JP5654092B2 - リソグラフィ装置及び方法 - Google Patents
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Description
202 リソグラフィ装置
204 第1コンポーネント
206 第2コンポーネント
208 ベース
210 ばね
212 ばね
214 光線
216 フォトマスク
218 ウェハ
220 アクチュエータ
222 結合デバイス
224 作動部材
226 係止ピン
228 係止開口
230 捕捉デバイス
232 制御デバイス
234 比較ユニット
236 制御ユニット
238 メモリユニット
240 センサ
400 ばね
402 ダンパ
500 レバー
502 摺動ブロックガイド
504 端
506 端
508 蝶着点
510 摺動ブロック要素
512 撓み方向
514 長手方向軸
600 ブレーキパッド
602 誘導ブレーキ
604 コア
606 コイル
700 エンドストップ
702 エンドストップ
704 距離
c ばね剛性
d 減衰係数
B 加速度
R 基準パターン
S 制御信号
V 比較結果
Z 鉛直方向
NS 水平方向
EW 水平方向
Claims (13)
- リソグラフィ装置(202)であって、
第1コンポーネント(204)と、
第2コンポーネント(206)と、
前記第1コンポーネント(204)及び前記第2コンポーネント(206)を相互に結合するよう構成した結合デバイス(222)と、
前記リソグラフィ装置(202)を立設した床(200)の運動(Z)を捕捉する捕捉デバイス(230)と、
前記第1コンポーネント(204)に対する前記第2コンポーネント(206)の運動を制限するために、前記床(200)の捕捉した前記運動(Z)に応じて前記結合デバイス(222)を作動するよう構成した制御デバイス(232)と
を備え、
前記リソグラフィ装置の動作のために、前記第2コンポーネント(206)が、アクチュエータ(220)により少なくとも1つの空間方向に動くことができ、
前記結合デバイス(222)は、1つ又は複数の空間方向の前記第2コンポーネント(206)の移動距離、速度、及び/又は加速度に関して、前記第1コンポーネント(204)に対する前記第2コンポーネント(206)の運動を制限するよう構成され、
前記第1コンポーネント(204)に対する前記第2コンポーネント(206)の運動を制限する前記結合デバイス(222)は、変更可能なばね剛性(c)を有するばね(400)、及び/又は変更可能な減衰定数(d)を有するダンパ(402)を備えるリソグラフィ装置。 - 請求項1に記載のリソグラフィ装置において、前記制御デバイス(232)は、捕捉した前記運動(Z)及び少なくとも1つの基準パターン(R)の比較に応じて比較結果(V)を提供する比較ユニット(234)と、前記比較結果(V)に応じて前記第1コンポーネント(204)に対する前記第2コンポーネント(206)の運動を制限するために前記結合デバイス(222)を作動する制御ユニット(236)とを備えたリソグラフィ装置。
- 請求項2に記載のリソグラフィ装置において、前記少なくとも1つの基準パターン(R)は地震に対応するリソグラフィ装置。
- 請求項3に記載のリソグラフィ装置において、前記少なくとも1つの基準パターン(R)はP波に対応するリソグラフィ装置。
- 請求項3又は4に記載のリソグラフィ装置において、前記制御ユニット(236)を、捕捉した前記運動(Z)が前記少なくとも1つの基準パターンに対応するという前記比較結果(V)である場合に、前記第1コンポーネント(204)に対する前記第2コンポーネント(206)の運動を制限するために前記結合デバイス(222)を即時作動するよう構成したリソグラフィ装置。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置において、前記捕捉デバイス(230)により捕捉され得る前記床(200)の前記運動(Z)は、1つ又は複数の空間方向の移動距離、速度、及び/又は加速度であるリソグラフィ装置。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置において、前記結合デバイス(222)を、前記第1コンポーネント(204)に対する前記第2コンポーネント(204)の運動を圧力嵌め、噛み合い、接触、及び/又は非接触により制限するよう構成したリソグラフィ装置。
- 請求項7に記載のリソグラフィ装置において、運動の噛み合い式制限用の前記結合デバイス(222)は、前記第1コンポーネント(204)に対する前記第2コンポーネント(206)の運動を解除可能に係止するよう構成した係止ユニット(224、226、228)を備えるリソグラフィ装置。
- 請求項7に記載のリソグラフィ装置において、運動の圧力嵌め型制限用の前記結合デバイス(222)は、機械ブレーキ(600)又は誘導ブレーキ(602)を備えるリソグラフィ装置。
- 請求項1または7に記載のリソグラフィ装置において、前記ばね剛性(c)を、前記ばね(400)を枢動させることにより変更可能であるよう設けたリソグラフィ装置。
- 請求項1〜10のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置において、前記捕捉デバイス(230)を、前記リソグラフィ装置(202)の構造体(204)上又はベース(208)内に設けたリソグラフィ装置。
- 請求項1〜11のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置において、前記第1コンポーネント(204)を、前記リソグラフィ装置(202)の構造体、特にフレームとして具現し、前記第2コンポーネント(204)を、前記リソグラフィ装置(202)のミラーとして具現したリソグラフィ装置。
- 第1コンポーネント(204)及び第2コンポーネント(206)を備えたリソグラフィ装置(202)を立設した床が動いた(Z)場合の該リソグラフィ装置(202)の損傷を回避する方法であって、前記床(200)の運動を捕捉し、捕捉した前記運動(Z)に応じて前記第1コンポーネント(204)に対する前記第2コンポーネント(206)の運動を制限し、
前記リソグラフィ装置の動作のために、前記第2コンポーネント(206)が、アクチュエータ(220)により少なくとも1つの空間方向に動くことができ、
前記結合デバイス(222)は、1つ又は複数の空間方向の前記第2コンポーネント(206)の移動距離、速度、及び/又は加速度に関して、前記第1コンポーネント(204)に対する前記第2コンポーネント(206)の運動を制限し、
前記第1コンポーネント(204)に対する前記第2コンポーネント(206)の運動を制限する前記結合デバイス(222)は、変更可能なばね剛性(c)を有するばね(400)、及び/又は変更可能な減衰定数(d)を有するダンパ(402)を備える方法。
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