JP5676059B2 - 2段階層移動方法 - Google Patents
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Description
(a)初期基板に接合する層部材を設けて、前記層部材と前記初期基板との間の接合エネルギーをE0とする
(b)中間接合エネルギーがEiとなるように、前記層部材の表側面を中間基板上に接合させる
(c)前記層部材から前記初期基板を脱離させて、前記層部材の裏側面を露出させる
(e)最終接合エネルギーがEfとなるように、前記裏側面を最終基板に接合させる
(f)前記層部材から中間基板を脱離させて、前記層部材を最終基板上に移動させる
との各ステップを備え、
ステップ(b)は、シロキサン結合Si−O−Siを形成するステップを含み、ステップ(c)を第一の無水雰囲気中にて行うと共にステップ(f)を第二の湿潤雰囲気中にて行うことにより、中間接合エネルギーEiがステップ(c)では第1の値Ei1を取り且つステップ(f)では第2の値Ei2を取ると共に、Ei1>E0で且つEi2<Efとなるようにする。
・ポリマー材料からなる最終基板、
・ジビニルシロキサン−ビス−ベンゾシクロブテン(DVS-bis-BCB)系の接着フィルム、
・単結晶シリコン層、及び、
・シロキサン結合Si−O−Siによって前記層の表側面に接続されたシリコン中間基板を備える。
・ポリマー材料からなる最終基板、
・DVS-bis-BCB系接着フィルム、及び、
・単結晶シリコン層を備え、
層部材の裏側面は、フレキシブル技術、スマートカードのようなフレキシブルエレクトロニクス、スマートテキスタイル、エレクトロニクス、MEMS、NEMS、ハイパワーエレクトロニクス、RF及びマイクロ波、マイクロエレクトロニクス、光学、オプトエレクトロニクス及び光起電工学等の分野にて特性を発揮する。
そのような基板100は、典型的には表面の周囲にSEMI規格によって形成された面取りされた縁を有する。このような面取りされた縁により、基板の取り扱いが容易になっている。そうでなければ、縁は剥がれ落ちて表面にパーティクルを生じ、後の接合を妨害しやすい。自然酸化膜2は、空気に触れたときに基板100の表面に形成される。DVS-bis-BCBポリマーからなる接着フィルム3は、シリコン基板100上に堆積される。これは、当業者には周知の技術である遠心塗装(centrifugal coating)又はスピンコーティングによって厚さ10μmに行われる。
Claims (16)
- 半導体、絶縁体又は金属材料からなる層(1)の移動方法において、
(a)初期基板(4)上に接合する層(1)を設けて、前記層(1)と前記初期基板(4)との間の接合エネルギーをE0とする
(b)中間接合エネルギーEiに対応するように、前記層(1)の表側面(8)を、中間基板(5)に接合する
(c)前記層(1)から前記初期基板(4)を脱離させて、前記層(1)の裏側面(9)を露出させる
(e)最終接合エネルギーEfに対応するように、前記裏側面(9)を最終基板(11)に接合させる
(f)前記層(1)から前記中間基板(5)を脱離させて、前記層(1)を前記最終基板(11)に移動させる
の各ステップを備え、
ステップ(b)はシロキサン結合Si−O−Siを形成するステップを含み、ステップ(c)は第1の無水雰囲気中にて行うと共にステップ(f)は第2の湿潤雰囲気中にて行うことにより、前記中間接合エネルギーEiがステップ(c)では第1の値Ei1を取り且つステップ(f)では第2の値Ei2を取ると共に、Ei1>E0で且つEi2<Efとなるようにすることを特徴とする層の移動方法。 - 請求項1の層(1)の移動方法において、
前記ステップ(b)は、直接親水性接合を行うステップを含むことを特徴とする層の移動方法。 - 請求項1の層(1)の移動方法において、
前記ステップ(b)は、陽極接合を行うステップを含むことを特徴とする層の移動方法。 - 請求項1〜3のいずれか1つの層(1)の移動方法において、
シリコン層、又は、自然SiO2、熱SiO2、堆積SiO2、SiOx及びSixOyNzから選択された酸化物層を、それぞれ層(1)の表側面(8)及び中間基板(5)上に形成するステップを含み、
前記ステップ(b)において、前記形成された層同士を互いに接触させて、シロキサン結合Si−O−Siを得るステップを含むことを特徴とする層の移動方法。 - 請求項1の層(1)の移動方法において、
前記第1の無水雰囲気は、1ppm未満の水蒸気量を有することを特徴とする層の移動方法。 - 請求項1の層(1)の移動方法において、
前記第2の湿潤雰囲気は、20%と80%との間の湿度を有することを特徴とする層の移動方法。 - 請求項1〜6のいずれか1つの層(1)の移動方法において、
ステップ(c)における脱離及び/又はステップ(f)における脱離は、クランプを使用するか、又は、層(1)と初期基板(4)との間及び中間基板(5)と層(1)との間に刃又は楔を使用する手段を含む機械的なストレスを同時に与えることを含むことを特徴とする層の移動方法。 - 請求項1〜7のいずれか1つの層(1)の移動方法において、
ステップ(c)及びステップ(e)の間に行われ、且つ、前記層(1)の前記裏側面(9)に施される技術的ステップ(d)を含み、当該技術的ステップにおける熱履歴は、それを超えるとEi2>Ei1となる閾値よりも小さいことを特徴とする層の移動方法。 - 請求項1〜8のいずれか1つの層(1)の移動方法において、
ステップ(e)は、ジビニルシロキサン−ビス−ベンゾシクロブテン(DVS-bis-BCB)、ポリイミド又は感光性ポリマーフィルムのような接着性フィルムを介して行われることを特徴とする層の移動方法。 - 請求項1の層(1)の移動方法において、
ステップ(e)は、前記最終接合エネルギーが第2の湿潤雰囲気の湿度に依存しない値Efを有するような分子付着接合のステップを含むことを特徴とする層の移動方法。 - 請求項1〜10のいずれか1つの層(1)の移動方法において、
前記層(1)及び前記初期基板(4)の間の接合エネルギーE0は、多孔質層(15)を形成してその上に前記層(1)を形成することにより得られることを特徴とする層の移動方法。 - 請求項1〜11のいずれか1つの層(1)の移動方法において、
前記層(1)は単結晶シリコン材料を含み、前記中間基板(5)はシリコン材料を含むことを特徴とする層の移動方法。 - 請求項1〜11のいずれか1つの層(1)の移動方法において、
前記層(1)は、シリコン及びゲルマニウムからなる材料、II-VI属元素からの材料、及び、III-V属元素からの二元、三元又は四元の材料のうちから選ばれた材料を含むことを特徴とする層の移動方法。 - 請求項1〜13のいずれか1つの層(1)の移動方法において、
前記初期基板(4)の材料及び前記最終基板(11)の材料は、サファイア、シリコン、ゲルマニウム、シリカ、ガラス、石英、II-VI族元素からの材料、及び、AsGa、InP、GaNのような、III-V族元素から選ばれた二元、三元又は四元材料、金属、合金及びカプトン(登録商標)のようなポリイミドを含むポリマーであることを特徴とする層の移動方法。 - 積層体の中間構造(13)において、
ポリマー材料からなる最終基板(11)と、
ジビニルシロキサン−ビス−ベンゾシクロブテン(DVS-bis-BCB)系の接着フィルム(3)と、
単結晶シリコン層(1)と、
シロキサン結合Si−O−Siによって前記単結晶シリコン層(1)の表側面(8)に接続された中間基板(5)とを備えることを特徴とする積層体の中間構造。 - 請求項15の積層体の中間構造(13)において、
前記層(1)の裏側面(9)と前記最終基板(11)との最終接合エネルギーEfは、20%と80%との間の湿度を有する雰囲気中において、前記層(1)の表側面(8)と前記中間基板(5)との間の中間接合エネルギーEi2よりも大きいことを特徴とする積層体の中間構造。
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