光学ビームスプリッタと、
前記複数の第一光ビームの光路上で、前記第一集積マルチビーム光源と前記複数の第一光ビームの偏光をs−偏光からp−偏光へと切り替える前記第一偏光光学ビームスプリッタとの間に設置された二分の一波長板と、を備え、
前記第一偏光光学ビームスプリッタは、
前記複数の第一光ビームの大部分が前記第一偏光ビームスプリッタによって前記画像経路に向かって透過し、前記複数の第一光ビームの残りが前記第一偏光光学ビームスプリッタによって組み合わされたビームモニタ経路に向かって反射するように、第一偏光の一部を透過させ、第一偏光の別の一部を反射させ、
さらに、前記複数の第二光ビームの大部分が前記第一偏光ビームスプリッタによって前記画像経路に向かって反射し、前記複数の第二光ビームの残りが前記第一偏光光学ビームスプリッタによって前記組み合わされたビームモニタ経路に向かって透過するように、第二偏光の一部を反射させ、第二偏光の別の一部を透過させ、
さらに、
前記第一及び第二集積マルチビーム光源を駆動する駆動部であって、1つの時点で前記第一及び第二集積マルチビーム光源の一方のみがビームを発生するように互いに時間決めする駆動部と、
前記組み合わされたビームモニタ経路に配置され、前記組み合わされたビームモニタ経路のビームを受光するビーム受光表面を有するビームモニタであって、前記第一及び第二集積マルチビーム光源の前記時間決めされた駆動と同期して、前記組み合わされたビームモニタ経路の前記ビームの光学特性を決定し、前記組み合わされた光学ビームモニタ経路を前記第一集積マルチビーム光源からのビームと、前記第二集積マルチビーム光源からのビームとに分割するように、前記組み合わされたビームモニタ経路の前記ビームの光学特性を決定するビームモニタとを備え、
前記第一集積マルチビーム光源及び前記第二集積マルチビーム光源が、前記感光性表面において前記第二光スポットが前記第一光スポットに対して位置的にずれるように配置され、さらに、前記第一光ビームの光エネルギーの一部が前記第一ビームモニタへ向けられるとともに、前記複数の第二光ビームの光エネルギーの一部が前記第二ビームモニタへ向けられており、
前記第二光スポットは、前記第一光スポットに対し前記処理方向間隔の1/2ずれており、さらに、前記第一光スポットに対し前記スキャン方向間隔の1/2ずれていることを特徴とする装置。
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