JP5669548B2 - 半導体発光素子 - Google Patents
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Description
半導体発光素子1は、p電極32とn電極34が半導体膜20の同一面側に設けられたいわゆるフリップチップ型の発光ダイオード(LED: Light Emitting Diode)である。半導体発光素子1は、例えばGaN系半導体からなるn型半導体層22、活性層24、p型半導体層26を含む半導体膜20を有する。p電極32は、p型半導体層26のほぼ全域を覆うように形成される。n電極34は、p型半導体層26の表面からp型半導体層26、活性層24およびn型半導体層22の一部を除去することにより表出したn型半導体層22の表面に形成される。n電極34は、例えば矩形形状を有する半導体膜20のコーナ部に配置される。保護膜40は、SiO2等の絶縁体からなり、半導体膜20の側面、p電極32およびn電極34の側面を覆い、電極材料や実装時に用いられるはんだ材の付着による短絡を防止する。
有機金属気相成長法(MOCVD: Metal Organic Chemical Vapor Deposition)によりAlxInyGazN(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、x+y+z=1)からなる半導体膜を成長させることができる例えばC面サファイア基板を成長用基板として用いる。n型半導体層22、活性層24およびp型半導体層26を含む半導体膜20を成長用基板10上に形成する。
半導体膜20をp型半導体層26の表面側からエッチングして凹部20aを形成し、凹部20aの底面においてn型半導体層24を表出させる。具体的には、フォトリソグラフィ技術によって凹部20aの形成領域に開口部を有するレジストマスクをp型半導体層26の表面に形成する。次に、ウエハを反応性イオンエッチング(RIE)装置に投入し、半導体膜20をp型半導体層26の表面側から500nm程度エッチングしてn型半導体層22を露出させる(図3(b))。
p型半導体層26の表面および前工程にて形成された凹部20aの底面において露出しているn型半導体層22の表面にそれぞれp電極32およびn電極34を形成する。具体的には、半導体膜20上にフォトリソグラフィ技術によってn電極形成領域に開口部を有するレジストマスクを形成する。続いて、例えば電子ビーム蒸着法によりTi(1nm)、Al(1000nm)、Ti(1nm)、Au(500nm)を順次蒸着し、レジストマスクを除去することによりn電極34を形成する。同様に、半導体膜20上にp電極形成領域に開口部を有するレジストマスクを形成し、Pt(10nm)、Ag(300nm)、Ti(1nm)、Au(500nm)を順次蒸着した後、レジストマスクを除去することによりp電極32を形成する。
表面に導体配線82を有する支持基板80を用意する。支持基板80は、例えば不純物がドープされていないSiやGe等の絶縁体、または表面に絶縁処理が施された半導体もしくは導電体により構成される。導体配線82は、例えばはんだ材84との密着性が良好なAuにより構成される。抵抗加熱蒸着法などにより、導体配線82の表面にAuSnからなるはんだ材84を形成する。次に、導体配線82と、p電極32およびn電極34とを密着させて支持基板80を半導体膜20に熱圧着する(図3(d))。尚、半導体膜20の機械的強度が確保されている場合、本工程を省略することができる。例えばn型半導体層22を厚く形成することにより、半導体膜20の厚さが例えば80μm以上確保されている場合、n型GaNを成長用基板として用いて結晶成長を行い、後述する成長用基板の除去工程が省略される場合、p電極32およびn電極34の表面にCuめっき又はNiめっきを施すことにより、両電極の厚さが例えば100μm以上ある場合には、支持基板を用いることを要しない。
レーザリフトオフ法などにより成長用基板10を除去してn型半導体層22を表出させる。具体的には、成長用基板10の裏面側からエキシマレーザを照射する。照射されたレーザは、半導体膜20に達し、成長用基板10との界面近傍におけるGaNを金属GaとN2ガスに分解する。これにより、成長用基板10と半導体膜20との間に空隙が形成され、成長用基板10が半導体膜20から剥離する。成長用基板10が除去されることにより、n型半導体層22が表出する。尚、成長用基板10を除去することにより表出したn型半導体層22の表面をKOH溶液またはTMAH溶液等のアルカリ溶液で処理することにより、n型半導体層22の表面に光取り出し効率を向上させるための凹凸を形成することとしてもよい(図4(a))。
n型半導体層22内に電流誘導部50を形成する。具体的には、成長用基板10を除去することによって表出したn型半導体層22の表面に電流誘導部形成領域に開口部を有するレジストマスクを形成する。次に、ウエハをRIE装置に投入し、n型半導体層22をエッチングして活性層24に達しない例えば幅3μm、深さ6.5μmの溝を形成する。溝の終端から活性層24までの距離は、例えば0.5μm以下である。次に、電子ビーム蒸着法などにより、TiまたはAl等の導電体を溝の内部に充填する。その後レジストマスクを除去する(図4(b))。尚、溝の幅は1μm以上15μm以下とするのが好ましい。溝の幅を1μm以下とすると溝内への導電体の充填が困難となる。一方、溝の幅を15μm以上とすると電流誘導部50が活性層24から放射される光を遮る面積が大きくなり、光取り出し効率が低下する。溝の深さは、電流誘導部50を経由する電流量を考慮して適宜設定すればよい。溝は、アルカリ溶液を用いたウェットエッチングまたは、ウェットエッチングとドライエッチングを併用して形成することも可能である。電流誘導部50は、n型半導体層22よりも導電率が高い材料で構成されていればよく、例えば電極材料と同一の材料を用いることも可能である。また、電流誘導部50をITOやIZOなどの透明導電性酸化物で構成することも可能である。この場合、スパッタ法などによりITOまたはIZOを溝内に充填した後、ITOまたはIZOがn型半導体層22に対してオーミック性接触となるように酸素または窒素雰囲気中で600℃にて約1分間の熱処理を行う。電流誘導部50を透明導電性酸化物で構成することにより活性層24から放射される光を遮ることなく外部に取り出すことが可能となる。また、半導体膜20に溝を形成することなくn型半導体層22の表出面に導電膜を成膜することにより電流誘導部50を形成することとしてもよい。
半導体膜20および支持基板80を切断し、半導体発光素子を個片化する。具体的には、n型半導体層22の表面に素子分割ラインに沿った開口部を有するレジストマスクを形成し、ドライエッチング若しくはウェットエッチングまたはこれらを併用して半導体膜20を素子分割ラインに沿ってエッチングする。次に、必要に応じてレーザスクライブにより素子分割ラインに沿って導体配線82を除去し、ダイシングにより支持基板80を切断する(図4(c))。以上の各工程を経ることにより半導体発光素子1が完成する。
Claims (9)
- 第一の導電型を有する第一半導体層と、第二の導電型を有する第二半導体層と、前記第一半導体層と前記第二半導体層との間に設けられた活性層と、を含む半導体膜と、
前記第二半導体層の表面から前記第二半導体層、前記活性層および前記第一半導体層の一部を除去することにより表出した前記第一半導体層の表出面に形成された第一電極と、
前記第二半導体層の表面に形成された第二電極と、を含む半導体発光素子であって、
前記第一半導体層上または前記第一半導体層内であって前記第二電極の上方に設けられ且つ前記第一半導体層の導電率よりも高い導電率を有する電流誘導部を有し、
前記電流誘導部は、前記第二電極の前記第一電極からみた遠端側に偏倚して配置されていることを特徴とする半導体発光素子。 - 第一の導電型を有する第一半導体層と、第二の導電型を有する第二半導体層と、前記第一半導体層と前記第二半導体層との間に設けられた活性層と、を含む半導体膜と、
前記第二半導体層の表面から前記第二半導体層、前記活性層および前記第一半導体層の一部を除去することにより表出した前記第一半導体層の表出面に形成された第一電極と、
前記第二半導体層の表面に形成された第二電極と、を含む半導体発光素子であって、
前記第一半導体層上または前記第一半導体層内であって前記第二電極の上方に設けられ且つ前記第一半導体層の導電率よりも高い導電率を有する電流誘導部を有し、
前記電流誘導部は、前記第一半導体層の内部において前記第一半導体層と前記第一電極との界面の位置よりも前記活性層に近い位置まで達していることを特徴とする半導体発光素子。 - 前記電流誘導部は、前記第一電極の外縁と平行に伸長していることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体発光素子。
- 前記第一電極は、前記第一半導体層の内部に埋設された導電体からなる埋設部を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
- 前記埋設部および前記電流誘導部は、前記第一半導体層の内部において互いに対向する対向面を有することを特徴とする請求項4に記載の半導体発光素子。
- 第一の導電型を有する第一半導体層と、第二の導電型を有する第二半導体層と、前記第一半導体層と前記第二半導体層との間に設けられた活性層と、を含む半導体膜と、
前記第二半導体層の表面から前記第二半導体層、前記活性層および前記第一半導体層の一部を除去することにより表出した前記第一半導体層の表出面に形成された第一電極と、
前記第二半導体層の表面に形成された第二電極と、を含む半導体発光素子であって、
前記第一半導体層上または前記第一半導体層内であって前記第二電極の上方に設けられ且つ前記第一半導体層の導電率よりも高い導電率を有する電流誘導部を有し、
前記第一電極は、前記第一半導体層の内部に埋設された導電体からなる埋設部を有し、
前記埋設部および前記電流誘導部は、前記第一半導体層の内部において互いに対向する対向面を有し、
前記埋設部の前記対向面の一部は絶縁膜で覆われていることを特徴とする半導体発光素子。 - 前記電流誘導部は、前記第一半導体層の導電率よりも高い導電率を有し且つ前記第一半導体層上または前記第一半導体層内を前記第一電極に向けて延伸する延伸部に接続されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
- 前記第一電極は、前記第一半導体層の内部に埋設された導電体からなる埋設部を有し、
前記延伸部は延伸方向先端において前記埋設部と対向する面を有することを特徴とする請求項7に記載の半導体発光素子。 - 第一の導電型を有する第一半導体層と、第二の導電型を有する第二半導体層と、前記第一半導体層と前記第二半導体層との間に設けられた活性層と、を含む半導体膜と、
前記第二半導体層の表面から前記第二半導体層、前記活性層および前記第一半導体層の一部を除去することにより表出した前記第一半導体層の表出面に形成された第一電極と、
前記第二半導体層の表面に形成された第二電極と、を含む半導体発光素子であって、
前記第一半導体層上または前記第一半導体層内であって前記第二電極の上方に設けられ且つ前記第一半導体層の導電率よりも高い導電率を有する電流誘導部を有し、
前記電流誘導部は、前記第一半導体層の導電率よりも高い導電率を有し且つ前記第一半導体層上または前記第一半導体層内を前記第一電極に向けて延伸する延伸部に接続されており、
前記第一電極は、前記第一半導体層の内部に埋設された導電体からなる埋設部を有し、
前記延伸部は延伸方向先端において前記埋設部と対向する面を有し、
前記電流誘導部と前記第一半導体層とはオーミック性接触であり、前記延伸部と前記第一半導体層とは非オーミック性接触であることを特徴とする半導体発光素子。
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