JP5664204B2 - 半導体メモリ - Google Patents
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Description
図1は、実施の形態1にかかる半導体メモリを示す説明図である。半導体メモリ100は、アドレスデコーダ101と、メモリセルアレイ102と、位置情報記憶部103と、不良ビット代替処理回路104と、を有している。半導体メモリ100は、パッケージに封入された半導体メモリ100であってもよく、システムLSI等に搭載されるメモリマクロ(IP(Intellectual Property))であってもよい。
図4は、不良ビット代替処理の読み出しに関する例1を示す説明図である。冗長セル位置の固定方式では、不良セルに代わって冗長セルを用い、正常なセルのビット位置を変更させない。具体的には、たとえば、図4では、FAIL DATAが1となっているビット位置のセルが不良であることを示している。すなわち、FAIL DATAでは、ビット位置が0と1と8のセルが不良であることを示している。該一のワードの読み出し処理が行われる場合、半導体メモリ100は、ビット位置が7のセルのデータをビット位置が0のセルのデータとして出力し、ビット位置が9のセルのデータをビット位置が1のセルのデータとして出力する。
図6は、例1における読み出し回路200の一例を示す説明図(その1)である。FD[0:9]は、FAIL DATA[0:9]である。RRD[0:9]はRAW READ DATA[0:9]である。
・FD[0]=1
・FD[1]=1
・FD[2]=0
・FD[3]=0
・FD[4]=0
・FD[5]=0
・FD[6]=0
・FD[7]=0
・FD[8]=1
・FD[9]=0
・RRD[0]=x
・RRD[1]=x
・RRD[2]=0
・RRD[3]=0
・RRD[4]=1
・RRD[5]=0
・RRD[6]=0
・RRD[7]=0
・RRD[8]=x
・RRD[9]=1
・s1=FD[1]+s0=1+1=2
・s2=FD[2]+s1=0+2=2
・s3=FD[3]+s2=0+2=2
・s4=FD[4]+s3=0+2=2
・s5=FD[5]+s4=0+2=2
・s6=FD[6]+s5=0+2=2
・rp[1]=1
・rp[2]=3
・rp[3]=*
・b0=rp[s0]=1
・b1=rp[s1]=3
・b2=0
・b3=0
・b4=0
・b5=0
・b6=0
・b7=0
・RD[0]=RRD[7]=0
・RD[1]=RRD[9]=1
・RD[2]=RRD[2]=0
・RD[3]=RRD[3]=0
・RD[4]=RRD[4]=1
・RD[5]=RRD[5]=0
・RD[6]=RRD[6]=0
図10は、例1における書き込み回路300の一例を示す説明図である。FD[0:9]は、FAIL DATA[0:9]である。WD[0:6]はWRITE DATA[0:6]である。s0〜s6については、図6で示したs0〜s6と同一であるため、詳細な説明を省略する。
・FD[0]=1
・FD[1]=1
・FD[2]=0
・FD[3]=0
・FD[4]=0
・FD[5]=0
・FD[6]=0
・FD[7]=0
・FD[8]=1
・FD[9]=0
・WD[0]=1
・WD[1]=1
・WD[2]=0
・WD[3]=0
・WD[4]=1
・WD[5]=0
・WD[6]=1
・s0=FD[0]=1
・s1=FD[1]+s0=1+1=2
・s2=FD[2]+s1=0+2=2
・s3=FD[3]+s2=0+2=2
・s4=FD[4]+s3=0+2=2
・s5=FD[5]+s4=0+2=2
・s6=FD[6]+s5=0+2=2
・RS0=0
・RS1=1
・RS2=* (dontcare、ドントケア)
・d0=WD[0]=1
・d1=WD[1]=1
・d2=*
・RWD[1]=WD[1]=1
・RWD[2]=WD[2]=0
・RWD[3]=WD[3]=0
・RWD[4]=WD[4]=1
・RWD[5]=WD[5]=0
・RWD[6]=WD[6]=1
・RWD[7]=d0=1
・RWD[8]=d1=1
・RWD[9]=d1=1
図12は、不良ビット代替処理の読み出しに関する例2を示す説明図である。シフト方式では、不良セルに代わって冗長セルを用い、不良セルでないセルをビット位置の順に出力する。具体的には、たとえば、図12では、FAIL DATAが指定ワードの1となっているビット位置のセルが不良であることを示している。すなわち、FAIL DATAでは、ビット位置が0と1と8のセルが不良であることを示している。
図14は、例2における読み出し回路200のHDL記述例を示す説明図(その1)である。ここで、冗長セルは3ビット分であり、データセルは7ビット分である。すなわち、たとえば、RD[0]は、RRD[0]〜RRD[3]のいずれかのデータとなる。たとえば、RD[1]は、RRD[1]〜RRD[4]のいずれかのデータとなる。たとえば、RD[2]は、RRD[2]〜RRD[5]のいずれかのデータとなる。たとえば、RD[3]は、RRD[3]〜RRD[6]のいずれかのデータとなる。たとえば、RD[4]は、RRD[4]〜RRD[7]のいずれかのデータとなる。たとえば、RD[5]は、RRD[5]〜RRD[8]のいずれかのデータとなる。たとえば、RD[6]は、RRD[4]〜RRD[9]のいずれかのデータとなる。
・FD[0]=1
・FD[1]=1
・FD[2]=0
・FD[3]=0
・FD[4]=0
・FD[5]=0
・FD[6]=0
・FD[7]=0
・FD[8]=1
・FD[9]=0
・RRD[0]=x
・RRD[1]=x
・RRD[2]=0
・RRD[3]=0
・RRD[4]=1
・RRD[5]=0
・RRD[6]=0
・RRD[7]=0
・RRD[8]=x
・RRD[9]=1
・s0=FD[0]=1
・s1=FD[1]+s0=1+1=2
・s2=FD[2]+s1=0+2=2
・s3=FD[3]+s2=0+2=2
・s4=FD[4]+s3=0+2=2
・s5=FD[5]+s4=0+2=2
・s6=FD[6]+s5=0+2=2
・b0=2
・b1=3
・b2=4
・b3=5
・b4=6
・b5=7
・b6=9
・RD[0]=RRD[2]=0
・RD[1]=RRD[3]=0
・RD[2]=RRD[4]=1
・RD[3]=RRD[5]=0
・RD[4]=RRD[6]=0
・RD[5]=RRD[7]=0
・RD[6]=RRD[9]=1
図19は、例2における書き込み回路300のHDL記述例を示す説明図である。s(−1)は0である。s0〜s6については、図6で示したs0〜s6と同一である。s7はs6とFD[7]の加算結果であり、s8はs7とFD[8]の加算結果である。
・FD[0]=1
・FD[1]=1
・FD[2]=0
・FD[3]=0
・FD[4]=0
・FD[5]=0
・FD[6]=0
・FD[7]=0
・FD[8]=1
・FD[9]=0
・WD[0]=1
・WD[1]=1
・WD[2]=0
・WD[3]=0
・WD[4]=1
・WD[5]=0
・WD[6]=1
・s0=FD[0]=1
・s1=FD[1]+s0=1+1=2
・s2=FD[2]+s1=0+2=2
・s3=FD[3]+s2=0+2=2
・s4=FD[4]+s3=0+2=2
・s5=FD[5]+s4=0+2=2
・s6=FD[6]+s5=0+2=2
・s7=FD[7]+s6=0+2=2
・s8=FD[8]+s7=1+2=3
・RWD[8]=WD[6]=1
・RWD[7]=WD[5]=0
・RWD[6]=WD[4]=1
・RWD[5]=WD[3]=0
・RWD[4]=WD[2]=0
・RWD[3]=WD[1]=1
・RWD[2]=WD[0]=1
・RWD[1]=WD[0]=1
・RWD[0]=WD[0]=1
実施の形態2では、実施の形態1で示した不良ビットの位置情報に関する符号化と異なる符号化について説明する。ここで、符号化技術について3つの例を挙げる。1例目(以下、「符号化技術1」と称する。)では、実施の形態1で示したような各セルが不良か否かを示すx+yビット(データセル分と冗長セル分のビット幅)のビット列である。2例目(以下、「符号化技術2」と称する。)では、不良セルが何番目のビットであるかを示す情報である。3例目(以下、「符号化技術3」と称する。)では、データセルと冗長セルの中で不良となった不良セルの組み合わせの番号である。ここで、冗長セルに置き換えるセルの組み合わせに番号が割り当てられ、該割り当てられた番号が組み合わせの番号である。
・符号化技術1:1001000100(最も左のビットが最下位ビットであり、最も右のビットが最上位ビットである。)
・符号化技術2:0000 0011 0111(左の4ビットによって0ビット目のデータセルが不良セルであることを表している。中央の4ビットによって3ビット目のデータセルが不良セルであることを表し、右の4ビットによって7ビット目のデータセルが不良セルであることを表している。)
・符号化技術3:0010010(ここでは、C(n,r)(=nCr)において、n=10、r=3を例に挙げている。)
図35は、実施の形態3にかかる製造方法の一連の処理を示す説明図である。まず、ウェハプロセス処理では、半導体製造装置が半導体メモリとして動作試験可能な工程まで半導体製造フローを実施する(ステップS3501)。そして、試験処理では、半導体試験装置が半導体メモリ内のメモリセルアレイ102のFAIL BITMAP測定を行う(ステップS3502)。FAIL BITMAP測定とは、具体的には、たとえば、メモリセルアレイ102内の各ワードについて読み出し・書き込みを行うことである。これにより、いずれのセルが不良であるかを示す試験結果が得られる。
前記ワードごとに前記データセルと前記冗長セルのうちの不良セルの位置情報を記憶する位置情報記憶部と、
読み出すアドレスを指定された指定ワードに関する前記位置情報記憶部内の不良セルの位置情報に基づいて、前記指定ワードに関する前記xビット分のデータセルと前記yビット分の冗長セルのうち前記不良セルを除くxビット分のセルのそれぞれが記憶するデータを読み出す読み出し回路と、
を備えることを特徴とする半導体メモリ。
前記読み出し回路は、
前記指定ワードに関する前記変換回路によって変換されたx+yビットのビット列に基づいて、前記指定ワードに関する前記メモリセルアレイ内のxビット分のデータセルとyビット分の冗長セルのうちの前記不良セルを除くxビット分のセルのそれぞれが記憶するデータを読み出すことを特徴とする付記1に記載の半導体メモリ。
前記読み出し回路は、
前記指定ワードに関する前記変換回路によって変換されたx+yビットのビット列に基づいて、前記指定ワードに関する前記メモリセルアレイ内のxビット分のデータセルとyビット分の冗長セルのうちの前記不良セルを除くxビット分のセルのそれぞれが記憶するデータを読み出すことを特徴とする付記1に記載の半導体メモリ。
前記ワードごとに前記データセルと前記冗長セルのうちの不良セルの位置情報を記憶する位置情報記憶部と、
書き出すアドレスを指定された指定ワードに関するxビット分の書き込みデータを、前記指定ワードに関する前記位置情報記憶部内の不良セルの位置情報に基づいて、前記指定ワードに関するxビット分のデータセルと前記指定ワードに関するyビット分のデータセルに書き込む書き込み回路と、
を備えることを特徴とする半導体メモリ。
前記書き込み回路は、
前記指定ワードに関するxビット分の書き込みデータを、前記指定ワードに関する前記変換回路によって変換されたx+yビット分のビット列に基づいて、前記指定ワードに関するxビット分のデータセルと前記指定ワードに関するyビット分のデータセルに書き込むことを特徴とする付記5に記載の半導体メモリ。
前記書き込み回路は、
前記指定ワードに関するxビット分の書き込みデータを、前記指定ワードに関する前記変換回路によって変換されたx+yビット分のビット列に基づいて、前記指定ワードに関するxビット分のデータセルと前記指定ワードに関するyビットのデータセルに書き込むことを特徴とする付記5に記載の半導体メモリ。
試験結果から得られる前記ワードごとの前記データセルと前記冗長セルのうちの不良セルの位置情報を、前記位置情報記憶部に電子ビーム描画によって書き込む
ことを特徴とする製造方法。
102 メモリセルアレイ
103 位置情報記憶部
200 読み出し回路
300 書き込み回路
2201 変換回路
Claims (6)
- ワードごとにx(x≧1)ビット分のデータセルとy(y≧1)ビット分の冗長セルとを有するメモリセルアレイと、
前記ワードごとに前記データセルと前記冗長セルのうちの不良セルの位置情報を記憶する位置情報記憶部と、
読み出すアドレスを指定された指定ワードに関する前記位置情報記憶部内の不良セルの位置情報に基づいて、前記指定ワードに関する前記xビット分のデータセルと前記yビット分の冗長セルのうち前記不良セルを除くxビット分のセルのそれぞれが記憶するデータを、前記不良セルを除くxビット分のセルのビット位置の順に並べて読み出す読み出し回路と、
を備えることを特徴とする半導体メモリ。 - 前記位置情報記憶部に記憶された前記指定ワードに関する前記不良セルの位置情報が、前記不良セルが前記指定ワードの中で何番目のビットであるかを示す情報である場合、前記情報を前記指定ワードの各セルが不良か否かを示すx+yビットのビット列に変換する変換回路を備え、
前記読み出し回路は、
前記指定ワードに関する前記変換回路によって変換されたx+yビットのビット列に基づいて、前記指定ワードに関する前記メモリセルアレイ内のxビット分のデータセルとyビット分の冗長セルのうちの前記不良セルを除くxビット分のセルのそれぞれが記憶するデータを読み出すことを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ。 - 前記位置情報記憶部に記憶された前記指定ワードに関する前記不良セルの位置情報が、前記不良セルのビット位置を用いてオートマトンで計算された組み合わせの番号である場合、前記組み合わせの番号を前記指定ワードの各セルが不良か否かを示すx+yビットのビット列に変換する変換回路を備え、
前記読み出し回路は、
前記指定ワードに関する前記変換回路によって変換されたx+yビットのビット列に基づいて、前記指定ワードに関する前記メモリセルアレイ内のxビット分のデータセルとyビット分の冗長セルのうちの前記不良セルを除くxビット分のセルのそれぞれが記憶するデータを読み出すことを特徴とする請求項1に記載の半導体メモリ。 - ワードごとにx(x≧1)ビット分のデータセルとy(y≧1)ビット分の冗長セルとを有するメモリセルアレイと、
前記ワードごとに前記データセルと前記冗長セルのうちの不良セルの位置情報を記憶する位置情報記憶部と、
書き出すアドレスを指定された指定ワードに関する前記位置情報記憶部内の不良セルの位置情報に基づいて、前記指定ワードに関するxビット分のデータセルと前記指定ワードに関するyビット分のデータセルとのうち前記不良セルを除くxビット分のセルに、前記指定ワードに関するxビット分の書き込みデータを、前記不良セルを除くxビット分のセルのビット位置の順に対応付けて書き込む書き込み回路と、
を備えることを特徴とする半導体メモリ。 - 前記位置情報記憶部に記憶された前記指定ワードに関する前記不良セルの位置情報が、前記不良セルが前記指定ワードの中で何番目のビットであるかを示す情報である場合、前記情報を前記指定ワードの各セルが不良か否かを示すx+yビットのビット列に変換する変換回路を備え、
前記書き込み回路は、
前記指定ワードに関するxビット分の書き込みデータを、前記指定ワードに関する前記変換回路によって変換されたx+yビット分のビット列に基づいて、前記指定ワードに関するxビット分のデータセルと前記指定ワードに関するyビット分のデータセルに書き込むことを特徴とする請求項4に記載の半導体メモリ。 - 前記位置情報記憶部に記憶された前記指定ワードに関する前記不良セルの位置情報が、前記不良セルのビット位置を用いてオートマトンで計算された組み合わせの番号である場合、前記組み合わせの番号を前記指定ワードの各セルが不良か否かを示すx+yビットのビット列に変換する変換回路を備え、
前記書き込み回路は、
前記指定ワードに関するxビット分の書き込みデータを、前記指定ワードに関する前記変換回路によって変換されたx+yビット分のビット列に基づいて、前記指定ワードに関するxビット分のデータセルと前記指定ワードに関するyビット分のデータセルに書き込むことを特徴とする請求項4に記載の半導体メモリ。
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