JP2014216182A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 電界放出型電子源となる針状の電子源と、
   前記電子源から放出された電子を加速させる加速電極と、
   前記加速電極よりも前記電子源側に配置され、前記加速電極の開口径よりも大きい開口径を有する制御電極と、
   前記加速電極に印加される電位に基づき、前記制御電極に印加される電位を制御する制御部と、
   を有する電子銃。
2. 請求項１に記載の電子銃において、
   前記制御電極の開口径をＤ、前記電子源と前記加速電極との距離をＬとすると、Ｄ／Ｌ＜１とすることを特徴とする電子銃。
3. 請求項２に記載の電子銃において、
   前記電子源と前記加速電極との距離を６ｍｍ＜Ｌ＜２０ｍｍとすることを特徴とする荷電粒子銃。
4. 請求項１に記載の電子銃において、
   前記電子銃は冷陰極電界放出型電子銃であることを特徴とする電子銃。
5. 請求項３に記載の電子銃において、
   前記制御電極を２枚以上備えることを特徴とする電子銃。
6. 請求項３に記載の電子銃において、
   前記加速電極と前記制御電極の間に、引き出し電極を有することを特徴とする電子銃。
7. 請求項５に記載の電子銃において、
   前記電子の加速電圧に応じて使用する電極を切り替える制御機構を持つことを特徴とする電子銃。
8. 請求項１に記載の電子銃を用いた荷電粒子線装置であって、
   少なくとも１枚以上の静電または磁界レンズと、
   観察試料を置く試料ステージと、
   反射電子、２次電子のうち少なくとも１つを計測する検出器と、
   を備え、
   電子線により試料を観察または分析することを特徴とする荷電粒子線装置。
9. 請求項８に記載の荷電粒子線装置において、
   １枚の静電または磁界レンズを用いた電子光学系を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
10. 請求項８に記載の荷電粒子線装置において、
    前記電子銃もしくは対物レンズの外径寸法が２００ｍｍ以下であることを特徴とする荷電粒子線装置。
11. 請求項８に記載の荷電粒子線装置において、
    前記電子の加速電圧が０．１〜３ｋＶの低加速の前記電子線を用いて試料を観察する機能を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
12. 荷電粒子源と、
    前記荷電粒子源から放出された荷電粒子を加速させる加速電極と、
    前記加速電極よりも前記荷電粒子源側に配置され、前記加速電極の開口径よりも大きい開口径を有する制御電極と、
    前記加速電極に印加された電位に基づき、前記制御電極に印加される電位を制御する制御部と、
    を有する荷電粒子銃。
13. 請求項１２に記載の電子銃を用いた荷電粒子線装置であって、
    試料を置く試料ステージと、
    観察試料に荷電粒子線を集束させて照射するための対物レンズと、
    ２次粒子を検出する検出器と、
    を備え、
    荷電粒子線により試料を観察または分析する荷電粒子線装置。
14. 請求項１３に記載の荷電粒子線装置において、
    前記荷電粒子源より引き出された荷電粒子を減速して用いることを特徴とする荷電粒子線装置。
15. 荷電粒子源と、前記荷電粒子源から放出された荷電粒子を加速させる加速電極と、前記加速電極よりも前記荷電粒子源側に配置される制御電極と、前記加速電極に印加された電位に基づき、前記制御電極に印加される電位を制御する制御部と、を有する荷電粒子銃であって、
    前記制御部は、前記加速電極の加速電圧が小さい場合、荷電粒子源の先端の電界を高めるための制御電圧を前記制御電極に印加し、加速電圧が高い場合、荷電粒子源の先端の電界を抑制するための制御電圧を前記制御電極に印加することを特徴とする荷電粒子銃。