JP5687157B2 - 電子銃、電界放出電子銃、荷電粒子線装置および透過型電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
(2)さらに、本願発明は、上記した構成に加えて、前記引出電極には、上下2枚の前記絞りが設けられ、これらの絞りの電位を前記引出電極と等電位にした電子銃も提案する。
[実施例1]
図1の実施例(実施例1)は、適用対象の一例としてショットキー電子銃を示している。
[実施例2]
図12は複数段の加速電極が組み込まれた本発明の他の実施例(実施例2)を示す。本実施例と実施例1との相違点は、実施例1では、加速電極6が一段であるのに対して、実施例2では、加速電極が3段としたショットキー電子銃を例示している。絞り7A,8Aの構成については、実施例1同様である。本実施例の基本的な動作や、その作用効果の説明については、図1同様であるので省略する。
Claims (10)
- 電子源と、
前記電子源から電子を引き出すために該電子源に電界を与える引出電極と、
前記引出電極により引き出された電子を所定の加速電圧まで加速する加速電極とを備え、
前記引出電極の開口部には、前記電子源からの電子の一部を通過させる絞りが設けられている電子銃において、
前記絞りは、1枚以上設けられ、少なくとも前記電子源に最も近い絞りの基材表面には、前記絞りに衝突する一次電子の照射エネルギが2kV〜3kVである場合に0.6以下の二次電子放出率を有する材料によるコーティングが施され、
当該コーティングの膜厚が、500nm以下であることを特徴とする電子銃。 - 請求項1において、
当該コーティングの膜厚が、50nm〜200nmであることを特徴とする電子銃。 - 請求項1において、
前記絞りの基材表面に施される前記コーティングの材料が、炭素或いはボロンであることを特徴とする電子銃。 - 請求項1において、
前記電子銃がショットキー電子銃或いは電界放出電子銃であることを特徴とする電子銃。 - 請求項1において、
前記引出電極には、上下2枚の前記絞りが設けられ、これらの絞りの電位を前記引出電極と等電位にしてあることを特徴とする電子銃。 - 請求項5において、
前記引出電極に設けられる前記絞りのうち、下側の絞りの内径は、上側の絞りの内径より大きいことを特徴とする電子銃。 - 請求項6において、
前記電子銃がショットキー電子銃であって、前記引出電極に設けられる2枚の前記絞りの間隔は、下側の絞りの内径の1倍以上であることを特徴とする電子銃。 - 請求項6において、
前記電子銃が電界放出電子銃であって、前記引出電極に設けられる2枚の前記絞りの間隔は、下側の絞りの内径の2倍以上であることを特徴とする電界放出電子銃。 - 電子源と、前記電子源から電子を引き出すために該電子源に電界を与える引出電極と、前記引出電極により引き出された電子を所定の加速電圧まで加速する加速電極とを備え、前記引出電極の開口部には、前記電子源からの電子の一部を通過させる絞りが設けられている電子銃と、
前記電子銃からの電子を試料に照射する照射系と、
前記試料を保持し、移動する試料ステージと、
当該試料への電子の照射により生じる信号を検出する検出系と、を有する本体と、
前記本体を制御する制御部と、を備える荷電粒子線装置であって、
前記絞りは、1枚以上設けられ、少なくとも前記電子源に最も近い絞りの基材表面には、前記絞りに衝突する一次電子の照射エネルギが2kV〜3kVである場合に0.6以下の二次電子放出率を有する材料によるコーティングが施され、
当該コーティングの膜厚が、500nm以下であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 電子源と、前記電子源から電子を引き出すために該電子源に電界を与える引出電極と、前記引出電極により引き出された電子を所定の加速電圧まで加速する加速電極とを備え、前記引出電極の開口部には、前記電子源からの電子の一部を通過させる絞りが設けられている電子銃と、
前記電子銃からの電子を試料に照射する照射系と、
前記試料を保持し、移動する試料ステージと、
当該試料への電子の照射により生じる信号を検出する検出系と、を有する本体と、
前記本体を制御する制御部と、を備える透過型電子顕微鏡であって、
前記絞りは、1枚以上設けられ、少なくとも前記電子源に最も近い絞りの基材表面には、前記絞りに衝突する一次電子の照射エネルギが2kV〜3kVである場合に0.6以下の二次電子放出率を有する材料によるコーティングが施され、
当該コーティングの膜厚が、500nm以下であることを特徴とする透過型電子顕微鏡。
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